一體化板板面平整度檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種平整度檢測(cè)裝置，具體地說(shuō)是一體化板板面平整度檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]平整度測(cè)試裝置，采用光學(xué)方法測(cè)量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、S1、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無(wú)需任何接觸的情況下測(cè)量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測(cè)量。現(xiàn)有的裝置的測(cè)量寬度有限，不能對(duì)較寬的材料進(jìn)行測(cè)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種一體化板板面平整度檢測(cè)裝置，能夠解決上述問(wèn)題。
[0004]本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):一體化板板面平整度檢測(cè)裝置，包括底座，底座上部?jī)蓚?cè)分別安裝一個(gè)輥軸輸送裝置，底座的上側(cè)中部安裝步進(jìn)電機(jī)和固定支架，固定支架能在底座上滑動(dòng)，固定支架的下部安裝螺母，步進(jìn)電機(jī)的輸出軸安裝絲桿，絲桿與螺母配合，固定支架的側(cè)部安裝平整度測(cè)量?jī)x，底座的側(cè)部安裝控制裝置，控制裝置通過(guò)導(dǎo)線分別鏈接平整度測(cè)量?jī)x、步進(jìn)電機(jī)和計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)通過(guò)導(dǎo)線連接報(bào)警裝置。
[0005]為了進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，還可以采用以下技術(shù)方案:所述固定支架的上部安裝數(shù)個(gè)萬(wàn)向輪。
[0006]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:本實(shí)用新型的步進(jìn)電機(jī)可以通過(guò)絲桿與螺母的配合使固定支架在底座上滑動(dòng)，從而使平整度測(cè)量?jī)x的測(cè)量范圍大大增加，方便平整度測(cè)量?jī)x對(duì)較寬的材料進(jìn)行測(cè)量。本實(shí)用新型的輥軸輸送裝置可以帶動(dòng)被測(cè)量材料通過(guò)平整度測(cè)量?jī)x。本實(shí)用新型的控制裝置可以接收平整度測(cè)量?jī)x的測(cè)量信號(hào)，并且將平整度測(cè)量?jī)x的測(cè)量信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)傳遞給計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)可以根據(jù)控制裝置發(fā)出的電信號(hào)判斷被測(cè)量材料的平整度，當(dāng)被測(cè)量材料的平整度過(guò)低時(shí)，計(jì)算機(jī)控制報(bào)警裝置發(fā)出警報(bào)。本實(shí)用新型還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔緊湊、制造成本低廉和使用簡(jiǎn)便的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的沿A-A的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]標(biāo)注說(shuō)明:1萬(wàn)向輪2固定支架3平整度測(cè)量?jī)x4絲桿5螺母6輥軸輸送裝置7計(jì)算機(jī)8報(bào)警裝置9底座10控制裝置11步進(jìn)電機(jī)12打碼器。
【具體實(shí)施方式】
[0009]一體化板板面平整度檢測(cè)裝置，如圖1和圖2所示，包括底座9，底座9上部?jī)蓚?cè)分別安裝一個(gè)輥軸輸送裝置6，底座9的上側(cè)中部安裝步進(jìn)電機(jī)11和固定支架2，固定支架2能在底座9上滑動(dòng)，固定支架2的下部安裝螺母5，步進(jìn)電機(jī)11的輸出軸安裝絲桿4，絲桿4與螺母5配合，固定支架2的側(cè)部安裝平整度測(cè)量?jī)x3，底座9的側(cè)部安裝控制裝置10，控制裝置10通過(guò)導(dǎo)線分別鏈接平整度測(cè)量?jī)x3、步進(jìn)電機(jī)11和計(jì)算機(jī)7，計(jì)算機(jī)7通過(guò)導(dǎo)線連接報(bào)警裝置8。
