修正裝置、修正方法、程序以及靜電電容式壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】提供一種修正裝置、修正方法、程序以及靜電電容式壓力傳感器，能夠對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。具有：確定部，確定外加負載增加時的極限負載FX；修正值生成部，基于由上述確定部確定的極限負載FX、生成使極限負載FX變化了時的遲滯的最大值的第一函數fPEAK(FX)、以及生成外加了靜電電容式壓力傳感器的額定負載FMAX時的遲滯的第二函數fHYS(FN/FX×FMAX)來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值；修正部，使用該修正值，修正外加負載減少時實際讀取的靜電電容。
【專利說明】
修正裝置、修正方法、程序以及靜電電容式壓力傳感器
技術領域
[0001]本發明涉及對具有遲滯特性的靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的修正裝置、修正方法以及程序，該遲滯特性是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的誤差進行變化的特性。
【背景技術】
[0002]負載傳感器在使負載增加(漸增)的過程和使負載減少(漸減)的過程中，即使加載相同的負載，輸出值也產生差。該差根據負荷傳感器被加載的負載的履歷而不同，所以稱為遲滯誤差。提出一種如下方案:為了修正該遲滯誤差，不是維持原樣地使用原來的漸增以及漸減遲滯特性，折返點的負載與下限負載值或者上限負載值之間的差基于相對于下限負載值與上限負載值之間的差所占有的比率，對原來的漸增以及漸減遲滯特性的漸增或者漸減誤差極大值以及漸增或者漸減誤差極大負載值進行修整，對漸增或者漸減遲滯修正特性進行估計(例如，參照專利文獻I)。
[0003]現有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻I:日本特開2006 — 30126號公報
[0006]然而，在專利文獻I所公開的發明中，存在如下問題:相對于最大負載折返點的誤差，使用實際施加的負載的折返點，通過比例計算來計算出誤差值，因此，負載的變化和遲滯誤差的值線性地變化，也就是說，只能應用于進行比例且變化的負載傳感器。
【發明內容】
[0007]本發明為了解決上述的問題，其目的在于提供一種修正裝置、修正方法、程序以及靜電電容式壓力傳感器，能夠對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。
[0008]本發明中的修正裝置是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的修正裝置，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器，上述修正裝置具有:確定部，確定上述外加負載增加時的極限負載;修正值生成部，基于由上述確定部確定的極限負載、第一函數、以及第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值，上述第一函數是生成使上述極限負載發生了變化時的上述遲滯的最大值的函數，上述第二函數是基于外加了上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載時的遲滯來生成根據上述極限負載而決定的上述外加負載的遲滯的函數；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加負載減少時實際讀取的靜電電容。
[0009]根據上述構成，能夠提供一種修正裝置，能夠對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。
[0010]優選地，本發明的修正裝置的修正部在將上述外加負載設為Fn，將上述極限負載設為Fx，將上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載設為Fmax，將上述第一函數設為fPE?(Fx)，將上述第二函數設為fHYS(FN/FXXFMAX)的情況下，上述修正部從上述負載減少時的靜電電容減去由上述修正值生成部生成的修正值fpEAK(Fx) X fHYs(FN/FxXFmax)，由此修正上述負載減少時的靜電電容。
[0011]根據上述構成，僅從負載減少時的靜電電容減去由修正值生成部生成的修正值，就能夠修正負載減少時的靜電電容。
[0012]優選地，本發明的修正值生成部對于負載增加時實際讀取的靜電電容，不生成修正值。根據上述構成，不需要負載增加時的修正，因此，能夠減少運算處理的負荷。
