紅外線檢測裝置的制造方法

紅外線檢測裝置的制造方法
【專利摘要】本發明提供能夠擴大靠近設置位置的下方區域的檢測對象范圍的紅外線檢測裝置。一種紅外線檢測裝置，安裝于設置在與空間(4)的底面(42)大致垂直并且距離底面(42)預定高度的設置面(41)的框體(2)，具備：一個以上的紅外線檢測元件以一個以上的列排列而成的紅外線傳感器(102)；和掃描部，其具有掃描旋轉軸(S1)，通過使紅外線傳感器(102)以掃描旋轉軸(S1)旋轉來使紅外線傳感器(102)對空間(4)進行掃描，一個以上的紅外線檢測元件的排列面被配置成相對于設置面(41)具有傾斜。
【專利說明】
紅外線檢測裝置
技術領域
[0001 ]本發明涉及能夠檢測紅外線的紅外線檢測裝置。
【背景技術】
[0002] 在室內空調機等空氣調節器上搭載紅外線傳感器并使用由紅外線傳感器取得的 二維熱圖像數據來進行空氣調節的技術已被提出（例如，專利文獻1)。
[0003] 在專利文獻1中公開了在安裝于與房間的地面距離1800mm的高度處的空調設備上 搭載以縱向一列排列了受光元件而成的紅外線傳感器的技術。
[0004] 現有技術文獻
[0005] 專利文獻
[0006] 專利文獻1:日本特許第5111417號公報 [0007] 專利文獻2:日本特開2011 -174762號公報

【發明內容】

[0008] (發明要解決的問題）
[0009] 但是，在專利文獻1所公開的技術中，由于紅外線傳感器設置在比人、熱源等測量 對象物高的位置，所以存在靠近紅外線傳感器的下方區域會處于檢測對象范圍外這一問 題。
[0010] 本發明著眼于上述的問題點而提出，目的在于提供能夠擴大靠近設置位置的下方 區域的檢測對象范圍的紅外線檢測裝置。
[0011] 用于解決問題的手段
[0012] 本發明的一個方式所涉及的紅外線檢測裝置安裝于設置在與空間的底面大致垂 直并且距離所述底面預定高度的設置面的框體，所述紅外線檢測裝置具備:一個以上的紅 外線檢測元件以一個以上的列排列而成的紅外線傳感器;和掃描部，其具有掃描旋轉軸，通 過使所述紅外線傳感器以所述掃描旋轉軸旋轉來使所述紅外線傳感器對所述空間進行掃 描，所述一個以上的紅外線檢測元件的排列面被配置成相對于所述設置面具有傾斜。
[0013]此外，上述總括性或具體的技術方案可以通過系統、方法、集成電路、計算機程序 或者計算機可讀取的CD -ROM等記錄介質來實現，也可以通過系統、方法、集成電路、計算機 程序和記錄介質的任意組合來實現。
[0014] 發明的效果
[0015] 根據本發明，能夠提供能擴大靠近設置位置的下方區域的檢測對象范圍的紅外線 檢測裝置。
【附圖說明】
[0016] 圖1是示出實施方式1的紅外線檢測裝置的結構的一例的圖。
[0017] 圖2是實施方式1的紅外線檢測裝置搭載于框體的情況下的物理結構的示意圖。
[0018] 圖3是示出設置了搭載有實施方式1的紅外線檢測裝置的框體的情形的圖。
[0019] 圖4是示出實施方式1的紅外線檢測裝置的物理結構的圖。
[0020]圖5A是比較例的紅外線檢測裝置搭載于框體的情況下的物理結構的示意圖。
[0021] 圖5B是用于說明圖5A所示的比較例中的紅外線檢測裝置的死角區域的圖。
[0022] 圖6是用于說明利用實施方式1的紅外線傳感器掃描出的熱圖像產生變形的情況 的圖。
[0023] 圖7是示出實施方式2的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0024] 圖8A是用于對實施方式2的相鄰的紅外線檢測元件的橫邊寬度的關系進行說明的 圖。
[0025] 圖8B是用于對實施方式2的相鄰的紅外線檢測元件的橫邊寬度的關系進行說明的 圖。
[0026] 圖8C是用于對實施方式2的相鄰的紅外線檢測元件的橫邊寬度的關系進行說明的 圖。
[0027] 圖8D是用于對實施方式2的相鄰的紅外線檢測元件的橫邊寬度的關系進行說明的 圖。
[0028] 圖9是示出實施方式2的紅外線傳感器的結構的另一例的圖。
[0029] 圖10是示出實施方式2的變形例1的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0030] 圖11A是示出實施方式2的變形例2的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0031] 圖11B是示出實施方式2的變形例2的紅外線傳感器的結構的另一例的圖。
[0032] 圖12A是示出實施方式2的變形例3的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0033] 圖12B是示出實施方式2的變形例3的紅外線傳感器的結構的另一例的圖。
[0034] 圖13是示出實施方式2的變形例4的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0035] 圖14是示出實施方式2的變形例5的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0036] 圖15是示出實施方式2的變形例5的紅外線傳感器的結構的另一例的圖。
[0037] 圖16是示出構成實施方式2的變形例5的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的 大小的一例的圖。
[0038] 圖17是實施方式3的紅外線檢測裝置搭載于框體的情況下的物理結構的示意圖。
[0039] 圖18是示出實施方式4的紅外線檢測裝置的結構的一例的圖。
[0040] 圖19A是示出實施方式4的掃描部和紅外線檢測部的結構的一例的圖。
[0041 ]圖19B是示出實施方式4的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0042]圖20是示出實施方式4的實施例的紅外線傳感器的一例的圖。
[0043]圖21是用于對圖20所示的紅外線傳感器的傾斜進行說明的圖。
[0044] 圖22A是用于對使用了比較例的紅外線傳感器的情況下的紅外線檢測裝置的效果 進行說明的圖。
[0045] 圖22B是用于對使用了圖20所示的紅外線傳感器的情況下的紅外線檢測裝置的效 果進行說明的圖。
[0046] 圖23是用于說明實施方式4的紅外線檢測裝置的動作的流程圖。
[0047]圖24是示出實施方式4的變形例的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0048]圖25是示出實施方式4的變形例的其他例子的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0049] 圖26是示出實施方式5的紅外線傳感器的一例的結構的一例的圖。
[0050] 圖27是用于對圖25所示的紅外線傳感器的傾斜進行說明的圖。
[0051] 圖28是示出實施方式5的實施例的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0052]圖29是用于對圖28所示的紅外線傳感器的傾斜進行說明的圖。
[0053]圖30是用于說明使用了圖27所示的紅外線傳感器的情況下的紅外線檢測裝置的 效果的圖。
[0054] 圖31是示出實施方式6的紅外線檢測裝置的結構的一例的圖。
[0055] 圖32是實施方式6的紅外線檢測裝置搭載于框體的情況下的物理結構的局部示意 圖。
[0056]圖33A是示出實施方式6的紅外線檢測裝置的物理結構的圖。
[0057]圖33B是示出實施方式6的紅外線檢測裝置的其它物理結構的圖。
[0058]圖34是實施方式6的紅外線檢測部的分解立體圖。
[0059] 圖35是實施方式6的紅外線檢測部的截面概略圖。
[0060] 圖36是實施方式6的1C芯片的電路框圖。
[0061] 圖37是示出構成實施方式6的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的排列的一例 的圖。
[0062]圖38是示出構成實施方式6的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的排列的一例 的圖。
[0063]圖39A是示出構成實施方式6的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的排列的一 例的圖。
[0064]圖39B是示出構成實施方式6的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的排列的一 例的圖。
[0065]圖39C是示出構成實施方式6的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的排列的一 例的圖。
[0066]圖40A是用于說明比較例中的掃描時的因來自1C芯片的熱產生的影響的圖。
[0067] 圖40B是用于說明實施方式6的紅外線檢測裝置中的掃描時的因來自1C芯片的熱 產生的影響的圖。
[0068] 圖41A是示出實施方式6的熱敏電阻的配置例的圖。
[0069]圖41B是示出實施方式6的熱敏電阻的配置例的圖。
[0070]圖42A是構成紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的形式的一例。
[0071]圖42B是構成紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的形式的一例。
[0072]附圖標記的說明 [0073] 1、1A、1B紅外線檢測裝置
[0074] 2 框體
[0075] 4 空間
[0076] 10、20紅外線檢測部
[0077] 11掃描部
[0078] 12控制處理部
[0079] 41設置面
[0080] 42 底面
[0081 ] 101、301、501 傳感器模塊
[0082] 102、102A、102a、102b、102c、102d、102e、202、202b、202c、202d、202e、202f、202g、 202h、202i、202j、302、402a、402b、402c、402d、402e、502、502a 紅外線傳感器
[0083] 103 罩
[0084] 104 布線
[0085] 111、311 馬達
[0086] 112、312、512 設置臺
[0087] 121設備控制部
[0088] 122圖像處理部
[0089] 201封裝件主體
[0090] 203 窗孔
[0091] 204 1C 芯片
[0092] 205封裝件蓋
[0093] 206 透鏡
[0094] 207熱敏電阻
[0095] 400 物體
[0096] 2041多路復用器
[0097] 2042a、2042b 放大電路
[0098] 2043 A/D轉換電路
[0099] 2044 運算部
[0100] 2045 存儲器
[0101] 2046控制電路
【具體實施方式】
[0102](成為本發明的基礎的見解）
[0103] 在專利文獻1所公開的技術中，由于紅外線傳感器設置在比人、熱源等測量對象物 高的位置，所以存在靠近紅外線傳感器的下方區域會處于檢測對象范圍外這一問題。
[0104] 本發明著眼于上述的問題點而提出，提供能夠擴大靠近設置位置的下方區域的檢 測對象范圍的紅外線檢測裝置。
[0105] 以下，參照附圖對本發明的一個方式所涉及的紅外線檢測裝置等進行具體說明。 此外，以下說明的實施方式都表示本發明的一個具體例子。以下的實施方式所示出的數值、 形狀、材料、構成要素、構成要素的配置位置等是一個例子，并非限定本發明的意思。另外， 關于以下的實施方式的構成要素中的未記載在表示最上位概念的獨立權利要求中的構成 要素，作為任意的構成要素而說明。
[0106] (實施方式1)
[0107][紅外線檢測裝置的結構]
[0108] 以下，參照附圖對實施方式1的紅外線檢測裝置進行說明。
[0109] 圖1是示出實施方式1的紅外線檢測裝置的結構的一例的圖。圖2是本實施方式的 紅外線檢測裝置搭載于框體的情況下的物理結構的示意圖。圖3是示出設置了搭載有本實 施方式的紅外線檢測裝置的框體的情形的圖。圖4是示出本實施方式的紅外線檢測裝置的 物理結構的圖。
[0110] 如圖3所示，紅外線檢測裝置1安裝于框體2,取得檢測對象范圍的熱圖像，所述框 體2設置在與空間4的底面42大致垂直并且距離底面42預定高度的設置面41。在此，熱圖像 是由表示溫度檢測對象范圍的溫度分布的多個像素構成的圖像。另外，預定高度例如是指 比人和/或熱源等溫度檢測對象(測量對象)高的高度，例如是1800mm以上的高度。框體2例 如是空調機等空調設備的框體。框體2利用紅外線檢測裝置1所取得的熱圖像對人的位置、 熱源的位置、冷熱度等房間的狀態進行分析，基于分析出的房間的狀態對風向、風量、溫度、 濕度中的任一方進行控制。空間4例如是房間，底面42例如是房間的地面，設置面41例如是 房間的墻壁的表面等。
[0111] 如圖1所示，紅外線檢測裝置1具備紅外線檢測部10、掃描部11和控制處理部12。
[0112] 掃描部11具有掃描旋轉軸S1(圖3所示），通過使紅外線傳感器102以該掃描旋轉軸 S1旋轉，使紅外線傳感器102對空間4進行掃描。掃描旋轉軸S1與設置面41大致平行。在本實 施方式中，如圖2~圖4所示，掃描部11具備馬達111和設置臺112。
[0113] 馬達111受控制處理部12控制，通過使設置臺112以掃描旋轉軸S1旋轉而使紅外線 傳感器102以掃描旋轉軸S1旋轉。在此，馬達111例如是步進馬達或伺服馬達等。
