透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿的制作方法
【專利摘要】透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，主要包括手握柄，樣品桿桿身，樣品桿頭端和用于裝載樣品的樣品杯，樣品杯與軸固定，軸可轉動地安裝于樣品桿頭端，軸與樣品桿頭端之間設置驅動軸轉動的軸轉動系統；樣品杯與樣品接觸的部位為電極，樣品一端與樣品杯上的正電極接觸，樣品的另一端與樣品杯上的負電極接觸，正電極和負電極分別通過導線與手握柄上的電源接口連接。電流加載于樣品杯的正電極和負電極上，樣品為金屬樣品，電流經由樣品杯兩端的電極流過樣品自身。由于樣品自身存在一定的電阻，當通以電流時將產生焦耳熱效應而自身發熱升溫。本發明具有能對樣品本身進行加熱、通氣氛并實現原子級分辨率觀察的優點。
【專利說明】
透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿
技術領域
[0001] 本發明設及透射電子顯微鏡的部件，特別是一種透射電子顯微鏡用的雙軸傾轉樣 品桿。 技術背景
[0002] 透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope, W下簡稱 TEM)是一種用 于材料微觀結構表征的大型實驗裝置，可W同時分析材料微區的組織形態、晶體結構、組成 元素等。其成像原理是高能電子束穿透樣品，透射電子束經過聚焦和放大，采用探測器收集 信號并成像。現代高分辨透射電子顯微鏡通常可W做到原子級分辨率，尤其是近五年迅速 發展的球差矯正技術使TEM的極限分辨率達到50 pm。然而實際測試中往往難W達到儀器 的極限分辨率。主要原因在于實驗結果不僅受制于TEM本身性能，更重要的是取決于樣品 情況。其中一個重要條件是樣品相對于入射電子束的晶體取向。對于TEM高分辨成像而言， 只有當電子束沿著樣品某一晶體方向入射才能顯示出相應的原子周期排列的投影，從而獲 得原子點陣排列圖像，也即原子級分辨率。如何使入射電子束能夠與樣品晶體方向平行是 實現TEM高分辨成像的基本前提。通常有兩種途徑：第一，固定樣品不動，傾動電子束入射 角度，使電子束與樣品的某一晶體方向平行；第二，固定電子束，傾動樣品，使得樣品某一晶 體方向平行電子束。第一種途徑由于設及對TEM電子光學線路的系統改造且電子束傾動范 圍有限而較少應用。目前常用技術路線主要采用第二種途徑，運就要求裝載樣品的裝置具 有傾動功能。
[0003] 裝載樣品的裝置通常包括兩部分，一部分為TEM的樣品艙，也稱為測角臺；另一部 分為樣品桿。TEM樣品固定在樣品桿頭部，樣品桿插入測角臺。TEM的測角臺通常具備繞樣 品桿軸向旋轉的功能，也即所謂的迎軸傾轉。運樣能通過測角臺的傾轉實現樣品的迎軸傾 轉。然而對于空間取向而言，一個方向的傾轉往往無法實現樣品某一晶體方向與電子束平 行。還需要具備樣品圍繞垂直于碟軸的齊軸傾轉功能。該部分功能只能通過樣品桿來實 現。也即樣品桿必須設置一些轉動裝置實現樣品在好軸的傾轉。圖1示意了 TEM樣品桿的 傾轉原理。通過縱穿整個樣品桿桿體A的軸帶動頭部的偏屯、曲軸或連桿，將繞樣品桿軸屯、 的轉動轉變為樣品杯B的仰俯運動，從而實現樣品繞與軸C的傾轉。
[0004] 同時隨著科學研究的發展，在TEM中進行單純的高分辨觀察已無法滿足實驗要 求。大量新興的材料化學制備研究迫切需要在TEM進行原位表征W掲示材料的生長機制。 運就對TEM及其樣品桿提出更高的要求，不僅能實現高分辨觀察，并能同時具備加熱、通氣 氛等各種環境功能。
[0005] 目前能具備TEM原位環境功能的典型代表是日本日立電子公司生產的H9500系列 TEM。該TEM的樣品艙經過特殊設計，預制了一個微氣管，能將外界的氣體通入樣品艙內，同 時在靠近樣品桿端部處安裝一個微型分子累，將通入樣品艙的氣體快速抽走，保證樣品艙 的高真空狀態。其樣品桿也經過特殊設計，在樣品杯內置一微型電阻爐，通過電阻爐的溫度 福射到樣品，從而實現對樣品的升溫加熱。樣品在升溫加熱的同時配合樣品艙通入氣體實 現加熱、通氣氛的聯合功能。