[0013]優選地，本發明的上述第二函數fHYs(Fn/FxXFmax)是([AnX (Fmax/FxXFn)n+A(η-1)X(FMAx/FxXFN)(n-υ...+Al X (Fmax/FxXFn)+A0])，其中，AO?An為常數。
[0014]優選地，本發明的上述第一函數以及上述第二函數基于模擬結果或者實測值被規定。
[0015]本發明中的修正方法是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的方法，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器，上述修正方法具有:確定部確定上述外加負載增加時的極限負載的工序;修正值生成部基于由上述確定部確定的極限負載、第一函數、以及第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值的工序，上述第一函數是生成使上述極限負載發生了變化時的上述遲滯的最大值的函數，上述第二函數是基于外加了上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載時的遲滯來生成根據上述極限負載而決定的上述外加負載的遲滯的函數；以及修正部使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加負載減少時實際讀取的靜電電容的工序。
[0016]根據上述構成，能夠提供修正方法，能夠對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。
[0017]本發明中的程序是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的程序，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器，該程序使計算機執行以下的步驟:確定上述外加負載增加時的極限負載的步驟;基于被確定的上述極限負載、第一函數、以及第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值的步驟，上述第一函數是生成使上述極限負載發生了變化時的上述遲滯的最大值的函數，上述第二函數是基于外加了上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載時的遲滯來生成根據上述極限負載而決定的上述外加負載的遲滯的函數；以及使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加負載減少時實際讀取的靜電電容的步驟。
[0018]根據上述構成，提供一種程序，能夠對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。
[0019]本發明的靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器，上述靜電電容式壓力傳感器具有:確定部，確定上述外加負載增加時的極限負載;修正值生成部，基于由上述確定部確定的極限負載、第一函數、以及第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值，上述第一函數是生成使上述極限負載發生了變化時的上述遲滯的最大值的函數，上述第二函數是基于外加了上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載時的遲滯來生成根據上述極限負載而決定的上述外加負載的遲滯的函數；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加負載減少時實際讀取的靜電電容。
[0020]根據該構成，能夠對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正來高精度地檢測外加負載。
[0021]優選地，本發明的靜電電容式壓力傳感器還具備檢測部，該檢測部在上述外加負載的減少時，對負載減少時實際讀取的靜電電容變成由上述修正部修正后的上述靜電電容的情況進行檢測。
[0022]根據該構成，能夠在外加負載Fn的減少時，使用簡單的運算量來檢測外加負載Fn變成設為檢測對象的指定值的情況。
[0023]發明效果
[0024]如以上說明所示，根據本發明，能夠提供一種修正裝置、修正方法、程序以及靜電電容式壓力傳感器，能夠對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。
【附圖說明】
[0025]圖1是本發明的實施方式涉及的靜電電容式壓力傳感器的構成圖。
[0026]圖2是本發明的實施方式涉及的修正裝置所連接的負載傳感器的構成圖。
[0027]圖3是本發明的實施方式涉及的修正裝置的功能框圖。
[0028]圖4是表示本發明的實施方式涉及的修正裝置的動作的流程圖。
[0029]圖5是本發明的其他實施方式涉及的靜電電容式壓力傳感器的構成圖。