[0114] 設置臺112設置有下述的傳感器模塊101。設置臺112被配置成相對于掃描旋轉軸 S1具有傾斜。在此，例如，傾斜可以為30度左右。
[0115] 紅外線檢測部10通過利用掃描部11以掃描旋轉軸S1旋轉而對空間4的溫度檢測對 象范圍進行掃描。在本實施方式中，如圖2~圖4所示，紅外線檢測部10具備搭載有紅外線傳 感器102的傳感器模塊101和罩103。
[0116] 傳感器模塊101搭載有紅外線傳感器102和透鏡(未圖示），利用布線104與框體2電 連接。另外，傳感器模塊101設置于掃描部11的設置臺112。
[0117] 透鏡(未圖示）由紅外線的透射率高的硅和/或ZnS等構成。透鏡被設計成從各方向 入射到該透鏡的紅外線(紅外光）向構成紅外線傳感器102的一個以上的紅外線檢測元件分 別入射。
[0118] 如圖4所示，紅外線傳感器102以掃描旋轉軸S1旋轉，由此對空間4的溫度檢測對象 范圍進行掃描，將掃描出的溫度檢測對象范圍的熱圖像(紅外線圖像）向控制處理部12輸 出。具體而言，紅外線傳感器102由一個以上的紅外線檢測元件以一個以上的列排列而成的 紅外線傳感器102構成，檢測被該一個以上的紅外線檢測元件掃描的空間4的溫度檢測對象 范圍的紅外線。
[0119] 該一個以上的紅外線檢測元件的排列面被配置成相對于設置面41具有傾斜。換言 之，該排列面被配置成相對于掃描旋轉軸S1具有傾斜。另外，在該排列面的中心(透鏡中心） 具有紅外線傳感器102以掃描旋轉軸S1旋轉時的旋轉中心即掃描旋轉軸S1通過的旋轉中 心。進而，該排列面與掃描旋轉軸S1交叉。由此，例如圖3所示，紅外線傳感器102的視野中心 軸C1比設置面41的垂直方向朝向底面42、即朝下。
[0120] 在此，對比較例進行說明。
[0121]圖5A是比較例的紅外線檢測裝置搭載于框體的情況下的物理結構的示意圖。圖5B 是用于說明圖5A所示的比較例的紅外線檢測裝置的死角區域的圖。此外，對與圖3同樣的要 素標注同一附圖標記，省略詳細的說明。
[0122] 圖5A和圖5B所示的比較例的紅外線檢測裝置與本實施方式的紅外線檢測裝置1相 比較，設置臺512、設置在設置臺512的傳感器模塊501、和搭載于傳感器模塊501的紅外線傳 感器502的配置不同，是沿著掃描旋轉軸S1(平行地)配置的。此外，比較例的設置臺512、傳 感器模塊501和紅外線傳感器502的結構除了上述的配置之外，與本實施方式的設置臺112、 傳感器模塊101和紅外線傳感器102相同，因此省略詳細的說明。
[0123] 如圖5B所示，紅外線傳感器502的視野中心軸C2與設置面41的垂直方向平行（與底 面42平行）。另外，如圖5A和圖5B所示，掃描旋轉軸S1通過紅外線傳感器502的排列面，紅外 線傳感器502以通過該排列面的掃描旋轉軸S1旋轉。因此，與紅外線傳感器502的有效視野 角（視場角）的最靠近底面42的最下端的主光線即最下端主光線V3相比靠下方的區域A1會 成為死角即會成為檢測對象范圍外。
[0124] 另一方面，如圖3和圖4所示，本實施方式的紅外線傳感器102相對于掃描旋轉軸S1 傾斜地配置，掃描旋轉軸S1通過紅外線傳感器102的中心，并且掃描旋轉軸S1與紅外線傳感 器102交叉。因此，紅外線傳感器102的視野中心軸C1朝下傾斜。即，紅外線傳感器102的視野 中心軸C1比紅外線傳感器502的視野中心軸C2朝下傾斜。因此，紅外線傳感器102在使視野 中心軸C1相對于底面42維持相同角度的狀態下以掃描旋轉軸S1旋轉。
[0125] 由此，設置有紅外線傳感器102的位置附近的下方區域包含于有效視野角（視場 角）。換言之，成為與紅外線傳感器102的有效視野角(視場角）的最靠近底面42的最下端的 主光線即最下端主光線V2相比靠下方的死角的區域，比比較例的紅外線傳感器502小。這 樣，本實施方式的紅外線傳感器102能夠擴大下方區域的檢測對象范圍。
[0126] 罩103覆蓋紅外線傳感器102(透鏡），由聚乙烯、硅等紅外透射原材料構成。
[0127] 控制處理部12控制掃描部11，對紅外線檢測部10所取得的熱圖像(輸入圖像)進行 處理，并輸出至框體2所包括的運算裝置。此外，控制處理部12也可以包含于框體2的運算裝 置中。
[0128] 在此，控制處理部12在對紅外線檢測部10所取得的熱圖像進行了變形修正后，基 于進行了變形修正后的熱圖像進行取得熱圖像數據的處理，上述熱圖像數據表示處于溫度 檢測對象范圍內的人的位置和/或使用者的手或面部的溫度、墻壁的溫度等熱源的位置和/ 或溫度。這是由于當紅外線傳感器102以掃描旋轉軸S1旋轉時，紅外線傳感器102的從底面 42觀察的上端與下端的轉速(旋轉俯仰)不同，因此由紅外線傳感器102輸出的熱圖像會產 生變形。
[0129] 此外，控制處理部12也可以對紅外線檢測部10所取得的熱圖像(輸入圖像)實施超 分辨率處理來重建熱圖像(輸入圖像），由此生成高清晰的熱圖像(輸出圖像）。在此情況下， 控制處理部12能夠輸出所生成的高清晰的熱圖像即超分辨率處理后的熱圖像。在此，超分 辨率處理是能夠生成未存在于輸入圖像的高分辨率的信息(輸出圖像）的高分辨率化處理 之一。對于超分辨率處理，存在從多張圖像得到一張高分辨率圖像的處理方法和使用了學 習數據的處理方法。在本實施方式中，掃描部11使紅外線檢測部10進行掃描，由此能夠取得 溫度檢測對象范圍的熱圖像并且是子像素單位的位置偏移的熱圖像即不同采樣點的熱圖 像數據。
[0130] [實施方式1的效果等]
[0131] 如上所述，本實施方式的紅外線檢測裝置具備視野中心軸相對于掃描旋轉軸S1傾 斜的紅外線傳感器。由此，能夠擴大設置有本實施方式的紅外線檢測裝置的位置附近的下 方區域的檢測對象范圍。
[0132] (實施方式2)
[0133] 在實施方式1中，說明了通過控制處理部12對由紅外線傳感器102輸出的熱圖像的 變形進行變形修正處理，但不局限于此。通過考慮構成紅外線傳感器102的一個以上的紅外 線檢測元件相對于掃描旋轉軸S1的傾斜而形成，不需要在控制處理部12中進行變形修正處 理。以下，對該情況進行說明。
[0134] 圖6是用于說明在通過實施方式1的紅外線傳感器掃描而成的熱圖像產生變形的 圖。
[0135] 當紅外線傳感器102以掃描旋轉軸S1旋轉時，紅外線傳感器102的從底面42觀察的 上端和下端的轉速(旋轉俯仰)不同。例如設為紅外線傳感器102由行列狀的多個紅外線檢 測元件構成，該多個紅外線檢測元件的大小相等。在此情況下，位于上端的行的多個紅外線 檢測元件的轉速比位于下端的行的多個紅外線檢測元件的轉速快，因此上端(在圖6中D1) 與下端(在圖6中D2)相比，掃描密度(分辨率)低。也就是說，上端(在圖6中D1)與下端(在圖6 中D2)相比，一個紅外線檢測元件所覆蓋的掃描區域大。此外，在此情況下，在控制處理部12 中，通過對上端與下端之間的紅外線檢測元件的掃描密度(分辨率）的差異進行修正(變形 修正），使所取得的熱圖像的分辨率均勻。
[0136] 在本實施方式中，為了不需要控制處理部12進行變形修正，改變構成紅外線傳感 器的多個紅外線檢測元件(像素)的橫向寬度。以下，具體地進行說明。
[0137] [紅外線傳感器的結構]
[0138] 圖7是示出實施方式2的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0139] 關于本實施方式的紅外線傳感器202,多個紅外線檢測元件以一個以上的列排列， 各個列中的多個紅外線檢測元件各自的與底面42大致平行的橫邊的寬度形成為越靠近底 面42越窄。在圖7中示出了多個紅外線檢測元件排列成1列、并且多個紅外線檢測元件各自 的與底面42大致平行的橫邊的寬度形成為越靠近底面42越窄的紅外線傳感器202的一例。
[0140] 在此，對相鄰的紅外線檢測元件的橫邊寬度的關系進行說明。
[0141]圖8A~圖8D是用于對實施方式2的相鄰的紅外線檢測元件的橫邊寬度的關系進行 說明的圖。對于與圖2和圖3同樣的要素標注同一附圖標記，省略詳細的說明。圖8A概念性地 示出紅外線傳感器202的F0V(Field of View)即有效視野角（視場角）。圖8B概念性地示出 構成紅外線傳感器202的η個紅外線檢測元件排列成1列的例子。
[0142] 如圖8C所示，搭載有紅外線傳感器202的傳感器模塊101以相對于掃描旋轉軸S1具 有θζ的角度(頂角）的方式傾斜。另外，圖8C所示的紅外線檢測元件χο示出了圖8Β所示的η個 紅外線檢測元件中的、例如位于下端的紅外線檢測元件。紅外線檢測元件XQ的有效視野角 (視場角）的最靠近底面42的最下端的主光線與掃描旋轉軸S1所成的頂角表示為角度θ χ〇。在 此情況下，角度θχ〇 = 90-F0V/2 -0z-(FOV/2n)的關系成立。
[0143] 同樣地，關于η個紅外線檢測元件中的例如與位于下端的紅外線檢測元件xo相鄰 的（下一個)紅外線檢測元件xl的有效視野角(視場角）的最靠近底面42的最下端的主光線 與掃描旋轉軸S1的角度Θχ1，如下的關系成立。即，角度θχ1 = 90 - F0V/2 - θζ - (F0V/2n) + l* (FOV/n)的關系成立。
[0144] 同樣地，與紅外線檢測元件xl相鄰的（下一個)紅外線檢測元件x2的有效視野角 (視場角）的最靠近底面42的最下端的主光線與掃描旋轉軸S1所成的角度Θ Χ2表不為90 - ?〇￥/2 - 02-$〇￥/2]1)+2*(?〇￥/11)。另外，從紅外線檢測元件1()開始第1]1個紅外線檢測元件11]1 的有效視野角(視場角）的最靠近底面42的最下端的主光線與掃描旋轉軸S1所成的角度0 xm 表示為90-F0V/2 - θz -（F0V/2n) +m* (FOV/n)。
[0145] 進而，圖8D概念性地示出相鄰的紅外線檢測元件。若設η個紅外線檢測元件中的從 位于下端的紅外線檢測元件開始第m個紅外線檢測元件x m的橫向寬度為Lm，與紅外線檢測元 件Xm在遠離底面42-側相鄰的紅外線檢測元件 Xm+1的寬度為Lm+1，則以下的式1的關系成立。
[0146] Lm+i/Lm+2 = sin(9m)/sin(9m+i)(式 1)
[0147] 將其進行一般化，當設各個列的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測元件的 橫邊的寬度為Lx，設與該一個紅外線檢測元件在底面42-側相鄰的紅外線檢測元件的橫邊 的寬度為L y，設該一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近底面42的最下端的主光線與掃描 旋轉軸S1所成的角為θχ，設相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端的主光線與掃描旋轉 軸S1所成的角為0#寸，滿足L x/Ly = sin(0x)/Sin(0y)的關系。
[0148] 通過形成滿足上述的關系的構成紅外線傳感器202的多個紅外線檢測元件，即使 各行的多個紅外線檢測元件存在轉速的差異，也能夠使從上端至下端的掃描密度(分辨率） 恒定。
[0149] 由此，不必執行在實施方式1中說明的利用控制處理部12的變形修正。也就是說， 在控制處理部12中可以不執行變形修正，因此起到不再耗費存儲器使用量和運算負荷的效 果。
[0150]此外，構成紅外線傳感器202的多個紅外線檢測元件不局限于圖7所示的情況。也 可以是圖9所示的情況。在此，圖9是示出實施方式2的紅外線傳感器的結構的另一例的圖。 [0151]在圖9所示的紅外線傳感器202b中，多個紅外線檢測元件以多個列排列，各列中的 多個紅外線檢測元件各自的與底面42大致平行的橫邊的寬度形成為越靠近底面42越窄。更 具體而言，在圖9所示的紅外線傳感器202b中，多個紅外線檢測元件以3個以上的列排列，該 各個列中的多個紅外線檢測元件各自的與底面42大致平行的橫邊的寬度越靠近底面42越 窄，在該3個以上的列的相鄰的列中，對應的位置的紅外線檢測元件的中心位置的距離恒 定。此外，各列中的相鄰的紅外線檢測元件的橫邊的寬度的關系如上述那樣，因此省略說 明。
[0152][實施方式2的效果等]
[0153] 如上所述，本實施方式的紅外線檢測裝置具備視野中心軸相對于掃描旋轉軸S1傾 斜的紅外線傳感器202。由此，能夠擴大設置了紅外線檢測裝置的位置附近的下方區域的檢 測對象范圍。
[0154] 另外，在本實施方式的紅外線檢測裝置中，具有將列中的多個紅外線檢測元件各 自的橫邊的寬度形成為越靠近底面42越窄的紅外線傳感器202。由此，即使在視野中心軸相 對于掃描旋轉軸S1傾斜的紅外線傳感器202中各行的多個紅外線檢測元件存在轉速的差 異，也能夠使從上端至下端的掃描密度(分辨率)恒定，因此起到不用進行熱圖像的變形修 正的效果。
[0155] 此外，構成本實施方式的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件不局限于圖7和圖9 所示的情況，因此，以下，作為變形例進行說明。
[0156] (變形例1)
[0157] 圖10是示出實施方式2的變形例1的紅外線傳感器的結構的一例的圖。
[0158] 在圖9所示的紅外線傳感器202b中，對相鄰的列的間隔即相鄰的列的對應的紅外 線檢測元件的中心之間恒定的情況進行了說明，但不局限于此。如圖10的紅外線傳感器 202c所示，相鄰的列的對應的紅外線檢測元件的中心和間距也可以形成為越靠近底面42越 窄。即也可以是：圖10所示的紅外線傳感器202c中，多個紅外線檢測元件以3個以上的列排 列，上述列的各個列的多個紅外線檢測元件各自的與底面42大致平行的橫邊的寬度越靠近 底面42越窄，該3個以上的列的各個列的多個紅外線檢測元件各自的位置越靠近底面42則 越靠近該3個以上的列的成為列方向（與掃描軸平行的方向）的中心的位置。此外，各列中的 相鄰的紅外線檢測元件的橫邊的寬度的關系如圖7所說明的那樣，因此省略說明。
