組合調零高動態精度大工作距自準直裝置與方法

組合調零高動態精度大工作距自準直裝置與方法
【專利摘要】本發明屬于精密測量技術領域與光學工程領域，具體涉及一種組合調零高動態精度大工作距自準直裝置與方法；該裝置由光源、準直鏡、反射鏡、以及反饋成像系統組成；該方法通過調整反射鏡，使反射光束回到反饋成像系統像面中心，再利用反射鏡上的角度偏轉測量裝置來得到被測物表面的角度變化；由于本發明在傳統自準直角度測量系統上增加了反射鏡，因此能夠避免被測物反射光偏離測量系統而導致無法測量的問題，進而具有在相同工作距離下增加自準直工作范圍，或在相同工作范圍下增加工作距離的優勢；此外，準直鏡、反饋成像系統、反射鏡等的具體設計，使本發明還具有結構簡單、制作成本低；同時能夠全程監測被測物裝配過程；以及快速測量的技術優勢。
【專利說明】
組合調零高動態精度大工作距自準直裝置與方法
技術領域
[0001] 本發明屬于精密測量技術領域與光學工程領域，具體涉及一種組合調零高動態精 度大工作距自準直裝置與方法。
【背景技術】
[0002] 在精密測量技術領域、光學工程領域、尖端科學實驗領域和高端精密裝備制造領 域中，迫切需求在大工作距下進行大工作范圍、高精度激光自準直技術。它支撐著上述領域 技術與儀器裝備的發展。
[0003] 在精密測量技術與儀器領域，激光自準直儀與圓光柵組合，可以進行任意線角度 測量;激光自準直技術與多面棱體組合，可以進行面角度測量和圓分度測量;最大工作距離 從幾米至上百米;分辨力從0.1角秒至0.001角秒。
[0004] 在光學工程領域和尖端科學實驗領域，激光自準直儀與兩維互為垂直的兩個圓光 柵組合，可以進行空間角度的測量；由兩路激光自準直儀組成位置基準，可以進行兩兩光軸 夾角或平行性的測量。角度工作范圍幾十角秒至幾十角分。
[0005] 在尖端科學實驗裝置和高端精密裝備制造領域，采用激光自準直儀可以測量尖端 科學實驗裝置和高端精密裝備回轉運動基準的角回轉精度，測量直線運動基準的空間直線 精度和兩兩運動基準的平行度和垂直度。
[0006] 激光自準直技術具有非接觸、測量精度高、使用方便等優點，在上述領域中具有廣 泛應用。
[0007] 傳統自準直儀如圖1所示，該系統包括光源1、透射式準直鏡21、以及反饋成像系統 6;光源1出射的光束，經過透射式準直鏡21準直成平行光束后，入射到被測物5的反射面;從 被測物5反射面反射的光束，由反饋成像系統6采集成像。這種結構下，只有從被測物5表面 反射的光束近原路返回，才能被反饋成像系統6采集成像，進而實現有效測量。這個近原路 返回的條件限制，使得該系統存在以下兩方面缺點：
[0008] 第一、被測對象5反射鏡面法線與激光自準直儀光軸夾角的范圍不能太大，否則會 造成反射光束偏離激光自準直儀光學系統的入瞳，進而導致無法實現自準直和微角度測 量；
[0009] 第二、被測對象5反射鏡面距離測量激光自準直儀入瞳不能太遠，否則只要反射光 軸與自準直儀光軸偏離微小角度就會造成反射光束偏離激光自準直儀光學系統的入瞳，進 而導致無法實現自準直和微角度測量。
[0010] 以上兩個問題，使傳統自準直儀器只能限定在小角度、小工作距離下使用。

【發明內容】

[0011] 針對傳統自準直儀所存在的兩個問題，本發明公開了一種組合調零高動態精度大 工作距自準直裝置與方法，同傳統自準直儀相比，具有在相同工作距離下顯著增加自準直 工作范圍，或在相同自準直工作范圍下顯著增加工作距離的技術優勢。
[0012] 本發明的目的是這樣實現的：
[0013] 組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，包括光源、透射式準直鏡、反射鏡、以 及反饋成像系統，所述反射鏡上設置有角度調整測量裝置;光源出射的光束，經過透射式準 直鏡準直成平行光束后，再由反射鏡反射，入射到被測物的表面;從被測物表面反射的光 束，再經過反射鏡反射后，由反饋成像系統采集成像；
[0014] 所述反饋成像系統為以下兩種形式中的：
[0015] 第一、反饋成像系統包括圖像傳感器成像系統和四象限探測器成像系統；
[0016]所述圖像傳感器成像系統包括第一反饋分光鏡和設置在透射式準直鏡焦點處的 圖像傳感器;從被測物表面反射的光束，再經過反射鏡反射后，先后經過透射式準直鏡投 射、第一反饋分光鏡反射、由圖像傳感器采集成像;在被測物表面與光軸垂直的條件下，圖 像傳感器所成點像在像面中心位置；
[0017] 或
[0018] 所述圖像傳感器成像系統包括第一反饋分光鏡、第一反饋物鏡和設置在第一反饋 物鏡焦點處的圖像傳感器;從被測物表面反射的光束，再經過反射鏡反射后，先后經過第一 反饋分光鏡反射、第一反饋物鏡透射、由圖像傳感器采集成像;在被測物表面與光軸垂直的 條件下，圖像傳感器所成點像在像面中心位置；
[0019] 所述四象限探測器成像系統包括第二反饋分光鏡和設置在透射式準直鏡焦點處 的四象限探測器;從被測物表面反射的光束，再經過反射鏡反射后，先后經過透射式準直鏡 投射、第一反饋分光鏡反射、由四象限探測器采集成像;在被測物表面與光軸垂直的條件 下，四象限探測器所成點像在像面中心位置；
[0020] 或
[0021] 所述四象限探測器成像系統包括第二反饋分光鏡、第二反饋物鏡和設置在第二反 饋物鏡焦點處的四象限探測器;從被測物表面反射的光束，再經過反射鏡反射后，先后經過 第二反饋分光鏡反射、第二反饋物鏡透射、由四象限探測器采集成像;在被測物表面與光軸 垂直的條件下，四象限探測器所成點像在像面中心位置；
[0022] 第二、反饋成像系統包括第一反饋分光鏡、以及由導軌承載的圖像傳感器和四象 限探測器，所述導軌共有兩個停頓位置，一個停頓位置使圖像傳感器像面中心對應透射式 準直鏡的焦點位置，另一個停頓位置使四象限探測器像面中心對應透射式準直鏡的焦點位 置；
[0023] 或
[0024] 反饋成像系統包括第一反饋分光鏡、第一反饋物鏡、以及由導軌承載的圖像傳感 器和四象限探測器，所述導軌共有兩個停頓位置，一個停頓位置使圖像傳感器像面中心位 于第一反饋物鏡的焦點位置，另一個停頓位置使四象限探測器像面中心位于第一反饋物鏡 的焦點位置；
[0025] 所述角度調整測量裝置包括設置在反射鏡上的角度調整裝置、角度偏轉測量裝 置、以及萬向軸，角度調整裝置包括第一驅動器和第二驅動器;角度偏轉測量裝置包括第一 金屬片、第二金屬片、第一反射鏡、第二反射鏡、對應第一金屬片位置的第一電容傳感器、以 及對應第二金屬片位置的第二電容傳感器、對應第一反射鏡位置的第一激光干涉儀、以及 對應第二反射鏡位置的第二激光干涉儀;第一驅動器、第一金屬片、第一反射鏡、以及萬向 軸在一條直線上，第二驅動器、第二金屬片、第二反射鏡、以及萬向軸在一條直線上，并且第 一驅動器與萬向軸的連線垂直第二驅動器與萬向軸的連線。
[0026] 在上述便攜式組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實現的便攜式組合調 零高動態精度大工作距自準直方法，包括以下步驟：
[0027] 步驟a、點亮光源，圖像傳感器成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器 和第二驅動器調整反射鏡角度，使點像回到圖像傳感器像面中心區域；