[0030]符號說明
[0031]1,180靜電電容式壓力傳感器
[0032]10 負載傳感器
[0033]20 修正裝置
[0034]21 A/D 轉換器
[0035]22 CPU
[0036]23 存儲器
[0037]101 確定部
[0038]102 存儲部
[0039]103 修正值生成部
[0040]104 修正部[0041 ] 160 檢測部
【具體實施方式】
[0042]以下，參照附圖對本發明的實施方式詳細說明。
[0043]圖1是本發明的實施方式的靜電電容式壓力傳感器I的構成圖。圖2是本實施方式涉及的修正裝置20所連接的負載傳感器10的構成圖。圖3是本實施方式涉及的修正裝置20的功能框圖。
[0044]如圖1所示，靜電電容式壓力傳感器I具有負載傳感器10和修正裝置20。
[0045]修正裝置20與負載傳感器10連接，對從負載傳感器10輸出的檢測值進行修正。在本實施方式中使用的負載傳感器10是靜電電容式壓力傳感器，如圖2所示，該負載傳感器10由2個電極11、12、以及被該2個電極11、12夾著的電介質13構成。圖2(a)表示負載外加前的負載傳感器10的狀態，圖2(b)表示負載外加后的負載傳感器10的狀態。如圖2(b)所示，在額定負載內外加負載Fn的狀態下，電介質13彈性變形而厚度變薄。
[0046]如圖2(a)所示，在將沒有外加負載的狀態的電介質13的厚度設為do時，負載外加前的負載傳感器10的靜電電容Co用以下的(I)式來表示。另外，將電極11、12對置的面積設為S，將電介質13的介質常數設為ε。
[0047][數式I]
[0048]Co= ε.S/d0...(I)
[0049 ]在此，在將電介質13的彈簧常數設為k時，由負載Fn引起的電介質13的厚度的變化dN能夠用以下的(2)式來表示。
[0050][數式2]
[0051]dN=FN/k...(2)
[0052]根據上述(I)式以及(2)式，外加負載Fn的狀態下的靜電電容Cn用以下的(3)式來表不O
[0053][數式3]
[0054]Cn= ε.S/(do-dN) = ε.S/(do-FN/k)...(3)
[0055]作為靜電電容型的負載傳感器的特征，能夠列舉出相對于負載Fn的增加，靜電電容Cn大致線性地增加。另外，與壓電元件型的負載傳感器相比，能夠增大與負載相對的位移量。然而，在靜電電容型的負載傳感器中，負載增加時和負載減少時的靜電電容的值的轉移不同。
[0056]另外，負載傳感器10的靜電電容能夠使用現有的技術來求出。例如，能夠根據在2個電極11、12的負載不存在的情況下的頻率與負載存在的情況下的頻率之間的比來求出。另外，在此所說的頻率是通過RC充電的時間常數和運算放大器的基準電壓而決定的振蕩頻率的情況。
[0057]本實施方式涉及的修正裝置20對該負載增加時和負載減少時的靜電電容的值的差(以下，遲滯誤差)進行修正。如圖1所示，修正裝置20具備:將從負載傳感器10輸出的模擬信號轉換成數字信號的A/D轉換器21;作為運算處理裝置的CPU22;以及作為存儲裝置的存儲器23。
[0058]圖3是本實施方式涉及的修正裝置20的功能框圖。圖3所示的功能是通過由CPU22從存儲器23讀入程序PRG以及數據來實現的。如圖3所示，修正裝置20具有確定部101、存儲部102、修正值生成部103以及修正部104。
[0059 ]確定部1I確定對負載傳感器1外加了負載時的外加負載增加時的極限負載Fx。在此，所謂極限負載Fx不是負載傳感器10的額定負載，而是在對負載傳感器10外加了負載時，外加負載到哪種程度，也就是說外加的負載的最大值。
[0060]在存儲部102存儲有生成使極限負載Fx變化了時的遲滯的最大值的第一函數(fPEAK(Fx))、以及生成外加了靜電電容式壓力傳感器的額定負載Fmm時的遲滯的第二函數(fHYS(Fn/FxXFmax))。在下面，對第一函數(fpEAK(Fx))以及第二函數(fHYS(FN/FxXFMAx))進行說明。[0061 ] 在本實施方式中，第一函數(fpEAK(Fx))以及第二函數(fHYS(FN/FxXFMAX))基于模擬結果或者實測值被規定。
[0062]最初，在將表示在負載傳感器10產生的遲滯的第二函數設為fHYS(FN)時，第二函數fHYS(FN)定義成負載增加時和負載減少時的負載傳感器10的靜電電容的差，所以，能夠用以下的(4)式來表示。
[0063][數式4]
[0064]fhys(Fn) =Cup(Fn)—Cdown(FN)...(4)
[0065 ]在此，Cup ( Fn )是負載增加時的外加負載Fn的負載傳感器1的靜電電容。另外，Cd_(Fn)是負載減少時的外加負載Fn的負載傳感器10的靜電電容。
[0066]另外，在靜電電容式壓力傳感器的情況下，該遲滯根據最大極限負載fMAX而變化，所以，表示極限負載Fmm之時的遲滯曲線的第二函數fHYS(FN)能夠如以下的(5)式所示進行定義。
[0067][數式5]