[0159] 由此，圖10的紅外線傳感器202c與圖9所示的紅外線傳感器202b相比較，能夠減小 相鄰的列的間隔（相鄰的列的對應的紅外線檢測元件的間距），因此能夠增大掃描密度。也 就是說，圖10的紅外線傳感器202c起到能夠以比圖9所示的紅外線傳感器202b高的靈敏度 進行掃描的效果。
[0160] (變形例2)
[0161] 圖11A是示出實施方式2的變形例2的紅外線傳感器的結構的一例的圖。圖11B是示 出實施方式2的變形例2的紅外線傳感器的結構的另一例的圖。
[0162] 在圖9所示的紅外線傳感器202b中，對于構成紅外線傳感器202b的多個紅外線檢 測元件分別為長方形的情況進行了說明，但不局限于此。即，如圖11A所示，在紅外線傳感器 202d中，構成的多個紅外線檢測元件也可以是平行四邊形。另外，如圖11A所示，紅外線傳感 器202d也可以形成為：相鄰的列的對應的紅外線檢測元件的間距恒定，但相鄰的列的對應 的紅外線檢測元件的中心的間距形成為越靠近底面42越窄。
[0163] 由此，圖11A的紅外線傳感器202d與圖10所示的紅外線傳感器202c相比較，能夠減 小相鄰的列的間隔（相鄰的列的對應的紅外線檢測元件的間距），因此能夠增大掃描密度。 也就是說，圖11A的紅外線傳感器202d起到能夠以比圖10所示的紅外線傳感器202c高的靈 敏度進行掃描的效果。
[0164] 此外，如圖11B所示，在紅外線傳感器202e中，也可以使構成圖11A所示的紅外線傳 感器202d的多個紅外線檢測元件中的旋轉方向的兩端(在圖中為左右端)為無效。由此，能 夠抑制用于向紅外線傳感器會聚紅外線的透鏡的彗差和/或球差的影響。在此，球差是由于 透鏡的表面為球面的原因引起的像差、即由于透鏡的表面為球面，所以光的行進方向在透 鏡的中心部分和周邊部分不同引起的像差。彗差是指在偏離光軸的地方，像點拉長尾巴的 現象、即從偏離光軸的1點發出的光在像面沒有聚在1點，而成為尾巴拉長的彗星這樣的像， 并且像點伸長的現象。
[0165] (變形例3)
[0166] 圖12A是示出實施方式2的變形例3的紅外線傳感器的結構的一例的圖。圖12B是示 出實施方式2的變形例3的紅外線傳感器的結構的另一例的圖。
[0167] 在圖11A所示的紅外線傳感器202d中，對于各列中的多個紅外線檢測元件形成為 與掃描旋轉軸S1大致平行、各行中的多個紅外線檢測元件形成為與掃描旋轉軸S1大致垂直 的情況進行了說明，但不局限于此。
[0168] 如圖12A所示，構成紅外線傳感器202f的配置成行列狀的多個紅外線檢測元件也 可以相對于掃描旋轉軸S1以預定角度傾斜。在此，預定角度是被調整成使得構成紅外線傳 感器202的多個紅外線檢測元件各自的中心位置成為從與掃描旋轉軸S1垂直的方向來看都 不同的位置的角度。
[0169] 由此，當紅外線傳感器202f以掃描旋轉軸S1旋轉時，與掃描旋轉軸S1垂直的方向 的紅外線檢測元件的數量比相對于掃描旋轉軸S1不具有預定角度的情況增加。也就是說， 在相對于掃描旋轉軸S1以預定角度傾斜的紅外線傳感器202f中，能夠使與掃描旋轉軸S1垂 直的方向的像素數實質上增加。由此，能夠使與掃描旋轉軸S1垂直的方向的分辨率提高。 [0170] 此外，在紅外線傳感器202f中，也可以與圖11B所示的紅外線傳感器202e同樣地使 構成紅外線傳感器202f的多個紅外線檢測元件中的、旋轉方向的兩端(在圖中為左右端)無 效。由此，能夠抑制用于向紅外線傳感器會聚紅外線的透鏡的彗差和/或球差的影響。
[0171] 另外，進而，如圖12B的紅外線傳感器202g所示，也可以使成為無效的位于左右端 的列的紅外線檢測元件的一部分(在旋轉方向的最前頭為下端，在末尾為上端)有效。這是 由于該一部分位于也能夠減輕透鏡變形的影響的位置。通過使該一部分(在旋轉方向的最 前頭為下端，在末尾為上端)有效，與使位于兩端的列全部無效的情況相比，能夠使與掃描 旋轉軸S1垂直的方向（縱軸）的紅外線檢測元件的數量增加，使與掃描旋轉軸S1垂直的方向 的熱圖像的像素數提高。
[0172] (變形例4)
[0173] 圖13是示出實施方式2的變形例4的紅外線傳感器202h的結構的一例的圖。
[0174] 在圖7所示的紅外線傳感器202中，對于構成的多個紅外線檢測元件的形狀為長方 形的情況進行了說明，但不局限于此。如圖13所示的紅外線傳感器202h所示，也可以以將構 成的多個紅外線檢測元件形成為梯形。在此，紅外線傳感器202h的多個紅外線檢測元件各 自的縱邊的寬度恒定。
[0175] 此外，構成紅外線傳感器202h的列中的紅外線檢測元件的橫邊的寬度的關系如圖 7所示，因此省略說明。
[0176] (變形例5)
[0177] 圖14是示出實施方式2的變形例5的紅外線傳感器的結構的一例的圖。圖15是示出 實施方式2的變形例5的紅外線傳感器的結構的另一例的圖。圖16是示出構成實施方式2的 變形例5的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的大小的一例的圖。
[0178] 在圖9所示的紅外線傳感器202b中，對于相鄰的列的間隔即相鄰的列的對應的紅 外線檢測元件的中心之間恒定并且相鄰的列的對應的紅外線檢測元件的位置相同的情況 進行了說明，但不局限于此。進而，如圖14所示的紅外線傳感器202i，也可以使各列中相鄰 的列的對應的紅外線檢測元件的位置偏移。
[0179] 在圖14中示出了第1列的上端的紅外線檢測元件gn與第2列的上端的紅外線檢測 元件g21偏移1/4像素、第2列的上端的紅外線檢測元件g 21與第3列的上端的紅外線檢測元件 g31偏移1/4像素、第3列的上端的紅外線檢測元件g31與第4列的上端的紅外線檢測元件g 41偏 移1/4像素時的例子。同樣地，上端以外的行中的相鄰的列的對應的紅外線檢測元件的位置 偏移1/4像素。
[0180]換言之，關于圖14所示的紅外線傳感器202i，3個以上的列的從底面42來看最上的 紅外線檢測元件的位置以依次靠近底面42的方式偏移。在此，某列的成為起始的紅外線檢 測元件的位置也可以從與該列相鄰的列的成為起始的紅外線檢測元件偏移該相鄰的列的 成為起始的紅外線檢測元件的與底面42大致垂直的縱邊的寬度的1/4。各列中的相鄰的紅 外線檢測元件的橫邊的寬度的關系如圖7中說明的那樣，因此省略說明。
[0181] 由此，當紅外線傳感器202i以掃描旋轉軸S1旋轉時，與掃描旋轉軸S1垂直的方向 的紅外線檢測元件的數量比圖9所示的紅外線傳感器202b增加。也就是說，在紅外線傳感器 202i中，能夠使與掃描旋轉軸S1垂直的方向的像素數實質上增加。由此，能夠提高與掃描旋 轉軸S1垂直的方向的分辨率。
[0182] 此外，在圖14所示的紅外線傳感器202i中，對于相鄰的列的間隔即相鄰的列的對 應的紅外線檢測元件的中心之間恒定的情況進行了說明，但不局限于此。進而，如圖15所示 的紅外線傳感器202j，各列中相鄰的列的對應的紅外線檢測元件的中心的間距也可以形成 為越靠近底面42越窄。
[0183] 另外，圖16中示出了在構成圖14和圖15的紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件為 16行4列、并且與掃描旋轉軸S1的頂角θ ζ為30度的情況下，滿足上述的式1的每行的紅外線 檢測元件的橫邊的寬度(橫向寬度）。
[0184] 關于縱邊的寬度(縱向寬度），也可以如圖16所示的縱向寬度方案1所示使最下端 的紅外線檢測元件的縱邊橫邊的長度之比為2/1。但是，在工序上有制約的情況下，也可以 如圖16所示的縱向寬度方案2所示使最下端的紅外線檢測元件的縱邊橫邊的長度之比為3/ 2(0·75/0·5) 〇
[0185] (實施方式3)
[0186] 在實施方式1、實施方式2中，對于具備視野中心軸相對于與設置面41平行的掃描 旋轉軸傾斜的紅外線傳感器的紅外線檢測裝置進行了說明，但不局限于此。以下，對于此情 況下的例子進行說明。
[0187] [紅外線檢測裝置的結構]
[0188] 以下，參照附圖對實施方式3的紅外線檢測裝置進行說明。
[0189] 圖17是實施方式3的紅外線檢測裝置搭載于框體的情況下的物理結構的示意圖。 此外，對于與圖1~圖4同樣的要素標注同一附圖標記，省略詳細的說明。
[0190] 如圖17所示，本實施方式的紅外線檢測裝置安裝于設置在與空間4的底面42大致 垂直并且距離底面42預定高度的設置面41的框體2,取得檢測對象范圍的熱圖像。在此，預 定高度是指與實施方式1和實施方式2同樣例如比人和/或熱源等溫度檢測對象(測量對象） 高的高度，例如是1800mm以上的高度。
[0191] 圖17所示的本實施方式的紅外線檢測裝置與實施方式1的紅外線檢測裝置1相比 較，掃描部（馬達311)的掃描旋轉軸S3、設置臺312、傳感器模塊301、紅外線傳感器302的配 置不同，配置成與設置面41具有傾斜。此外，關于設置臺312、傳感器模塊301和紅外線傳感 器302的結構，除了配置之外都與實施方式1的設置臺112、傳感器模塊101和紅外線傳感器 102相同，因此省略說明。
[0192] 在本實施方式中，掃描旋轉軸S3和紅外線傳感器302的排列面配置成與設置面41 具有傾斜。因此，如圖17所示，紅外線傳感器302的視野中心軸C3與設置面41的垂直方向不 平行(與底面42不平行）。另外，如圖17所示，掃描旋轉軸S3通過紅外線傳感器302的排列面， 紅外線傳感器302以通過該排列面的掃描旋轉軸S3旋轉。
[0193] 這樣，在本實施方式中，連同掃描旋轉軸S3-起相對于設置面41傾斜，并且，紅外 線傳感器302的視野中心軸C3與掃描旋轉軸S3大致垂直。
[0194] [實施方式3的效果等]
[0195] 由此，當紅外線傳感器302以掃描旋轉軸S3旋轉時，紅外線傳感器302的從底面42 觀察的上端與下端的轉速(旋轉俯仰)相同，因此，不再需要實施方式1所說明的利用控制處 理部12的變形修正。也就是說，由于在控制處理部12中可以不進行變形修正，因此起到不再 耗費存儲器使用量和運算負荷的效果。
[0196] 另外，本實施方式的紅外線檢測裝置具備視野中心軸C3與設置面41的大致垂直相 比朝向底面42側傾斜的紅外線傳感器302。由此，還起到能夠擴大設置了紅外線檢測裝置的 位置附近的下方區域的檢測對象范圍的效果。
[0197] (實施方式1~3的變形例）
[0198] 此外，在實施方式2中，紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件以一個以上的列排 列，各個列中的多個紅外線檢測元件各自的與底面42大致平行的橫邊的寬度形成為越靠近 底面42越窄。另外，對各個列的相鄰的多個紅外線檢測元件的橫邊的寬度由上述(式1)規定 的情況進行了說明。但是，該橫邊的寬度不局限于由上述(式1)規定的情況。
[0199] 也就是說，例如，不局限于滿足上述(式1)的Lx/Ly = sin(0x)/Sin(0y)的關系的情 況，也可以滿足L x/Ly>sin(0x)/Sin(0y)的關系，還可以滿足L x/Ly<sin(0x)/Sin(0y)的關 系。
[0200] 更具體而言，當設各個列中的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測元件的橫 邊的寬度為Lx，設與該一個紅外線檢測元件在底面42-側相鄰的紅外線檢測元件的橫邊的 寬度為L y，設該一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近底面42的最下端的主光線與掃描旋 轉軸S1所成的角為θχ，設該相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端的主光線與掃描旋轉 軸S1所成的角為0#寸，也可以滿足L x/Ly>sin(0x)/Sin(0y)的關系。
[0201] 在此情況下，在構成紅外線傳感器的各紅外線檢測元件中越是有效視野角為水平 (與底面42平行)的紅外線檢測元件越起到能夠以高靈敏度進行掃描的效果。適合于希望從 設置有紅外線檢測裝置的位置以高靈敏度掃描在水平方向上很遠的測量對象物的情況。
[0202] 另外，當設各個列中的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測元件的橫邊的寬 度為Lx，設與該一個紅外線檢測元件在底面42-側相鄰的紅外線檢測元件的橫邊的寬度為 Ly，設該一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近底面42的最下端的主光線與掃描旋轉軸S1 所成的角為θ χ，設該相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端的主光線與掃描旋轉軸SI* 成的角為θγ時，也可以滿足L x/Ly<sin(0x)/Sin(0y)的關系。
[0203]在此情況下，起到越靠近設置紅外線檢測裝置的位置的正下方的紅外線檢測元件 越能夠相對于距離提高掃描密度（以高靈敏度)進行掃描的效果。適用于希望以高靈敏度掃 描設置紅外線檢測裝置的位置的正下方的區域的情況。
[0204]此外，搭載實施方式1~3所說明的紅外線檢測裝置的框體不局限于空調設備的框 體。也可以搭載于監控像機，還可以搭載于微波爐。
[0205] [實施方式1~3的效果等]
