一種真空式氦檢設備的制造方法
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及密封性檢測領域，特別涉及一種真空式氦檢設備。
【背景技術】
[0002] 氦檢是對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度 要求的真空箱，真空箱與氦質譜檢漏儀檢漏口相接。若被檢工件有漏，則漏入真空箱的氦氣 可通過氦質譜檢漏儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置，在檢漏前后分別實現氦氣 的充注和回收。
[0003] 目前，市場上通用的管路以及相關產品的漏氣檢測一般采用兩種測試方法，一種 是內正壓、外嗅探測試法，另一種是內正壓、外真空測試法。
[0004] 這兩種測試方式均需要配套氦氣充填、回收裝置，然而該氦氣充填、回收裝置存在 外型偏大、成本偏高等問題；
[0005] 同時，內部正壓式的檢測方式具有檢測精度偏低等問題，而外部真空式的檢測方 式對于檢測箱體要求很高、既要耐高壓防爆功能、又要較高的密封性，也不利于實際生產和 成本控制。 【實用新型內容】
[0006] 為了解決上述的問題，本實用新型提供一種真空式氦檢設備，采用了內真空的設 計。
[0007] 上述的一種真空式氦檢設備，包括罩殼、抽真空單元、噴氦單元、檢測單元、控制單 元以及閥門，其中，所述罩殼為鋁合金框架構成的密封結構，所述抽真空單元設置有真空泵 機組，所述檢測單元包括相互連通的氣體分析儀和抽檢真空泵；
[0008] 所述閥門包括第一流道口、第二流道口以及第三流道口，所述第一流道口通過無 縫鋼管與罩殼相連通，所述第二流道口通過無縫鋼管與真空泵機組相連通，所述第三流道 口通過無縫鋼管與氣體分析儀相連通；
[0009] 所述第二流道口與真空泵機組之間的無縫鋼管上設置有真空檢測裝置。
[0010] 上述設備中，所述罩殼包括有機玻璃板、伸縮門、旋轉門、風扇以及無杠氣缸。
[0011] 上述設備中，所述抽真空單元還包括金屬支架、壓力傳感器、電磁閥、高真空氣密 元器件以及不銹鋼真空管路。
[0012] 上述設備中，所述噴氦單元包括手動閥、流量計、壓力傳感器、電磁閥、空氣過濾器 以及噴氦管道。
[0013] 上述設備中，所述檢測單元還包括壓力傳感器、高真空氣密元器件以及不銹鋼真 空官路。
[0014] 上述設備中，所述控制單元包括可編程PLC、上位機軟件、觸控屏以及強電控制元 器件。
[0015] 上述設備中，所述真空泵機組包括VD401機械泵和NB100A羅茨泵，所述抽檢真空 泵為VD401機械泵。
[0016] 本實用新型的優點和有益效果在于：本實用新型提供一種真空式氦檢設備，通過 在原有氦檢設備的基礎上進行了一定的改進，從而具備了密封要求低、測試精度高、檢測步 驟少、占地面積小、成本低、檢測效率高以及可自動化推進等優點。
【附圖說明】
[0017] 為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例 或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前 提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0018] 圖1為本實用新型中真空式氦檢設備的結構示意圖；
[0019] 圖2為本實用新型中真空式氦檢方法的原理流程圖。
[0020] 圖中：1、罩殼2、閥門21、第一流道口 22、第二流道口 23、第三流道口 31、氣體 分析儀32、抽檢真空泵4、真空泵機組5、制品6、充氦區7、真空檢測裝置
【具體實施方式】
[0021] 下面結合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施 例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范 圍。
[0022] 如圖1所示，本實用新型是一種真空式氦檢設備，包括罩殼1、抽真空單元、噴氦單 元、檢測單元、控制單元以及閥門2,且上述罩殼1為鋁合金框架構成的密封結構；優選的， 罩殼1還設置有機玻璃板、伸縮門、旋轉門、風扇以及無杠氣缸等部件，以此為真空氦檢提 供必要的密封環境。
[0023] 其中，上述抽真空單元設置有真空泵機組4,該真空泵機組4由VD401機械泵和 NB100A羅茨泵組合而成；優選的，抽真空單元還包括金屬支架、壓力傳感器、電磁閥、高真 空氣密元器件以及不銹鋼真空管路等部件，以此來實現以下功能：
[0024] 1、對工件抽真空檢查（包括第一次抽真空處理、第二次抽真空處理、第三次抽真 空處理）；
[0025] 2、通過真空度判斷工件是否存在嚴重泄露；
[0026] 3、對工件進行抽真空，為He檢漏提供真空環境；
[0027] 進一步的，上述噴氦單元主要包括手動閥、流量計、壓力傳感器，電磁閥、空氣過濾 器、噴氦管道等；在使用中，該單元可以實現向罩殼1內的充氦區6內自動噴入一定氦氣濃 度的混合氣體；
[0028] 同時，檢測單元包括相互連通的氣體分析儀31和抽檢真空泵32 ;優選的，氣體分 析儀31為LDS-3000型氦檢儀，且抽檢真空泵32為VD401機械泵，而檢測單元內還設置有 壓力傳感器、高真空氣密元器件以及不銹鋼真空管路等部件，從而對制品5起到微漏檢測 的效果。
