質譜分析系統的制作方法
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及流體取樣分析，特別涉及質譜分析系統。
【背景技術】
[0002] 在線質譜根據不同物質質荷比不同進行分離及檢測，完成對被測物質的分析。為 達到最佳的檢測效果，所有的分離及檢測過程都在真空系統中完成，所以要求真空系統具 備幾個條件：
[0003] ⑴長期穩定維持較高的真空度，通常在lE-5Torr以下；
[0004] ⑵真空腔體溫度穩定；
[0005] ⑶進入真空腔體內離子源的氣體溫度及壓力穩定；
[0006] 圖1示意性地給出了現有技術中采用的真空腔方案，如圖1所示，真空腔11內的 真空度依靠抽氣泵21工作，達到測量所需的對lE-5T 〇rr以下，而樣氣溫度主要靠毛細管91 的加熱器，在樣氣進入離子源之前加熱到恒定溫度，再進入離子源離子化。
[0007] 分子平均自由行程公式
【主權項】
1. 一種質譜分析系統，所述質譜分析系統包括真空腔、抽氣泵；其特征在于：所述質譜 分析系統進一步包括： 氣源，所述氣源連接制冷器的輸入端； 制冷器，所述制冷器的輸出端連接轉換部件的進口； 轉換部件，所述轉換部件設置在所述真空腔的一側，內部具有錐體，錐體底部的外圍設 置通孔，所述通孔的軸線與所述真空腔的軸線異面； 流體通道，所述流體通道設置在所述真空腔的外緣，輸入端連通所述通孔，輸出端連通 外界。
2. 根據權利要求1所述的質譜分析系統，其特征在于：所述轉換部件進一步包括： 第一部件，所述第一部件具有進口，且內部中空； 第二部件，所述第二部件具有錐體，錐體的周圍設置所述通孔；第二部件連接所述第一 部件。
3. 根據權利要求1所述的質譜分析系統，其特征在于：所述通孔的軸線與所述真空腔 的軸線的所成角為30度。
4. 根據權利要求1所述的質譜分析系統，其特征在于：制冷器采用渦旋制冷器。
5. 根據權利要求1所述的質譜分析系統，其特征在于：所述抽氣泵和真空腔之間具有 隔熱層。
6. 根據權利要求1所述的質譜分析系統，其特征在于：所述質譜分析系統進一步包 括： 溫度傳感器，所述溫度傳感器設置在所述真空腔內，輸出端連接控制器； 控制器，所述控制器用于根據溫度傳感器的值而調整電磁閥的開度； 電磁閥，所述電磁閥設置在所述氣源和制冷器之間的流路上。
【專利摘要】本實用新型提供了一種質譜分析系統，所述質譜分析系統包括真空腔、抽氣泵；進一步包括：氣源，所述氣源連接制冷器的輸入端；制冷器，所述制冷器的輸出端連接轉換部件的進口；轉換部件，所述轉換部件設置在所述真空腔的一側，內部具有錐體，錐體底部的外圍設置通孔，所述通孔的軸線與所述真空腔的軸線異面；流體通道，所述流體通道設置在所述真空腔的外緣，輸入端連通所述通孔，輸出端連通外界。本實用新型具有抗干擾、穩定性好等優點。
【IPC分類】G01N27-62
【公開號】CN204462073
【申請號】CN201420866867
【發明人】張進偉, 鄭利武, 任焱
【申請人】聚光科技(杭州)股份有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2014年12月31日