[0206] 本發明的一個方式的紅外線檢測裝置安裝于設置在與空間的底面大致垂直并且 距離所述底面預定高度的設置面的框體，所述紅外線檢測裝置具備:一個以上的紅外線檢 測元件以一個以上的列排列而成的紅外線傳感器；以及掃描部，其具有掃描旋轉軸，通過使 所述紅外線傳感器以所述掃描旋轉軸旋轉來使所述紅外線傳感器對所述空間進行掃描，所 述一個以上的紅外線檢測元件的排列面被配置成相對于所述設置面具有傾斜。
[0207] 通過上述結構，能夠實現能夠擴大靠近設置位置的下方區域的檢測對象范圍的紅 外線檢測裝置。
[0208] 在此，例如，在所述排列面的中心可以具有所述紅外線傳感器以所述掃描旋轉軸 旋轉時的旋轉中心并且是所述掃描旋轉軸通過的旋轉中心。
[0209]進而，例如可以為，所述掃描旋轉軸和所述排列面設置成與所述設置面具有所述 傾斜，所述掃描旋轉軸通過所述排列面，所述紅外線傳感器以通過所述排列面的所述掃描 旋轉軸旋轉。
[0210] 另外，例如可以為，所述掃描旋轉軸與所述設置面大致平行，所述排列面與所述掃 描旋轉軸交叉。
[0211] 在此，例如，在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以一個以上的列排列， 所述列的各個列中的多個紅外線檢測元件各自的與所述底面大致平行的橫邊的寬度，越靠 近所述底面越窄。
[0212] 進而，例如，當設所述列的各個列中的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測 元件的橫邊的寬度為Lx，設與所述一個紅外線檢測元件在所述底面側相鄰的紅外線檢測元 件的橫邊的寬度為L y，設所述一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近所述底面的最下端的 主光線與所述掃描旋轉軸所成的角為θχ，設所述相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端 的主光線與所述掃描旋轉軸所成的角為，可以滿足L x/Ly = sin(0x)/Sin(0y)的關系。
[0213] 另外，例如，當設所述列的各個列中的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測 元件的橫邊的寬度為Lx，設與所述一個紅外線檢測元件在所述底面側相鄰的紅外線檢測元 件的橫邊的寬度為L y，設所述一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近所述底面的最下端的 主光線與所述掃描旋轉軸所成的角為θχ，設所述相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端 的主光線與所述掃描旋轉軸所成的角為，可以滿足L x/Ly>sin(0x)/Sin(0y)的關系。
[0214] 另外，例如，當設所述列的各個列中的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測 元件的橫邊的寬度為Lx，設與所述一個紅外線檢測元件在所述底面側相鄰的紅外線檢測元 件的橫邊的寬度為L y，設所述一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近所述底面的最下端的 主光線與所述掃描旋轉軸所成的角為θχ，設所述相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端 的主光線與所述掃描旋轉軸所成的角為，可以滿足L x/Ly<sin(0x)/Sin(0y)的關系。
[0215] 另外，例如可以為，在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以3個以上的列 排列，所述列的各個列中的多個紅外線檢測元件各自的與所述底面大致平行的橫邊的寬度 越靠近所述底面越窄，在所述3個以上的列的相鄰的列中，對應的位置的紅外線檢測元件的 中心位置的距離恒定。
[0216] 另外，例如可以為，在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以3個以上的列 排列，所述列的各個列中的多個紅外線檢測元件各自的與所述底面大致平行的橫邊的寬度 越靠近所述底面越窄，所述3個以上的列的各個列中的多個紅外線檢測元件各自的位置越 靠近所述底面則越靠近所述3個以上的列的成為列方向的中心的位置。
[0217]另外，例如可以為，所述3個以上的列的從所述底面來看成為起始的紅外線檢測元 件的位置以依次靠近所述底面的方式偏移。
[0218]另外，例如可以為，所述成為起始的紅外線檢測元件的位置，從相鄰的所述列的成 為起始的紅外線檢測元件偏移所述相鄰的列的所述成為起始的紅外線檢測元件的與所述 底面大致垂直的縱邊的寬度的1 /4。
[0219] 另外，例如可以為，所述紅外線傳感器配置成使得所述一個以上的列相對于所述 掃描旋轉軸具有預定角度的傾斜。
[0220] 另外，例如可以為，所述預定角度是被調整成使得構成所述紅外線傳感器的多個 紅外線檢測元件各自的中心位置成為從與所述掃描旋轉軸垂直的方向來看都不同的位置 的角度。
[0221] 此外，上述的總括性或具體的方式可以通過系統、方法、集成電路、計算機程序或 者計算機可讀取的CD-ROM等記錄介質來實現，也可以通過系統、方法、集成電路、計算機程 序和記錄介質的任意組合來實現。
[0222] (實施方式4)
[0223] 在本實施方式中，對于不增加紅外線檢測元件的數量而能夠使熱圖像的分辨率提 高的紅外線檢測裝置的具體的方式進行說明。
[0224] [紅外線檢測裝置的結構]
[0225] 以下，參照附圖對實施方式4的紅外線檢測裝置進行說明。
[0226] 圖18是示出實施方式4的紅外線檢測裝置1A的結構的一例的圖。圖19A是示出本實 施方式的紅外線檢測部10和掃描部11的結構的一例的圖。圖19B是示出本實施方式的紅外 線傳感器102A的結構的一例的圖。
[0227] 如圖18所示，紅外線檢測裝置1A具備紅外線檢測部10、掃描部11和控制處理部12。
[0228] 掃描部11使紅外線檢測部10在預定的方向上掃描。更具體而言，掃描部11使紅外 線傳感器102A在預定的方向上移動，由此使紅外線傳感器102A對檢測對象范圍進行掃描。 在本實施方式中，掃描部11具備圖19A所示的馬達111。馬達111受控制處理部12控制，使傳 感器模塊101的紅外線傳感器102A在預定的方向上旋轉或者移動。在此，馬達111例如是步 進馬達或伺服馬達等。預定的方向是圖19A中的水平方向，與圖19B中的掃描軸的方向（掃描 方向）相當。
[0229] 控制處理部12控制掃描部11，對紅外線檢測部10所取得的熱圖像(輸入圖像)進行 處理。如圖18所示，控制處理部12具備設備控制部121和圖像處理部122。
[0230] 設備控制部121基于紅外線檢測部10檢測出的信息算出用于進行使掃描部11掃描 的控制的控制信息，根據所算出的控制信息對掃描部11進行控制。圖像處理部122對紅外線 檢測部10所取得的熱圖像(輸入圖像)實施超分辨率處理而再建熱圖像(輸入圖像），由此生 成高清晰的熱圖像(輸出圖像）。圖像處理部122將所生成的高清晰的熱圖像即超分辨率處 理后的熱圖像輸出。
[0231] 在此，熱圖像是由表示溫度檢測對象范圍的溫度分布的多個像素構成的圖像。另 外，超分辨率處理是能夠生成未存在于輸入圖像的高分辨率的信息(輸出圖像)的高分辨率 化處理之一。關于超分辨率處理，存在從多張圖像得到一張高分辨率圖像的處理方法和使 用了學習數據的處理方法。在本實施方式中，掃描部11使紅外線檢測部10進行掃描，由此能 夠取得溫度檢測對象范圍的熱圖像并且是子像素單位的位置偏移的熱圖像即不同采樣點 的熱圖像數據。因此，以下，以使用從多張熱圖像得到一張高分辨率熱圖像的處理方法為例 進行說明。
[0232] 此外，圖像處理部122還可以基于超分辨率處理后的熱圖像取得位于溫度檢測對 象范圍內的人的位置和/或使用者的手和/或面部的溫度、墻壁的溫度等表示熱源的位置 和/或溫度的熱圖像數據，并輸出該熱圖像數據。
[0233] 紅外線檢測部10利用掃描部11在預定的方向上進行掃描，由此能夠取得溫度檢測 對象范圍的熱圖像。更具體而言，紅外線檢測部10具有多個紅外線檢測元件排列成行列狀 而成的紅外線傳感器102A，檢測由紅外線傳感器102A掃描的溫度檢測對象范圍的紅外線。 紅外線傳感器102A配置成多個紅外線檢測元件的行列相對于該預定的方向具有預定角度 的傾斜。在此，預定角度是被調整成使得構成紅外線傳感器102A的多個紅外線檢測元件各 自的中心位置成為從該預定的方向來看都不同的位置的角度。
[0234] 在本實施方式中，紅外線檢測部10由例如圖19A所示的傳感器模塊101構成。傳感 器模塊101具備紅外線傳感器102A和未圖示的透鏡。
[0235] 透鏡由紅外線的透射率高的硅和/或ZnS等構成。該透鏡被設計成從各方向入射到 該透鏡的紅外線(紅外光）向構成紅外線傳感器102A的各個不同的紅外線檢測元件入射。
[0236] 例如圖19B所示，紅外線傳感器102A由以N行Μ列(N、M為2以上的自然數)排列成行 列狀的多個紅外線檢測元件構成。另外，紅外線傳感器102A沿著水平方向即圖19B的掃描軸 的方向旋轉(移動），由此能夠掃描溫度檢測對象范圍。紅外線檢測部10對預定的方向（水平 方向）執行掃描，由此取得溫度檢測對象范圍的熱圖像(紅外線圖像)并輸出至圖像處理部 122〇
[0237] 更具體而言，紅外線傳感器102A通過馬達111沿著水平方向即圖19B所示的掃描軸 的方向按子像素單位的位置進行旋轉(移動）。由此，紅外線傳感器102A取得溫度檢測對象 范圍的熱圖像并且是子像素單位的位置偏移的熱圖像(紅外線圖像），輸出至圖像處理部 122〇
[0238] 另外，紅外線傳感器102A相對于水平方向即圖19B所示的掃描軸的方向以預定角 度（圖的X°)傾斜。換言之，紅外線傳感器102A由排列成N行Μ列的行列狀的多個紅外線檢測 元件構成，該多個紅外線檢測元件的行列排列成與相對于掃描軸具有預定角度(Χ°)的傾斜 的傳感器軸平行和垂直。也就是說，預定角度(Χ°)是被調整成使得構成紅外線傳感器102Α 的多個紅外線檢測元件各自的中心位置成為從掃描軸的方向來看都不同的位置的角度。進 而，換言之，預定角度(Χ°)是被調整成使得當多個紅外線檢測元件沿著掃描軸的方向旋轉 (移動）時，與傳感器軸平行的一個行的Μ列的紅外線檢測元件和與它們相鄰的行的紅外線 檢測元件在掃描軸的方向上不重疊的角度。
[0239] 另外，由于紅外線傳感器102Α相對于掃描軸的方向以預定角度（圖的Χ°)傾斜，因 此在構成紅外線傳感器102Α的多個紅外線檢測元件中，以下的關系成立。即，在同一行(例 如第1排列）中相鄰的紅外線檢測元件各自的中心位置之間的、與掃描軸垂直的方向（圖中 為縱向）上的距離(例如第1距離)相等。另外，該行(第1排列）的位于成為掃描方向的最前頭 的一端的紅外線檢測元件(例如第1元件)和與該行(第1排列）相鄰的行(例如第翊剛）的、 與該行(第1排列）的另一端的紅外線檢測元件相鄰的紅外線檢測元件(例如第2元件)各自 的中心位置之間的、與掃描軸垂直的方向（縱向）上的距離(例如第2距離)和上述第1距離相 等。
[0240]由此，當多個紅外線檢測元件沿著掃描軸的方向旋轉(移動）時，與掃描軸垂直的 方向的紅外線檢測元件的數量比掃描軸與傳感器軸平行時的N個增加。也就是說，在傳感器 軸從掃描軸傾斜了預定角度(X°)的紅外線傳感器102A中，與傳感器軸和掃描軸平行時相 比，能夠使與掃描軸垂直的方向（縱軸）的熱圖像的像素數實質上增加。由此能夠提高與掃 描軸垂直的方向（縱軸)的分辨率。
[0241 ]以下，使用實施例對預定角度的一例進行說明。
[0242] (實施例）
[0243] 接下來，使用圖20和圖21，對實施例的紅外線傳感器102A的結構的一例進行說明。
[0244] 圖20是示出實施方式4的實施例的紅外線傳感器的圖。
[0245] 圖20所示的紅外線傳感器102a是紅外線傳感器102A的一例，由排列成8行8列的多 個紅外線檢測元件構成。此外，在圖20所示的各紅外線檢測元件的中心示出檢測點。各紅外 線檢測元件的檢測點處的紅外線檢測靈敏度高，也可以在該檢測點檢測紅外線。另外，各紅 外線檢測元件雖然在該元件的整個區域檢測紅外線，但是也可以在檢測點主導地檢測紅外 線。另外，該檢測點也可以代表各紅外線檢測元件的區域。在此情況下，該檢測點也可以表 示各紅外線檢測元件要檢測的紅外線的平均只。
[0246] 構成紅外線傳感器102a的8行8列的多個紅外線檢測元件的傳感器軸相對于水平 方向即圖20所示的掃描軸的方向以預定角度a傾斜。此外，預定角度a是上述的預定角度X的 一例，是被調整成使得8行8列的紅外線檢測元件各自的中心位置成為從掃描軸的方向來看 都不同的位置的角度。換言之，預定角度a是被調整成使得當構成紅外線傳感器102a的排列 為8X8的行列狀的多個紅外線檢測元件沿著掃描軸的方向旋轉(移動)時，與傳感器軸平行 的8列的紅外線檢測元件和與它們相鄰的行的一個行的8列的紅外線檢測元件在掃描軸的 方向上不重疊的角度。
[0247] 圖21是用于對圖20所示的紅外線傳感器102a的傾斜進行說明的圖。為了便于說 明，圖21中示出圖20所示的排列成8行8列的多個紅外線檢測元件中的2行的多個紅外線檢 測元件。在此，虛線Si、虛線S2表示與掃描軸平行的虛線。