[0006] 然而該技術方案設計存在兩大缺陷：第一，技術復雜且通用性低。TEM和TEM樣品 桿兩方面的改造，需要二者同時配合方能實現加熱和通氣氛功能。不僅整體技術方案復雜， 且二者無法分離，必須購置該型號TEM方可。第二，加熱與通氣氛的對象不具有針對性。在 TEM觀察中，所觀察的范圍相當有限，通常聚焦在數平方微米范圍內。實驗中感興趣的是所 聚焦的局部樣品在加熱和通氣氛時的原位變化行為。現有技術是針對整個樣品杯進行加 熱，所聚焦的局部區域雖然遲早也會被加熱，但該局域的實際溫度往往與整個樣品杯的宏 觀測量溫度存在較大的誤差。類似的，該技術針對整個樣品艙進行通氣氛，所聚焦的局部區 域是否能通到氣氛W及所獲得的氣氛含量是否與樣品艙整體測試結果吻合均存在許多疑 問。
[0007] 如果能在TEM雙傾樣品桿中獨立實現局部加熱和通氣氛，不僅極大提高技術的通 用性，并改善實驗的針對性，促進原位環境TEM研究的顯著進步。但是目前現有的TEM樣品 桿均無法實現該技術目標。
【發明內容】
[0008] 為了克服現有技術是針對整個樣品杯進行加熱，所聚焦的局部區域雖然遲早也會 被加熱，但該局域的實際溫度往往與整個樣品杯的宏觀測量溫度存在較大的誤差的缺點， W及現有技術對整個樣品艙進行通氣氛，所聚焦的局部區域是否能通到氣氛W及所獲得的 氣氛含量是否與樣品艙整體測試結果均存在許多疑問的缺點，本發明提供了一種能對樣品 本身進行加熱，溫度和氣氛控制準確的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿。
[0009] 透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，主要包括手握柄，樣品桿桿身，樣品桿頭端 和用于裝載樣品的樣品杯，樣品杯與軸固定，與軸可轉動地安裝于樣品桿頭端，#軸與樣 品桿頭端之間設置驅動#軸轉動的軸轉動系統； 其特征在于：樣品杯與樣品接觸的部位為電極，樣品一端與樣品杯上的正電極接觸， 樣品的另一端與樣品杯上的負電極接觸，正電極和負電極分別通過導線與手握柄上的電源 接口連接。電流加載于樣品杯的正電極和負電極上，樣品為金屬樣品，電流經由樣品杯兩端 的電極流過樣品自身。由于樣品自身存在一定的電阻，當通W電流時將產生焦耳熱效應而 自身發熱升溫。
[0010] 進一步，樣品桿具有微管光纖納米操控系統和氣體流量控制系統；微管光纖納米 操控系統包括X軸向驅動件、Y軸向驅動件、Z軸向驅動件、微管和光纖，X軸向驅動件、Y軸 向驅動件和Z軸向驅動件堆疊設置，X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件分別通過 導線與手握柄上的驅動信號接口連接，微管與光纖并行排列，微管通過氣體流量控制系統 與氣源連接。
[0011] 進一步，X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件均為壓電陶瓷，X軸向驅動 件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件沿樣品桿軸向設置，相鄰的驅動件固定連接，微管、光纖分 別與樣品桿軸向平行，光纖緊貼微管的外壁；X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件的 驅動信號為電壓信號，每個驅動件的電壓信號步進式驅動驅動件運動。
[0012] 進一步，樣品桿具有溫度控制系統，溫度控制系統輸出的電流值與樣品的溫升對 應。
[0013] 進一步，樣品杯主要包括基板，輿軸對稱地設置于基板兩端，正電極和負電極對稱 地固定于基板上，裝夾有樣品時樣品架設于正電極和負電極上。
