顯微鏡標記裝置的制造方法
【專利摘要】本發明涉及一種顯微鏡標記裝置，包括通過一固定結構固定于顯微鏡上的標記結構，所述標記結構位置對應于顯微鏡視野區域內、以對目標位置進行標記。本發明的有益效果是：可快速、準確的對目標位置進行標記，且適用范圍廣，操作簡單，成本低。
【專利說明】
顯微鏡標記裝置
技術領域
[0001]本發明涉及液晶產品制作技術領域，尤其涉及一種顯微鏡標記裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體測試和不良分析過程中，經常是在顯微鏡鏡下快速找到缺陷點，然后再到其他更高分辨率或者成分分析等設備上進行進一步分析，這時就需要對缺陷點進行位置標記，從而方便為后續其他設備制作尺寸更小的樣品，并方便樣品進入設備內部后快速找到缺陷點。目前常用標記方法有Mark筆直接探入顯微鏡鏡頭下標記和利用鐳射打標標記。Mark筆直接探入顯微鏡鏡頭下的方法由于物鏡一般離樣品比較近，操作極其不方便，且容易失誤。鐳射打標的方法設備造價昂貴，而且遇到部分有機材料又無法用鐳射打標。
【發明內容】
[0003]為了解決上述技術問題，本發明提供一種顯微鏡標記裝置，操作方便、成本低。
[0004]為了達到上述目的，本發明采用的技術方案是:一種顯微鏡標記裝置，包括通過一固定結構固定于顯微鏡上的標記結構，所述標記結構位置對應于顯微鏡視野區域內、以對目標位置進行標記。
[0005]進一步的，所述標記結構包括:
[0006]標記頭，用于對目標位置進行標記；
[0007]連接件，用于將所述標記頭固定于所述固定結構上；
[0008]調節件，連接于所述連接件上，調節所述連接件在與顯微鏡鏡面垂直的方向和與顯微鏡鏡面水平的方向上移動以使得所述標記頭移動以進行標記。
[0009]進一步的，所述連接件為一可容納有色液體的中空管狀結構，所述中空管狀結構包括與顯微鏡鏡面垂直的第一部分，以及與所述第一部分相垂直的第二部分，所述第一部分和所述第二部分連接呈L型結構。
[0010]進一步的，所述標記頭包括與所述第二部分相連通的中空連接部，以及與所述中空連接部連接的環形框架，所述環形框架平行于所述第二部分設置，且所述環形框架的底部設有與所述中空連接部連通的凹槽，所述凹槽內嵌裝有可吸收有色液體的海綿。
[0011 ]進一步的，所述標記頭還包括定位針，所述定位針的一端設于環形框架的內側，所述定位針的另一端向所述環形框架的中心延伸。
[0012]進一步的，所述凹槽的底部設有第一通孔，該第一通孔向內延伸形成與所述中空連接部連通的通道。
[0013]進一步的，所述固定結構包括固定于顯微鏡上的固定板，以及具有供所述中空結構穿過的第二通孔的連接部。
[0014]進一步的，所述調節件包括:
[0015]按壓頭，設于所述中空管狀結構遠離所述標記頭的一端；
[0016]彈性部件，設置于所述中空管狀結構上、位于所述連接部兩側的位置；
[0017]限位部件，設于所述中空管狀結構靠近所述標記頭的一側，用于限定相應的所述彈性部件的位置。
[0018]進一步的，所述按壓頭螺接于所述中空管狀結構的一端。
[0019]進一步的，所述連接部包括具有供所述中空管狀結構穿過的第二通孔的第一部分，以及位于所述第一部分兩側的框架結構。
[0020]本發明的有益效果是:可快速、準確的對目標位置進行標記，且適用范圍廣，操作簡單，成本低。
【附圖說明】
[0021]圖1表示本發明實施例中顯微鏡標記裝置使用狀態示意圖；
[0022]圖2表示本發明實施例中顯微鏡標記裝置結構示意圖；
[0023]圖3表示本發明實施例中中空管狀結構示意圖；
[0024]圖4表示本發明實施例中標記頭結構示意圖；
[0025]圖5表示本發明實施例中標記頭俯視圖；
[0026]圖6表示本發明實施例中海綿結構示意圖；
[0027]圖7表示本發明實施例中固定結構示意圖。
【具體實施方式】
[0028]以下結合附圖對本發明的特征和原理進行詳細說明，所舉實施例僅用于解釋本發明，并非以此限定本發明的保護范圍。
[0029]如圖1和圖2所示，本實施例提供一種顯微鏡標記裝置，包括通過一固定結構10固定于顯微鏡I上的標記結構20，所述標記結構20位置對應于顯微鏡I視野區域內、以對目標位置進行標記。