[0248] 在圖21中，預定角度a為被調整成使得當紅外線檢測元件an~紅外線檢測元件ais 和紅外線檢測元件a21~紅外線檢測元件a28沿著掃描軸的方向旋轉(移動)時在掃描軸的方 向上不重疊的角度。
[0249] 在此，例如紅外線檢測元件an和紅外線檢測元件a12各自的中心位置之間的該縱 向的距離h、紅外線檢測元件a 12和紅外線檢測元件a13各自的中心位置之間的該縱向的距離 h、紅外線檢測元件a13和紅外線檢測元件a14各自的中心位置之間的該縱向的距離h、紅外線 檢測元件a 14和紅外線檢測元件a15各自的中心位置之間的該縱向的距離h、紅外線檢測元件 a15和紅外線檢測元件a16各自的中心位置之間的該縱向的距離h、紅外線檢測元件a16和紅外 線檢測元件a 17各自的中心位置之間的該縱向的距離h、紅外線檢測元件a17和紅外線檢測元 件a18各自的中心位置之間的該縱向的距離h、以及紅外線檢測元件a18和紅外線檢測元件a 21 各自的中心位置之間的該縱向的距離h都相等為第1距離。此外，紅外線檢測元件a21~紅外 線檢測元件a28的情況也是同樣的。
[0250]另外，第2距離、即紅外線檢測元件a18(第1元件)和紅外線檢測元件a21(第2元件） 各自的中心位置之間的該縱向的距離h與第1距離相等。另外，紅外線檢測元件an和紅外線 檢測元件a18各自的中心位置之間的該縱向的距離為8h。
[0251]另外，滿足上述的關系的預定角度a是滿足tar^d/S)的角度，可以算出為7.125°。
[0252] 因此，紅外線傳感器102a由與傳感器軸為平行和垂直的8X8的紅外線檢測元件構 成，該傳感器軸相對于掃描軸具有7.125°的傾斜(預定角度a)。由此，構成紅外線傳感器 102a的8行8列的紅外線檢測元件各自的中心位置成為從掃描軸的方向來看都不同的位置。 這樣，能夠使得構成紅外線傳感器l〇2a的8列的紅外線檢測元件在掃描軸的方向上都不重 疊，因此能夠實質上增加與掃描軸垂直的方向（縱軸)的熱圖像的像素數。
[0253] 此外，在本實施例中，作為構成紅外線傳感器102A的排列成N行Μ列的多個紅外線 檢測元件的一例，對8行8列的紅外線檢測元件進行了說明，但不局限于此。
[0254] 可以是4行4列的紅外線檢測元件，也可以是16行16列的紅外線檢測元件，還可以 是32行32列的紅外線檢測元件。這是因為只要是Ν行Ν列(Ν為2以上的自然數)的紅外線檢測 元件，就能夠作為通用產品獲得，因此能夠降低紅外線傳感器的采用成本。
[0255] 圖22Α是用于說明使用了比較例的紅外線傳感器502a的情況下的紅外線檢測裝置 的效果的圖。圖22B是用于說明使用了圖20所示的紅外線傳感器102a的情況下的紅外線檢 測裝置的效果的圖。
[0256] 圖22A所示的比較例的紅外線傳感器502a不相對于掃描軸的方向（水平方向）傾 斜。即，紅外線傳感器502a的傳感器軸與掃描軸一致。在此情況下，當構成紅外線傳感器 502a的8X8的紅外線檢測元件沿著掃描軸的方向旋轉(移動）時，與掃描軸平行的方向（列 方向）的紅外線檢測元件重疊。因此，與掃描軸垂直的方向的紅外線檢測元件的數量保持8 個不變。
[0257] 另一方面，圖22B所示的紅外線傳感器102a相對于掃描軸的方向（水平方向）以 7.125度傾斜。即，紅外線傳感器102a的傳感器軸相對于掃描軸以7.125度傾斜。在此情況 下，當構成紅外線傳感器l〇2a的8 X 8的紅外線檢測元件沿著掃描軸的方向旋轉(移動)時， 與掃描軸平行的方向（列方向）的紅外線檢測元件不重疊。由此，與掃描軸垂直的方向的紅 外線檢測元件的數量與紅外線傳感器102a的行方向的紅外線檢測元件的數量即8個 (8vertical levels:8個垂直層次)相比增加而變為64個(64vertical levels:64個垂直層 次)。
[0258] 這樣，紅外線檢測裝置1A具有紅外線傳感器102a，上述紅外線傳感器102a由具有 相對于掃描軸傾斜了7.125°的傳感器軸的紅外線檢測元件構成，由此，不增加構成紅外線 傳感器102a的紅外線檢測元件的數量，就可以取得與比較例相比較成為8倍的高分辨率的 熱圖像。進而，紅外線檢測裝置1A利用控制處理部12對該熱圖像實施超分辨率處理，由此能 夠取得使分辨率進一步提高的熱圖像。
[0259] [紅外線檢測裝置的動作]
[0260] 接下來，對如上構成的紅外線檢測裝置1A的動作進行說明。
[0261] 圖23是用于說明實施方式4的紅外線檢測裝置1A的動作的流程圖。
[0262] 首先，紅外線檢測裝置1Α使紅外線檢測部10掃描(S10)，取得溫度檢測對象范圍的 熱圖像(S11)。具體而言，紅外線檢測裝置1Α使紅外線檢測部10的紅外線傳感器102a沿著掃 描軸移動(旋轉），由此使紅外線傳感器l〇2a對溫度檢測對象范圍進行掃描而取得溫度檢測 對象范圍的熱圖像。此外，掃描部11使紅外線傳感器l〇2a按子像素單位移動(旋轉)并進行 掃描，取得按子像素單位移動后的多個熱圖像。
[0263] 接下來，紅外線檢測裝置1A對所取得的熱圖像實施超分辨率處理（S12)。具體而 言，紅外線檢測裝置1對所取得的多張熱圖像實施處理而再建多張熱圖像，由此生成一張高 清晰的熱圖像。
[0264] 接下來，紅外線檢測裝置1A輸出所生成的高清晰的熱圖像即超分辨率處理后的熱 圖像(S13)。
[0265] 這樣，紅外線檢測裝置1A能夠以高分辨率取得溫度檢測對象范圍內的熱圖像。
[0266] [實施方式4的效果等]
[0267] 如上所示，本實施方式的紅外線檢測裝置具備由紅外線檢測元件構成的紅外線傳 感器，該紅外線傳感器具有相對于掃描軸傾斜了預定角度的傳感器軸。由此，不增加構成紅 外線傳感器的紅外線檢測元件的數量就能夠使熱圖像的分辨率提高。在此，預定角度是被 調整成使得構成紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件各自的中心位置成為從作為掃描方 向的預定的方向來看都不同的位置的角度。例如，在紅外線傳感器由8行8列的紅外線檢測 元件構成的情況下，上述預定角度為7.125度。
[0268] 另外，本實施方式的紅外線檢測裝置由于不使構成紅外線傳感器的紅外線檢測元 件的數量增加而能夠取得高分辨率的熱圖像，所以不需要為了使紅外線傳感器還沿著垂直 于掃描軸的方向移動（掃描)而增設馬達。另外，本實施方式的紅外線檢測裝置由于不使構 成紅外線傳感器的紅外線檢測元件的數量增加而能夠取得高分辨率的熱圖像，所以也不需 要采用紅外線檢測元件的數量更多、且成本高的紅外線傳感器。也就是說，根據本實施方式 的紅外線檢測裝置，起到如下效果:不僅能夠削減用于取得高分辨率的熱圖像的馬達的成 本，還能夠削減用于采用紅外線檢測元件的數量更多的紅外線傳感器的成本。
[0269] 另外，在通過增設馬達來增加紅外線傳感器的掃描方向而能夠取得高分辨率的熱 圖像的比較例的紅外線檢測裝置中，與增設馬達的量相應地，導致機械上的尺寸也會變大。 因此，將比較例的紅外線檢測裝置作為模塊，裝載在例如空調設備等其他設備中變得困難。 另一方面，在本實施方式的紅外線檢測裝置中，由于不需要增設用于增加掃描方向（該垂直 方向的掃描）的馬達，所以尺寸也不會變大。因此，本實施方式的紅外線檢測裝置還起到作 為模塊容易裝載在例如空調設備等其他設備中這樣的效果。
[0270] 進而，與為了還在垂直于掃描軸的方向上移動（掃描）而增設馬達的情況相比較， 本實施方式的紅外線檢測裝置，也不需要在掃描軸的方向上掃描后還在該垂直方向上掃描 的時間。也就是說，在本實施方式的紅外線檢測裝置中，起到不增加紅外線檢測時間而能夠 提高熱圖像的分辨率這樣的效果。
[0271] 對此具體地進行說明。在比較例的紅外線檢測裝置中，增設馬達來增加紅外線傳 感器的掃描方向，由此能夠取得高分辨率的熱圖像，因此，導致用于取得熱圖像的掃描時間 (紅外線檢測時間）也會與增加了掃描方向的量相應地增加。也就是說，在比較例的紅外線 檢測裝置中，由于在溫度檢測對象范圍的熱圖像的取得上需要時間，所以從掃描開始至熱 圖像取得的時差大，存在導致取得的熱圖像的分辨率比期待分辨率更低的問題。另一方面， 在本實施方式的紅外線檢測裝置中，由于不需要增設用于增加掃描方向（該垂直方向的掃 描)的馬達，所以不增加紅外線檢測時間而能夠提高熱圖像的分辨率。
[0272] (變形例）
[0273] 在實施方式4中，針對構成紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件都為有效的（構成 紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件都被使用)情況進行了說明，但不局限于此。考慮用于 向紅外線傳感器會聚紅外線的透鏡的彗差和/或球差的影響，可以使構成紅外線傳感器的 多個紅外線檢測元件中的一部分紅外線檢測元件有效，使該一部分以外的其它部分的紅外 線檢測元件無效。
[0274]以下，以此情況下的例子作為變形例在下文進行說明。
[0275] 此外，球差，是由于透鏡的表面為球面的原因引起的像差、即由于透鏡的表面為球 面，所以光的行進方向在透鏡的中心部分和周邊部分不同引起的像差。彗差是指，在偏離光 軸的地方，像點拉長尾巴的現象、即從偏離光軸的1點發出的光在像面沒有聚在1點，而成為 尾巴拉長的彗星這樣的像，并且像點伸長的現象。
[0276] [紅外線傳感器的結構]
[0277] 圖24是示出實施方式4的變形例的紅外線傳感器102b的結構的一例的圖。
[0278] 紅外線傳感器102b是紅外線傳感器102A的一例。構成紅外線傳感器102b的多個紅 外線檢測元件排列成N行N列(N為2以上的自然數），N列中的位于兩端的列的紅外線檢測元 件為無效。也就是說，紅外線傳感器102b使用除了 N列中的位于兩端的列的N行L列(L<N，L 為2以上的自然數）的紅外線檢測元件即一部分紅外線檢測元件。除去N列中的位于兩端的 列是由于:在用于紅外線傳感器102b的透鏡中，位于距離中心越遠的位置的紅外線傳感器 102b的紅外線檢測元件，其彗差和/或球差的影響會越大。
[0279] 另外，與實施方式4同樣，紅外線傳感器102b相對于掃描軸的方向以預定角度（圖 的Xi°)傾斜。在此，預定角度X:是被調整成使得構成紅外線傳感器l〇2b的N行N列的紅外線檢 測元件各自的中心位置成為從掃描軸的方向來看都不同的位置的角度。例如，在紅外線傳 感器102b由8行8列的多個紅外線檢測元件構成，一部分紅外線檢測元件為8行6列的紅外線 檢測元件的情況下，預定角度心為9.462°。
[0280] 此外，預定角度也可以是被調整成不是構成紅外線傳感器102b的N行N列的紅外線 檢測元件的全部而是一部分(N行L列）的紅外線檢測元件各自的中心位置成為從掃描軸的 方向來看都不同的位置的角度。
[0281] 該情況下，從掃描軸的方向觀察時的一部分(N行L列)紅外線檢測元件各自的紅外 線檢測元件的中心位置的間隔也可以為等間隔。
[0282] 進而，優選預定角度為滿足以下的式的值。即，Xi = arctan(l/Ceff)。在此，Χι為預定 角度。Cm為像素被利用的列的數量。此外，在該式中，圖24的情況下Cm為6。另外，以下要說 明的圖25的情況下，Crff也為6。
[0283] [變形例的效果等]
[0284] 如上所述，根據本變形例的紅外線檢測裝置，不增加構成紅外線傳感器的紅外線 檢測元件的數量而能夠提高熱圖像的分辨率。進而，在本變形例中，不使用構成紅外線傳感 器的多個紅外線檢測元件的全部，而使用一部分。由此，起到能夠減輕用于向紅外線傳感器 會聚紅外線的透鏡的彗差和/或球差的影響的效果。
[0285] 此外，在本變形例中，作為使用構成紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的一部 分的例子，對于使位于掃描軸方向的兩端的列的紅外線檢測元件無效而不使用的情況進行 了說明，但不局限于此。例如，如圖25所示，也可以使位于掃描軸方向的兩端的列的紅外線 檢測元件中的一部分有效。
[0286] 圖25是示出實施方式4的變形例的其它例子的紅外線傳感器的結構的一例的圖。 此外，對于與圖24同樣的要素標注同一附圖標記，省略詳細的說明。
[0287] 圖25所示的紅外線傳感器102c是紅外線傳感器102A的一例，由排列成N行N列(N為 2以上的自然數)的紅外線檢測元件構成。
[0288] 在紅外線傳感器102c中，除去N列中的位于兩端的列的紅外線檢測元件的一部分 而設為有效。更具體而言，如圖25所示，紅外線傳感器102c使用N列中的除去位于兩端的列 的N行L列(L<N，L為2以上的自然數）的紅外線檢測元件、圖25中右側的一端(兩端中的掃描 時為最前頭側的一端）的下端的紅外線檢測元件、圖25中左側的一端(兩端中的掃描時為末 尾側的一端)的上端的紅外線檢測元件。除去N列中的位于兩端的列是由于如上述那樣彗差 和/或球差的影響會變大。使N列中的位于兩端的列的一部分有效是由于:為了增加與掃描 軸垂直的方向（縱軸）的熱圖像的像素數而使與掃描軸垂直的方向（縱軸）的紅外線檢測元 件的數量增加來擴大縱軸的視野，該一部分位于也可以減輕透鏡變形的影響的位置。
[0289] (實施方式5)
[0290] 使構成紅外線傳感器的所有的紅外線檢測元件中的一部分紅外線檢測元件有效 的情況的例子不局限于上述的例子。在本實施方式中，對于一部分紅外線檢測元件的其他 結構例進行說明。以下，以與實施方式4不同的部分為中心進行說明。
[0291] [紅外線傳感器的結構]
[0292] 圖26是示出實施方式5的紅外線傳感器的一例的結構的一例的圖。圖27是用于對 圖26所示的紅外線傳感器的傾斜進行說明的圖。