[0014] 進一步軸轉動系統步進式驅動誠軸轉動，片軸轉動系統包括與A軸緊密接觸 的驅動件，驅動件從第一位置運動到第二位置時，與軸步進一個角度行程睞；驅動件從第 二位置復位到第一位置時，與軸固定；驅動件從第一位置運動到第二位置和從第二位置復 位到第一位置組成一個運動周期，與軸的轉動角度=N* ^'，其中N為運動周期的個數。
[0015] 進一步，驅動件從第一位置運動到第二位置時，驅動件與擇軸之間產生滑動摩擦 力使;夢軸跟隨驅動件轉動；驅動件從第二位置復位到第一位置的速度使驅動件復位時與 軸的動量接近不變。
[0016] 進一步，驅動件通過壓緊機構壓緊于與軸，壓緊機構包括壓片、固定螺絲和彈黃， 固定螺絲穿過壓片與樣品桿頭端固定，固定螺絲有多個，每個固定螺絲上套接一個彈黃，彈 黃位于樣品桿頭端與壓片之間，驅動件固定于壓片上，壓片使驅動件壓緊于詩軸。
[0017] 進一步，驅動件主要包括驅動信號發生裝置和壓電陶瓷片或者磁致伸縮材料。
[0018] 本發明工作時，首先將樣品固定于樣品杯上，將樣品桿插入TEM。在TEM中觀察樣 品并確定感興趣區域，之后壓電控制盒發出信號驅動穿軸轉動系統的驅動件運動并產生行 波，通過軸與驅動件的摩擦力使盧軸發生轉動，從而帶動樣品杯產生?^軸的轉動。配合 TEM測角臺在化軸傾轉，實現樣品在獨軸和典軸兩個軸向的任意傾轉，從而使感興趣區域 的某一晶體方向與電子束平行，滿足原子級高分辨圖像拍攝的前提條件。之后壓電控制盒 發出信號驅動微管光纖納米操控系統的壓電陶瓷組在X，y，Z =個方向運動，使得微管尖端 靠近樣品感興趣區域，兩者相距10 :然之內。利用氣體流量控制系統在微管中通入所需要 的氣氛，該氣氛經由微管尖端噴出至樣品感興趣區域。由于微管尖端與樣品感興趣區域的 距離在10游^之內，僅需通W極少量的氣體即可作用于感興趣區域。所通入的極少量氣體 作用于感興趣區域之后可被透射電鏡自帶的離子累抽走而完全不影響樣品艙的高真空狀 態。同時溫度控制系統輸出電流，該電流經由樣品杯兩端的電極流過樣品自身。由于樣品 自身存在一定的電阻，當通W電流時將產生焦耳熱效應而自身發熱升溫。此時光纖近距離 靠近于樣品感興趣區域，基于黑體福射效應，通過測試紅外光譜而測量出樣品感興趣區域 的實際溫度。當樣品感興趣區域升至設定溫度時在溫度和氣氛的聯合作用下發生物理化學 變化，從而實現原位環境TEM試驗目的。
[0019] 本發明的優點在于：1、通過在樣品杯上設置能與樣品直接接觸的電極，直接對樣 品加載電流使樣品自身發熱升溫，通過控制電流值即可精確控制樣品的溫升。
[0020] 2、X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件通過電壓信號步進式驅動，每個驅 動件每次沿自己的軸向平動一個步進距離，因此可W通過步進，最終達到使微管尖端和光 纖頭部與樣品感興趣區域的距離在10禪^之內，微管尖端與樣品感興趣區域足夠近，僅需 通W極少量的氣體即可作用于感興趣區域；同時，光纖頭部與樣品感興趣區域足夠近，基于 黑體福射效應，通過測試紅外光譜能精確地測量出樣品感興趣區域的實際溫度。
[0021] 3、每次使游軸轉動一個固定的小角度行程，如單位角度，利用步進式累積效果來 達到使軸達到大轉動行程的目的，每次/5軸所需轉動的角度小，從而使得驅動件每個周 期的驅動行程短，從而使驅動件體積能夠足夠小而有被放入透射電子顯微鏡的微小空間中 的可能性。
[0022] 4、利用壓電陶瓷片或者磁致伸縮材料作為驅動件，通過控制驅動件的上電時間和 失電時間即可控制驅動件從第一位置運動到第二位置的時間和從第二位置復位到第一位 置的時間，且驅動件響應迅速；只需用導線連通驅動件與外部的驅動信號發生裝置即可，驅 動件的體積小，結構簡單，能夠被放入透射電子顯微鏡的微小空間中。
【附圖說明】
[0023] 圖1是是現有技術中TEM樣品桿傾轉的原理圖。
[0024] 圖2是本發明的TEM樣品不意圖。
[00巧]圖3是本發明的TEM樣品桿頭端的立體示意圖。
[0026] 圖4是樣品杯的不意圖。
[0027] 圖5是本發明的TEM樣品桿幫軸轉動系統側視圖。
