粒子檢測裝置的制造方法
【專利摘要】本發明提供一種可抑制雜散光的影響的粒子檢測裝置。該粒子檢測裝置包括：檢查光源(30)，其發出檢查光；透明的流通池(4)，其供包含粒子的流體流動，設置有剖面形狀為圓的貫通孔(14)，并且以垂直于貫通孔(14)的延伸方向的方式被照射檢查光；以及光檢測器(60)，其對在流通池(4)內被照射到檢查光的粒子所產生的反應光進行檢測，并且是對相對于扇形面(200)成角度θ地出射自流通池(4)的反應光進行檢測，所述扇形面(200)以檢查光與流通池(4)的貫通孔(14)的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池(4)的貫通孔(14)的延伸方向。
【專利說明】
粒子檢測裝置
技術領域
[0001]本發明涉及一種檢測技術，并且涉及一種粒子檢測裝置。
【背景技術】
[0002]在包括流式細胞儀及微生物檢測裝置等在內的粒子檢測裝置中，用于流動作為樣品的流體的流通池被使用。流通池是透明的，當對在流通池內部流動的流體照射光時，流體中所含的粒子會發出熒光，或者產生散射光。熒光或散射光被配置在流通池旁邊的透鏡會聚而加以檢測(例如，參考專利文獻I至6)。根據熒光或散射光的檢測次數、檢測強度及檢測波長等，可確定流體中所含的粒子的數量或種類。例如，可判別粒子是否為生物粒子、粒子是否為樹脂、或者粒子是否為氣泡等。另外，也存在不使用流通池而對氣流照射光來檢測氣流中所含的粒子的情況(例如，參考專利文獻7)。
[0003]現有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻I日本專利第4540509號公報
[0006]專利文獻2美國專利申請公開第2012/0140221號說明書
[0007]專利文獻3美國專利第7355706號說明書
[0008]專利文獻4國際公開第2010/080642號
[0009]專利文獻5美國專利第8189187號說明書
[0010]專利文獻6日本特開2013-122397號公報
[0011]專利文獻7美國專利申請公開第2013/0077087號說明書
【發明內容】
[0012]發明要解決的問題
[0013]當對流通池照射光時，存在光被流通池反射及折射而產生雜散光的情況。雜散光有時會妨礙粒子所產生的熒光或散射光的檢測。因此，本發明的目的之一在于，提供一種可抑制雜散光的影響的粒子檢測裝置。
[0014]用于解決問題的手段
[0015]本發明的形態為一種粒子檢測裝置，其包括:(a)檢查光源，其發出檢查光；(b)透明的流通池，其供包含粒子的流體流動，設置有剖面形狀為圓的貫通孔，并且以垂直于貫通孔的延伸方向的方式被照射檢查光；以及(C)光檢測器，其對在流通池內被照射到檢查光的粒子所產生的反應光進行檢測，并且是對相對于扇形面成角度的地出射自流通池的反應光進行檢測，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向。
[0016]在上述粒子檢測裝置中，光檢測器可以以相對于扇形面設置一角度的方式配置，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向。上述粒子檢測裝置可還包括聚光光學系統，所述聚光光學系統會聚相對于扇形面成角度地出射自流通池的反應光，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向。聚光光學系統可包括透鏡，所述透鏡以相對于扇形面設置一角度的方式配置，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向。
[0017]在上述粒子檢測裝置中，流通池可包括由反應光透過的半球面透鏡部。流通池可包括半球面反射膜，所述半球面反射膜對被照射到檢查光的粒子所產生的反應光進行反射。在半球面反射膜的與扇形面交叉的部分上可設置有缺口，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向。或者，半球面反射膜也可與扇形面不交叉，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向。
[0018]在上述粒子檢測裝置中，流通池可包括透明的板狀構件，所述透明的板狀構件垂直于該流通池的貫通孔，以包括包含檢查光的光路的平面的一部分的方式配置，且設置有貫通孔。流通池的板狀構件可具有第I主面以及與第I主面相對的第2主面，貫通孔從第I主面貫通至第2主面，流通池可還包括:透明的第I半球構件，其設置有貫通孔，并且以板狀構件的貫通孔與該第I半球構件的貫通孔連通的方式配置在板狀構件的第I主面上；以及透明的第2半球構件，其設置有貫通孔，并且以板狀構件的貫通孔與該第2半球構件的貫通孔連通的方式配置在板狀構件的第2主面上。板狀構件的第I及第2主面的寬度可寬于第I及第2半球構件的底面的寬度。流通池可還包括半球面反射膜，所述半球面反射膜覆蓋第I半球構件。
[0019]上述粒子檢測裝置可害包括橢圓鏡，所述橢圓鏡對出射自流通池的反應光進行反射。在橢圓鏡的與扇形面交叉的部分上可設置有缺口，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向。或者，橢圓鏡也可與扇形面不交叉，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向。
[0020]此外，本發明的形態為一種粒子檢測裝置，其包括:(a)檢查光源，其發出檢查光；(b)透明的流通池，其供包含粒子的流體流動，設置有剖面形狀為圓的貫通孔，并且以垂直于貫通孔的延伸方向的方式被照射檢查光，且設置有包含檢查光的光路的突出部；以及(C)光檢測器，其對在流通池內被照射到檢查光的粒子所產生的反應光進行檢測。
[0021]在上述粒子檢測裝置中，光檢測器可以以相對于流通池的突出部設置一角度的方式配置。上述粒子檢測裝置可還包括聚光光學系統，所述聚光光學系統會聚相對于流通池的突出部成角度地出射自流通池的反應光。聚光光學系統可包括透鏡，所述透鏡以相對于流通池的突出部設置一角度的方式配置。
[0022]在上述粒子檢測裝置中，流通池可包括透明的板狀構件，所述透明的板狀構件垂直于該流通池的貫通孔，以包括包含檢查光的光路的平面的一部分的方式配置，且設置有貫通孔。流通池的板狀構件可具有第I主面以及與第I主面相對的第2主面，貫通孔從第I主面貫通至第2主面，流通池可還包括:透明的第I半球構件，其設置有貫通孔，并且以板狀構件的貫通孔與該第I半球構件的貫通孔連通的方式配置在板狀構件的第I主面上；以及透明的第2半球構件，其設置有貫通孔，并且以板狀構件的貫通孔與該第2半球構件的貫通孔連通的方式配置在板狀構件的第2主面上。板狀構件的第I及第2主面的寬度可寬于第I及第2半球構件的底面的寬度，板狀構件的寬度寬于第I及第2半球構件的部分構成流通池的突出部。流通池可還包括半球面反射膜，所述半球面反射膜覆蓋第I半球構件。