[0293] 紅外線傳感器102d是紅外線傳感器102A的一例。在構成紅外線傳感器102d的多個 紅外線檢測元件中，多個紅外線檢測元件中的一部分紅外線檢測元件為有效，該一部分以 外的其它部分的紅外線檢測元件為無效。
[0294] 在本實施方式中，構成紅外線傳感器102d的多個紅外線檢測元件排列成N行N列(N 為2以上的自然數），一部分紅外線檢測元件是N行N列中的位于掃描軸的方向的兩端部的多 個紅外線檢測元件以外的多個紅外線檢測元件。
[0295] 更具體而言，圖26所示的一部分紅外線檢測元件構成為包括:沿著N行N列的2個對 角線中的與掃描軸的方向所成的角度大的第1對角線排列的多個紅外線檢測元件即第1元 件列、與第1元件列相鄰且沿著第1對角線排列的多個紅外線檢測元件即第2元件列、與第2 元件列相鄰且沿著第1對角線排列的多個紅外線檢測元件即第3元件列、與第3元件列相鄰 且沿著第1對角線排列的多個紅外線檢測元件即第4元件列。也就是說，作為一部分紅外線 檢測元件，使構成紅外線傳感器102d的多個紅外線檢測元件中的、從第1元件列至第4元件 列的紅外線檢測元件有效，使其他的紅外線檢測元件無效。
[0296] 另外，與實施方式4同樣地，紅外線傳感器102d相對于掃描軸的方向以預定角度 (圖的X2°)傾斜。預定角度X2是被調整成使得上述的一部分紅外線檢測元件各自的中心位置 成為從掃描軸的方向來看都不同的位置的角度。
[0297] 在此，對于預定角度X2的算出方法，使用提取出例如圖26所示的一部分的區域F1 的圖27進行說明。在圖27中，虛線S11、S12和S13表示與掃描軸平行的虛線。虛線L11表示連 結紅外線檢測元件cll、cl3和cl5且與傳感器軸平行的虛線。同樣地，虛線L12表示連結紅外 線檢測元件cl2和cl4并與傳感器軸平行的虛線。
[0298] 另外，虛線L11和虛線L12分別與第1對角線垂直。也即，虛線L11和虛線L12與N行N 列的2個對角線中的與掃描軸的方向所成的角度小的第2對角線平行。紅外線檢測元件cll、 cl3和cl5在與第2對角線平行的方向上排列。紅外線檢測元件cl2和cl4在與第2對角線平行 的方向上排列。
[0299] 在此，例如紅外線檢測元件cn和紅外線檢測元件c13各自的中心位置之間的與掃 描軸垂直的方向（圖中為縱向）的距離h 2、紅外線檢測元件c13和紅外線檢測元件c15各自的中 心位置之間的與掃描軸垂直的方向（圖中為縱向）的距離h 2、紅外線檢測元件c12和紅外線檢 測元件c 14各自的中心位置之間的與掃描軸垂直的方向（圖中為縱向）的距離h2都相等。另 外，例如紅外線檢測元件C11和紅外線檢測元件C12各自的中心位置之間的與掃描軸垂直的 方向（圖中為縱向）的距離為作為(元件列的數一 1)的P的h2倍(P Xh2)。
[0300] 能夠通過算出滿足這樣的關系的角度X2來算出預定角度X2。具體而言，這樣的關系 作為sin(X2)=Ph2/Di，sin(45 - X2)=h3/d2 · Di)表示成關系式。在此，Di是紅外線檢測元 件之間的距離，例如紅外線檢測元件cn和紅外線檢測元件c12各自的中心位置之間的距離 (傳感器軸上的距離）。另外，通過求解上述的關系式，能夠算出預定角度 X2。即，對上述關系
I即sin(X2) = Pcos(X2) - Psin(X2)，變換表 達為tan(X2) = P/ (P+1)，由此能夠算出預定角度X2 = tan-1 (P/P+1)。
[0301] 以下，使用實施例對預定角度的一例進行說明。
[0302] (實施例）
[0303]以下，使用圖28和圖29,對本實施例的紅外線傳感器102e的結構的一例進行說明。 [0304]圖28是示出實施方式5的實施例的紅外線傳感器的結構的一例的圖。圖29是用于 對圖28所示的紅外線傳感器的傾斜進行說明的圖。
[0305]圖27所示的紅外線傳感器102e是紅外線傳感器102A的一例，由排列成8行8列的多 個紅外線檢測元件構成。在紅外線傳感器102e中，多個紅外線檢測元件中的一部分紅外線 檢測元件被設為有效，該一部分以外的其它部分的紅外線檢測元件被設為無效。
[0306]在本實施例中，構成紅外線傳感器102e的多個紅外線檢測元件排列成8行8列，一 部分紅外線檢測元件是8行8列中的位于掃描軸的方向上的兩端部的多個紅外線檢測元件 以外的多個紅外線檢測元件。
[0307]更具體而言，圖28所示的一部分紅外線檢測元件構成為包括:沿著8行8列的2個對 角線中的與掃描軸的方向所成的角度大的第1對角線排列的多個紅外線檢測元件即第1元 件列、與第1元件列相鄰且沿著第1對角線排列的多個紅外線檢測元件即第2元件列、與第2 元件列相鄰且沿著第1對角線排列的多個紅外線檢測元件即第3元件列。也就是說，作為一 部分紅外線檢測元件，使構成紅外線傳感器102e的多個紅外線檢測元件中的、從第1元件列 至第3元件列的紅外線檢測元件為有效，使其他的紅外線檢測元件為無效。
[0308] 另外，紅外線傳感器102e相對于掃描軸的方向以預定角度（圖的a2°)傾斜。預定角 度&2是被調整成使得上述的一部分紅外線檢測元件各自的中心位置成為從掃描軸的方向 來看都不同的位置的角度。
[0309] 在此，對于預定角度&2的算出方法，使用提取出例如圖28所示的一部分的區域F2 的圖29進行說明。在圖29中，虛線S21、S22和S23表示與掃描軸平行的虛線。虛線L21表示連 結紅外線檢測元件c21、c23和c25且與傳感器軸平行的虛線。同樣地，虛線L22表示連結紅外 線檢測元件c22和c24且與傳感器軸平行的虛線。
[0310]在此，屬于第1元件列的紅外線檢測元件即第1元件(紅外線檢測元件C23)的中心 位置和沿著與所述掃描軸的方向具有預定角度的行方向排列的與包含第1元件(紅外線檢 測元件c23)的多個紅外線檢測元件相鄰的多個紅外線檢測元件中的、與第1元件(紅外線檢 測元件c23)相鄰的、分別屬于第3元件列的紅外線檢測元件即第3元件及第2元件(紅外線檢 測元件c21、c25)的中心位置之間的且與掃描軸的方向垂直的方向上的距離即第1距離h 3相 等。另外，2個第3元件及第2元件(紅外線檢測元件c21、c25)中的、作為掃描方向的末尾的一 方的第3元件(紅外線檢測元件c21)的中心位置和在行方向上排列的包含第1元件(紅外線 檢測元件c23)的多個紅外線檢測元件中的、與第1元件(紅外線檢測元件c23)相鄰但不與第 3元件(紅外線檢測元件c21)相鄰的屬于第2元件列的紅外線檢測元件即第4元件(紅外線檢 測元件c24)的中心位置之間的、與掃描軸的方向垂直的方向上的距離即第2距離與第1距離 相等。另外，第4元件（紅外線檢測元件c24)的中心位置和在行方向上排列的包含第3元件 (紅外線檢測元件c21)的多個紅外線檢測元件中的、與第3元件(紅外線檢測元件c21)相鄰 并且屬于第2元件列的紅外線檢測元件即第5元件（紅外線檢測元件c22)的中心位置之間 的、與掃描軸的方向垂直的方向上的距離即第3距離與第1距離相等。
[0311] 更具體而言，如圖29所示，例如紅外線檢測元件c21和紅外線檢測元件c23各自的中 心位置之間的與掃描軸垂直的方向（圖中為縱向）的距離h 3、紅外線檢測元件c23和紅外線檢 測元件c25各自的中心位置之間的與掃描軸垂直的方向（圖中為縱向）的距離h 3、紅外線檢測 元件C22和紅外線檢測元件C24各自的中心位置之間的與掃描軸垂直的方向（圖中為縱向）的 距離h 3均相等。另外，例如紅外線檢測元件C21和紅外線檢測元件C22各自的中心位置之間的 與掃描軸垂直的方向（圖中為縱向）的距離為2h 3倍（(元件列的數一 l)Xh3)。
[0312] 能夠通過算出滿足這樣的關系的角度X3來算出預定角度&2。具體而言，將這樣的關 系作為sin(X3) = 2h3/D2
>z = 45 - X3,表示為關系式，通過 求解上述關系式，可以算出預定角度a2。在此，出為紅外線檢測元件之間的距離，例如是紅外 線檢測元件c21和紅外線檢測元件c22各自的中心位置之間的距離(傳感器軸上的距離）。即， 將上述關系式求解為
即sin(X3) =2cos(X3) - 2sin(X3)，變 換表達為tan(X3) = 2/3,由此可以求解為X3 = 33.69度。由此，預定角度a2能夠算出為33.69 度。
[0313] 因此，紅外線傳感器102e由與傳感器軸為平行和垂直的8X8的紅外線檢測元件構 成，該傳感器軸相對于掃描軸具有33.69°的傾斜(預定角度a 2)。由此，作為構成紅外線傳感 器102e的8行8列的紅外線檢測元件中的、一部分紅外線檢測元件為有效的第1元件列~第3 元件列的紅外線檢測元件各自的中心位置成為從掃描軸的方向來看都不同的位置，在掃描 軸的方向上不重疊。由此，在紅外線傳感器l〇2e中能夠增加與掃描軸垂直的方向的紅外線 檢測元件的數量，因此能夠實質上增加與掃描軸垂直的方向（縱軸)的熱圖像的像素數。 [0314]此外，在本實施例中，以8行8列的紅外線檢測元件構成紅外線傳感器102e，但不局 限于此。可以是4行4列的紅外線檢測元件，也可以是16行16列的紅外線檢測元件，還可以是 32行32列的紅外線檢測元件。這是因為只要是N行N列(N為2以上的自然數）的紅外線檢測元 件，就可以作為通用產品而取得，因此能夠降低紅外線傳感器的采用成本。
[0315]圖30是用于說明使用圖27所示的紅外線傳感器102e的情況下的紅外線檢測裝置 的效果的圖。
[0316]圖30所示的紅外線傳感器102e相對于掃描軸的方向（水平方向）以33.69度傾斜。 即，紅外線傳感器102e的傳感器軸相對于掃描軸以33.69度傾斜。在此情況下，當紅外線傳 感器102e沿著掃描軸的方向旋轉(移動)時，與掃描軸平行的方向（列方向）的該一部分紅外 線檢測元件不重疊。由此，與掃描軸垂直的方向的一部分紅外線檢測元件的數量，比紅外線 傳感器1026的行方向的紅外線檢測元件的數量即8個(8￥61"1：；[03116￥618 :8個垂直層次)增 加，成為34個(34vertical levels :34個垂直層次）。
[0317]這樣，這樣，紅外線檢測裝置1A具有包括紅外線檢測元件的紅外線傳感器102e，該 紅外線傳感器102e具有相對于掃描軸傾斜了 33.69度傾斜的傳感器軸，由此，不會使構成紅 外線傳感器102e的紅外線檢測元件的數量增加，與比較例相比較，能夠取得成為4.25倍的 高分辨率的熱圖像。進而，紅外線檢測裝置1A通過由控制處理單元12對該熱圖像實施超分 辨處理，能夠取得分辨率進一步提高的熱圖像。
[0318][實施方式5的效果等]
[0319] 如以上那樣，根據本實施方式的紅外線檢測裝置，能夠不使構成紅外線傳感器的 紅外線檢測元件的數量增加，而提高熱圖像的分辨率。進而，在本實施方式中，通過不使用 構成紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的全部而使用一部分，起到能夠降低用于使紅外 線會聚在紅外線傳感器的透鏡的彗差和/或球差的影響的效果。
[0320] 在此，預定角度是被調整成使得構成紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件中的一 部分紅外線檢測元件各自的中心位置成為從作為掃描方向的預定的方向來看都不同的位 置的角度。例如，紅外線傳感器由8行8列的紅外線檢測元件構成，在作為一部分紅外線檢測 元件而將上述的第1元件列~第3元件列的紅外線檢測元件設為有效而使用的情況下，該預 定角度為33.69度。
[0321] 該情況下，若與使用8行8列的紅外線檢測元件的情況相比，3個元件列的紅外線檢 測元件，與掃描軸大致平行地排列的數量少，因此，起到能夠縮短掃描時間、即用于掃描溫 度檢測對象范圍的時間（紅外線檢測時間）的效果。由此，還起到更加提高分辨率這樣的效 果。
[0322] 另外，本實施方式的紅外線檢測裝置，與實施方式4同樣，不僅能夠削減用于取得 高分辨率的熱圖像的馬達的成本，還能夠削減用于采用紅外線檢測元件的數量更多的紅外 線傳感器的成本。另外，本實施方式的紅外線檢測裝置，與實施方式4同樣，還起到作為模塊 而容易裝載在例如空調設備等其他設備中的效果。
[0323] 此外，在上述的實施方式4和實施方式5中，作為紅外線傳感器102A的一例，對以8 行8列(8X8)排列成行列狀的多個紅外線檢測元件進行了說明，但不局限于此。可以是以16 行16列或32行32列排列成行列狀的多個紅外線檢測元件，只要是由以N行Μ列(N、M為2以上 的自然數)排列成行列狀的多個紅外線檢測元件構成即可。
[0324] (實施方式6)
[0325] [作為實施方式6的基礎的見解]
[0326] 在實施方式1等中，以傳感器模塊搭載有紅外線傳感器和透鏡為例進行了說明，但 不局限于此。傳感器模塊也可以是容納有紅外線傳感器和對紅外線傳感器的輸出信號進行 信號處理的1C芯片（1C元件）的封裝件。
[0327] 在此情況下，1C芯片由于驅動而發熱，因此需要抑制因 1C芯片產生的熱所導致的 對紅外線傳感器的檢測結果的影響。
[0328] 于是，例如在專利文獻2中提出了在1C芯片與紅外線傳感器之間設置墻壁部等結 構以不將1C芯片所產生的熱傳遞至紅外線傳感器。
[0329] 但是，搭載有紅外線傳感器的傳感器模塊(封裝件）以掃描旋轉軸為中心旋轉，由 此對檢測對象范圍進行掃描。因1C芯片和紅外線傳感器的配置不同，存在掃描時由1C芯片 產生的熱經由封裝件內的環境到達至紅外線傳感器而對紅外線傳感器的檢測結果造成不 良影響的情況。也就是說，在專利文獻2所提出的傳感器模塊(封裝件）中，關于1C芯片與紅 外線傳感器的配置方向（并列設置方向）未進行研究，因此無法抑制在掃描時由1C芯片產生 的熱對紅外線傳感器的檢測結果造成的影響。因此，因來自1C芯片的熱的影響而有可能會 導致紅外線傳感器要掃描的檢測對象范圍的檢測溫度上升，紅外線傳感器的傳感器特性降 低。