[0030]標記結構20固定于顯微鏡I上，可快速、準確的對目標位置進行標記，且適用范圍廣，操作簡單，成本低。
[0031 ] 本實施例中，所述標記結構20包括:
[0032]標記頭9，用于對目標位置進行標記；
[0033]連接件，用于將所述標記頭9固定于所述固定結構10上；
[0034]調節件，連接于所述連接件上，調節所述連接件在與顯微鏡I鏡面垂直的方向和與顯微鏡I鏡面水平的方向上移動以使得所述標記頭9移動以進行標記。
[0035]標記頭9的位置對應于顯微鏡I的視野區域，優選的，標記頭9的位置位于顯微鏡I的視野中心，對目標位置進行標記時，通過調節件控制標記頭9向下移動以實現對目標位置的標記。
[0036]進一步的，所述連接件為一可容納有色液體的中空管狀結構8，所述中空管狀結構8包括與顯微鏡I鏡面垂直的第一部分81，以及與所述第一部分81相垂直的第二部分82，所述第一部分81和所述第二部分82連接呈L型結構，如圖3所示。
[0037]進一步的，所述標記頭9包括與所述第二部分82相連通的中空連接部95，以及與所述中空連接部95連接的環形框架91，所述環形框架91平行于所述第二部分82設置，且所述環形框架91的底部設有與所述中空連接部95連通的凹槽92，所述凹槽92內嵌裝有可吸收有色液體的海綿30。
[0038]連接件為L型的中空管狀結構8，標記頭9連接于中空管狀結構8的第二部分82，從中空管狀結構8注入有色液體，嵌入環形框架91的海綿吸收該有色液體，從而在中空管狀結構8向靠近目標位置的方向移動以至海綿30接觸目標位置，快速、便捷。
[0039]L型的中空管狀結構8設計，使得在不需要進行標記時，可轉動中空管狀結構8，使得第二部分82遠離顯微鏡I視野范圍，即將標記頭9移動至顯微鏡I視野范圍外，以免影響顯微鏡I的正常使用；當需要對目標位置進行標記時，即可轉動中空管狀結構8以將標記頭9轉動至顯微鏡I視野范圍，L型結構可以很好克服普通標記筆與顯微鏡I干涉的缺點，且利于找到顯微鏡I視野中心，或需要標記的點。
[0040]為了更準確的對目標位置進行標記，進行標記時，標記頭9能夠隨著中空管狀結構8的轉動至顯微鏡I視野中心。
[0041]為了進一步的保證標記位置的準確性，本實施例中，所述標記頭9還包括定位針93，所述定位針93的一端設于環形框架91的內側，所述定位針93的另一端向所述環形框架91的中心延伸，如圖4和圖5所示。
[0042]如圖4所示，所述環形框架91可以為圓形、半圓形、方形等，凹槽92的形狀由環形框架91的形狀決定，海綿30嵌入凹槽92，海綿30的形狀由凹槽92的形狀決定，即標記形狀的形狀由凹槽92的形狀決定，本實施例中，環形框架91為方形，海綿30的形狀也為方形，如圖6所不O
[0043]本實施例中，有色液體為墨水。
[0044]本實施例中，為了便于海綿30吸收從中空管狀結構8注入的有色液體，所述凹槽92的底部設有第一通孔94，該第一通孔94向內延伸形成與所述中空連接部連通的通道。
[0045]所述固定結構10的具體結構形式可以有多種，只要將標記結構20固定于顯微鏡I上即可，本實施例中，所述固定結構10包括固定于顯微鏡I上的固定板2，以及具有供所述中空管狀結構8穿過的第二通孔510的連接部5。
[0046]所述固定板2上設有供螺栓穿過的第三通孔21。
[0047]所述連接部5包括具有供所述中空管狀結構8穿過的第二通孔510的第一部分51，以及位于所述第一部分51兩側的框架結構52。框架結構52的設置起到減重的作用。
[0048]本實施例中，所述調節件包括:
[0049]按壓頭3，設于所述中空管狀結構8遠離所述標記頭9的一端；
[0050]彈性部件，設置于所述中空管狀結構8上、位于所述連接部5兩側的位置；
[0051]限位部件7，設于所述中空管狀結構8靠近所述標記頭9的一側，用于限定相應的所述彈性部件的位置。
[0052]進一步的，所述按壓頭3螺接于所述中空管狀結構8的一端。
[0053]優選的，所述彈性部件為彈簧，設于所述中空管狀結構8靠近所述標記頭9的一側的彈簧為第一彈簧6，靠近按壓頭3的彈簧為第二彈簧4，向遠離顯微鏡I鏡面的方向按壓按壓頭3，第一彈簧6壓縮，對目標位置進行標記后，松開按壓頭3，第一彈簧6回彈，標記頭9自動復位。