[0023]上述粒子檢測裝置可還包括橢圓鏡，所述橢圓鏡對出射自流通池的反應光進行反射。橢圓鏡也可與流通池的突出部不交叉。
[0024]進而，本發明的形態為一種粒子檢測裝置，其包括:(a)檢查光源，其發出檢查光；(b)透明的流通池，其供包含粒子的流體流動，設置有剖面形狀為圓的貫通孔，并且以垂直于貫通孔的延伸方向的方式被照射檢查光；(C)雜散光衰減構件，其以包含扇形面的方式配置，所述扇形面以檢查光與流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池的貫通孔的延伸方向；以及(d)光檢測器，其相對于流通池而配置在雜散光衰減構件的后方，對在流通池內被照射到檢查光的粒子所產生的反應光進行檢測。
[0025]在上述粒子檢測裝置中，在與流通池的貫通孔的延伸方向平行的方向上，雜散光衰減構件的寬度可小于光檢測器的受光面的寬度。
[0026]發明的效果
[0027]根據本發明，可提供一種能抑制雜散光的影響的粒子檢測裝置。
【附圖說明】
[0028]圖1為本發明的第I實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0029]圖2為本發明的第I實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0030]圖3為本發明的第I實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0031 ]圖4為本發明的第2實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0032]圖5為本發明的第3實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0033]圖6為本發明的第3實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0034]圖7為本發明的第3實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0035]圖8為本發明的第4實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0036]圖9為本發明的第4實施方式的流通池的示意性側視圖。
[0037]圖10為本發明的第4實施方式的流通池的示意性剖視圖。
[0038]圖11為本發明的第5實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0039]圖12為本發明的第5實施方式的流通池的示意性側視圖。
[0040]圖13為本發明的第5實施方式的流通池的示意性剖視圖。
[0041]圖14為本發明的第6實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0042]圖15為構成本發明的第6實施方式的流通池的板狀構件以及第I及第2半球構件的示意性側視圖。
[0043]圖16為本發明的第6實施方式的流通池的示意性側視圖。
[0044]圖17為本發明的第6實施方式的流通池的示意性剖視圖。
[0045]圖18為本發明的第7實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0046]圖19為構成本發明的第7實施方式的流通池的板狀構件以及第I及第2半球構件的示意性側視圖。
[0047]圖20為本發明的第7實施方式的流通池的示意性側視圖。
[0048]圖21為本發明的第7實施方式的流通池的示意性剖視圖。
[0049]圖22為本發明的第7實施方式的流通池的示意性立體圖。
[0050]圖23為本發明的第7實施方式的流通池的分解圖。
[0051]圖24為從圖22中的XXV1-XXVI方向觀察到的本發明的第7實施方式的流通池的示意性剖視圖。
[0052]圖25為用于說明本發明的第7實施方式的流通池的制造方法的工序圖。
[0053]圖26為用于說明本發明的第7實施方式的流通池的制造方法的工序圖。
[0054]圖27為用于說明本發明的第7實施方式的流通池的制造方法的工序圖。
[0055]圖28為用于說明本發明的第7實施方式的流通池的制造方法的工序圖。
[0056]圖29為用于說明本發明的第7實施方式的流通池的制造方法的工序圖。
[0057]圖30為用于說明本發明的第7實施方式的流通池的制造方法的工序圖。
[0058]圖31為用于說明本發明的第7實施方式的流通池的制造方法的工序圖。
[0059]圖32為用于說明本發明的第7實施方式的流通池的制造方法的工序圖。
[0060]圖33為本發明的第8實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
[0061]圖34為本發明的第8實施方式的流通池的示意性俯視圖。
[0062]圖35為本發明的第9實施方式的粒子檢測裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0063]下面，對本發明的實施方式進行說明。在以下的附圖的記載中，以同一或類似符號表示同一或類似部分。但附圖為示意性的圖。因而，具體的尺寸等應對照以下的說明來判斷。此外，當然也包含在附圖之間相互的尺寸關系或比率不同的部分。
[0064](第丨實施方式)
[0065]如圖1所示，本發明的第I實施方式的粒子檢測裝置包括:檢查光源30，其發出檢查光;透明的流通池4，包含粒子的流體在該流通池4中流動，該流通池4上設置有剖面形狀為圓的貫通孔14，該流通池4以垂直于貫通孔14的延伸方向的方式被照射檢查光；以及光檢測器60，其對在流通池4內被照射到檢查光的粒子所產生的反應光進行檢測，并且對以與扇形面200成角度Θ的方式出射自流通池4的反應光進行檢測，所述扇形面200以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向。
[0066]流通池4例如為長方體。貫通孔14垂直地貫通于流通池4的相對的面之間。流通池4的表面以及貫通孔14的內壁例如經過研磨。貫通孔14例如穿過流通池4的中心。若將貫通孔14的剖面形狀設為圓而使得內壁沒有角，則可抑制氣泡滯留或者污物附著在貫通孔14的內部。貫通孔14的延伸方向垂直于檢查光的行進方向。貫通孔14的直徑例如不足1mm，但并不限定于此。流通池4例如由石英玻璃構成。