[0028] 步驟b、四象限探測器成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器像面中心位 置A x和A y，利用第一驅動器和第二驅動器調整反射鏡角度，使點像回到四象限探測器像 面中心位置；
[0029] 步驟c、讀取第一電容傳感器的電容變化A C1，以及第二電容傳感器的電容變化A C2， 再轉換為反射鏡的角度變化△ 91和AW，同時讀取第一激光干涉儀得到的位移變化A xl，以 及第二激光干涉儀得到的位移變化A x2,再轉換為反射鏡的角度變化A 02和A(p2,進而得到 被測物表面的角度變化 A a和 A ;其中，A 01 =f 1 ( A Cl，A C2)，1 =P2(ACl,AC2)，\ = f3( A xl, A x2) , AfP2=r4(Axi.Ax2), Aa=r5(Am.AG2，A(pUAcp2)^pAp_「6(A91，A92,A(p1.A92):fl、 f2、f3、f4表示4個函數。
[0030]上述組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，還包括波前探測系統和波前補償 系統；
[0031 ]所述波前探測系統包括波前探測分光鏡、以及空氣擾動波前探測器和反射鏡形變 波前探測器中的至少一個;所述波前探測分光鏡設置在反射鏡與被測物之間，空氣擾動波 前探測器設置在波前探測分光鏡的反射光路上，反射鏡形變波前探測器設置在反射鏡的二 次反射光路上；
[0032]所述波前補償系統包括補償光源、補償準直鏡、以及透射式液晶空間光調制器;補 償光源出射的光束，經過補償準直鏡準直成平行光束后，再由透射式液晶空間光調制器調 制，入射到波前探測分光鏡上。
[0033]在上述便攜式組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實現的便攜式組合調 零高動態精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統僅包括波前探測分光鏡和空氣擾動 波前探測器；
[0034] 包括以下步驟：
[0035]步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；
[0036]步驟b、點亮光源，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B， 空氣擾動波前探測器分別得到GA和GB兩組數據；
[0037]步驟c、Gl=GA_GB，得到空氣擾動造成的波前變化；
[0038] 步驟d、按照f5(Gl)調整透射式液晶空間光調制器參數，點亮補償光源，補償空氣 擾動；
[0039] 步驟e、圖像傳感器成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器和第二驅 動器調整反射鏡角度，使點像回到圖像傳感器像面中心區域；
[0040] 步驟f、四象限探測器成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器像面中心位 置A x和A y，利用第一驅動器和第二驅動器調整反射鏡角度，使點像回到四象限探測器像 面中心位置；
[0041 ] 步驟g、讀取第一電容傳感器的電容變化A Cl，以及第二電容傳感器的電容變化A C2，再轉換為反射鏡的角度變化A 01和Acpl，同時讀取第一激光干涉儀得到的位移變化A xl，以及第二激光干涉儀得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡的角度變化A 02和Aq>2,進 而得到被測物表面的角度變化A a和A 其中，A 01 = f 1( A Cl，\ C2)，Aq>l=r2(AC'l，AC2)， A02 = f3(Axl，Ax2)，Acp2=f4(Axl,Ax2).Aa=f5(Ml，Ae2,Aq).l，A(p2):^pAP=r6(A01，Ae2,Aq)l,Aq)2) :fl、 f2、f3、f4表示4個函數。
[0042]在上述便攜式組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實現的便攜式組合調 零高動態精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統僅包括波前探測分光鏡和反射鏡形 變波前探測器；
[0043] 包括以下步驟：
[0044] 步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；
[0045] 步驟b、點亮光源，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B， 反射鏡形變波前探測器分別得到GC和GD兩組數據；
[0046]步驟c、G2=GC_GD，得到空氣擾動和反射鏡形變共同造成的波前變化；
[0047] 步驟d、按照f5(G2)調整透射式液晶空間光調制器參數，點亮補償光源，補償空氣 擾動和反射鏡形變；
[0048] 步驟e、圖像傳感器成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器和第二驅 動器調整反射鏡角度，使點像回到圖像傳感器像面中心區域；
[0049] 步驟f、四象限探測器成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器像面中心位 置A x和A y，利用第一驅動器和第二驅動器調整反射鏡角度，使點像回到四象限探測器像 面中心位置；
[0050] 步驟g、讀取第一電容傳感器的電容變化A C1，以及第二電容傳感器的電容變化A C2,再轉換為反射鏡的角度變化A 01和Aq>l，同時讀取第一激光干涉儀得到的位移變化A xl，以及第二激光干涉儀得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡的角度變化A 02和Aq>2,進 而得到被測物表面的角度變化A a和A 其中，A 01 = f 1 ( A Cl，A C2)，A(pl=G(ACl，AC2)， A 02 = f3( A xl，A x2)，Aq)2=r4(Axl,Ax2)，Aa=r5(A91,Ae2，A(pl,A(p2>:和Ap=l、6(Am，A92，Aq)l，A(p2) ; fl、f 2、f 3、f 4表示4個函數。
[0051]在上述便攜式組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實現的便攜式組合調 零高動態精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統同時包括波前探測分光鏡、空氣擾 動波前探測器和反射鏡形變波前探測器；
[0052] 包括以下步驟：
[0053]步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；
[0054]步驟b、點亮光源，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B， 空氣擾動波前探測器分別得到GA和GB兩組數據，反射鏡形變波前探測器分別得到GC和GD兩 組數據；