[0029] 此外，閥門2包括第一流道口 21、第二流道口 22以及第三流道口 23,其中的第一 流道口 21通過無縫鋼管與罩殼1相連通，第二流道口 22通過無縫鋼管與真空泵機組4相 連通，第三流道口 23通過無縫鋼管與氣體分析儀31相連通；即利用該閥門2的選擇通路作 用來控制設備的使用狀況。
[0030] 更進一步的，在第二流道口 22與真空泵機組4之間的無縫鋼管上設置有真空檢測 裝置7,上述的對嚴重泄露情況的檢測就是通過該真空檢測裝置7來實現的。
[0031] 同時，上述的控制單元包括可編程PLC、上位機軟件、觸控屏以及強電控制元器件， 從而具備了以下4個功能：
[0032] 1、可以提供自動運行、手動操作兩種工作模式，分別適用于不同情況；
[0033] 2、實現了單箱或雙箱組合工作，這樣可避免設備局部故障時而不影響其它工位；
[0034] 3、可以對主要部件的運行狀態實行監控和顯示，并提示系統生產過程及生產統計 數據；
[0035] 4、具備故障報警及診斷功能，對于設備運行中的各種故障和警告信息都將實時給 出報警提示。
[0036] 本實用新型利用了一種真空式氦檢方法，如圖2所示，該方法主要包括以下步驟：
[0037] Sl :制品5自動進入檢測工位；
[0038] S2 :設備自動連接被檢制品5 ;
[0039] S3 :關閉閥門2的第三流道口 23,同時利用真空泵機組4對制品5進行第一次抽 真空處理；
[0040] S4 :利用真空檢測裝置7對制品5進行真空度判定，即檢測制品5是否存在嚴重泄 露，如存在嚴重泄露則進行步驟S5,如無嚴重泄露則進行步驟S7 ;
[0041] S5 :打開第三流道口 23并查找漏點，然后進入步驟S6 ;
[0042] S6 :修理后返回步驟Sl ;
[0043] S7 :罩體內注入低壓氮氣；
[0044] S8 :初始狀態數據確認，如數據超過設定值則進入步驟S9,如數據未超過設定值 則進入步驟SlO ;
[0045] S9 :通入新空氣并打開第三流道口 23,進而查找漏點，然后返回步驟S6 ;
[0046] SlO :設備置零，然后向罩體內注入氦氣；
[0047] Sll :利用氣體分析儀31進行查漏，如存在輕微泄露則返回步驟S9,如不存在輕微 泄露則進入步驟S12 ;
[0048] S12 :關閉閥門2,然后封入低壓氮氣；
[0049] S13 :氦檢工藝完成，進入其他工序。
[0050] 優選的，上述步驟SlO所注入的氦氣均為低壓氦氣，且氣體分析儀31是通過分析 氦氣的含量來判斷制品5是否存在輕微的泄露。
[0051] 通過上述設備和方法，使得本實用新型（內真空）相對于傳統設備具備了很多優 勢，具體如下表所示：
[0052]
【主權項】
1. 一種真空式氦檢設備，包括罩殼、抽真空單元、噴氦單元、檢測單元、控制單元以及閥 門，其特征在于，所述罩殼為鋁合金框架構成的密封結構，所述抽真空單元設置有真空泵機 組，所述檢測單元包括相互連通的氣體分析儀和抽檢真空泵； 所述閥門包括第一流道口、第二流道口以及第三流道口，所述第一流道口通過無縫鋼 管與罩殼相連通，所述第二流道口通過無縫鋼管與真空泵機組相連通，所述第三流道口通 過無縫鋼管與氣體分析儀相連通； 所述第二流道口與真空泵機組之間的無縫鋼管上設置有真空檢測裝置。
2. 根據權利要求1所述的一種真空式氦檢設備，其特征在于，所述罩殼包括有機玻璃 板、伸縮門、旋轉門、風扇以及無杠氣缸。
3. 根據權利要求1所述的一種真空式氦檢設備，其特征在于，所述抽真空單元還包括 金屬支架、壓力傳感器、電磁閥、高真空氣密元器件以及不銹鋼真空管路。
4. 根據權利要求1所述的一種真空式氦檢設備，其特征在于，所述噴氦單元包括手動 閥、流量計、壓力傳感器、電磁閥、空氣過濾器以及噴氦管道。
5. 根據權利要求1所述的一種真空式氦檢設備，其特征在于，所述檢測單元還包括壓 力傳感器、高真空氣密元器件以及不銹鋼真空管路。
6. 根據權利要求1所述的一種真空式氦檢設備，其特征在于，所述控制單元包括可編 程PLC、上位機軟件、觸控屏以及強電控制元器件。
7. 根據權利要求1所述的一種真空式氦檢設備，其特征在于，所述真空泵機組包括 VD401機械泵和NBlOOA羅茨泵，所述抽檢真空泵為VD401機械泵。
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空式氦檢設備，包括罩殼、抽真空單元、噴氦單元、檢測單元、控制單元以及閥門，該罩殼為鋁合金框架構成的密封結構，且抽真空單元設置有真空泵機組，檢測單元包括相互連通的氣體分析儀和抽檢真空泵；閥門包括第一流道口、第二流道口以及第三流道口，該第一流道口與罩殼相連通，第二流道口與真空泵機組相連通，第三流道口與氣體分析儀相連通，且第二流道口與真空泵機組之間的無縫鋼管上設置有真空檢測裝置。通過采用上述技術方案，即在原有氦檢設備的基礎上進行了一定的改進，并利用特定的方法進行氦檢，從而具備了密封要求低、測試精度高、檢測步驟少、占地面積小、成本低、檢測效率高以及可自動化推進等優點。
【IPC分類】G01M3-02, G01M3-20
【公開號】CN204314023
【申請號】CN201420556818
【發明人】汪小玲, 嚴惠峰, 謝金成, 余金忠, 向子科
【申請人】展測真空技術（上海）有限公司
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2014年9月25日