[0067]在流通池4中流動的流體中所含的粒子包括如下物質:包括微生物等在內的生物體物質、細胞、化學物質、垃圾、塵土、以及塵埃等灰塵等。作為微生物的例子，包括細菌及真菌。作為細菌的例子，可列舉革蘭氏陰性菌及革蘭氏陽性菌。作為革蘭氏陰性菌的例子，可列舉大腸桿菌。作為革蘭氏陽性菌的例子，可列舉表皮葡萄球菌、枯草桿菌、微球菌及棒狀桿菌。作為真菌的例子，可列舉黑霉菌等曲霉。但微生物并不限定于此。
[0068]若流體中含有微生物等熒光性粒子，則粒子被照射激發光時會發出熒光。例如，微生物中所含的核黃素(riboflavin)、黃素單核苷酸(FMN)、黃素腺嘌呤二核苷酸(FAD)、煙酰胺腺嘌呤二核苷酸磷酸(嫩0(?)!1)、卩比卩多胺(。71^(1(?3111；[116)、磷酸卩比卩多醛(。71^(1(?31-5’-phosphate)、卩比卩多醇(pyridoxine)、色氨酸(tryptophan)、酪氨酸(tyrosine)及苯基丙胺酸(phenylalanine)等會發出焚光。
[0069]作為用于檢測在流通池4內部流動的熒光性粒子的檢查光的激發光例如以聚焦于流通池4的中心的方式照射自檢查光源30。檢查光可為平行光。作為檢查光源30，可使用發光二極管(LED)及激光。檢查光的波長例如為250至550nm。檢查光可為可見光，也可為紫外光。在檢查光為可見光的情況下，檢查光的波長例如在400至550nm的范圍內，例如為405nm。在檢查光為紫外光的情況下，檢查光的波長例如在300至380nm的范圍內，例如為340nm。但檢查光的波長并不限定于此。
[0070]在作為檢測區域的貫通孔14內部被照射到檢查光的熒光性粒子發出熒光。此外，在被照射到檢查光的熒光性粒子及非熒光性粒子中，例如產生因米氏散射所引起的散射光。作為被照射到光的粒子中所產生的反應光的熒光及散射光從粒子全方位地發出。
[0071]光檢測器60接收并檢測流通池4中所產生的反應光。光檢測器60例如以相對于扇形面200設置角度Θ的方式配置，所述扇形面200以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向。作為光檢測器60，例如可使用光電二極管及光電倍增管等，當接收到光時，將光能轉換為電能。
[0072]在流通池4被檢查光照射時，存在檢查光在剖面形狀為圓的貫通孔14的內壁與貫通孔14內的流體的曲面界面發生反射及折射而變為雜散光的情況。雜散光存在如下傾向:在垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向的平面內，以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點而呈扇形擴散，所述扇形的頂角約為30度至60度。雜散光擴散的角度存在如下傾向:貫通孔14的直徑越小，雜散光擴散的角度就越大，此外，檢查光的寬度越大，雜散光擴散的角度就越大。
[0073]不同于在流通池4的貫通孔14內部流動的粒子所產生的米氏散射，雜散光是粒子的檢測不需要的。因此，若雜散光到達至光檢測器60，則可能引起噪聲。相對于此，在第I實施方式的粒子檢測裝置中，光檢測器60以對相對于扇形面200成角度Θ地出射自流通池4的反應光進行檢測的方式配置，所述扇形面200以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向。因此，雜散光不會到達至光檢測器60。因此，即便產生雜散光，也可抑制因雜散光而產生噪聲。
[0074]另外，如圖2所示，光檢測器60相對于扇形面200所成的角度Θ可為直角。
[0075]此外，第I實施方式的粒子檢測裝置可進而包括聚光光學系統，所述聚光光學系統會聚相對于扇形面200成角度Θ地出射自流通池4的反應光，所述扇形面200以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向。聚光光學系統可像圖3所示那樣包括透鏡90，所述透鏡90以相對于扇形面200設置角度Θ的方式配置，所述扇形面200以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向。
[0076](第2實施方式)
[0077]如圖4所示，第2實施方式的粒子檢測裝置包括球形的流通池41。流通池41以垂直于貫通孔44的延伸方向的方式被照射檢查光。光檢測器60對反應光進行檢測，所述反應光是在流通池41內被照射到檢查光的粒子所產生，并且與扇形面200成角度Θ地從流通池41中出射，所述扇形面200以檢查光與流通池41的貫通孔44的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池41的貫通孔44的延伸方向。
[0078]球形的流通池41的表面以及貫通孔44的內壁例如經過研磨。貫通孔44例如穿過流通池41的中心。貫通孔44相對于其延伸方向的剖面形狀為圓。
[0079]在流通池41的貫通孔44內被照射到檢查光的粒子中所產生的熒光及散射光從粒子全方位地發出。在流通池41內部行進的熒光及散射光從流通池41的表面出射。此處，流通池41為大致球形，在檢查光的焦點與流通池41的中心大致一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的熒光及散射光從流通池41的表面大致垂直地出射。因此，通過將流通池41設為球形，可抑制因流通池41與外部的空氣的界面上的反射及折射所導致的熒光及散射光的損失。
[0080]第2實施方式的粒子檢測裝置的其他構成要素與第I實施方式相同。
[0081 ](第3實施方式)
[0082]如圖5所示，在第3實施方式的粒子檢測裝置中，以覆蓋球形流通池41的一部分的方式設置有半球面反射膜42。檢查光從圖5中的垂直方向近前自檢查光源發出，照射至流通池41。檢查光例如以聚焦于球形的流通池41的大致中心的方式被照射。半球面反射膜42以不遮擋檢查光的光路的方式覆蓋流通池41。半球面反射膜42對被照射到檢查光的流通池41內的粒子所產生的反應光進行反射。流通池41的未被半球面反射膜42覆蓋的部分作為半球面透鏡部而發揮功能。半球面反射膜42與半球面透鏡部是相對的。
[0083]半球面反射膜42例如為蒸鍍膜，由金屬等構成。半球面反射膜42的凹部以與對出射自流通池41的反應光進行檢測的光檢測器60或者會聚出射自流通池41的反應光的聚光光學系統相對的方式設置。