[0055] 步驟c、G1 =GA-GB，得到空氣擾動造成的波前變化;G2 = GC-GD，得到空氣擾動和反 射鏡形變共同造成的波前變化;G=G2-G1，得到反射鏡形變造成的波前變化；
[0056]步驟 d、
[0057] 按照f5(Gl)調整透射式液晶空間光調制器參數，點亮補償光源，補償空氣擾動；
[0058] 或
[0059] 按照f5(G2)調整透射式液晶空間光調制器參數，點亮補償光源，補償空氣擾動和 反射鏡形變；
[0060] 或
[0061] 按照f5(G)調整透射式液晶空間光調制器參數，點亮補償光源，補償反射鏡形變；
[0062] 步驟e、圖像傳感器成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器和第二驅 動器調整反射鏡角度，使點像回到圖像傳感器像面中心區域；
[0063] 步驟f、四象限探測器成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器像面中心位 置A x和A y，利用第一驅動器和第二驅動器調整反射鏡角度，使點像回到四象限探測器像 面中心位置；
[0064] 步驟g、讀取第一電容傳感器的電容變化A C1，以及第二電容傳感器的電容變化A C2,再轉換為反射鏡的角度變化A 01和Acpl，同時讀取第一激光干涉儀得到的位移變化A xl，以及第二激光干涉儀得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡的角度變化A 02和A(p2,進 而得到被測物表面的角度變化A a和A 0;其中，A 01 = f 1 ( A Cl，\ C2)，Aq> 1 =I2(AC 1，AC2)， A 02 = f3( A xl，A x2)，A(p2=t4(Axl,Ax2)., Aa=f5(A01，A92，A<pl，A(p2)^P.A|3=f6.(A.91.，A02,A(pl.，A{p:2).; fl、f 2、f 3、f 4表示4個函數。
[0065] 有益效果：
[0066]同傳統自準直儀相比，本發明增加了反射鏡以及設置在反射鏡上的角度調整測量 裝置，這種結構設置，能夠在被測物入射光和反射光之間具有較大偏角或存在較大橫向位 移的情況下，通過角度調整測量裝置調整反射鏡姿態，確保反射光原路返回并被反饋成像 系統接收，進而有效避免被測物反射光偏離測量系統而導致無法測量的問題，進而使得本 發明具有在相同工作距離下顯著增加自準直工作范圍，或在相同自準直工作范圍下顯著增 加工作距離的技術優勢。
[0067]除此之外，本發明還具有以下幾技術優勢：
[0068]第一、選擇透射式準直鏡，使本發明裝置結構簡單，制作成本低，使用方便；
[0069] 第二、選擇圖像傳感器和四象限探測器共同作為反饋成像系統中的成像器件，結 合了圖像傳感器面積大以及四象限探測器位置分辨率高的優勢；其中，圖像傳感器能夠確 保在被測物反射光與入射光偏角較大的情況下，反射光仍能夠進入光學系統的入瞳，不會 超出接收范圍；在此基礎上，再利用反射鏡實現反射光快速實時回位補償，將反射光調整到 四象限探測器所在位置，又能根據四象限探測器的高位置分辨率優勢來獲得更高的角度測 量精度;因此，將圖像傳感器和四象限探測器相結合，不僅使得本發明自準直工作范圍或工 作距離得到極大延展，而且有利于提高角度測量精度；
[0070] 第三、選擇電容傳感器和激光干涉儀共同作為角度偏轉測量裝置，使得本發明不 僅能夠利用電容傳感器的超高位移靈敏度特性和在微小角度范圍內線位移易于轉換為角 位移的優良特性，使得本發明能夠在低采樣頻率(20HZ及以下)條件下具有非常高的測量精 度，角度最高測量分辨力可從傳統自準直儀的〇. 005角秒提高到0.0005角秒，提高一個數量 級;而且激光干涉儀還能夠使得本發明能夠在高采樣頻率(最高能達到2000Hz)下完成角度 測量，即具有很高的測量速度;如果第一反射鏡和第二反射鏡采用角錐棱鏡，還可以利用角 錐棱鏡將入射光線偏轉180度返回的光學特性，使本發明的角度測量范圍得到極大增強，SP 本發明具有很高測量速度的同時，還具有大角度量程的技術優勢;二者相結合，還能起到對 有高精度裝配需求的被測物進行全程監測的作用；
[0071] 第四、本發明還采用了以下技術:第一驅動器、第一金屬片、第一反射鏡、以及萬向 軸在一條直線上，第二驅動器、第二金屬片、第二反射鏡、以及萬向軸在一條直線上，并且第 一驅動器與萬向軸的連線垂直第二驅動器與萬向軸的連線;這種兩條連線相互垂直的二維 設置，使得不同連線方向的數據互不干涉，無需解耦運算，這樣能夠方便標定，簡化計算過 程，提高測量速度。
【附圖說明】
[0072] 圖1是傳統自準直角度測量系統的結構示意圖。
[0073]圖2是本發明組合調零高動態精度大工作距自準直裝置具體實施例一的結構示意 圖。
[0074]圖3是角度調整測量裝置的結構示意圖。
[0075] 圖4是圖像傳感器成像系統的第二種結構示意圖。
[0076] 圖5是四象限探測器成像系統的第二種結構示意圖。
[0077]圖6是本發明組合調零高動態精度大工作距自準直裝置具體實施例二的第一種結 構示意圖。
[0078]圖7是本發明組合調零高動態精度大工作距自準直裝置具體實施例二的第二種結 構示意圖。
[0079]圖8是本發明組合調零高動態精度大工作距自準直裝置具體實施例三的結構示意圖。 [0080]圖9是本發明組合調零高動態精度大工作距自準直裝置具體實施例四的結構示意圖。
[0081] 圖10是本發明組合調零高動態精度大工作距自準直裝置具體實施例五的結構示 意圖。
[0082] 圖中：1光源、21透射式準直鏡、3反射鏡、4角度調整測量裝置、411第一驅動器、412 第二驅動器、421第一金屬片、422第二金屬片、423第一電容傳感器、424第二電容傳感器、 425第一反射鏡、426第二反射鏡、427第一激光干涉儀、428第二激光干涉儀、43萬向軸、5被 測物、6反饋成像系統、61第一反饋分光鏡、62第二反饋分光鏡、63第一反饋物鏡、64第二反 饋物鏡、65圖像傳感器、66四象限探測器、68導軌、7波前探測系統、71波前探測分光鏡、72空 氣擾動波前探測器、73反射鏡形變波前探測器、8波前補償系統、81補償光源、82補償準直 鏡、83透射式液晶空間光調制器。 具體實施例
[0083]下面結合附圖對本發明具體實施例作進一步詳細描述。
[0084] 具體實施例一
[0085]本實施例是組合調零高動態精度大工作距自準直裝置實施例。
[0086]本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，結構示意圖如圖2所示。該 自準直裝置包括光源1、透射式準直鏡21、反射鏡3、以及反饋成像系統6，所述反射鏡3上設 置有角度調整測量裝置4;光源1出射的光束，經過透射式準直鏡21準直成平行光束后，再由 反射鏡3反射，入射到被測物5的表面;從被測物5表面反射的光束，再經過反射鏡3反射后， 由反饋成像系統6采集成像；
[0087] 所述反饋成像系統6包括圖像傳感器成像系統和四象限探測器成像系統；