【具體實施方式】
[0028] 如圖2所示，透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，主要包括手握柄，樣品桿桿身 5,樣品桿頭端6和用于裝載樣品的樣品杯，樣品杯與聲軸固定，片軸可轉動地安裝于樣品 桿頭端6,郝軸與樣品桿頭端6之間設置驅動軸轉動的礎軸轉動系統12。
[0029] 如圖3所示，樣品杯與樣品接觸的部位為電極，樣品8-端與樣品杯上的正電極7A 接觸，樣品8的另一端與樣品杯上的負電極7B接觸，正電極7A和負電極7B分別通過導線 與手握柄上的電源接口連接。電流加載于樣品杯的正電極7A和負電極7B上，樣品8為金 屬樣品，電流經由樣品杯兩端的電極流過樣品8自身。由于樣品8自身存在一定的電阻，當 通W電流時將產生焦耳熱效應而自身發熱升溫。
[0030] 如圖2、3所示，樣品桿具有微管光纖納米操控系統10和氣體流量控制系統；微管 光纖納米操控系統10包括X軸向驅動件、Y軸向驅動件、Z軸向驅動件、微管11和光纖9， X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件堆疊設置，X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z 軸向驅動件分別通過導線與手握柄上的驅動信號接口連接，微管11與光纖9并行排列，微 管11通過氣體流量控制系統與氣源連接，氣體流量控制系統與手握柄上的氣體輸入接口 1 連接，光纖與手握柄上的光纖接口 4連接。本實施例中，微管尖端外徑為100 ，內徑為 80 .^，光纖的直徑為100 /^。微管和光纖的尺寸W能夠進入樣品艙并能正常工作為宜， 不限于本實施例的舉例。
[0031] X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件均為壓電陶瓷，X軸向驅動件、Y軸向 驅動件和Z軸向驅動件沿樣品桿軸向設置，相鄰的驅動件固定連接，微管11、光纖9分別與 樣品桿軸向平行，光纖9緊貼微管11的外壁；X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件 的驅動信號為電壓信號，每個驅動件的電壓信號步進式驅動驅動件運動。驅動X軸向驅動 件的電壓信號僅使X軸向驅動件在X軸向平動一個步進距離。驅動Y軸向驅動件的電壓信 號僅使Y軸向驅動件在Y軸向平動一個步進距離。驅動Z軸向驅動件的電壓信號僅使Z軸 向驅動件在Z軸向平動一個步進距離。可W將驅動X軸向驅動件的電壓信號，Y軸向驅動 件的電壓信號和Z軸向驅動件的電壓信號復合成符合驅動信號，也可W是依次發出各軸向 的電壓信號。3個驅動件分別平動步進，通過累積步進距離的方式使光纖9和微管11尖端 與樣品感興趣區域之間的距離達到10 :褲璃之內。=個驅動件的驅動件由手握柄上的壓電 驅動控制接口 2輸入樣品桿中。現有的機械式牽引光纖9和微管11的方式下，光纖9和微 管11尖端與樣品感興趣區域之間的距離為1mm左右。
[0032] 樣品桿具有溫度控制系統，溫度控制系統輸出的電流值與樣品8的溫升對應。溫 度控制系統輸出的電流通過手握柄上的電學測量控制接口 3輸入樣品桿中。
[0033] 樣品杯主要包括基板，片軸對稱地設置于基板兩端，正電極7A和負電極7B對稱地 固定于基板上，裝夾有樣品8時樣品8架設于正電極7A和負電極7B。
[0034] 與軸16轉動系統12步進式驅動騎軸16轉動，騎軸16轉動系統12包括與濟軸16 緊密接觸的驅動件17,驅動件17從第一位置運動到第二位置時，身軸16步進一個角度行 程滬；驅動件17從第二位置復位到第一位置時，;S軸16固定；驅動件17從第一位置運動 到第二位置和從第二位置復位到第一位置組成一個運動周期，^軸16的轉動角度=N*黃， 其中N為運動周期的個數。
[0035] 驅動件17從第一位置運動到第二位置時，驅動件17與與軸16之間產生滑動摩擦 力使^^軸16跟隨驅動件17轉動；驅動件17從第二位置復位到第一位置的速度使驅動件 17復位時與軸16的動量接近不變。