[0084]行進至流通池41的半球面透鏡部一方的反應光從半球面透鏡部的表面出射。在檢查光的焦點與流通池41的中心一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的熒光及散射光從流通池41的表面大致垂直地出射。
[0085]行進至流通池41的半球面反射膜42—方的反應光被半球面反射膜42反射而從半球面透鏡部出射。在檢查光的焦點與球形流通池41的中心一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的反應光相對于半球面反射膜42大致垂直地入射。因此，反應光被半球面反射膜42大致垂直地反射而經過球形流通池41的大致中心并從半球面透鏡部的表面大致垂直地出射。
[0086]第3實施方式的粒子檢測裝置的其他構成要素與第2實施方式相同。另外，在第3實施方式中，光檢測器60與扇形面200所成的角度Θ也可像圖6所示那樣為直角，所述扇形面200以檢查光與流通池41的貫通孔44的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池41的貫通孔44的延伸方向。
[0087]若半球面反射膜42像圖6所示那樣以與扇形面200不交叉的方式設置在流通池41上，則雜散光不會被半球面反射膜42反射，所述扇形面200以檢查光與流通池41的貫通孔44的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池41的貫通孔44的延伸方向。
[0088]或者，若像圖7所示那樣在半球面反射膜42的與扇形面200交叉的部分上設置缺口44，則雜散光不會被半球面反射膜42反射，所述扇形面200以檢查光與流通池41的貫通孔44的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池41的貫通孔44的延伸方向。
[0089](第4實施方式)
[0090]如圖8所示，本發明的第4實施方式的粒子檢測裝置包括:檢查光源30，其發出檢查光;流通池41，其被照射檢查光，供包含粒子的流體流動，并且設置有對被照射到檢查光的粒子所產生的反應光進行反射的半球面反射膜42;橢圓鏡50，其以流通池41的位置為第I焦點，對透過了流通池41的半球面透鏡部的反應光進行反射；以及光檢測器60A、60B、60C，它們配置在橢圓鏡50的第2焦點，對經橢圓鏡50反射的反應光進行檢測。
[0091]流通池41的貫通孔44的延伸方向垂直于檢查光的行進方向，且垂直于橢圓鏡50的長軸方向。如圖9及圖10所示，半球面反射膜42覆蓋流通池41的一部分，例如以貫通孔44為界覆蓋流通池41的約一半。流通池41的未被半球面反射膜42覆蓋的部分作為半球面透鏡部而發揮功能。
[0092]如圖8所示，流通池41以半球面透鏡部的凸部以及半球面反射膜42的凹部與橢圓鏡50相對的方式配置。此外，流通池41以貫通孔44所穿過的流通池41的中心與橢圓鏡50的第I焦點一致的方式配置。
[0093]行進至圖10所示的流通池41的半球面透鏡部一方的熒光及散射光從半球面透鏡部的表面出射，到達至圖8所示的橢圓鏡50。在檢查光的焦點與球形流通池41的中心一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的熒光及散射光從流通池41的半球面透鏡部的表面大致垂直地出射。
[0094]行進至圖10所示的流通池41的半球面反射膜42—方的熒光及散射光被半球面反射膜42反射而從半球面透鏡部的表面出射，到達至圖8所示的橢圓鏡50。在檢查光的焦點與流通池41的中心一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的熒光及散射光大致垂直地入射至圖10所示的半球面反射膜42。因此，熒光及散射光被半球面反射膜42大致垂直地反射而經過流通池41的大致中心并從半球面透鏡部的表面大致垂直地出射。
[0095 ]圖8所示的橢圓鏡50的凹面與半球面反射膜42的凹面以及流通池41的半球面透鏡部的凸面相對。出射自流通池41的熒光及散射光被橢圓鏡50反射而會聚于流通池41的后方的橢圓鏡50的第2焦點。例如，通過使橢圓鏡50充分大于流通池41的半球面反射膜42，來提高橢圓鏡50對熒光及散射光的聚光效率。
[0096]在橢圓鏡50的與扇形面200交叉的部分上設置有缺口 51，所述扇形面200以檢查光與流通池41的貫通孔44的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池41的貫通孔44的延伸方向。由此，可防止雜散光被橢圓鏡50反射而到達至光檢測器60A、60B、60C。此外，可在雜散光的行進方向上配置使雜散光衰減的雜散光衰減構件80。雜散光衰減構件80吸收雜散光。另外，在本揭示中，所謂衰減，也意指100%衰減，換句話說也意指遮斷。
[0097]由于在橢圓鏡50上設置有缺口51，因此橢圓鏡50不會反射扇形面200內所含的雜散光及反應光，所述扇形面200以檢查光與流通池41的貫通孔44的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池41的貫通孔44的延伸方向。橢圓鏡50對與扇形面200成角度地、換句話說不包含于扇形面200地出射自流通池41的反應光進行反射。
[0098]在橢圓鏡50的幾何學上的第I焦點及第2焦點之間配置有波長選擇性反射鏡70A、70B。
[0099]波長選擇性反射鏡70A例如波長選擇性地反射散射光。經波長選擇性反射鏡70A反射的散射光的焦點在光學上等同于橢圓鏡50的幾何學上的第2焦點。在經波長選擇性反射鏡70A反射的散射光的焦點上配置有用于檢測散射光的光檢測器60A。
[0100]波長選擇性反射鏡70B例如波長選擇性地反射第I波段的熒光并使第2波段的熒光透過。經波長選擇性反射鏡70B反射的熒光的焦點在光學上等同于橢圓鏡50的幾何學上的第2焦點。在經波長選擇性反射鏡70B反射的第I波段的熒光的焦點上配置有用于檢測第I波段的熒光的光檢測器60B。在透過波長選擇性反射鏡70B的第2波段的熒光的焦點上配置有用于檢測第2波段的熒光的光檢測器60C。
[0101]作為波長選擇性反射鏡70A、70B，可使用分色鏡、干涉膜濾光片及光學濾光片等。另外，在波長選擇性反射鏡70A、70B各自的設計入射角度為45度的情況下，若以散射光或熒光相對于波長選擇性反射鏡70A、70B的入射角為35度以上55度以下的方式設定橢圓鏡50的第I及第2焦點的間隔，則存在干涉膜濾光片的分光效率提高的傾向，但并不限定于此。
