掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及測量儀器技術領域。更具體地，涉及一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺。
【背景技術】
[0002]電子背散射衍射(EBSD，ElectronBackscattered Diffract1n)就是背散射電子在每一個晶體或晶粒內規則排列的晶格面上發生衍射，從而組成的衍射花樣。電子背散射衍射裝置是掃描電子顯微鏡的一個附件，在20世紀90年代以來取得了較大發展。在掃描電鏡上配備電子背散射裝置可以對試樣進行微區織構和取向差分析:晶粒尺寸及形狀分布分析；晶界、亞晶及孿晶界性質分布；相鑒定及相比例計算等操作。
[0003]由于掃描電鏡中，電子束的能量較低，產生的EBSD信號較弱。為了得到較強的EBSD信號，樣品的傾斜角要保持70°。目前，國內外的掃描電鏡配備的樣品臺是直徑為50mm的底托圓盤，SEM的樣品采用螺絲緊固的方式置于樣品臺上，在進行EBSD實驗時，需要將樣品預先粘在70°預傾斜的樣品粧上，再將樣品粧固定在底托圓盤上。但是，EBSD實驗時間長，為1小時至幾小時不定，若樣品的尺寸較大，在實驗過程中，樣品會向下滑移，嚴重影響實驗的進行。此外，由于樣品粧的臺面較小，每個樣品粧上只能粘一個直徑為5_的圓形樣品，若樣品個數較多時，需要不斷拿出底托圓盤來更換樣品，消耗大量的人力物力。
[0004]因此，需要一種新的掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，既能方便、穩定的固定樣品，又能一次處理多個樣品。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的在于是提供一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺。
[0006]為達到上述目的，本實用新型采用下述技術方案:
[0007]—種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，包括:
[0008]固定式樣品臺和第--^槽；
[0009]所述固定式樣品臺包括第一底盤、第一臺面；
[0010]所述第一臺面設置在第一底盤的上表面，與水平面呈70°夾角；
[0011]所述第一卡槽設置在第一底盤的下表面，所述第一卡槽與掃描電鏡驅動馬達上的卡槽尺寸匹配設置。
[0012]第一臺面上可同時放置多個小樣品。第一卡槽用于將多功能樣品臺固定在掃描電鏡上。
[0013]進一步地，所述多功能樣品臺還包括:可調節式樣品臺、滑動軌道和支架；
[0014]所述可調節式樣品臺包括第二底盤和第二臺面；所述第二臺面設置在第二底盤的上表面，與水平面呈70°夾角；所述第二底盤的下表面設有第二卡槽；
[0015]所述滑動軌道包括第三底盤和設置在第三底盤上表面的凸起軌道；所述第二卡槽與凸起軌道為間隙配合設置；所述第三底盤與第一底盤固定連接；
[0016]所述支架設置在第一底盤的上表面與第一臺面相對的一側，與水平面呈70°夾角；
[0017]第二臺面與支架平行，與第一臺面不平行。
[0018]進一步地，所述支架為包括支架臂和支撐部；所述支撐部與第一底盤連接；所述支架臂與水平面呈70°夾角。
[0019]進一步地，所述第二底盤上設有固定用螺栓孔。
[0020]進一步地，所述第三底盤上設有銷孔，所述第一底盤上設有連接銷，第三底盤和第一底盤經銷孔和連接銷固定連接。
[0021]進一步地，第二卡槽和凸起軌道的截面均為倒梯形形狀。
[0022]可調節式樣品臺與滑動軌道之間為間隙配合，使得可調節式樣品臺可以在滑動軌道上滑動。
[0023]可調節式樣品臺與支架配合使用。檢測大樣品時，將大樣品通過導電膠固定在第二臺面上，通過調節可調節式樣品臺在滑動軌道上的位置，使得支架對大樣品起到支撐作用。待調節位置合適后，通過經固定用螺栓孔擰緊固定用螺栓來固定可調節式樣品臺的位置。支架和第二臺面的配合設計能夠避免大樣品在測試過程中滑移，以避免數據失真。
[0024]本實用新型的有益效果如下:
