一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種樣品定位裝置，屬于顯微觀測領域。
【背景技術】
[0002]在掃描隧道顯微鏡系統中，將曲率半徑為原子量級的針尖和被研究物質的表面作為兩個電極，當樣品與針尖的距離非常接近時(通常小于lnm)，在外加電場的作用下，電子會穿過兩個電極之間的絕緣層流向另一個電極，產生穿隧電流。計算機記錄穿隧電流并控制施加于壓電管的電壓，以產生與樣品表面相應的三維地圖，從而反映樣品表面的形貌特征。掃描隧道顯微鏡的傳統用法是用于掃描平放材料上下兩端的表面形貌，部分材料，例如薄片結構的材料，由于材料無法立向擺放，無法掃描材料的其他側面，造成了掃描的局限性，同時，現有顯微鏡無法掃描樣品的截面。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的在于:提供一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，以解決現有掃描隧道顯微鏡由于沒有特定的樣品定位裝置，樣品的截面和部分側面無法直接掃描，使得掃描具有局限性的問題。
[0004]本實用新型的方案如下:一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，包括樣品盤，樣品盤上固定設置有滑道，滑道上滑動設置有定位滑塊，滑道的一端固定設置有限位座。
[0005]優選地，所述滑道包括相互平行設置的第一滑桿和第二滑桿，第一滑桿和第二滑桿分別設置在定位滑塊的兩側，且定位滑塊的兩側對應滑動設置在第一滑桿和第二滑桿上。
[0006]優選地，還包括有旋鈕，旋鈕設置在與限位座相對的定位滑塊的另一側，旋鈕5與定位滑塊的滑動方向相平行，且旋鈕的一端固定在定位滑塊上，滑道與限位座相對的另一端設置有側壁，旋鈕的另一端穿過側壁，且旋鈕與側壁螺紋連接。
[0007]優選地，滑道、定位滑塊和限位座的表面均為鏡面結構，在對準探針時，通過探針在樣品盤上的倒影可以確定探針與托盤的距離，這樣可以方便探針的對準。
[0008]將樣品垂直固定在樣品盤上，在固定樣品之前，將要掃描截面選好，并用刀片獲取，為防止掃描截面在空氣中氧化，并不取下樣品的多余部分，而是待傳到真空環境中之后，使樣品和樣品臺碰撞，讓多余部分與樣品脫落，從而露出截面，樣品截面，樣品截面和樣品盤表面位于同一平面。傳入STM中掃描，從而反映樣品截面的形貌特征。本實用新型與現有技術相比，主要優點是在原有樣品盤上增加了用于固定樣品的裝置，能夠使樣品以多種角度進行固定，從而通過掃描隧道顯微鏡對樣品的各個表面進行掃描，消除了現有顯微鏡的掃描部位具有局限性的問題，同時，采用本裝置后，能夠實現對樣品各個截面的掃描，對于研究樣品截面的顯微結構具有十分重要的意義，本裝置結構簡單，操作方便，成本也較低，便于推廣應用。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0010]圖2是本實用新型的主視結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將參照附圖對本發明作進一步地詳細描述，
[0012]實施例:
[0013]參照圖1，本實施例所述一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，包括:
[0014]樣品盤1、滑道2、定位滑塊3、限位座4、旋鈕5和側壁6 ；
[0015]所述滑道2、定位滑塊3和限位座4的表面均為鏡面結構，滑道2固定設置在樣品盤I上，定位滑塊3滑動設置在滑道2上，限位座4和側壁6對應固定設置在滑道2的兩端，滑道2包括相互平行設置的第一滑桿21和第二滑桿22，第一滑桿21和第二滑桿22分別設置在定位滑塊3的兩側，且定位滑塊3的兩側對應滑動設置在第一滑桿21和第二滑桿22上。
[0016]旋鈕5設置在與限位座4相對的定位滑塊3的另一側，旋鈕5與定位滑塊3的滑動方向相平行，且旋鈕5的一端固定在定位滑塊3上，旋鈕5上設置有外螺紋，側壁6上設置有螺紋孔61，旋鈕5上的外螺紋恰好與螺紋孔61的內螺紋相匹配，旋鈕5的另一端穿過螺紋孔61，轉動旋鈕5即可控制定位滑塊3在滑道2上的滑動，對于薄片類的樣品7來說，只需將其豎在定位滑塊3和限位座4之間，控制定位滑塊3，使樣品7夾緊定位在定位滑塊3和限位座4之間，再通過掃描隧道顯微鏡系統進行掃描，即可得到以前無法掃描到的，樣品7側面或截面等的顯微結構。
【主權項】
1.一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，包括樣品盤(1)，其特征在于:樣品盤(I)上固定設置有滑道(2)，滑道(2)上滑動設置有定位滑塊(3)，滑道(2)的一端固定設置有限位座(4)。
2.根據權利要求1所述一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，其特征在于:所述滑道(2)包括相互平行設置的第一滑桿(21)和第二滑桿(22)，第一滑桿(21)和第二滑桿(22)分別設置在定位滑塊(3)的兩側，且定位滑塊(3)的兩側對應滑動設置在第一滑桿(21)和第二滑桿(22)上。
3.根據權利要求1所述一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，其特征在于:還包括有旋鈕(5)，旋鈕(5)設置在與限位座(4)相對的定位滑塊(3)的另一側，旋鈕(5)與定位滑塊(3)的滑動方向相平行，且旋鈕(5)的一端固定在定位滑塊(3)上，滑道(2)與限位座(4)相對的另一端設置有側壁(6)，旋鈕(5)的另一端穿過側壁(6)，且旋鈕(5)與側壁(6)螺紋連接。
4.根據權利要求1所述一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，其特征在于:所述滑道(2)、定位滑塊(3)和限位座(4)的表面均為鏡面結構。
【專利摘要】本實用新型提供一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，包括樣品盤，樣品盤上固定設置有滑道，滑道上滑動設置有定位滑塊，滑道的一端固定設置有限位座。以解決現有掃描隧道顯微鏡由于沒有特定的樣品定位裝置，部分樣品的側面、截面等無法直接掃描，使得掃描具有局限性的問題。屬于顯微觀測領域。
【IPC分類】G01Q60-10
【公開號】CN204389529
【申請號】CN201520059154
【發明人】丁召, 周海月, 趙振, 劉健, 郭祥, 王一, 魏文喆, 黃夢雅, 羅子江
【申請人】貴州大學
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2015年1月28日