[0088] 所述圖像傳感器成像系統包括第一反饋分光鏡61和設置在透射式準直鏡21焦點 處的圖像傳感器65;從被測物5表面反射的光束，再經過反射鏡3反射后，先后經過透射式準 直鏡21投射、第一反饋分光鏡61反射、由圖像傳感器65米集成像;在被測物5表面與光軸垂 直的條件下，圖像傳感器65所成點像在像面中心位置；
[0089]所述四象限探測器成像系統包括第二反饋分光鏡62、第二反饋物鏡64和設置在第 二反饋物鏡64焦點處的四象限探測器66;從被測物5表面反射的光束，再經過反射鏡3反射 后，先后經過第二反饋分光鏡62反射、第二反饋物鏡64透射、由四象限探測器66采集成像； 在被測物5表面與光軸垂直的條件下，四象限探測器66所成點像在像面中心位置；
[0090] 所述角度調整測量裝置4包括設置在反射鏡3上的角度調整裝置、角度偏轉測量裝 置、以及萬向軸43,角度調整裝置包括第一驅動器411和第二驅動器412;角度偏轉測量裝置 包括第一金屬片421、第二金屬片422、第一反射鏡425、第二反射鏡426、對應第一金屬片421 位置的第一電容傳感器423、以及對應第二金屬片422位置的第二電容傳感器424、對應第一 反射鏡425位置的第一激光干涉儀427、以及對應第二反射鏡426位置的第二激光干涉儀 428;第一驅動器411、第一金屬片421、第一反射鏡425、以及萬向軸43在一條直線上，第二驅 動器412、第二金屬片422、第二反射鏡426、以及萬向軸43在一條直線上，并且第一驅動器 411與萬向軸43的連線垂直第二驅動器412與萬向軸43的連線，如圖3所示。
[0091] 需要說明的是：
[0092] 第一、在本實施例中，圖像傳感器成像系統還可以選擇如下結構:包括第一反饋分 光鏡61、第一反饋物鏡63和設置在第一反饋物鏡63焦點處的圖像傳感器65;從被測物5表面 反射的光束，再經過反射鏡3反射后，先后經過第一反饋分光鏡61反射、第一反饋物鏡63透 射、由圖像傳感器65采集成像;在被測物5表面與光軸垂直的條件下，圖像傳感器65所成點 像在像面中心位置;如圖4所示，在該附圖中，省略了四象限探測器成像系統。
[0093] 第二、在本實施例中，四象限探測器成像系統還可以選擇如下結構:包括第二反饋 分光鏡62和設置在透射式準直鏡21焦點處的四象限探測器66;從被測物5表面反射的光束， 再經過反射鏡3反射后，先后經過透射式準直鏡21投射、第一反饋分光鏡61反射、由四象限 探測器66采集成像;在被測物5表面與光軸垂直的條件下，四象限探測器66所成點像在像面 中心位置;如圖5所示，在該附圖中，省略了圖像傳感器成像系統。
[0094]具體實施例二
[0095]本實施例是組合調零高動態精度大工作距自準直裝置實施例。
[0096]本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，與具體實施例一的不同在 于反饋成像系統6的結構;本實施例反饋成像系統6的結構為以下兩種形式中的一種：
[0097]第一、反饋成像系統6包括第一反饋分光鏡61、以及由導軌68承載的圖像傳感器65 和四象限探測器66,如圖6所示;所述導軌68共有兩個停頓位置，一個停頓位置使圖像傳感 器65像面中心對應透射式準直鏡21的焦點位置，另一個停頓位置使四象限探測器66像面中 心對應透射式準直鏡21的焦點位置；
[0098]第二、反饋成像系統6包括第一反饋分光鏡61、第一反饋物鏡63、以及由導軌68承 載的圖像傳感器65和四象限探測器66，如圖7所示;所述導軌68共有兩個停頓位置，一個停 頓位置使圖像傳感器65像面中心位于第一反饋物鏡63的焦點位置，另一個停頓位置使四象 限探測器66像面中心位于第一反饋物鏡63的焦點位置。
[0099]具體實施例三
[0100] 本實施例是組合調零高動態精度大工作距自準直裝置實施例。
[0101] 本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，結構示意圖如圖8所示。在 具體實施例一的基礎上，本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置還設置有波 前探測系統7和波前補償系統8;
[0102] 所述波前探測系統7包括波前探測分光鏡71和空氣擾動波前探測器72;所述波前 探測分光鏡71設置在反射鏡3與被測物5之間，空氣擾動波前探測器72設置在波前探測分光 鏡71的反射光路上，反射鏡形變波前探測器73設置在反射鏡3的二次反射光路上；
[0103]所述波前補償系統8包括補償光源81、補償準直鏡82、以及透射式液晶空間光調制 器83;補償光源81出射的光束，經過補償準直鏡82準直成平行光束后，再由透射式液晶空間 光調制器83調制，入射到波前探測分光鏡71上。
[0104]具體實施例四
[0105]本實施例是組合調零高動態精度大工作距自準直裝置實施例。
[0106] 本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，結構示意圖如圖9所示。在 具體實施例一的基礎上，本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置還設置有波 前探測系統7和波前補償系統8;
[0107] 所述波前探測系統7包括波前探測分光鏡71和反射鏡形變波前探測器73;所述波 前探測分光鏡71設置在反射鏡3與被測物5之間，空氣擾動波前探測器72設置在波前探測分 光鏡71的反射光路上，反射鏡形變波前探測器73設置在反射鏡3的二次反射光路上；
[0108]所述波前補償系統8包括補償光源81、補償準直鏡82、以及透射式液晶空間光調制 器83;補償光源81出射的光束，經過補償準直鏡82準直成平行光束后，再由透射式液晶空間 光調制器83調制，入射到波前探測分光鏡71上。
[0109] 具體實施例五
[0110]本實施例是組合調零高動態精度大工作距自準直裝置實施例。
[0111]本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，結構示意圖如圖10所示。 在具體實施例一的基礎上，本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置還設置有 波前探測系統7和波前補償系統8;
[0112]所述波前探測系統7包括波前探測分光鏡71、空氣擾動波前探測器72和反射鏡形 變波前探測器73;所述波前探測分光鏡71設置在反射鏡3與被測物5之間，空氣擾動波前探 測器72設置在波前探測分光鏡71的反射光路上，反射鏡形變波前探測器73設置在反射鏡3 的二次反射光路上；
[0113]所述波前補償系統8包括補償光源81、補償準直鏡82、以及透射式液晶空間光調制 器83;補償光源81出射的光束，經過補償準直鏡82準直成平行光束后，再由透射式液晶空間 光調制器83調制，入射到波前探測分光鏡71上。
[0114] 對于以上自準直裝置實施例，還有以下四點需要說明：
[0115] 第一、所述角度調整裝置中的第一驅動器411和第二驅動器412,既可以選擇驅動 速度較快的步進電機或伺服電機驅動器，又可以選擇驅動精度較高的壓電陶瓷驅動器，還 可以將步進電機或伺服電機驅動器與壓電陶瓷驅動器混合使用;本領域技術人員可以根據 實際需要進行合理選擇。