[0068]Hys(Fmax,Fn) = Thys(Fn)...(5)
[0069]隨后，使遲滯曲線的形狀近似成不依據于極限負載Fx的一定的曲線形狀，使用第一函數fPE?(Fx)對使極限負載Fx變化了時的遲滯的PEAK值(最大值)近似，使用最大極限負載Fmax對外加負載Fn正規化，成為以下的(6)式。
[0070][數式6]
[0071]Hys(Fx,Fn) =fpeak(Fx) XfHYs(FN/FxXFMAx)...(6)
[0072]其中，
[0073]Fn=O ?Fx
[0074]Fx = O ?Fmax
[0075]另外，所謂使用最大極限負載Fmm對上述的外加負載Fn正規化不是統計學上的正規化，在達到Peak負載時(負載的折返點)，遲滯為零，因此，意味著以遲滯比=負載減少(Down)/負載增加(Up) = I為基準進行計算。
[0076]根據上述(6)式可知，根據極限負載Fx、生成使極限負載Fx變化了時的遲滯的最大值的第一函數fPEAK (Fx)以及表不最大極限負載Fmax之時的遲滯的第二函數fHYS (Fn/Fx XFmax)，能夠求出遲滯Hys (Fx，Fn )。另外，f peak(Fx)以及f hys (Fn/Fx X Fmax)事先通過模擬、實測等進行測量，無需事先設定。
[0077]第二函數f HYS ( Fn/Fx X Fmax )是以外加了負載傳感器1的額定負載Fmax時的遲滯為基礎，生成根據極限負載Fx而決定的外加負載Fn的遲滯的函數。
[0078]另外，上述第二函數fHYS(FN/FxXFMAx)能夠通過以下的(7)式進行近似。
[0079]在式(7)中，AO?An常數，通過模擬等被決定。
[0080][數式7]
[0081]fHYS(Fn/Fx X Fmax) = ([An X (Fmax/Fx X Fn)n+A(η-1) X (Fmax/Fx X Fn)(η_1}...+AlX(Fmax/FxXFn) +AO])...(7)
[0082]通過上述處理，能夠計算使用了代表值的近似值，同時能夠根據讀取的靜電電容值計算遲滯成分。另外，能夠減少求出遲滯的運算處理的負荷。
[0083]修正值生成部103基于在確定部101確定的極限負載Fx、生成使存儲于存儲部102的極限負載Fx變化了時的遲滯的最大值的第一函數fPE?(Fx)、以及生成外加了靜電電容式壓力傳感器的額定負載Fmax時的上述遲滯的第二函數fHYS (Fn/Fx X Fmax)，來生成在負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值。
[0084]修正部104使用在修正值生成部103生成的修正值，來對在外加負載減少時實際讀取的靜電電容進行修正。具體地講，如以下的(8)式所示，從負載減少時的負載傳感器10的靜電電容的讀數值Cd_(FN)減去作為誤差的遲滯HyS(Fx，FN)來計算出修正后的靜電電容的讀數值C。.(Fn)。
[0085][數式8]
[0086]Ccorr(Fn) = Cdown(Fn)-Hys(Fx,Fn)...(8)
[0087]另外，在將(6)式代入上述(8)式時，能夠得到以下的(9)式。
[0088]Ccorr(FN) =Cdown(FN)—fPEAK(Fx) X fHYS(FN/Fx X FmAX)...(9)
[0089]另外，在本實施方式涉及的修正裝置20中，在負載增加時的負載傳感器10的讀數值中不含有遲滯，因此，維持原樣地使用讀數值。
[0090]隨后，對修正裝置20的動作進行說明。
[0091]最初，在對負載傳感器10外加負載時，修正裝置20的確定部101判斷負載是否正減少(步驟SlOl )。在負載沒有正減少的情況(步驟SlOl的No)，修正裝置20判斷為是負載增加時，將負載傳感器10的讀數值不修正而輸出(步驟S102)。
[0092]在負載正減少的情況下(步驟SlOl的Yes)，修正裝置20的確定部101確定對負載傳感器10外加的負載的極限負載Fx(步驟S103)。隨后，修正裝置20的修正值生成部103基于確定出的極限負載Fx、生成使存儲于存儲部102的極限負載Fx變化了時的遲滯的最大值的第一函數fPEAK(Fx)、以及生成外加了靜電電容式壓力傳感器的額定負載Fmax時的上述遲滯的第二函數fms(Fn/Fx X Fmax)，生成修正值(步驟S104)。
[0093]隨后，修正裝置20的修正部104基于生成的修正值，對負載傳感器10的讀數值進行修正(步驟S105)。隨后，修正裝置20輸出修正后的負載傳感器10的讀數值(步驟S106)。在動作結束的情況下(步驟S107的Yes)，修正裝置20結束動作。另外，在動作沒有結束的情況下(步驟S107的No)，修正裝置20繼續動作。