[0025]1、本實用新型通過設置與水平面呈70°的第一臺面替代現有的樣品粧，實現了同時測量多個樣品，大量節約高純氮氣；第一卡槽與掃描電鏡驅動馬達上的卡槽的匹配設置，使得測試穩定性高。
[0026]2、本實用新型通過設置可調節式樣品臺、滑動軌道和支架，使得在測試大樣品時，大樣品不易滑移，穩定性好，確保了測試精度，極大的提高工作效率，降低測試成本。
[0027]3、本實用新型的多功能樣品臺只需將樣品臺進行旋轉，即能夠實現大樣品和多個小樣品的同時測量，方便科研工作者進行不同樣品區域的比對，大大提高工作效率。
【附圖說明】
[0028]下面結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作進一步詳細的說明。
[0029]圖1示出可調節式樣品臺的示意圖。
[0030]圖2示出可調節式樣品臺的剖視圖。
[0031]圖3示出滑動軌道的示意圖。
[0032]圖4示出滑動軌道的剖視圖。
[0033]圖5示出固定式樣品臺、支架的示意圖。
[0034]圖6示出固定式樣品臺、支架的側視圖。
[0035]圖7示出本實用新型的掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺的示意圖。
[0036]圖8示出本實用新型的掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺的側視圖。
【具體實施方式】
[0037]為了更清楚地說明本實用新型，下面結合優選實施例和附圖對本實用新型做進一步的說明。附圖中相似的部件以相同的附圖標記進行表示。本領域技術人員應當理解，下面所具體描述的內容是說明性的而非限制性的，不應以此限制本實用新型的保護范圍。
[0038]實施例
[0039]如圖1-8所示，本實用新型提供一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，包括:
[0040]固定式樣品臺5、第一卡槽10、可調節式樣品臺1、滑動軌道4和支架6 ;
[0041]所述固定式樣品臺5包括第一底盤7、第一臺面51 ;
[0042]所述第一臺面51設置在第一底盤7的上表面，與水平面呈70°夾角；
[0043]所述第一卡槽10設置在第一底盤7的下表面，所述第一卡槽10與掃描電鏡驅動馬達上的卡槽尺寸匹配設置；
[0044]所述可調節式樣品臺1包括第二底盤11和第二臺面12 ;所述第二臺面12設置在第二底盤11的上表面，與水平面呈70°夾角；所述第二底盤11的下表面設有第二卡槽13;
[0045]所述滑動軌道4包括第三底盤41和設置在第三底盤41上表面的凸起軌道42 ;所述第二卡槽13與凸起軌道42為間隙配合設置；所述第三底盤41與第一底盤7固定連接；
[0046]所述支架6設置在第一底盤7的上表面與第一臺面51相對的一側，與水平面呈70°夾角；
[0047]第二臺面12與支架6平行，與第一臺面51不平行。
[0048]所述支架6為包括支架臂61和支撐部62 ;所述支撐部62與第一底盤7連接；所述支架臂61與水平面呈70°夾角。
[0049]所述第三底盤41上設有銷孔3，所述第一底盤7上設有連接銷8，第三底盤41和第一底盤7經銷孔3和連接銷8固定連接。
[0050]第二卡槽13和凸起軌道42的截面均為倒梯形形狀。
[0051]可調節式樣品臺1與支架6配合使用。支架6和第二臺面12的配合設計能夠避免大樣品在測試過程中滑移，以避免數據失真。
[0052]在測量多個小樣品時，將多個小樣品根據分析位置的需要排列好，將樣品通過導電膠固定在固定式樣品臺5的第一臺面51上并壓實，以確保樣品表面與掃面電鏡底座呈70。。
[0053]在測量大樣品時，將大樣品通過導電膠固定在第二臺面12上，通過調節可調節式樣品臺1在滑動軌道4上的位置，使得支架6對大樣品起到支撐作用。待調節位置合適后，通過經固定用螺栓孔2擰緊固定用螺栓9來固定可調節式樣品臺1的位置。
