測算無源rfid芯片內部諧振電容的裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體芯片的電容測量裝置。
【背景技術】
[0002]對于無源RFID芯片，其自身所需的能量來自于線圈與電容的耦合，而LC達到諧振頻率時，LC感應到的能量最大。由于線圈是在芯片外固定做好的，所以LC是否能達到諧振頻率主要與諧振電容的大小有關，一旦電容值偏差較大，則無法向芯片供給所需的能量，使得無源RFID芯片不能正常工作。我們知道，工藝制程對集成電容器件有一定的工藝偏差，所以對裸片的電容值這一電氣參數進行測算，驗證其是否滿足設計值范圍，變得尤為重要。
[0003]目前，測算無源RFID芯片內部諧振電容大小的方法是采用LCR-METER測試儀對封裝好的RFID芯片進行測試，以直接讀出內部諧振電容的大小。這種方式的可操作性較差、成本較高，且只能在成測(芯片封裝后)時才能知道諧振電容的大小是否滿足設計值范圍，如不合適報廢，損失較大。
[0004]申請號為2011100592528的中國發明提供了一種RFID芯片和相應的內部諧振電容設置方法。所述RFID芯片包括:一個中心電容、EEPROM存儲器、一個或一個以上的可編程電容，所述可編程電容分別與一對應的電路控制開關相連接，所述電路控制開關與所述EEPROM存儲器電連接，上述電路控制開關的打開和關閉由所述EEPROM存儲器中輸出的信息控制。該發明可以設置RFID芯片內部的諧振電容數值，不能用于多個芯片裸片的測量。
【發明內容】
[0005]實用新型目的:
[0006]提供一種能夠直接測量并判斷半導體晶元上的RFID芯片裸片(die)的內部諧振電容大小是否合適的裝置。
[0007]技術方案:
[0008]本實用新型提供的測算無源RFID芯片內部諧振電容的裝置，具有依次串聯連接的PC機、信號輸出線、FPGA(現場可編程門陣列)、信號采集線、555定時器；待測試的die與電阻R串聯后構成RC諧振電路，連接在555定時器的接線柱之間。
[0009]待測試的die優選通過串聯一只電容(電容數值范圍0.005-0.05 μ f)后，再連接到555定時器的接線柱上，確保諧振電路中的電容不為零，電路能夠產生振蕩。
[0010]FPGA的作用是判定該方波的頻率是否在我們所需的頻率范圍內，如果在范圍內，則說明諧振電容的大小滿足設計值范圍，若不在范圍內，則說明諧振電容的大小不滿足設計值范圍。
[0011]PC機的作用是將結果清晰直觀的顯示出來，以增加直觀性。
[0012]555定時器的定時時間主要取決與電阻R數值和電容的數值。理論上電阻確定時，電容越大，定時時間也越長。555定時器的作用是產生與測算電容的容值相關的方波，方波的頻率對應于電容的容值，555定時器產生的方波信號通過FPGA的判定，然后在PC機上顯不O
[0013]通過該裝置構成的測試系統，可對晶元上的RFID芯片裸片(die)進行測試，并能計算出內部諧振電容大小，從而驗證是否滿足設計值范圍。這種方法操作簡單、成本低、結果直觀，且適用于中測。
[0014]本實用新型提出一種新型的測算系統，通過該系統，可對晶元上的RFID裸片(die)進行測試，并能計算出內部諧振電容大小，從而驗證是否滿足設計值范圍。
[0015]有益效果:
[0016]這種方法巧妙的利用555定時器的特性，產生只與被測芯片內部的諧振電容的大小密切相關的方波(電阻值確定)。操作簡單、成本低、測量速度快、測量結果直觀，適用于批量測試芯片裸片的諧振電容數值使用。
【附圖說明】
[0017]圖1是本實用新型在使用中的電路結構示意圖。
[0018]PC機；2-信號輸出線；3- FPGA ;4_信號采集線;5_555定時器;6_電阻；7_die。
【具體實施方式】
[0019]如圖1所示的測算無源RFID芯片內部諧振電容的裝置，具有依次串聯連接的PC機1、信號輸出線2、FPGA3、信號采集線4、555定時器5 ;待測試的die7通過串聯一只電容8后，再與電阻6串聯后構成RC諧振電路，連接在555定時5器的接線柱之間。
[0020]通過該裝置，可對RFID芯片裸片(die)進行電容數值的測試，并能計算出其內部諧振電容大小，并在PC機I上顯示出來，從而直觀驗證是否滿足設計值范圍。
【主權項】
1.一種測算無源RFID芯片內部諧振電容的裝置，用于測試的裸片(die)的諧振電容數值，其特征在于:具有依次串聯連接的PC機(1)、信號輸出線(2)、FPGA (3)、信號采集線(4)、555定時器(5);待測試的裸片(die) (7)與電阻(6)串聯后構成RC諧振電路，連接在555定時器(5)的接線柱之間。2.如權利要求1所述的測算無源RFID芯片內部諧振電容的裝置，其特征在于: 所述的待測試的裸片(die) (7)通過串聯一只電容(8)后，再連接到555定時器(5)的接線柱上。3.如權利要求2所述的測算無源RFID芯片內部諧振電容的裝置，其特征在于:所述的電容(8)的電容數值范圍0.005-0.05 μ f。
【專利摘要】本實用新型公開一種測算無源RFID芯片內部諧振電容的裝置，具有依次串聯連接的PC機、信號輸出線、FPGA、信號采集線、555定時器；待測試的裸片（die）與電阻R串聯后構成RC諧振電路，連接在555定時器的接線柱之間。使用本實用新型的操作簡單、測量速度快、測量結果直觀。
【IPC分類】G01R27/26
【公開號】CN204758704
【申請號】CN201520428519
【發明人】吳華, 劉建峰, 徐銀森, 李承峰, 胡漢球
【申請人】南通金泰科技有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年6月22日