[0010]本實(shí)用新型的步進(jìn)電機(jī)11可以通過(guò)絲桿4與螺母5的配合使固定支架2在底座9上滑動(dòng)，從而使平整度測(cè)量?jī)x3的測(cè)量范圍大大增加，方便平整度測(cè)量?jī)x3對(duì)較寬的材料進(jìn)行測(cè)量。本實(shí)用新型的輥軸輸送裝置6可以帶動(dòng)被測(cè)量材料通過(guò)平整度測(cè)量?jī)x3。本實(shí)用新型的控制裝置10可以接收平整度測(cè)量?jī)x3的測(cè)量信號(hào)，并且將平整度測(cè)量?jī)x3的測(cè)量信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)傳遞給計(jì)算機(jī)7，計(jì)算機(jī)7可以根據(jù)控制裝置10發(fā)出的電信號(hào)判斷被測(cè)量材料的平整度，當(dāng)被測(cè)量材料的平整度過(guò)低時(shí)，計(jì)算機(jī)7控制報(bào)警裝置8發(fā)出警報(bào)。
[0011]所述固定支架2的上部安裝數(shù)個(gè)萬(wàn)向輪I。本實(shí)用新型的萬(wàn)向輪I可以對(duì)被測(cè)量材料起到支撐作用，同時(shí)萬(wàn)向輪I不會(huì)阻礙固定支架2的滑動(dòng)。
[0012]本實(shí)用新型的使用方法為:
[0013]①根據(jù)本次產(chǎn)品板材的寬度、長(zhǎng)度及厚度，確定板面平整度(相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求小于2mm)，設(shè)定波浪紋的上下限(± 1mm)，在計(jì)算機(jī)上設(shè)定數(shù)據(jù)；
[0014]②調(diào)節(jié)高精度傳感器的基準(zhǔn)位置，使其與板面保持良好接觸，高精度探頭與傳感器保持良好連接；
[0015]③檢查線路、計(jì)算機(jī)、打碼器、報(bào)警器等正常工作；
[0016]④生產(chǎn)開(kāi)始后，板材在平面滾床上前進(jìn)，高精度探頭跟隨板材板面做相應(yīng)的波動(dòng)，當(dāng)板材板面存在波浪紋缺陷時(shí)，高精度探頭亦跟隨板面作相應(yīng)的波浪紋運(yùn)動(dòng)；
[0017]⑤傳感器將高精度探頭采集的數(shù)據(jù)傳輸給計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)利用專(zhuān)業(yè)軟件將數(shù)據(jù)做成振幅圖，直觀顯不出來(lái)；
[0018]⑥計(jì)算機(jī)軟件根據(jù)設(shè)定的上下限來(lái)甄別篩選處理的數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)復(fù)合設(shè)定要求，計(jì)算機(jī)不做任何響應(yīng)，當(dāng)振幅變大，超出設(shè)定的上下限時(shí)，計(jì)算機(jī)作出響應(yīng)；
[0019]⑦計(jì)算機(jī)將信號(hào)處理后傳輸至打碼器上，打碼器將信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換后做出響應(yīng)，在板材表面上噴打不合格標(biāo)記；
[0020]⑧計(jì)算機(jī)在傳輸信號(hào)至打碼器的同時(shí)，也將信號(hào)傳輸至警報(bào)器，對(duì)生產(chǎn)控制室發(fā)出警報(bào)，提示工人對(duì)設(shè)備做出及時(shí)調(diào)整，減少不合格品量；
[0021]⑨生產(chǎn)完成后，對(duì)裝置進(jìn)行檢查維護(hù)，以備下次生產(chǎn)。
[0022]本實(shí)用新型的生產(chǎn)流程為:
[0023]①確認(rèn)該項(xiàng)目板材的規(guī)格:板材寬度為800mm，板材厚度為30mm，板材長(zhǎng)度為1500mm，板材板面允許的不平度為2mm,在計(jì)算機(jī)軟件中設(shè)定波浪紋的上下限為± Imm ;
[0024]②調(diào)節(jié)高精度傳感器的基準(zhǔn)位置，使其與板面保持良好接觸，高精度探頭與傳感器保持良好連接；檢查線路、計(jì)算機(jī)、打碼器、報(bào)警器等正常工作；