[0116] 第二、雖然具體實施例三、具體實施例四、以及具體實施例五，都是在具體實施例 一的基礎上設置波前探測系統7和波前補償系統8,但是在具體實施例二的基礎上設置波前 探測系統7和波前補償系統8,也成立。本領域技術人員能夠結合具體實施例一所述裝置與 具體實施例二所述裝置之間的不同，輕而易舉地將這三個在具體實施例二基礎上設置波前 探測系統7和波前補償系統8的系統搭建出來，因此在此處不再詳細說明。
[0117] 第三、所述透射式準直鏡21可以選擇二元光學透鏡，通普通光學透鏡相比，二元光 學透鏡更薄，有利于系統小型化，同時二元光學透鏡準直性更好，有利于提高系統測量精 度。
[0118] 第四、在以上所有自準直裝置實施例中，角度偏轉測量裝置都只包括兩對金屬片 和電容傳感器的組合，以及兩對平面反射鏡和激光干涉儀的組合，這種設計是默認反射鏡3 在工作過程中不產生平移而做出的；如果考慮到反射鏡3在工作中產生平移而影響測量精 度，可以在萬向軸43位置處放置第三對金屬片和電容傳感器的組合，以及第三對平面反射 鏡和激光干涉儀的組合，以抵消三個電容傳感器以及三個激光干涉儀產生的相同平移，確 保測量精度。具體實施例六
[0119]本實施例是在具體實施例一所述組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實 現的組合調零高動態精度大工作距自準直方法實施例。
[0120] 本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直方法，包括以下步驟：
[0121] 步驟a、點亮光源1，圖像傳感器65成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅 動器411和第二驅動器412調整反射鏡3角度，使點像回到圖像傳感器65像面中心區域；
[0122] 步驟b、四象限探測器66成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器66像面中 心位置A x和A y，利用第一驅動器411和第二驅動器412調整反射鏡3角度，使點像回到四象 限探測器66像面中心位置；
[0123] 步驟c、讀取第一電容傳感器423的電容變化A C1，以及第二電容傳感器424的電容 變化A C2,再轉換為反射鏡3的角度變化A 01和Acpl，同時讀取第一激光干涉儀427得到的位 移變化A xl，以及第二激光干涉儀428得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡3的角度變化 A 02和Acp2,進而得到被測物5表面的角度變化A a和A 其中，A 01 = fl( A Cl，A C2)， A(pl=l2(ACl，AC2)，A 02 = f3( A xl，A X2)，A(p2=f4(Axl,Ax2)， Aot=6：(Aei,A02,Atpl,Aq)2) 和雄=l、6( , A92, A(p l,A(p:2); fl、f2、f3、f4表示 4個函數。
[0124] 需要說明的是，如果本實施例是在具體實施例二所述裝置上實現的方法，那么在 點像回到圖像傳感器65像面中心區域后，導軌68從一個停頓位置調整到另一個停頓位置， 使四象限探測器66像面中心對應透射式準直鏡21的焦點位置，再使四象限探測器66進行成 像。
[0125] 本發明的主創新點在于增加了反射鏡3以及設置在反射鏡3上的角度調整測量裝 置4,這種結構能夠在被測物5入射光和反射光之間具有較大偏角或存在較大橫向位移的情 況下，通過角度調整測量裝置調4整反射鏡姿態，使反射光原路返回并被反饋成像系統6接 收，有效避免被測物反射光偏離測量系統而導致無法測量的問題。
[0126] 然而，反射鏡3的引入，其面型誤差會傳遞到最終結果中，降低系統的測量精度；同 時，工作距離的增加又使得反射鏡3與被測物5之間的空氣擾動不可忽略，也會降低系統的 測量精度。可見，要想實現高精度測量，就必須考慮到反射鏡3面型誤差以及反射鏡3與被測 物5之間空氣擾動對測量結果的影響，為此，設計了具體實施例七、具體實施例八、以及具體 實施例九。
[0127] 具體實施例七
[0128] 本實施例是在具體實施例三所述組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實 現的組合調零高動態精度大工作距自準直方法實施例。
[0129] 本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直方法，包括以下步驟：
[0130] 步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；
[0131] 步驟b、點亮光源1，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置 B，空氣擾動波前探測器72分別得到GA和GB兩組數據；
[0132] 步驟c、Gl=GA_GB，得到空氣擾動造成的波前變化；
[0133] 步驟d、按照f5(Gl)調整透射式液晶空間光調制器83參數，點亮補償光源81，補償 空氣擾動；
[0134] 步驟e、圖像傳感器65成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器411和第 二驅動器412調整反射鏡3角度，使點像回到圖像傳感器65像面中心區域；
[0135] 步驟f、四象限探測器66成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器66像面中 心位置A x和A y，利用第一驅動器411和第二驅動器412調整反射鏡3角度，使點像回到四象 限探測器66像面中心位置；
[0136] 步驟g、讀取第一電容傳感器423的電容變化A C1，以及第二電容傳感器424的電容 變化A C2,再轉換為反射鏡3的角度變化A 01和AcpL同時讀取第一激光干涉儀427得到的 位移變化A xl，以及第二激光干涉儀428得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡3的角度變 化A02和Aq>2,進而得到被測物5表面的角度變化Act和A0;其中，A01=fl( AC1，AC2)， Acp.l=f2(ACl,AC2)，A 02 = f3( A xl，A x2)，A(p2=r4(Ax 1，Ax2)， Aa=f5(AB 1 ,AB2,A(p 1 ,A(p2) 和 Ap=r6(M I ,M2 Acp 1.4q>2); fl、f2、f3、f4表示 4個函數。
[0137] 在具體實施例三的裝置上實施本實施例的方法，能夠利用空氣擾動波前探測器72 將空氣擾動進行分離，進而利用波前補償系統8對空氣擾動進行補償，最終實現無空氣擾動 影響的高精度測量。
[0138] 具體實施例八
[0139] 本實施例是在具體實施例四所述組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實 現的組合調零高動態精度大工作距自準直方法實施例。
[0140] 本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直方法，包括以下步驟：