[0054]本實用新型的多功能樣品臺只需將樣品臺進行旋轉，即能夠實現大樣品和多個小樣品的同時測量，方便科研工作者進行不同樣品區域的比對，大大提高工作效率；通過在掃描電鏡樣品底座上根據樣品大小進行前后滑移和旋轉，尤其適用于鋼廠常規分析所用的大、小樣品，且操作方便，節省時間，并能夠保證測試精度要求。
[0055]顯然，本實用新型的上述實施例僅僅是為清楚地說明本實用新型所作的舉例，而并非是對本實用新型的實施方式的限定，對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動，這里無法對所有的實施方式予以窮舉，凡是屬于本實用新型的技術方案所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本實用新型的保護范圍之列。
【主權項】
1.一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，其特征在于，包括: 固定式樣品臺(5)和第—^槽(10)； 所述固定式樣品臺(5)包括第一底盤(7)、第一臺面(51); 所述第一臺面(51)設置在第一底盤(7)的上表面，與水平面呈70°夾角； 所述第一卡槽(10)設置在第一底盤(7)的下表面，所述第一卡槽(10)與掃描電鏡驅動馬達上的卡槽尺寸匹配設置。2.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，其特征在于，所述多功能樣品臺還包括:可調節式樣品臺(1)、滑動軌道(4)和支架(6); 所述可調節式樣品臺(1)包括第二底盤(11)和第二臺面(12);所述第二臺面(12)設置在第二底盤(11)的上表面，與水平面呈70°夾角；所述第二底盤(11)的下表面設有第二卡槽(13)； 所述滑動軌道(4)包括第三底盤(41)和設置在第三底盤(41)上表面的凸起軌道(42);所述第二卡槽(13)與凸起軌道(42)為間隙配合設置；所述第三底盤(41)與第一底盤(7)固定連接； 所述支架(6)設置在第一底盤(7)的上表面與第一臺面(51)相對的一側，與水平面呈70°夾角； 第二臺面(12)與支架(6)平行，與第一臺面(51)不平行。3.根據權利要求2所述的一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，其特征在于，所述支架(6)為包括支架臂￠1)和支撐部￠2);所述支撐部￠2)與第一底盤(7)連接；所述支架臂(61)與水平面呈70°夾角。4.根據權利要求2所述的一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，其特征在于，所述第二底盤(11)上設有固定用螺栓孔(2)。5.根據權利要求2所述的一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，其特征在于，所述第三底盤(41)上設有銷孔(3)，所述第一底盤(7)上設有連接銷(8)，第三底盤(41)和第一底盤(7)經銷孔(3)和連接銷(8)固定連接。6.根據權利要求2所述的一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，其特征在于，第二卡槽(13)和凸起軌道(42)的截面為倒梯形形狀。
【專利摘要】本實用新型公開一種掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺，包括：固定式樣品臺和第一卡槽；所述固定式樣品臺包括第一底盤、第一臺面；所述第一臺面設置在第一底盤的上表面，與水平面呈70°夾角；所述第一卡槽設置在第一底盤的下表面，所述第一卡槽與掃描電鏡驅動馬達上的卡槽尺寸匹配設置。本實用新型通過設置與水平面呈70°的第一臺面替代現有的樣品樁，實現了同時測量多個樣品，大量節約高純氮氣；第一卡槽與掃描電鏡驅動馬達上的卡槽的匹配設置，使得測試穩定性高。
【IPC分類】G01N23/203
【公開號】CN205049496
【申請號】CN201520820847
【發明人】桂曉露, 程騁, 高古輝, 白秉哲
【申請人】北京交通大學
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年10月21日