[0094]如上所述，本實施方式涉及的修正裝置20是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的修正裝置，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器，該修正裝置20具有:確定部101，確定外加負載增加時的極限負載Fx;修正值生成部103，基于在確定部確定的極限負載Fx、生成使極限負載Fx變化了時的遲滯的最大值的第一函數、以及生成外加了靜電電容式壓力傳感器的額定負載Fmm時的遲滯的第二函數，來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值；以及修正部104，使用由修正值生成部生成的修正值，對外加負載減少時實際讀取的靜電電容進行修正。因此，能夠提供一種修正裝置，能夠對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。
[0095]在本發明中，修正裝置20的修正部104通過從負載減少時的靜電電容減去由修正值生成部103生成的修正值f Peak(Fx) X fHYS (Fn/Fx X Fmax)，由此，對負載減少時的靜電電容進行修正。因此，僅從負載減少時的靜電電容減去由修正值生成部103生成的修正值，就能夠修正負載減少時的靜電電容。
[0096]另外，本實施方式涉及的修正裝置20的修正值生成部103對于負載增加時實際讀取的靜電電容，不生成修正值。因此，不需要負載增加時的修正。其結果是，能夠減少運算處理的負荷。
[0097]本實施方式涉及的修正方法是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的方法，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器，該修正方法具有:確定部101確定外加負載增加時的極限負載Fx的工序;修正值生成部103基于由確定部確定的極限負載Fx、生成使極限負載Fx變化了時的上述遲滯的最大值的第一函數、以及生成外加了靜電電容式壓力傳感器的額定負載Fmax時的遲滯的第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值的工序；以及修正部104使用由修正值生成部生成的修正值，修正外加負載減少時實際讀取的靜電電容的工序。因此，能夠提供一種能夠修正方法，對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。
[0098]本實施方式涉及的程序是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的程序，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器，該程序使計算機執行以下步驟:確定外加負載增加時的極限負載Fx的步驟;基于被確定的極限負載Fx、生成使極限負載Fx變化了時的遲滯的最大值的第一函數、生成外加了靜電電容式壓力傳感器的額定負載Fmm時的遲滯的第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值的步驟；以及使用由修正值生成部生成的修正值，修正外加負載減少時實際讀取的靜電電容的步驟。因此，能夠提供一種程序，對與負載的變化相對的最大值的特性為非線性的遲滯誤差進行修正。
[0099](其他實施方式)
[0100]另外，本發明不限定于上述實施方式，在不脫離其主旨的情況下，能夠適當地設計變更并具體化。
[0101]圖5是本發明的其他實施方式涉及的靜電電容式壓力傳感器180的構成圖。
[0102]如圖5所示，在靜電電容式壓力傳感器180中，在圖1所示的修正裝置20的后段設置檢測部160。
[0103]在該例子中，作為外加負載Fn，使用成為檢測對象的指定值。該指定值例如為2.5No
[0104]檢測部160在負載減少時，對從圖3所示的修正裝置20的修正部104輸入的修正后的靜電電容進行監視，檢測該修正后的靜電電容是否變成上述指定值。
[0105]根據該構成，能夠在外加負載Fn減少時，使用簡單的運算量來檢測外加負載Fn變成設為檢測對象的指定值的情況。
【主權項】
1.一種修正裝置，是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的修正裝置，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器， 上述修正裝置具有: 確定部，確定上述外加負載增加時的極限負載； 修正值生成部，基于由上述確定部確定的極限負載、第一函數、以及第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值，上述第一函數是生成使上述極限負載發生了變化時的上述遲滯的最大值的函數，上述第二函數是基于外加了上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載時的遲滯來生成根據上述極限負載而決定的上述外加負載的遲滯的函數；以及 修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加負載減少時實際讀取的靜電電容。