[0141] 步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；
[0142] 步驟b、點亮光源1，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置 B，反射鏡形變波前探測器73分別得到GC和GD兩組數據；
[0143] 步驟c、G2=GC_GD，得到空氣擾動和反射鏡形變共同造成的波前變化；
[0144] 步驟d、按照f5(G2)調整透射式液晶空間光調制器83參數，點亮補償光源81，補償 空氣擾動和反射鏡形變；
[0145] 步驟e、圖像傳感器65成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器411和第 二驅動器412調整反射鏡3角度，使點像回到圖像傳感器65像面中心區域；
[0146] 步驟f、四象限探測器66成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器66像面中 心位置A x和A y，利用第一驅動器411和第二驅動器412調整反射鏡3角度，使點像回到四象 限探測器66像面中心位置；
[0147] 步驟g、讀取第一電容傳感器423的電容變化A C1，以及第二電容傳感器424的電容 變化A C2，再轉換為反射鏡3的角度變化A 01和A(pl，同時讀取第一激光干涉儀427得到的 位移變化A xl，以及第二激光干涉儀428得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡3的角度變 化A 02和進而得到被測物5表面的角度變化A a和A 其中，A 01 = f 1 ( A Cl，A C2)， A(pl=(2(ACl,AC2) . \ 〇2= l'3( A xl, A x2), A(p2=f4(Ax 1 .Ax2) , Aa=('5(AB 1 ,AB2.A(p 1 ,A(p2) 和 Ap=.r6(M 1 ,A(-)2, A(j) 1 ,/\92);：|；1、1；'2、1；'3、1；'4表示4個函數。
[0148] 在具體實施例四的裝置上實施本實施例的方法，能夠利用反射鏡形變波前探測器 73將空氣擾動與反射鏡形變進行整體分離，進而利用波前補償系統8對空氣擾動與反射鏡 形變進行整體補償，最終實現無空氣擾動和反射鏡形變影響的高精度測量。
[0149] 具體實施例九
[0150] 本實施例是在具體實施例五所述組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實 現的組合調零高動態精度大工作距自準直方法實施例。
[0151 ]本實施例的組合調零高動態精度大工作距自準直方法，包括以下步驟：
[0152] 步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；
[0153] 步驟b、點亮光源1，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置 B，空氣擾動波前探測器72分別得到GA和GB兩組數據，反射鏡形變波前探測器73分別得到GC 和⑶兩組數據；
[0154] 步驟c、G1 =GA-GB，得到空氣擾動造成的波前變化;G2 = GC-GD，得到空氣擾動和反 射鏡形變共同造成的波前變化;G=G2-G1，得到反射鏡形變造成的波前變化；
[0155]步驟 d、
[0156]按照f5(Gl)調整透射式液晶空間光調制器83參數，點亮補償光源81，補償空氣擾 動；
[0157] 或
[0158] 按照f5(G2)調整透射式液晶空間光調制器83參數，點亮補償光源81，補償空氣擾 動和反射鏡形變；
[0159] 或
[0160]按照f5(G)調整透射式液晶空間光調制器83參數，點亮補償光源81，補償反射鏡形 變；
[0161]步驟e、圖像傳感器65成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器411和第 二驅動器412調整反射鏡3角度，使點像回到圖像傳感器65像面中心區域；
[0162] 步驟f、四象限探測器66成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器66像面中 心位置A x和A y，利用第一驅動器411和第二驅動器412調整反射鏡3角度，使點像回到四象 限探測器66像面中心位置；
[0163] 步驟g、讀取第一電容傳感器423的電容變化A C1，以及第二電容傳感器424的電容 變化A C2,再轉換為反射鏡3的角度變化A 01和Atpl，同時讀取第一激光干涉儀427得到的 位移變化A xl，以及第二激光干涉儀428得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡3的角度變 化A02和Aq>2:，進而得到被測物5表面的角度變化Act和A0;其中，A01=fl( AC1，AC2)， Acpl^OCAC'UAC^) . \ 〇2 = f3( A xl, A x2), A(p2=!'4(Axl,Ax2) , Aa=f5(A01,A02,A(pi,A(to2) 和 Ap=f6(A9 丨，A92, A(p 丨，A(p2); fl、f2、f3、f4表示 4個函數。
[0164] 在具體實施例五的裝置上實施本實施例的方法，能夠利用空氣擾動波前探測器72 和反射鏡形變波前探測器73將空氣擾動和反射鏡形變進行單獨分離，進而選擇性地對空氣 擾動進行單獨補償、對反射鏡形變進行單獨補償、或對空氣擾動與反射鏡形變進行整體補 償，最終實現無空氣擾動、或無反射鏡形變、或無空氣擾動和反射鏡形變影響的高精度測 量。
[0165] 本實施例還有一個優點，那就是將空氣擾動和反射鏡形變單獨分離后，能對每一 部分對結果的影響大小進行單獨評估，不僅能夠找出空氣擾動和反射鏡形變中，誰是影響 測量精度的主要矛盾，而且能夠對反射鏡變形進行單獨評估，同時對反射鏡加工質量進行 有效評價。
[0166] 還需要說明的是，如果具體實施例三、具體實施例四、以及具體實施例五是基于具 體實施例二而搭建的裝置，那么在具體實施例七、具體實施例八、以及具體實施例九中，在 點像回到圖像傳感器65像面中心區域后，導軌68從一個停頓位置調整到另一個停頓位置， 使四象限探測器66像面中心對應透射式準直鏡21的焦點位置，再使四象限探測器66進行成 像。
【主權項】