[0025]③生產(chǎn)開(kāi)始后，板材在平面滾床上前進(jìn)，高精度探頭跟隨板材板面做相應(yīng)的波動(dòng)，當(dāng)板材板面存在波浪紋缺陷時(shí)，高精度探頭亦跟隨板面作相應(yīng)的波浪紋運(yùn)動(dòng)；
[0026]④傳感器將高精度探頭采集的數(shù)據(jù)傳輸給計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)利用專(zhuān)業(yè)軟件將數(shù)據(jù)做成振幅圖，直觀顯不出來(lái)；
[0027]⑤計(jì)算機(jī)軟件根據(jù)設(shè)定的上下限Imm來(lái)甄別篩選處理的數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)在Imm范圍內(nèi)波動(dòng)時(shí)，計(jì)算機(jī)不做任何響應(yīng)，當(dāng)振幅變大，超出設(shè)定的上下限Imm時(shí)，計(jì)算機(jī)作出響應(yīng)，傳出信號(hào)；
[0028]⑥計(jì)算機(jī)將信號(hào)傳輸至打碼器上，打碼器將信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換后做出響應(yīng)，在板材表面上噴打不合格標(biāo)記；
[0029]⑦產(chǎn)品下線后，質(zhì)檢員對(duì)板材板面進(jìn)行復(fù)檢，確認(rèn)不合格產(chǎn)品；
[0030]⑧計(jì)算機(jī)在傳輸信號(hào)至打碼器的同時(shí)，也將信號(hào)傳輸至警報(bào)器，對(duì)生產(chǎn)控制室發(fā)出警報(bào)，提示工人對(duì)設(shè)備做出及時(shí)調(diào)整，減少不合格品量；
[0031]⑨生產(chǎn)完成后，對(duì)裝置進(jìn)行檢查維護(hù)，以備下次生產(chǎn)。
[0032]本實(shí)用新型的技術(shù)方案并不限制于本實(shí)用新型所述的實(shí)施例的范圍內(nèi)。本實(shí)用新型未詳盡描述的技術(shù)內(nèi)容均為公知技術(shù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一體化板板面平整度檢測(cè)裝置，其特征在于:包括底座(9)，底座(9)上部?jī)蓚?cè)分別安裝一個(gè)輥軸輸送裝置(6)，底座(9)的上側(cè)中部安裝步進(jìn)電機(jī)(11)和固定支架(2)，固定支架⑵能在底座(9)上滑動(dòng)，固定支架(2)的下部安裝螺母(5)，步進(jìn)電機(jī)(11)的輸出軸安裝絲桿(4)，絲桿(4)與螺母(5)配合，固定支架(2)的內(nèi)側(cè)上部安裝平整度測(cè)量?jī)x(3)，底座(9)的側(cè)部安裝控制裝置(10)，控制裝置(10)通過(guò)導(dǎo)線分別鏈接平整度測(cè)量?jī)x(3)、步進(jìn)電機(jī)(11)和計(jì)算機(jī)(7)，計(jì)算機(jī)(7)通過(guò)導(dǎo)線連接報(bào)警裝置(8)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體化板板面平整度檢測(cè)裝置，其特征在于:所述固定支架(2)的上部安裝數(shù)個(gè)萬(wàn)向輪(I)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體化板板面平整度檢測(cè)裝置，其特征在于:所述固定支架(2)的內(nèi)側(cè)上部安裝打碼器(12)。
【專(zhuān)利摘要】一體化板板面平整度檢測(cè)裝置，包括底座，底座上部?jī)蓚?cè)分別安裝一個(gè)輥軸輸送裝置，底座的上側(cè)中部安裝步進(jìn)電機(jī)和固定支架，固定支架能在底座上滑動(dòng)，固定支架的下部安裝螺母，步進(jìn)電機(jī)的輸出軸安裝絲桿，本實(shí)用新型的步進(jìn)電機(jī)可以通過(guò)絲桿與螺母的配合使固定支架在底座上滑動(dòng)，從而使平整度測(cè)量?jī)x的測(cè)量范圍大大增加，方便平整度測(cè)量?jī)x對(duì)較寬的材料進(jìn)行測(cè)量。
【IPC分類(lèi)】G01B21/30
【公開(kāi)號(hào)】CN204666124
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520430276
【發(fā)明人】龐文一, 吳正凱, 楊瑞瑞, 王東, 王昊亮
【申請(qǐng)人】山東德寶建筑節(jié)能技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月23日
【申請(qǐng)日】2015年6月23日