[0102]根據以上所說明的第4實施方式的粒子檢測裝置，可利用半球面反射膜42將最初在與橢圓鏡50相反的方向上行進的熒光及散射光反射至橢圓鏡50的方向而會聚于光檢測器60A、60B、60C的位置。因此，能以與透鏡聚光系統同等以上的效率會聚、檢測在流通池41內最初從粒子全方位地發出的熒光及散射光。
[0103]此外，在第4實施方式的粒子檢測裝置中，通過在流通池41上設置半球面反射膜42，可減小半球面反射膜42。因此，可減小半球面反射膜42的投影的面積，熒光及散射光的聚光效率提高，使得即便不使用包含昂貴的高數值孔徑透鏡的復雜的光學系統也可高效地檢測微弱的熒光或散射光。
[0104](第4實施方式的變形例)
[0105]在圖8中，示出了在橢圓鏡50的與扇形面200交叉的部分上設置有缺口51的例子，所述扇形面200以檢查光與流通池41的貫通孔44的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池41的貫通孔44的延伸方向。相對于此，也可在橢圓鏡50的與扇形面200交叉的部分上配置帶狀的雜散光衰減構件。由此，也可防止雜散光被橢圓鏡50反射而到達至光檢測器60A、60B、60Co
[0106](第5實施方式)
[0107]在第4實施方式中，展示了像圖8所示那樣的流通池41的貫通孔44的延伸方向垂直于檢查光的行進方向且垂直于橢圓鏡50的長軸方向的例子。相對于此，也可像圖11所示那樣，流通池41的貫通孔44的延伸方向垂直于檢查光的行進方向且與橢圓鏡50的長軸方向平行。
[0108]在第5實施方式中，如圖12及圖13所示，流通池41的貫通孔44的一側的開口設置在被半球面反射膜42覆蓋的部分的中心，貫通孔44的另一側的開口設置在作為半球面透鏡部而發揮功能的、流通池41的未被半球面反射膜42覆蓋的部分的中心。
[0109]第5實施方式的粒子檢測裝置的其他構成要素與第4實施方式相同。在第5實施方式的粒子檢測裝置中，雜散光在垂直于圖11所示的流通池41的貫通孔44以及橢圓鏡50的長軸的平面內產生。因此，可抑制雜散光進入至橢圓鏡50的與長軸交叉的頂點側。此外，可減小設置在橢圓鏡50上的缺口 51。此外，在扇形面200與橢圓鏡50不交叉的情況下，可不設置缺口51，所述扇形面200以檢查光與流通池41的貫通孔44的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池41的貫通孔44的延伸方向。進而，由于流通池41的貫通孔44與橢圓鏡50的長軸一致，因此可抑制與貫通孔44連接的流路等遮擋熒光及散射光的影響。
[0110](第6實施方式)
[0111]在圖14所示的第6實施方式的粒子檢測裝置中，流通池140像圖15所示那樣具有:透明的板狀構件145，其具有第I主面211、與第I主面211相對的第2主面212、以及垂直于第I及第2主面211、212的側面213、214，且在該板狀構件145上設置有從側面213貫通至側面214的貫通孔144;透明的第I半球構件146，其配置在板狀構件145的第I主面211上；以及透明的第2半球構件147，其配置在板狀構件145的第2主面212上。
[0112]如圖15至圖17所示，在流通池140中，半球面反射膜142覆蓋透明的第I半球構件146，第2半球構件147作為半球面透鏡部143而發揮功能。半球面反射膜142與半球面透鏡部143是相對的。
[0113]板狀構件145的第I主面211及第2主面212例如分別為矩形。第I主面211及第2主面212的形狀也可符合流通池140的支架的形狀。貫通孔144以垂直于板狀構件145的側面213、214的方式設置。貫通孔144例如穿過作為流通池140的中心的板狀構件145的中心。貫通孔144相對于其延伸方向的剖面形狀為圓。圖14所示的貫通孔144的延伸方向垂直于檢查光的行進方向，且垂直于橢圓鏡50的長軸方向。
[0114]作為用于檢測在流通池140內部流動的粒子的檢查光的激發光例如從垂直于板狀構件145的側面213、214的側面朝貫通孔144入射。被照射激發光的板狀構件145的側面優選為經過研磨而平滑度較高。
[0115]圖15所示的第I及第2半球構件146、147分別具有底面及球面。第I及第2半球構件146可分別為將完整的球一分為二而得。或者，第I及第2半球構件146也可分別是選定了曲率和厚度以使檢查光與貫通孔144的交點處所產生的反應光垂直地入射至第I及第2半球構件146的表面的凸透鏡構件。第I及第2半球構件146、147的底面的外徑例如與板狀構件145的第I主面211及第2主面212的寬度相同。
[0116]如圖17所示，在貫通孔144內部被照射到激發光的熒光粒子中所產生的熒光及散射光從熒光粒子全方位地發出。此處，行進至流通池140的半球面透鏡部143—方的熒光及散射光從半球面透鏡部143的表面出射，到達至圖14所示的橢圓鏡50。在圖17所示的流通池140中，在板狀構件145的厚度薄于半球面透鏡部143的厚度的情況下，流通池140的形狀近似于球形。因此，在檢查光的焦點與流通池140的中心一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的熒光及散射光大致垂直地入射至半球面透鏡部143的表面。因此，熒光及散射光在半球面透鏡部143的表面幾乎不折射地從半球面透鏡部143的表面出射。
[0117]行進至流通池140的半球面反射膜142—方的熒光及散射光被半球面反射膜142反射而從半球面透鏡部143的表面出射，到達至圖14所示的橢圓鏡50。流通池140的形狀可近似于球形，在檢查光的焦點與流通池140的中心一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的熒光及散射光大致垂直地入射至圖17所示的半球面反射膜142。因此，熒光及散射光被半球面反射膜142大致垂直地反射而經過流通池140的大致中心附近并在半球面透鏡部143的表面幾乎不折射地從半球面透鏡部143的表面出射。
[0118]在第6實施方式中，由于在圖14所示的橢圓鏡50上設置有缺口51，因此橢圓鏡50也不會反射扇形面200內所含的雜散光及反應光，所述扇形面200以檢查光與流通池140的貫通孔144的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池140的貫通孔144的延伸方向。橢圓鏡50對與扇形面200成角度地、換句話說不包含于扇形面200地出射自流通池140的反應光進行反射。