[0036] 如圖5所示，驅動件17通過壓緊機構壓緊于與軸16,壓緊機構包括壓片18、固定 螺絲15和彈黃14,固定螺絲15穿過壓片18與樣品桿頭端6固定，固定螺絲15有多個，每 個固定螺絲15上套接一個彈黃14,彈黃14位于樣品桿頭端6與壓片18之間，驅動件17固 定于壓片18上，壓片18使驅動件17壓緊于,L9軸16。
[0037] 驅動件17主要包括驅動信號發生裝置和壓電陶瓷片或者磁致伸縮材料。
[003引本發明工作時，首先將樣品8固定于樣品杯上，將樣品桿插入TEM。在TEM中觀察 樣品8并確定感興趣區域，之后壓電控制盒發出信號驅動群軸16轉動系統12的驅動件17 運動并產生行波，通過賓軸16與驅動件17的摩擦力使與軸16發生轉動，從而帶動樣品杯 產生盧軸16的轉動。配合TEM測角臺在a軸傾轉，實現樣品8在a軸和^軸16兩個軸向 的任意傾轉，從而使感興趣區域的某一晶體方向與電子束平行，滿足原子級高分辨圖像拍 攝的前提條件。之后壓電控制盒發出信號驅動微管11光纖9納米操控系統10的壓電陶瓷 組在X，y，Z =個方向運動，使得微管11尖端靠近樣品感興趣區域，兩者相距10 之內。 利用氣體流量控制系統在微管11中通入所需要的氣氛，該氣氛經由微管11尖端噴出至樣 品感興趣區域。由于微管11尖端與樣品感興趣區域的距離在10游之內，僅需通W極少量 的氣體即可作用于感興趣區域。所通入的極少量氣體作用于感興趣區域之后可被透射電鏡 自帶的離子累抽走而完全不影響樣品艙的高真空狀態。同時溫度控制系統輸出電流，該電 流經由樣品杯兩端的電極流過樣品8自身。由于樣品8自身存在一定的電阻，當通W電流 時將產生焦耳熱效應而自身發熱升溫。此時光纖9近距離靠近于樣品感興趣區域，基于黑 體福射效應，通過測試紅外光譜而測量出樣品感興趣區域的實際溫度。當樣品感興趣區域 升至設定溫度時在溫度和氣氛的聯合作用下發生物理化學變化，從而實現原位環境TEM試 驗目的。
[0039] 本發明的優點在于：1、通過在樣品杯上設置能與樣品直接接觸的電極，直接對樣 品加載電流使樣品自身發熱升溫，通過控制電流值即可精確控制樣品的溫升。
[0040] 2、X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件通過電壓信號步進式驅動，每個驅 動件每次沿自己的軸向平動步進固定的距離，因此可W通過步進，最終達到使微管尖端和 光纖頭部與樣品感興趣區域的距離在10滿^;之內，微管尖端與樣品感興趣區域足夠近，僅 需通W極少量的氣體即可作用于感興趣區域；同時，光纖頭部與樣品感興趣區域足夠近，基 于黑體福射效應，通過測試紅外光譜能精確地測量出樣品感興趣區域的實際溫度。
[0041] 3、每次使與軸轉動一個固定的小角度行程，如單位角度，利用步進式累積效果來 達到使與軸達到大轉動行程的目的，每次游軸所需轉動的角度小，從而使得驅動件每個周 期的驅動行程短，從而使驅動件體積能夠足夠小而有被放入透射電子顯微鏡的微小空間中 的可能性。
[0042] 4、利用壓電陶瓷片或者磁致伸縮材料作為驅動件，通過控制驅動件的上電時間和 失電時間即可控制驅動件從第一位置運動到第二位置的時間和從第二位置復位到第一位 置的時間，且驅動件響應迅速；只需用導線連通驅動件與外部的驅動信號發生裝置即可，驅 動件的體積小，結構簡單，能夠被放入透射電子顯微鏡的微小空間中。
[0043] 本說明書實施例所述的內容僅僅是對發明構思的實現形式的列舉，本發明的保護 范圍不應當被視為僅限于實施例所陳述的具體形式，本發明的保護范圍也及于本領域技術 人員根據本發明構思所能夠想到的等同技術手段。
【主權項】