1.組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，其特征在于，包括光源（1 )、透射式準直 鏡（21)、反射鏡（3)、以及反饋成像系統（6)，所述反射鏡（3)上設置有角度調整測量裝置 (4) ;光源（1)出射的光束，經過透射式準直鏡(21)準直成平行光束后，再由反射鏡(3)反射， 入射到被測物(5)的表面;從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3)反射后，由反饋 成像系統(6)采集成像； 所述反饋成像系統(6)為以下兩種形式中的： 第一、反饋成像系統(6)包括圖像傳感器成像系統和四象限探測器成像系統； 所述圖像傳感器成像系統包括第一反饋分光鏡(61)和設置在透射式準直鏡（21)焦點 處的圖像傳感器(65);從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3)反射后，先后經過透 射式準直鏡（21)投射、第一反饋分光鏡(61)反射、由圖像傳感器(65)采集成像;在被測物 (5) 表面與光軸垂直的條件下，圖像傳感器(65)所成點像在像面中心位置； 或 所述圖像傳感器成像系統包括第一反饋分光鏡(61)、第一反饋物鏡(63)和設置在第一 反饋物鏡(63)焦點處的圖像傳感器(65);從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3) 反射后，先后經過第一反饋分光鏡(61)反射、第一反饋物鏡(63)透射、由圖像傳感器(65)采 集成像;在被測物(5)表面與光軸垂直的條件下，圖像傳感器(65)所成點像在像面中心位 置； 所述四象限探測器成像系統包括第二反饋分光鏡(62)和設置在透射式準直鏡（21)焦 點處的四象限探測器(66);從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡(3)反射后，先后經 過透射式準直鏡(21)投射、第一反饋分光鏡(61)反射、由四象限探測器(66)采集成像;在被 測物(5)表面與光軸垂直的條件下，四象限探測器(66)所成點像在像面中心位置； 或 所述四象限探測器成像系統包括第二反饋分光鏡(62)、第二反饋物鏡(64)和設置在第 二反饋物鏡(64)焦點處的四象限探測器(66);從被測物(5)表面反射的光束，再經過反射鏡 (3)反射后，先后經過第二反饋分光鏡(62)反射、第二反饋物鏡(64)透射、由四象限探測器 (66)采集成像;在被測物(5)表面與光軸垂直的條件下，四象限探測器(66)所成點像在像面 中心位置； 第二、反饋成像系統(6)包括第一反饋分光鏡(61)、以及由導軌(68)承載的圖像傳感器 (65)和四象限探測器(66)，所述導軌(68)共有兩個停頓位置，一個停頓位置使圖像傳感器 (65)像面中心對應透射式準直鏡(21)的焦點位置，另一個停頓位置使四象限探測器(66)像 面中心對應透射式準直鏡(21)的焦點位置； 或 反饋成像系統(6)包括第一反饋分光鏡(61)、第一反饋物鏡(63)、以及由導軌(68)承載 的圖像傳感器(65)和四象限探測器(66)，所述導軌(68)共有兩個停頓位置，一個停頓位置 使圖像傳感器(65)像面中心位于第一反饋物鏡(63)的焦點位置，另一個停頓位置使四象限 探測器(66)像面中心位于第一反饋物鏡(63)的焦點位置； 所述角度調整測量裝置(4)包括設置在反射鏡(3)上的角度調整裝置、角度偏轉測量裝 置、以及萬向軸(43)，角度調整裝置包括第一驅動器(411)和第二驅動器(412);角度偏轉測 量裝置包括第一金屬片(421)、第二金屬片(422)、第一反射鏡(425)、第二反射鏡(426)、對 應第一金屬片(421)位置的第一電容傳感器(423)、以及對應第二金屬片(422)位置的第二 電容傳感器(424)、對應第一反射鏡(425)位置的第一激光干涉儀(427)、以及對應第二反射 鏡(426)位置的第二激光干涉儀(428);第一驅動器(411)、第一金屬片（421 )、第一反射鏡 (425) 、以及萬向軸（43)在一條直線上，第二驅動器(412)、第二金屬片（422)、第二反射鏡 (426) 、以及萬向軸(43)在一條直線上，并且第一驅動器(411)與萬向軸(43)的連線垂直第 二驅動器(412)與萬向軸(43)的連線。2. 根據權利要求1所述的組合調零高動態精度大工作距自準直裝置，其特征在于，還包 括波前探測系統(7)和波前補償系統(8); 所述波前探測系統（7)包括波前探測分光鏡（71)、以及空氣擾動波前探測器(72)和反 射鏡形變波前探測器(73)中的至少一個;所述波前探測分光鏡(71)設置在反射鏡(3)與被 測物(5)之間，空氣擾動波前探測器(72)設置在波前探測分光鏡(71)的反射光路上，反射鏡 形變波前探測器(73)設置在反射鏡(3)的二次反射光路上； 所述波前補償系統(8)包括補償光源(81)、補償準直鏡(82)、以及透射式液晶空間光調 制器(83);補償光源(81)出射的光束，經過補償準直鏡(82)準直成平行光束后，再由透射式 液晶空間光調制器(83)調制，入射到波前探測分光鏡(71)上。3. 在權利要求1所述便攜式組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實現的便攜式 組合調零高動態精度大工作距自準直方法，其特征在于，包括以下步驟： 步驟a、點亮光源（1)，圖像傳感器(65)成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅 動器(411)和第二驅動器(412)調整反射鏡(3)角度，使點像回到圖像傳感器(65)像面中心 區域； 步驟b、四象限探測器(66)成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器(66)像面中 心位置AX和A y，利用第一驅動器(411)和第二驅動器(412)調整反射鏡(3)角度，使點像回 到四象限探測器(66)像面中心位置； 步驟c、讀取第一電容傳感器(423)的電容變化A C1，以及第二電容傳感器(424)的電容 變化A C2,再轉換為反射鏡(3)的角度變化A 01和Afl:，同時讀取第一激光干涉儀(427)得到 的位移變化A xl，以及第二激光干涉儀(428)得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡(3)的 角度變化A 02和進而得到被測物(5)表面的角度變化A a和A 其中，A 01 = fl( A C1， A C2), A(pl-Q(ACI,AC2), \ 02 = f3( A xl, A x2), A(p2=M(Ax：l,Ax2^Aa=f3(ABi,^02,A(pl,&p2) 和 Ap= (、6( A91 ,M2，Aq)丨,,492);：|；1、1；'2、1；'3、1；'4表示4個函數。4. 