[0119]透過板狀構件145的檢查光的光強度強于貫通孔144內的粒子所產生的熒光及散射光的光強度。由于具有較強的光強度的激發光有可能引起雜散光，因此被入射檢查光的板狀構件145的材料優選為合成石英等透明度較高的材料。相對于此，熒光及散射光的光強度較弱，不容易引起雜散光。因此，第I及第2半球構件146、147的材料的透明度可與板狀構件145的材料的透明度相同，但第I及第2半球構件146、147也可在熒光及散射光透過的范圍內使用透明度低于板狀構件145的材料的廉價材料。
[0120]具體而言，第I及第2半球構件146、147的材料可使用石英玻璃，或者也可使用不同于石英玻璃的光學玻璃或者聚甲基丙烯酸甲酯樹脂(PMMA)等透明樹脂。
[0121]第6實施方式的粒子檢測裝置的其他構成要素與第4實施方式相同。根據第6實施方式的粒子檢測裝置，也可高效地會聚、檢測流通池140中所產生的散射光及熒光等反應光。
[0122](第7實施方式)
[0123]在圖18所示的第7實施方式的粒子檢測裝置中，流通池240像圖19所示那樣具有:透明的板狀構件245，其具有第I主面311以及與第I主面311相對的第2主面312，且在該板狀構件245上設置有從第I主面311貫通至第2主面312的貫通孔275;透明的第I半球構件246，其設置有貫通孔276，并且以板狀構件245的貫通孔275與該第I半球構件246的貫通孔276連通的方式配置在板狀構件245的第I主面311上；以及透明的第2半球構件247，其設置有貫通孔277，并且以板狀構件245的貫通孔275與該第2半球構件247的貫通孔277連通的方式配置在板狀構件245的第2主面312上。
[0124]如圖19至圖24所示，在流通池240中，半球面反射膜242覆蓋透明的第I半球構件246，第2半球構件247作為半球面透鏡部243而發揮功能。半球面反射膜242與半球面透鏡部243是相對的。
[0125]板狀構件245的第I主面311及第2主面312例如分別為矩形。第I主面311及第2主面312的形狀也可符合流通池240的支架的形狀。貫通孔275以垂直于第I及第2主面311、312的方式設置。板狀構件245例如由石英玻璃構成。被照射激發光的板狀構件245的側面優選為經過研磨而平滑度較高。
[0126]板狀構件245上所設置的貫通孔275例如穿過作為流通池240的中心的板狀構件245的中心。貫通孔275相對于其延伸方向的剖面形狀為圓。貫通孔275的延伸方向垂直于檢查光的行進方向，且與橢圓鏡50的長軸方向平行。
[0127]第I及第2半球構件246、247分別具有底面及球面。第I及第2半球構件246、247可分別為將完整的球一分為二而得。或者，第I及第2半球構件246、247也可分別為選定了曲率和厚度以使檢查光與貫通孔275的交點處所產生的反應光垂直地入射至第I及第2半球構件246、247的表面的凸透鏡構件。第I及第2半球構件246、247的底面的外徑可等于也可小于板狀構件245的第I主面311及第2主面312的寬度。在第I半球構件246中，貫通孔276從第I半球構件246的頂點朝底面垂直地設置。貫通孔276相對于其延伸方向的剖面形狀為圓。此外，在第2半球構件247中，貫通孔277從第2半球構件247的頂點朝底面垂直地設置。貫通孔277相對于其延伸方向的剖面形狀為圓。第I及第2半球構件246、247例如由石英玻璃構成。或者，第I及第2半球構件246、247例如也可由不同于石英玻璃的光學玻璃或者聚甲基丙烯酸甲酯樹脂(PMMA)等透明樹脂構成。
[0128]在流通池240中，流體在第I半球構件246的貫通孔276、板狀構件245的貫通孔275、以及第2半球構件247的貫通孔277中流動。流體可從第I半球構件246側流至第2半球構件247側，也可從第2半球構件247側流至第I半球構件246側。
[0129]作為用于檢測在流通池240內部流動的粒子的檢查光的激發光例如從垂直于板狀構件245的第I及第2主面311、312的側面朝貫通孔275入射。在貫通孔275內部被照射到激發光的熒光粒子中所產生的熒光及散射光從熒光粒子全方位地發出。
[0130]行進至圖21所示的流通池240的半球面透鏡部243—方的熒光及散射光從半球面透鏡部243的表面出射，到達至圖18所示的橢圓鏡50。在流通池240中，在圖21所示的板狀構件245的厚度薄于半球面透鏡部243的厚度的情況下，流通池240的形狀近似于球形。因此，在檢查光的焦點與流通池240的中心一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的熒光及散射光大致垂直地入射至半球面透鏡部243的表面。因此，熒光及散射光在半球面透鏡部243的表面幾乎不折射地從半球面透鏡部243的表面出射。
[0131]行進至流通池240的半球面反射膜242—方的熒光及散射光被半球面反射膜242反射而從半球面透鏡部243的表面出射，到達至圖18所示的橢圓鏡50。流通池240的形狀可近似于球形，在檢查光的焦點與流通池240的中心一致的情況下，檢查光的焦點處所產生的熒光及散射光大致垂直地入射至圖21所示的半球面反射膜242。因此，熒光及散射光被半球面反射膜242大致垂直地反射而經過流通池240的中心附近并在半球面透鏡部243的表面幾乎不折射地從半球面透鏡部243的表面出射。
[0132]第7實施方式的粒子檢測裝置的其他構成要素與第5實施方式相同。在第7實施方式的粒子檢測裝置中，雜散光也是在垂直于圖18所示的流通池240的貫通孔以及橢圓鏡50的長軸的平面內產生。因此，可抑制雜散光進入至與橢圓鏡50的長軸交叉的頂點側。此外，可減小設置在橢圓鏡50上的缺口 51。
[0133]另外，不對第I及第2半球構件246、247的貫通孔276、277照射激發光。因而，第I及第2半球構件246、247的貫通孔276、277的內壁的平滑度可與板狀構件245的貫通孔275的內壁的平滑度相同，但也可低于板狀構件245的貫通孔275的內壁的平滑度。
[0134]此外，板狀構件245的貫通孔275的直徑越小，相對于檢查光的焦點而言，檢測對象物質流動的范圍就越窄，且多個檢測對象物質同時通過檢查光的焦點的可能性就越低。因此，貫通孔275直徑越小，熒光及散射光的檢測分辨率就越有提高的傾向。相對于此，不被照射激發光的第I及第2半球構件246、247的貫通孔276、277的直徑對熒光及散射光的檢測分辨率的影響較小。因而，第I及第2半球構件246、247的貫通孔276、277的直徑可與板狀構件245的貫通孔275的直徑相同，但也可大于板狀構件245的貫通孔275的直徑。