1. 透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，主要包括手握柄，樣品桿桿身，樣品桿頭端和 用于裝載樣品的樣品杯，樣品杯與A軸固定，^軸可轉動地安裝于樣品桿頭端，片軸與樣品 桿頭端之間設置驅動軸轉動的海軸轉動系統； 其特征在于：樣品杯與樣品接觸的部位為電極，樣品一端與樣品杯上的正電極接觸， 樣品的另一端與樣品杯上的負電極接觸，正電極和負電極分別通過導線與手握柄上的電源 接口連接。2. 如權利要求1所述的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，其特征在于：樣品桿具 有微管光纖納米操控系統和氣體流量控制系統；微管光纖納米操控系統包括X軸向驅動 件、Y軸向驅動件、Z軸向驅動件、用于通氣氛微管和測溫光纖，X軸向驅動件、Y軸向驅動件 和Z軸向驅動件堆疊設置，X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件分別通過導線與手 握柄上的驅動信號接口連接，微管與光纖并行排列，微管通過氣體流量控制系統與氣源連 接。3. 如權利要求2所述的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，其特征在于：X軸向驅動 件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件均為壓電陶瓷，X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動 件沿樣品桿軸向設置，相鄰的驅動件固定連接，微管、光纖分別與樣品桿軸向平行，光纖緊 貼微管的外壁；X軸向驅動件、Y軸向驅動件和Z軸向驅動件的驅動信號為電壓信號，每個驅 動件的電壓信號步進式驅動驅動件運動。4. 如權利要求3所述的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，其特征在于：樣品桿具 有溫度控制系統，溫度控制系統輸出的電流值與樣品的溫升對應，溫度的測量通過與樣品 近距離靠近的光纖測試樣品紅外光譜獲得。5. 如權利要求1-4之一所述的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，其特征在于：樣 品杯主要包括基板，與軸對稱地設置于基板兩端，正電極和負電極對稱地固定于基板上，裝 夾有樣品時樣品架設于正電極和負電極上。6. 如權利要求5所述的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，其特征在于：與軸轉動 系統步進式驅動游軸轉動，軸轉動系統包括與揖軸緊密接觸的驅動件，驅動件從第一位 置運動到第二位置時，#軸步進一個角度行程講；驅動件從第二位置復位到第一位置時， 幫軸固定；驅動件從第一位置運動到第二位置和從第二位置復位到第一位置組成一個運動 周期，典軸的轉動角度=N*妒，其中N為運動周期的個數。7. 如權利要求6所述的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，其特征在于：驅動件從 第一位置運動到第二位置時，驅動件與消軸之間產生滑動摩擦力使軸跟隨驅動件轉動； 驅動件從第二位置復位到第一位置的速度使驅動件復位時誠軸的動量接近不變。8. 如權利要求7所述的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，其特征在于：驅動件通 過壓緊機構壓緊于片軸，壓緊機構包括壓片、固定螺絲和彈黃，固定螺絲穿過壓片與樣品桿 頭端固定，固定螺絲有多個，每個固定螺絲上套接一個彈黃，彈黃位于樣品桿頭端與壓片之 間，驅動件固定于壓片上，壓片使驅動件壓緊于與軸。9. 如權利要求8所述的透射電子顯微鏡原位環境雙傾樣品桿，其特征在于：驅動件主 要包括驅動信號發生裝置和壓電陶瓷片或者磁致伸縮材料。
【文檔編號】G01Q30/20GK105988020SQ201510090402
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年2月28日
【發明人】王宏濤, 劉嘉斌
【申請人】浙江大學