在權利要求2所述便攜式組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實現的便攜式 組合調零高動態精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統(7)僅包括波前探測分光鏡 (71)和空氣擾動波前探測器(72); 其特征在于，包括以下步驟： 步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物； 步驟b、點亮光源（1)，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B， 空氣擾動波前探測器(72)分別得到GA和GB兩組數據； 步驟c、G1 =GA-GB，得到空氣擾動造成的波前變化； 步驟d、按照f5(Gl)調整透射式液晶空間光調制器(83)參數，點亮補償光源(81)，補償 空氣擾動； 步驟e、圖像傳感器(65)成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器(411)和第 二驅動器(412)調整反射鏡(3)角度，使點像回到圖像傳感器(65)像面中心區域； 步驟f、四象限探測器(66)成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器(66)像面中 心位置AX和A y，利用第一驅動器(411)和第二驅動器(412)調整反射鏡(3)角度，使點像回 到四象限探測器(66)像面中心位置； 步驟g、讀取第一電容傳感器(423)的電容變化A C1，以及第二電容傳感器(424)的電容變 化A C2，再轉換為反射鏡(3)的角度變化A 01和1，同時讀取第一激光干涉儀(427)得到的 位移變化A xl，以及第二激光干涉儀(428)得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡(3)的角 度變化A 02和Acp2，進而得到被測物(5)表面的角度變化A a和A 其中，A 01 = f 1( A Cl，A \ ()2 = f3( Axl, Ax2)，Aq>2_「4(Ax.l，Ax2),Aa=:r5(A91，A92，/Aq)l，A(p2)fP Ap=f、6(M) 1 ,M2,A(p 丨,Aq)2);f 1、f2、f3、f4 表示 4 個函數。5. 在權利要求2所述便攜式組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實現的便攜式 組合調零高動態精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統(7)僅包括波前探測分光鏡 (71)和反射鏡形變波前探測器(73); 其特征在于，包括以下步驟： 步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物； 步驟b、點亮光源（1)，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B， 反射鏡形變波前探測器(73)分別得到GC和GD兩組數據； 步驟c、G2 = GC-GD，得到空氣擾動和反射鏡形變共同造成的波前變化； 步驟d、按照f5(G2)調整透射式液晶空間光調制器(83)參數，點亮補償光源(81)，補償 空氣擾動和反射鏡形變； 步驟e、圖像傳感器(65)成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器(411)和第 二驅動器(412)調整反射鏡(3)角度，使點像回到圖像傳感器(65)像面中心區域； 步驟f、四象限探測器(66)成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器(66)像面中 心位置AX和A y，利用第一驅動器(411)和第二驅動器(412)調整反射鏡(3)角度，使點像回 到四象限探測器(66)像面中心位置； 步驟g、讀取第一電容傳感器(423)的電容變化A C1，以及第二電容傳感器(424)的電容 變化A C2，再轉換為反射鏡(3)的角度變化A 01和Aq) 1，同時讀取第一激光干涉儀(427)得到 的位移變化A xl，以及第二激光干涉儀(428)得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡(3)的 角度變化A 02和Acp2，進而得到被測物(5)表面的角度變化A a和A 其中，A 01 = f 1( A C1， A C2), A(j>i _i2(ACi.AC2). \ 92 = f3( Axl, A x2), A(p2=f4(AxLA.\2), Aa=l'5(A01,AB2,A(pl,A(p2) 和邱=i、6(A01，A02，Aq>l，A*p 2);fl、f2、f3、f4 表示 4 個函數。6. 在權利要求2所述便攜式組合調零高動態精度大工作距自準直裝置上實現的便攜式 組合調零高動態精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統(7)同時包括波前探測分光 鏡(71 )、空氣擾動波前探測器(72)和反射鏡形變波前探測器(73); 其特征在于，包括以下步驟： 步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物； 步驟b、點亮光源（1)，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B， 空氣擾動波前探測器(72)分別得到GA和GB兩組數據，反射鏡形變波前探測器(73)分別得到 GC和⑶兩組數據； 步驟c、G1 = GA-GB，得到空氣擾動造成的波前變化;G2 = GC-GD，得到空氣擾動和反射鏡 形變共同造成的波前變化;G=G2-G1，得到反射鏡形變造成的波前變化； 步驟d、 按照f5(Gl)調整透射式液晶空間光調制器(83)參數，點亮補償光源(81)，補償空氣擾 動； 或 按照f5(G2)調整透射式液晶空間光調制器(83)參數，點亮補償光源（81)，補償空氣擾 動和反射鏡形變； 或 按照f5(G)調整透射式液晶空間光調制器(83)參數，點亮補償光源(81)，補償反射鏡形 變； 步驟e、圖像傳感器(65)成像，根據點像偏離像面中心方向，利用第一驅動器(411)和第 二驅動器(412)調整反射鏡(3)角度，使點像回到圖像傳感器(65)像面中心區域； 步驟f、四象限探測器(66)成像，得到步驟a結束后點像偏離四象限探測器(66)像面中 心位置AX和A y，利用第一驅動器(411)和第二驅動器(412)調整反射鏡(3)角度，使點像回 到四象限探測器(66)像面中心位置； 步驟g、讀取第一電容傳感器(423)的電容變化A C1，以及第二電容傳感器(424)的電容變 化A C2，再轉換為反射鏡(3)的角度變化A 01和Aq) 1，同時讀取第一激光干涉儀(427)得到的 位移變化A xl，以及第二激光干涉儀(428)得到的位移變化A X2,再轉換為反射鏡(3)的角 度變化A02和A(p2,進而得到被測物(5)表面的角度變化Act和A0;其中，A01 = fl( AC1， A C2) , Acpl==:(2(ACl,AC2), A 02 = f3( A xl, A x2) ? Ai；>2==：r4(Ax 1 .Ax2)，Aa=f5(A91,A92,Acp 1 ,Afp2) 和郵=1、6(如1，八92，八(|)1，八(|)2):亡1、亡2、亡3、亡4表示4個函數。
【文檔編號】G01B11/26GK106052549SQ201610643663
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年8月7日 公開號201610643663.4, CN 106052549 A, CN 106052549A, CN 201610643663, CN-A-106052549, CN106052549 A, CN106052549A, CN201610643663, CN201610643663.4
【發明人】譚欣然, 王超, 譚久彬
【申請人】哈爾濱工業大學