[0330] 于是，在實施方式6中，對于能夠抑制掃描時由來自1C芯片的熱而產生的影響的紅 外線檢測裝置進行說明。
[0331][紅外線檢測裝置的結構]
[0332] 以下，參照附圖對實施方式6的紅外線檢測裝置進行說明。
[0333] 圖31是示出本實施方式的紅外線檢測裝置1B的結構的一例的圖。圖32是本實施方 式的紅外線檢測裝置1B搭載于框體的情況下的物理結構的局部示意圖。圖33A是示出本實 施方式的紅外線檢測裝置1B的物理結構的圖。圖33B是示出本實施方式的紅外線檢測裝置 的其它物理結構的圖。此外，對于與圖1~圖4同樣的要素標注同一附圖標記并省略詳細的 說明。
[0334] 與圖3所說明的同樣，本實施方式的紅外線檢測裝置1B安裝于設置在與空間4的底 面大致垂直并且距離底面預定高度的設置面41的框體2,取得空間4內的檢測對象范圍的熱 圖像。
[0335] 如圖31所示，紅外線檢測裝置1B具備紅外線檢測部20、掃描部11和控制處理部12。 此外，圖31所示的紅外線檢測裝置1B相對于實施方式1所涉及的紅外線檢測裝置1，紅外線 檢測部20的結構不同。
[0336][掃描部]
[0337]首先，對本實施方式的掃描部11的結構等進行說明。
[0338]掃描部11具有掃描旋轉軸，通過使紅外線檢測部20以該掃描旋轉軸旋轉，使構成 紅外線檢測部20的紅外線傳感器102對空間4進行掃描。
[0339]例如圖33A所示，掃描部11具備馬達111和設置臺112，具有與設置面41大致平行的 掃描旋轉軸S1。馬達111受控制處理部12控制，使設置臺112以掃描旋轉軸S1旋轉，由此使紅 外線檢測部20以掃描旋轉軸S1旋轉。設置臺112設置有紅外線檢測部20。如圖33A所示，設置 臺112被配置成相對于掃描旋轉軸S1具有傾斜，與掃描旋轉軸S1交叉。
[0340] 此外也可以例如圖33B所示，掃描部11具備馬達311和設置臺312,具有相對于設置 面41具有傾斜的掃描旋轉軸S3。在此情況下，馬達311受控制處理部12控制，使設置臺312以 掃描旋轉軸S3旋轉，由此使紅外線檢測部20以掃描旋轉軸S3旋轉。設置臺312設置有紅外線 檢測部20。設置臺312與掃描旋轉軸S3大致平行地配置。
[0341] [控制處理部]
[0342] 接下來，對本實施方式的控制處理部12的結構等進行說明。
[0343] 控制處理部12控制掃描部11，對紅外線檢測部20(紅外線傳感器102)所取得的熱 圖像(輸入圖像)進行處理，并輸出至框體2所包含的運算裝置。此外，控制處理部12也可以 包含于框體2的運算裝置。變形修正處理和/或超分辨率處理等由控制處理部12執行的處理 的詳細內容如實施方式1所說明的那樣，因此，省略在此的說明。此外，變形修正處理和/或 超分辨率處理也可以由下述的紅外線檢測部20的1C芯片204執行。
[0344] [紅外線檢測部]
[0345] 接下來，對本實施方式的紅外線檢測部20的結構等進行說明。
[0346] 圖34是本實施方式的紅外線檢測部20的分解立體圖。圖35是本實施方式的紅外線 檢測部20的截面概略圖。
[0347] 如圖33A或者圖33B所示，紅外線檢測部20通過掃描部11以掃描旋轉軸S1或者掃描 旋轉軸S3旋轉，由此對空間4的溫度檢測對象范圍進行掃描。在本實施方式中，紅外線檢測 部20是將紅外線傳感器102和1C芯片204在沿著紅外線傳感器102的掃描旋轉軸的方向上大 致并列設置而容納的封裝件。此外，封裝件相當于實施方式1等中的傳感器模塊的一個方 式。更具體而言，如圖34所示，紅外線檢測部20具備:封裝件主體201、紅外線傳感器102、IC 芯片204、具有窗孔203的封裝件蓋205、多個熱敏電阻207。
[0348]封裝件主體201形成為平板狀，被安裝成在一個表面側紅外線傳感器102和1C芯片 204在沿著紅外線傳感器102的掃描旋轉軸S1或者掃描旋轉軸S3的方向上大致并列設置。另 外，封裝件主體201沿著掃描旋轉軸S1或者掃描旋轉軸S3在紅外線傳感器102的附近配置至 少2個以上的熱敏電阻207。另外，在封裝件主體201的該一個表面側與包圍紅外線傳感器 102和1C芯片204的封裝件蓋205接合。
[0349] 此外，作為封裝件主體201的基材的材料，例如可以采用陶瓷和/或樹脂等電絕緣 性材料。采用陶瓷作為封裝件主體201的電絕緣性材料與采用環氧樹脂等有機材料的情況 相比，能夠提高封裝件主體201的耐濕性和耐熱性。另外，在封裝件主體201形成有供紅外線 傳感器102、IC芯片204等電連接的布線圖案(未圖示）。另外，封裝件主體201形成有與上述 的布線圖案適當連接的多個外部連接用電極(未圖示）。封裝件主體201例如可以由陶瓷基 板和/或印刷布線板等構成。
[0350] 封裝件蓋205包圍紅外線傳感器102和1C芯片204,與封裝件主體201的該一個表面 側接合。封裝件蓋205在與紅外線傳感器102相對的位置具有使紅外線通向紅外線傳感器 102的窗孔203。在窗孔203配置有將紅外光導向紅外線傳感器102的透鏡206。
[0351] 透鏡206使得紅外線(紅外光）向紅外線傳感器102照射。更具體而言，如上所述，透 鏡206由紅外線的透射率高的硅和/或ZnS等構成。透鏡206設計成使得從各方向入射到該透 鏡206的紅外線(紅外光）向構成紅外線傳感器102的一個以上的紅外線檢測元件分別入射。
[0352] 在本實施方式中，掃描旋轉軸S1或者掃描旋轉軸S3通過透鏡206的光心。因此，紅 外線檢測部20(紅外線傳感器102)和透鏡206以通過透鏡206的光心的掃描旋轉軸S1或者掃 描旋轉軸S3為中心被旋轉驅動。
[0353] 此外，不局限于掃描旋轉軸S1或者掃描旋轉軸S3通過透鏡206的光心的情況。也可 以在紅外線傳感器102的該排列面的中心(透鏡中心）具有紅外線傳感器102以掃描旋轉軸 S1旋轉時的旋轉中心并且是掃描旋轉軸S1所通過的旋轉中心。
[0354] 熱敏電阻207用于檢測紅外線傳感器102的溫度，在封裝件主體201內與紅外線傳 感器102接近地配置，產生與紅外線傳感器102的溫度相應的模擬的輸出電壓。在本實施方 式中，如上所述，熱敏電阻207至少為2個以上，沿著掃描旋轉軸S1或者掃描旋轉軸S3配置在 紅外線傳感器102的附近。熱敏電阻207將所產生的輸出電壓向1C芯片204輸出。此外，只要 能夠檢測紅外線傳感器102的溫度，不局限于熱敏電阻207,也可以是熱電偶。
[0355] [1C 芯片]
[0356] 接下來，對本實施方式中的1C芯片204的結構等進行說明。
[0357] 1C芯片204例如是ASIC(Application Specific 1C;專用集成電路），對紅外線傳 感器102的輸出信號進行信號處理。此外，1C芯片204不局限于ASIC，只要能夠將所希望的信 號處理電路集成化即可。1C芯片204也可以使用例如硅基板而形成，例如，也可以使用GaAs 基板、InP基板等化合物半導體基板而形成。
[0358] 在本實施方式中，1C芯片204使用裸芯片。這是由于通過使用裸芯片，與將1C芯片 204的裸芯片封裝的情況相比，能夠實現紅外線檢測部20的小型化。
[0359] 另外，如上所述，1C芯片204與紅外線傳感器102-起安裝于封裝件主體201。1C芯 片204在沿著紅外線傳感器102的掃描旋轉軸的方向上與紅外線傳感器102大致并列設置。 [0360]在此，1C芯片204也可以基于2個以上的熱敏電阻207的輸出結果對紅外線傳感器 102的輸出信號進行修正處理，并且對修正處理后的輸出信號進行信號處理。由此，1C芯片 204能夠使用熱敏電阻對熱圖像的溫度進行修正，因此紅外線檢測部20能夠取得噪聲更少 的清晰的熱圖像。此外，1C芯片204也可以如上述那樣包含有控制處理部12的一部分功能而 進行超分辨率處理等。
[0361] 1C芯片204與紅外線傳感器102協作。1C芯片204的電路結構根據紅外線傳感器102 的種類等適當設計即可，例如可以采用對紅外線傳感器102的輸出信號進行信號處理的信 號處理電路等。以下，對1C芯片204的電路結構的一例進行說明。
[0362] 圖36是本實施方式的1C芯片204的電路框圖。
[0363] 如圖36所示，1C芯片204具備:對紅外線傳感器102的輸出電壓進行放大的第1放大 電路2042a、對熱敏電阻207的輸出電壓進行放大的第2放大電路2042b、將紅外線傳感器102 的多個輸出電壓擇一地輸入至第1放大電路2042a的多路復用器2041。另外，1C芯片204具 備:將由第1放大電路2042a放大后的紅外線傳感器102的輸出電壓和由第2放大電路2042b 放大后的熱敏電阻207的輸出電壓轉換為數字值的A/D轉換電路2043JC芯片204的運算部 2044與紅外線傳感器102和熱敏電阻207的各輸出電壓對應地使用從A/D轉換電路2043輸出 的數字值來運算物體400的溫度。另外，1C芯片204具備存儲用于運算部2044中的運算的數 據等的存儲部即存儲器2045。另外，1C芯片204具備控制紅外線傳感器102的控制電路2046。
[0364] [紅外線傳感器的結構]
[0365] 接下來，對紅外線傳感器102的結構進行說明。
[0366] 如圖33A所示，紅外線傳感器102以掃描旋轉軸S1為中心旋轉，由此對空間4的溫度 檢測對象范圍進行掃描，并將表示所掃描的溫度檢測對象范圍的熱圖像(紅外線圖像)的輸 出信號向1C芯片204輸出。具體而言，在紅外線傳感器102中，一個以上的紅外線檢測元件以 一個以上的列排列，利用該一個以上的紅外線檢測元件對所掃描的空間4的溫度檢測對象 范圍的紅外線進行檢測。
[0367] 該一個以上的紅外線檢測元件的排列面被配置成相對于設置面41具有傾斜。換言 之，該排列面被配置成與掃描旋轉軸S1具有傾斜。另外，該排列面與掃描旋轉軸S1交叉。由 此，例如如圖3中所示，紅外線傳感器102的視野中心軸比設置面41的垂直方向朝向底面、即 朝下。
[0368] 由此，設置有紅外線傳感器102的位置附近的下方區域包含于有效視野角（視場 角）。這樣，本實施方式的紅外線傳感器102能夠擴大下方區域的檢測對象范圍。
[0369] 此外，在本實施方式中，說明了掃描旋轉軸S1或者掃描旋轉軸S3通過透鏡206的光 心的情況，但是如上所述，也可以不在透鏡206的光心而在紅外線傳感器102的該排列面的 中心(透鏡中心)具有紅外線傳感器102以掃描旋轉軸S1或者掃描旋轉軸S1旋轉時的旋轉中 心并且是掃描旋轉軸S1所通過的旋轉中心。
[0370] 另外，構成紅外線傳感器102的多個紅外線檢測元件的排列可以采用實施方式2~ 實施方式5所說明的排列。以下，使用附圖對構成紅外線傳感器102的多個紅外線檢測元件 的排列例進行說明。
[0371] 圖37、圖38、圖39A~圖39B是示出構成本實施方式的紅外線傳感器的多個紅外線 檢測元件的排列的一例的圖。此外，對于與圖2、圖19A、圖20等同樣的要素標注同一附圖標 記，并省略詳細的說明。
[0372](排列例1)
[0373] 例如，如圖37所示，紅外線傳感器102在沿著紅外線傳感器102的掃描旋轉軸S1 (或 者掃描旋轉軸S3)的方向上與1C芯片204并列設置(或者大致并列設置），構成紅外線傳感器 102的多個紅外線檢測元件的列也可以沿著以掃描旋轉軸S1為中心的旋轉方向排列。
[0374] (排列例2)
[0375] 另外，例如，紅外線傳感器102可以是圖38所示的紅外線傳感器102a。即，如圖38所 示，紅外線傳感器102a在沿著紅外線傳感器102a的掃描旋轉軸S1 (或者掃描旋轉軸S3)的方 向上與1C芯片204并列設置(或者大致并列設置），構成紅外線傳感器102a的多個紅外線檢 測元件的列也可以排列成相對于以掃描旋轉軸S1 (或者掃描旋轉軸S3)為中心的旋轉方向 具有預定角度的傾斜。在此，預定角度是被調整成使得構成紅外線傳感器l〇2a的多個紅外 線檢測元件各自的中心位置成為從以掃描旋轉軸S1(或者掃描旋轉軸S3)為中心的旋轉方 向來看都不同的位置的角度。此外，預定角度和/或紅外線傳感器l〇2a的詳細內容如實施方 式4和實施方式5所說明的那樣，因此在此省略說明。
[0376] 如實施方式4等所說明的那樣，如此構成的紅外線傳感器102a能夠使與掃描旋轉 軸S1垂直的方向的像素數實質上增加。也就是說，能夠不增加構成紅外線傳感器的紅外線 檢測元件的實際的數量而提高與掃描旋轉軸S1垂直的方向的分辨率。
[0377] (排列例3)
[0378] 另外，例如，紅外線傳感器102也可以是圖39A所示的紅外線傳感器402a。即，如圖 39A所示，在紅外線傳感器402a中，也可以是在紅外線傳感器402a和1C芯片204的排列方向 上，多個紅外線檢測元件以2個以上的列排列，該2個以上的列的各個列在排列方向上偏移 地排列。在圖39A的例子中，紅外線傳感器402a的2個以上的列的各個列以越靠近以掃描旋 轉軸S1(或者掃描旋轉軸S3)為中心的旋轉方向上的最前頭則越靠近1C芯片204的方式偏 移。另外，紅外線傳感器402a的2個以上的列的各個列也可以以越靠近以掃描旋轉軸S1(或 者掃描旋轉軸S3)為中心的旋轉方向上的最前頭則越遠離1C芯片204的方式偏移。在圖39A 中，示出了排列有8行8列的紅外線檢測元件的例子，示出了相鄰的列中的紅外線檢測元件 彼此偏移1 /8像素的例子。