2.如權利要求1所述的修正裝置，其中， 將上述外加負載設為Fn，將上述極限負載設為Fx，將上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載設為Fmax， 將上述第一函數設為fPEAK(Fx)， 將上述第二函數設為fHYS(FN/Fx X Fmax)的情況下， 上述修正部從上述負載減少時的靜電電容減去由上述修正值生成部生成的修正值fPEAK(Fx) XfHYs(FN/FxXFmax)，由此修正上述負載減少時的靜電電容。3.如權利要求1或2所述的修正裝置，其中， 上述修正值生成部對于負載增加時實際讀取的靜電電容不生成修正值。4.如權利要求2所述的修正裝置，其中， 上述第二函數fHYs(FN/Fx[An X (Fmax/FxXFn) n+A(n_l) X (Fmax/FxXFn) (n_1)...+Al X (Fmax/FxXFn)+AO])， 其中，AO?An為常數。5.如權利要求3所述的修正裝置，其中， 上述第二函數fHYS(FN/Fx[An X (Fmax/FxXFn) n+A(n_l) X (Fmax/FxXFn) (n_1)...+Al X (Fmax/FxXFn)+AO])， 其中，AO?An為常數。6.如權利要求1或2所述的修正裝置，其中， 上述第一函數以及上述第二函數基于模擬結果或者實測值被規定。7.一種修正方法，是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的方法，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器， 上述修正方法具有: 確定部確定上述外加負載增加時的極限負載的工序； 修正值生成部基于由上述確定部確定的極限負載、第一函數、以及第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值的工序，上述第一函數是生成使上述極限負載發生了變化時的上述遲滯的最大值的函數，上述第二函數是基于外加了上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載時的遲滯來生成根據上述極限負載而決定的上述外加負載的遲滯的函數；以及 修正部使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加負載減少時實際讀取的靜電電容的工序。8.—種程序，是對靜電電容式壓力傳感器的輸出進行修正的程序，該靜電電容式壓力傳感器是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器， 該程序使計算機執行以下的步驟: 確定上述外加負載增加時的極限負載的步驟； 基于被確定的上述極限負載、第一函數、以及第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值的步驟，上述第一函數是生成使上述極限負載發生了變化時的上述遲滯的最大值的函數，上述第二函數是基于外加了上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載時的遲滯來生成根據上述極限負載而決定的上述外加負載的遲滯的函數；以及 使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加負載減少時實際讀取的靜電電容的步驟。9.一種靜電電容式壓力傳感器，是根據外加負載的最大極限負載，外加負載增加時和減少時的靜電電容的讀數值的差即遲滯發生變化的傳感器，上述靜電電容式壓力傳感器具有:確定部，確定上述外加負載增加時的極限負載;修正值生成部，基于由上述確定部確定的極限負載、第一函數、以及第二函數來生成負載減少時實際讀取的靜電電容的修正值，上述第一函數是生成使上述極限負載發生了變化時的上述遲滯的最大值的函數，上述第二函數是基于外加了上述靜電電容式壓力傳感器的額定負載時的遲滯來生成根據上述極限負載而決定的上述外加負載的遲滯的函數；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加負載減少時實際讀取的靜電電容。10.如權利要求9所述的靜電電容式壓力傳感器，其中， 使用成為檢測對象的指定值作為上述外加負載， 上述靜電電容式壓力傳感器還具備檢測部，該檢測部在上述外加負載的減少時，對負載減少時實際讀取的靜電電容變成由上述修正部修正后的上述靜電電容的情況進行檢測。
【文檔編號】G01L9/12GK105987787SQ201610147704
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年3月15日
【發明人】平塚和彥, 鈴木素, 椎根智宏, 五十嵐隆雄
【申請人】阿爾卑斯電氣株式會社