[0135]進而，透過板狀構件245的檢查光的光強度強于貫通孔275內的粒子所產生的熒光及散射光的光強度。由于具有較強的光強度的激發光有可能引起雜散光，因此被入射檢查光的板狀構件245的材料優選為合成石英等透明度較高的材料。相對于此，熒光及散射光的光強度較弱，不容易引起雜散光。因此，第I及第2半球構件246、247的材料的透明度可與板狀構件245的材料的透明度相同，但第I及第2半球構件246、247也可在熒光及散射光透過的范圍內，使用透明度低于板狀構件245的材料的廉價材料。
[0136]接著，對第7實施方式的流通池240的制造方法進行說明。如圖25所示，準備板狀構件245，并且像圖26所示那樣在板狀構件245上設置貫通孔275。此外，如圖27所示，準備第I半球構件246，并且像圖28所示那樣在第I半球構件246的半球面上形成半球面反射膜242。進而，如圖29所示，在設置有半球面反射膜242的第I半球構件246上設置貫通孔276。進而，如圖30所示，準備第2半球構件247，并且像圖31所示那樣在第2半球構件247上設置貫通孔277。
[0137]貫通孔275、276、277例如可通過蝕刻法來設置。或者，貫通孔275、276、277也可通過鉆孔機來設置。進而，在形成貫通孔275、276、277后，可對貫通孔275、276、277的內壁進行研磨等而提高平滑度。另外，也可僅對貫通孔275的內壁進行研磨等而提高平滑度。
[0138]此處，相較于半球構件而言，對板狀構件更容易設置內壁的平滑度較高的貫通孔。此外，如上所述，在所制造的流通池240中，對板狀構件245照射激發光，但不對第I及第2半球構件246、247照射激發光。因而，可在板狀構件245上設置內壁的平滑度較高的貫通孔275，在第I及第2半球構件246、247上設置內壁的平滑度低于貫通孔275的貫通孔276、277，從而降低第7實施方式的流通池240的制造成本。
[0139]進而，相較于半球構件而言，對板狀構件更容易設置直徑較小的貫通孔。進而，如上所述，板狀構件245的貫通孔275的直徑較小會使得所制造的流通池240中的熒光及散射光的檢測分辨率較高，而不被照射激發光的第I及第2半球構件246、247的貫通孔276、277的直徑對檢測分辨率的影響較小。因而，可在板狀構件245上設置直徑較小的貫通孔275，在第I及第2半球構件246、247上設置直徑大于貫通孔275的貫通孔276、277，從而降低第7實施方式的流通池240的制造成本。
[0140]設置有貫通孔275的板狀構件245可通過延伸法進行制造。例如，準備如圖32所示的設置有剖面形狀為圓的貫通孔527的玻璃母材520，并在與貫通孔527的延伸方向相同的方向上對玻璃母材520進行加熱延伸，由此在剖面上縮小玻璃母材，使得貫通孔527的直徑變得與所制造的圖26所示的板狀構件245的貫通孔275相同。其后，從圖32所示的延伸后的玻璃母材520的端部切出圖26所示的板狀構件245。所切出的板狀構件245可進行研磨。
[0141]以貫通孔276、275、277連通的方式對圖23所示的板狀構件245和第I及第2半球構件246、247進行定位，并且，例如通過光學接觸加以接合。或者，板狀構件10與第I及第2半球構件246、247也可利用光學粘接劑等加以粘接。如此，獲得第7實施方式的流通池240。
[0142]根據以上所說明的第7實施方式的流通池240的制造方法，通過貼合板狀構件245以及第I及第2半球構件246、247，可制造包括具有難以通過一體成型制造的立體形狀的透鏡部分的流通池。
[0143]此外，如果要在構件上設置內壁有角的貫通孔，則存在容易在角上形成裂紋或空隙的傾向。相對于此，在第7實施方式的流通池240的制造方法中，由于形成剖面形狀為圓的貫通孔275、276、277，因此可抑制在貫通孔275、276、277的內壁形成裂紋或空隙。
[0144]進而，貫通孔的直徑越小，越難以在構件上設置內壁的平滑度較高的貫通孔，此夕卜，構件的厚度越大，越難以在構件上設置內壁的平滑度較高的貫通孔。因此，如下操作較為困難:在將流通池的母材一體成型后，在流通池的母材上設置直徑較小的貫通孔，并通過研磨等來提高內壁的平滑度。相對于此，根據第7實施方式的流通池240的制造方法，通過貼合預先設置有貫通孔275、276、277的板狀構件245以及第I及第2半球構件246、247，可減小被照射激發光的貫通孔275的直徑，并提高內壁的平滑度。
[0145](第8實施方式)
[0146]在圖33所示的第8實施方式的粒子檢測裝置的流通池240中，如圖34所示，板狀構件245的第I主面311及第2主面312的寬度寬于設置有半球面反射膜242的第I半球構件及第2半球構件247的底面的外徑。板狀構件245的寬于第I半球構件及第2半球構件247的部分構成流通池240的突出部。如圖33所示，流通池240的突出部包括包含檢查光的光路的平面的一部分，且垂直于圖34所示的流通池240的貫通孔275的延伸方向。
[0147]如上所述，在流通池240被檢查光照射時，存在檢查光在剖面形狀為圓的貫通孔275的內壁與貫通孔275內的流體的曲面界面發生反射及折射而變為雜散光的情況。雜散光存在如下傾向:在垂直于流通池240的貫通孔275的延伸方向的平面內，以檢查光與流通池240的貫通孔275的交點為頂點而呈扇形擴散，所述扇形的頂角約為30度至60度。
[0148]但如圖34所示，在流通池240的突出部中，從突出部的內部斜入射至突出部與外側的空氣的界面的雜散光被全反射，因此雜散光一邊在流通池240的突出部內部反復進行全反射，一邊在突出部內部行進。因此，以包含檢查光的光路的方式設置的流通池240的突出部作為雜散光的波導而發揮功能。因而，通過使圖33所示的橢圓鏡50與流通池240的突出部不交叉而使雜散光在橢圓鏡50的外部從流通池240的突出部出射，可抑制雜散光到達至光檢測器 60A、60B、60C。
[0149]第8實施方式的粒子檢測裝置的其他構成要素與第7實施方式相同。
[0150](第9實施方式)
[0151]如圖35所示，第9實施方式的粒子檢測裝置包括:檢查光源30，其發出檢查光;透明的流通池4，其供包含粒子的流體流動，設置有剖面形狀為圓的貫通孔14，并且以垂直于貫通孔14的延伸方向的方式被照射檢查光;雜散光衰減構件80，其以包含扇形面200的方式配置，所述扇形面200以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向；以及光檢測器60，其相對于流通池4而配置在雜散光衰減構件80的后方，對在流通池4內被照射到檢查光的粒子所產生的反應光進行檢測。
[0152]如上所述，在作為檢查區域的貫通孔14內部被照射到檢查光的熒光性粒子發出熒光。此外，在被照射到檢查光的熒光性粒子及非熒光性粒子中，例如產生因米氏散射所引起的散射光。作為被照射到光的粒子中所產生的反應光的熒光及散射光從粒子全方位地發出。