[0054]第二彈簧4的位置通過按壓頭3限定，且第二彈簧4的主要作用為緩沖第一彈簧6回彈產生的回彈力，起到保護標記結構20的作用，提高標記結構20的工作穩定性。
[0055]本發明顯微鏡I輔助標記裝置在組裝時，首先將第一彈簧6套在中空管狀結構8上，卡在限位部件7處。然后中空管狀結構8的第一部分81穿裝入連接部5的第二通孔510內，然后在中空管狀結構8的第一部分81套入第二彈簧4，擰上按壓頭3從而固定第二彈簧4的位置。在標記頭9的環形框架91上安裝海綿，將標記頭9與中空管狀結構8連接(標記頭9與所述中空管狀結構8可為一體結構)，組裝完成后的標記結構20如圖1所示。
[0056]以上所述為本發明較佳實施例，需要說明的是，對于本領域普通技術人員來說，在不脫離本發明所述原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明保護范圍。
【主權項】
1.一種顯微鏡標記裝置，其特征在于，包括通過一固定結構固定于顯微鏡上的標記結構，所述標記結構位置對應于顯微鏡視野區域內、以對目標位置進行標記。2.根據權利要求1所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述標記結構包括: 標記頭，用于對目標位置進行標記； 連接件，用于將所述標記頭固定于所述固定結構上； 調節件，連接于所述連接件上，調節所述連接件在與顯微鏡鏡面垂直的方向和與顯微鏡鏡面水平的方向上移動以使得所述標記頭移動以進行標記。3.根據權利要求2所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述連接件為一可容納有色液體的中空管狀結構，所述中空管狀結構包括與顯微鏡鏡面垂直的第一部分，以及與所述第一部分相垂直的第二部分，所述第一部分和所述第二部分連接呈L型結構。4.根據權利要求3所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述標記頭包括與所述第二部分相連通的中空連接部，以及與所述中空連接部連接的環形框架，所述環形框架平行于所述第二部分設置，且所述環形框架的底部設有與所述中空連接部連通的凹槽，所述凹槽內嵌裝有可吸收有色液體的海綿。5.根據權利要求4所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述標記頭還包括定位針，所述定位針的一端設于環形框架的內側，所述定位針的另一端向所述環形框架的中心延伸。6.根據權利要求4所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述凹槽的底部設有第一通孔，該第一通孔向內延伸形成與所述中空連接部連通的通道。7.根據權利要求3所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述固定結構包括固定于顯微鏡上的固定板，以及具有供所述中空管狀結構穿過的第二通孔的連接部。8.根據權利要求3所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述調節件包括: 按壓頭，設于所述中空管狀結構遠離所述標記頭的一端； 彈性部件，設置于所述中空管狀結構上、位于所述連接部兩側的位置； 限位部件，設于所述中空管狀結構靠近所述標記頭的一側，用于限定相應的所述彈性部件的位置。9.根據權利要求8所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述按壓頭螺接于所述中空管狀結構的一端。10.根據權利要求7所述的顯微鏡標記裝置，其特征在于，所述連接部包括具有供所述中空管狀結構穿過的第二通孔的第一部分，以及位于所述第一部分兩側的框架結構。
【文檔編號】G01N21/88GK105891216SQ201610224020
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年4月12日
【發明人】劉超, 薛金祥, 張玉軍
【申請人】京東方科技集團股份有限公司