[0153]進而，在流通池4被檢查光照射時，存在檢查光在剖面形狀為圓的貫通孔14的內壁與貫通孔14內的流體的曲面界面發生反射及折射而變為雜散光的情況。雜散光存在如下傾向:在垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向的平面內，以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點而呈扇形擴散，所述扇形的頂角約為30度至60度。
[0154]反應光從粒子全方位地發出，但雜散光存在分布在垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向的平面內而不會在與流通池4的貫通孔14的延伸方向平行的方向上分布的傾向。因此，即便以包含扇形面的方式配置雜散光衰減構件80，全方位地發出的反應光也會到達至雜散光衰減構件80的后方，所述扇形面以檢查光與流通池4的貫通孔14的交點為頂點，平行于檢查光的光路，且垂直于流通池4的貫通孔14的延伸方向。因而，若在與流通池4的貫通孔14的延伸方向平行的方向上使雜散光衰減構件80的寬度小于光檢測器60的受光面的寬度，則可利用光檢測器60對越過雜散光衰減構件80的上下的反應光進行檢測。
[0155]第9實施方式的粒子檢測裝置的其他構成要素與第I實施方式相同。
[0156](其他實施方式)
[0157]如上所述，通過實施方式對本發明進行了記載，但構成本揭示的一部分的記述及附圖不應理解為對本發明的限定。根據本揭示，本領域技術人員理應清楚各種替代實施方式、實施例及運用技術。例如，粒子檢測裝置可僅以粒子所發出的熒光為檢測對象，也可僅以粒子所產生的散射光為檢測對象。如此，應理解，本發明包含此處未記載的各種實施方式等。
[0158]符號說明
[0159]4、41、140、240流通池
[0160]10板狀構件
[0161]14、44、144、275、276、277 貫通孔
[0162]30檢查光源
[0163]42、142、242半球面反射膜
[0164]50橢圓鏡
[0165]60、60A、60B、60C光檢測器
[0166]70A.70B波長選擇性反射鏡
[0167]80雜散光衰減構件
[0168]90透鏡
[0169]143、243半球面透鏡部
[0170]145、245板狀構件
[0171]146、246第I半球構件
[0172]147、247第2半球構件
[0173]200雜散光所形成的面
[0174]211、212、311、312主面
[0175]213、214側面
[0176]520玻璃母材
[0177]527貫通孔。
【主權項】
1.一種粒子檢測裝置，其特征在于，包括: 檢查光源，其發出檢查光； 透明的流通池，其供包含粒子的流體流動，設置有剖面形狀為圓的貫通孔，并且以垂直于所述貫通孔的延伸方向的方式被照射所述檢查光；以及 光檢測器，其對在所述流通池內被照射到所述檢查光的所述粒子所產生的反應光進行檢測，并且是對相對于扇形面成角度地出射自所述流通池的反應光進行檢測，所述扇形面以所述檢查光與所述流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于所述檢查光的光路，且垂直于所述流通池的貫通孔的延伸方向。2.根據權利要求1所述的粒子檢測裝置，其特征在于， 所述光檢測器以相對于扇形面設置一角度的方式配置，所述扇形面以所述檢查光與所述流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于所述檢查光的光路，且垂直于所述流通池的貫通孔的延伸方向。3.根據權利要求1或2所述的粒子檢測裝置，其特征在于， 還包括聚光光學系統，所述聚光光學系統會聚相對于扇形面成角度地出射自所述流通池的反應光，所述扇形面以所述檢查光與所述流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于所述檢查光的光路，且垂直于所述流通池的貫通孔的延伸方向。4.根據權利要求3所述的粒子檢測裝置，其特征在于， 所述聚光光學系統包括透鏡，所述透鏡以相對于扇形面設置一角度的方式配置，所述扇形面以所述檢查光與所述流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于所述檢查光的光路，且垂直于所述流通池的貫通孔的延伸方向。5.根據權利要求1至4中任一項所述的粒子檢測裝置，其特征在于， 所述流通池包括由所述反應光透過的半球面透鏡部。6.根據權利要求1至5中任一項所述的粒子檢測裝置，其特征在于， 所述流通池包括半球面反射膜，所述半球面反射膜對被照射到所述檢查光的所述粒子所產生的反應光進行反射。7.根據權利要求6所述的粒子檢測裝置，其特征在于， 在所述半球面反射膜的與扇形面交叉的部分上設置有缺口，所述扇形面以所述檢查光與所述流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于所述檢查光的光路，且垂直于所述流通池的貫通孔的延伸方向。8.根據權利要求6所述的粒子檢測裝置，其特征在于， 所述半球面反射膜與扇形面不交叉，所述扇形面以所述檢查光與所述流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于所述檢查光的光路，且垂直于所述流通池的貫通孔的延伸方向。9.一種粒子檢測裝置，其特征在于，包括: 檢查光源，其發出檢查光； 透明的流通池，其供包含粒子的流體流動，設置有剖面形狀為圓的貫通孔，并且以垂直于所述貫通孔的延伸方向的方式被照射所述檢查光，且設置有包含所述檢查光的光路的突出部；以及 光檢測器，其對在所述流通池內被照射到所述檢查光的所述粒子所產生的反應光進行檢測。10.一種粒子檢測裝置，其特征在于，包括: 檢查光源，其發出檢查光； 透明的流通池，其供包含粒子的流體流動，設置有剖面形狀為圓的貫通孔，并且以垂直于所述貫通孔的延伸方向的方式被照射所述檢查光； 雜散光衰減構件，其以包含扇形面的方式配置，所述扇形面以所述檢查光與所述流通池的貫通孔的交點為頂點，平行于所述檢查光的光路，且垂直于所述流通池的貫通孔的延伸方向；以及 光檢測器，其相對于所述流通池而配置在所述雜散光衰減構件的后方，對在所述流通池內被照射到所述檢查光的所述粒子所產生的反應光進行檢測。
【文檔編號】G01N15/00GK105891053SQ201610092290
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年2月18日
【發明人】古谷雅, 小原太輔
【申請人】阿自倍爾株式會社