[0379] 此外，相鄰的列中的紅外線檢測元件彼此偏移地排列（像素偏移排列）的例子，不 局限于圖39A所示的紅外線傳感器402a。例如，也可以是圖39B所示的紅外線傳感器402b，還 可以是圖39C所示的紅外線傳感器402c。更具體而言，也可以是如圖39B所示，排列有16行4 列的紅外線檢測元件，相鄰的列中的紅外線檢測元件彼此偏移了 1/4像素的紅外線傳感器 402b。另外，還可以是如圖39C所示，排列有32行2列的紅外線檢測元件，相鄰的列中的紅外 線檢測元件彼此偏移了 1/2像素的紅外線傳感器402c。
[0380] 在如此構成的紅外線傳感器402a等中，如實施方式2所說明的那樣，能夠實質上增 加與掃描旋轉軸S1(或者掃描旋轉軸S3)垂直的方向的像素數。也就是說，能夠不增加實際 構成紅外線傳感器的紅外線檢測元件的數量而使與掃描旋轉軸S1垂直的方向的分辨率提 尚。
[0381](排列例4)
[0382] 另外，例如也可以是，紅外線傳感器102如實施方式2所說明的圖7、圖9、圖10、圖 11A~圖15所示的紅外線傳感器202等那樣，多個紅外線檢測元件以一個以上的列排列，該 各個列中的多個紅外線檢測元件各自的與底面42大致平行的橫邊的寬度形成為越靠近底 面42越窄。此外，詳細內容如實施方式2所說明的那樣，因此，在此省略說明。
[0383] 如此構成的紅外線傳感器202等如實施方式2所說明的那樣，在視野中心軸相對于 掃描旋轉軸S1傾斜的紅外線傳感器202中，即使各行的多個紅外線檢測元件存在轉速的差 異，也能夠使從上端至下端的掃描密度(分辨率)恒定。由此起到不用進行熱圖像的變形修 正的效果。
[0384] [實施方式6的效果等]
[0385] 如上所述，根據本實施方式，能夠實現能抑制掃描時因來自1C芯片204的熱所產生 的影響的紅外線檢測裝置1B。
[0386] 在此，使用附圖對能夠抑制掃描時因來自1C芯片204的熱所產生的影響的效果進 行說明。
[0387] 圖40A是用于說明比較例的掃描時因來自1C芯片204的熱所產生的影響的圖。圖 40B是用于說明本實施方式的紅外線檢測裝置的掃描時因來自1C芯片的熱所產生的影響的 圖。關于圖40A和圖40B，可以說對于圖38所說明的具有傾斜的（傾斜的）紅外線傳感器102a、 圖39A~圖39C所說明的相鄰的列的紅外線檢測元件偏移的（像素偏移排列的）紅外線傳感 器402a等而言也是同樣的，因此使用圖39B所示的紅外線傳感器402b進行說明。另外，在圖 40A和圖40B中，對于構成紅外線傳感器402b的紅外線檢測元件，從上開始依次分配編號（1、 2、 3、4、5、6、7、8、......63、64)〇
[0388] 例如作為ASIC的1C芯片204發熱。在圖40A所示的比較例的1C芯片204和紅外線傳 感器402b的配置下，朝向以掃描旋轉軸為中心的旋轉方向（圖中為橫向）會產生溫度分布。 因此，在使用圖39B所說明的相鄰的列的像素偏離的紅外線傳感器402b取得熱圖像并進行 超分辨率處理的情況下，存在超分辨率處理后的圖像會產生橫紋噪聲的問題。例如第4紅外 線檢測元件為低溫而第5紅外線檢測元件為高溫，在第4和第5之間會產生溫度差。也就是 說，這是由于在相鄰編號的紅外線檢測元件之間會產生溫度差。這樣，若在橫向（旋轉方向/ 掃描方向）形成溫度分布，則在進行超分辨率處理的情況下，會產生出現鋸齒等的橫紋噪聲 等，會輸出不優選的處理結果。
[0389] 另一方面，在圖40B所示的本實施方式的1C芯片204和紅外線傳感器402b的配置 下，在沿著掃描旋轉軸的方向上（圖中為縱向）會產生溫度分布。在此情況下，以第1、第2、第 3、 …第63、第64這樣的編號順序，紅外線檢測元件的溫度變高，因此，相鄰編號的紅外線檢 測元件之間的溫度差會變小。因此，即使對于所取得的熱圖像進行了超分辨率處理，也能夠 抑制在超分辨率處理后的圖像上產生的橫紋噪聲。也就是說，根據本實施方式的紅外線檢 測裝置，能夠抑制掃描時因來自1C芯片204的熱所產生的影響。
[0390] 此外，圖40B中示出了在紅外線傳感器402b的正下方配置有1C芯片204的例子。即， 記載了連結紅外線傳感器402b的大致中心位置和1C芯片的大致中心位置的線（以下，稱為 第1線）與掃描旋轉軸所成的角度Θ(未圖示)為0°的例子。但是，不局限于此，紅外線傳感器 402b和1C芯片204在沿著紅外線傳感器402b的掃描旋轉軸的方向上大致并列設置即可。在 此，大致并列設置例如是指第1線與掃描旋轉軸所成的角度Θ為一45° <θ<+45°的配置。換 言之，只要為"第1線與掃描旋轉軸的角度" < "第1線與同掃描旋轉軸垂直方向的角度"的配 置即可。此外，若考慮上述的溫度分布的影響，則更優選為一 15° <θ<+15°。
[0391] 進而，例如，還可以具備熱敏電阻和/或熱電偶之類的可檢測紅外線傳感器402b的 溫度的溫度測量單元。由此，1C芯片204能夠基于2個以上的熱敏電阻207的輸出結果，對紅 外線傳感器402b的輸出信號進行修正處理，并且對修正處理后的輸出信號進行信號處理。 也就是說，1C芯片204能夠基于2個以上的熱敏電阻207的輸出結果，通過進行修正來抑制1C 芯片204所產生的熱的影響，由此能夠輸出更清晰的熱圖像。因此，起到即使在之后進行了 超分辨率處理的情況下也能夠取得橫紋噪聲更少的熱圖像的效果。
[0392] 在此，圖41A和圖41B是示出本實施方式的熱敏電阻207的配置例的圖。也就是說， 本實施方式的紅外線檢測裝置1B使用2個熱敏電阻207的情況以例如圖41A所示的方式配 置。例如，2個熱敏電阻207如圖41A所示配置在紅外線檢測裝置1B的左側。或者，2個熱敏電 阻207也可以配置在紅外線檢測裝置1B的右側。另外，2個熱敏電阻207沿著掃描旋轉軸S1 (或掃描旋轉軸S3)配置。在本實施方式的紅外線檢測裝置1B使用6個熱敏電阻207的情況下 以例如圖41B所示的方式配置。例如，3個熱敏電阻207如圖41B所示配置在紅外線檢測裝置 1B的左側。3個熱敏電阻207如圖41B所示配置在紅外線檢測裝置1B的右側。另外，配置在紅 外線檢測裝置1B的左側的3個熱敏電阻207沿著掃描旋轉軸Sl(或掃描旋轉軸S3)配置。另 外，配置在紅外線檢測裝置1B的右側的3個熱敏電阻207沿著掃描旋轉軸Sl(或掃描旋轉軸 S3)配置。
[0393] 如上所述，本實施方式的紅外線檢測裝置具備:一個以上的紅外線檢測元件以一 個以上的列排列的紅外線傳感器、和對所述紅外線傳感器的輸出信號進行信號處理的1C芯 片，所述紅外線傳感器和所述1C芯片在沿著所述紅外線傳感器的掃描旋轉軸的方向上大致 并列設置。
[0394] 由此，能夠實現能夠抑制掃描時因來自1C芯片204的熱所產生的影響的紅外線檢 測裝置1B。由此，紅外線檢測裝置1B能夠取得因來自1C芯片204的熱所產生的噪聲少的清晰 的熱圖像。
[0395] 另外，例如，還具備在一個表面側安裝所述紅外線傳感器和所述1C芯片的封裝件 主體。
[0396] 這樣，通過將例如作為傳感器芯片的紅外線傳感器102等和例如作為ASIC的1C芯 片204構成在同一封裝件之中，能夠縮短連接紅外線傳感器102等和1C芯片204的布線，能夠 提尚S/N。
[0397] 另外，例如可以是，所述封裝件主體具有以包圍所述紅外線傳感器和所述1C芯片 的方式與所述一個表面側接合的封裝件蓋，所述封裝件蓋在與所述紅外線傳感器相對的位 置具有使紅外線通向所述紅外線傳感器的窗孔，在所述窗孔配置有將紅外光導向所述紅外 線傳感器的透鏡。
[0398] 另外，例如，還可以具備將紅外光導向所述紅外線傳感器的透鏡，所述掃描旋轉軸 通過所述透鏡的光心，所述封裝件主體和所述透鏡以通過所述光心的所述掃描旋轉軸為中 心而旋轉。
[0399] 由此，能夠使紅外線傳感器102等的旋轉中心與透鏡206的光心大致一致，因此能 夠使由紅外線傳感器102等所取得的熱圖像中的高溫區域與低溫區域的邊界明確。然而，紅 外線傳感器102等的旋轉中心與透鏡206的光心的偏差越大，則所得的熱圖像中的高溫區域 與低溫區域的邊界就越不明確。這是由于在高溫區域與低溫區域的邊界不明確的熱圖像中 無法較高精度地識別人物等物體。因此，根據本結構，能夠較高精度地識別由紅外線傳感器 102等所取得的熱圖像中的人物等物體。
[0400] 另外，例如可以是，所述紅外線傳感器以所述掃描旋轉軸為中心而旋轉，由此對檢 測對象范圍進行掃描，在所述紅外線傳感器中，所述一個以上的列排列成相對于以所述掃 描旋轉軸為中心的旋轉方向具有預定角度的傾斜。
[0401] 在此，例如，所述預定角度是被調整成使得構成所述紅外線傳感器的多個紅外線 檢測元件各自的中心位置成為從以所述掃描旋轉軸為中心的旋轉方向來看都不同的位置 的角度。
[0402] 由此，能夠不增加構成紅外線傳感器102等的紅外線檢測元件的實際數量而使與 掃描旋轉軸垂直的方向的分辨率提高。
[0403] 另外，例如也可以是，在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以2個以上的 列在所述紅外線傳感器和所述1C芯片的排列方向上排列，所述2個以上的列的各個列以越 靠近以所述掃描旋轉軸為中心的旋轉方向上的最前頭則越靠近所述1C芯片或越遠離所述 1C芯片的方式偏移。
[0404] 另外，例如，還可以具備至少2個以上的熱敏電阻，所述2個以上的熱敏電阻沿著所 述掃描旋轉軸配置在所述紅外線傳感器的附近，所述1C芯片基于所述2個以上的熱敏電阻 的輸出結果，對所述紅外線傳感器的輸出信號進行修正處理，對修正處理后的所述輸出信 號進行信號處理。
[0405] 由此，能夠使用熱敏電阻進行熱圖像的溫度修正，因此能夠取得噪聲更少的清晰 的熱圖像。
[0406] 另外，例如也可以是，所述紅外線檢測裝置安裝于設置在與空間的底面大致垂直 并且距離所述底面預定高度的設置面的框體，所述一個以上的紅外線檢測元件的排列面配 置成相對于所述設置面具有傾斜。
[0407] 在此，例如也可以是，所述掃描旋轉軸與所述設置面大致平行，所述排列面與所述 掃描旋轉軸交叉。
[0408] 由此，能夠擴大設置有紅外線檢測裝置1B的位置附近的下方區域的檢測對象范 圍。
[0409] 另外，例如也可以是，所述掃描旋轉軸和所述排列面設置成相對于所述設置面具 有所述傾斜，所述排列面與所述掃描旋轉軸大致平行。
[0410] 由此，當紅外線傳感器102等以掃描旋轉軸旋轉時，紅外線傳感器的從該底面觀察 的上端與下端的轉速（旋轉俯仰）相同，因此不需要變形修正。由此，由于不用進行變形修 正，因此能夠進一步抑制存儲器使用量和運算負荷。
[0411] 以上，基于實施方式對本發明的一個或者多個方式的紅外線檢測裝置進行了說 明，但本發明不局限于上述的實施方式。只要不脫離本發明的主旨，在本實施方式中實施本 領域技術人員能想到的各種變形而得到的方式、組合不同實施方式中的構成要素而構建的 方式也可以包含于本發明的一個或者多個方式的范圍內。例如，以下的情況也包含于本發 明。
[0412] (1)圖42A和圖42B是構成紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件的形狀的一例。例 如，在實施方式2的圖14等中進行了說明，但本發明的一個方式的紅外線傳感器也可以是如 圖42A所示那樣由每一個的寬度逐漸地變窄的多個紅外線檢測元件構成的紅外線傳感器 402d。另外，本發明的一個方式的紅外線傳感器也可以是圖42B所示的紅外線傳感器402e。 更具體而言，紅外線傳感器402e也可以是:在紅外線傳感器402e和1C芯片204(未圖示）的排 列方向上，多個紅外線檢測元件以2個以上的列排列，該2個以上的列的數量按同一數量或 者不同數量的行減少并且越靠近紅外線傳感器402e和1C芯片204的該排列方向的一端就越 少。
[0413] 也即，各行的紅外線檢測元件的數量既可以越是靠近1C芯片204的行就越少，也可 以越是遠離1C芯片204的行就越少。
[0414] (2)在上述的實施方式等中，關于紅外線傳感器的角度、尺寸等作為一例進行了記 載，但它們不局限于所記載的例子。即使偏離于所記載的角度和/或尺寸，只要起到同樣的 效果就包含于本發明的范圍。
[0415] (3)具體而言，上述的各裝置是由微處理器、R0M、RAM、硬盤單元、顯示器單元、鍵 盤、鼠標等構成的計算機系統。在所述RAM或者硬盤單元中存儲有計算機程序。所述微處理 器按照所述計算機程序進行工作，由此各裝置達成其功能。在此，計算機程序是為了達成預 定的功能而將多個表示針對計算機的指令的命令編碼組合而構成的程序。
[0416] (4)構成上述的各裝置的構成要素的一部分或者全部也可以由1個系統LSKLarge Scale Integration:大規模集成電路)構成。系統LSI是將多個構成部集成于1個芯片上而 制造出的超多功能LSI，具體而言，是包含微處理器、R0M、RAM等而構成的計算機系統。所述 RAM中存儲有計算機程序。所述微處理器按照所述計算機程序進行工作，由此系統LSI達成 其功能。
[0417] (5)構成上述各裝置的構成要素的一部分或者全部也可以由能夠裝卸于各裝置的 1C卡或者單體模塊構成。所述1C卡或者所述模塊是由微處理器、R0M、RAM等構成的計算機系 統。所述1C卡或者所述模塊也可以包含上述超多功能LSI。微處理器按照計算機程序進行工 作，由此所述1C卡或者所述模塊達成其功能。上述1C卡或者上述模塊也可以具有抗篡改性。
[0418] (6)本發明也可以是上述所示的方法。另外，可以是利用計算機實現上述方法的計 算機程序，也可以是通過所述計算機程序形成的數字信號。
[0419] 另外，本發明可以將所述計算機程序或者所述數字信號記錄于計算機可讀取的記 錄介質例如軟盤、硬盤、CD -肋1、]?0、0￥0、0￥0 - 1?01、0￥0 - 1^1、80(8111-以7(注冊商標） Disc)、半導體存儲器等。另外，也可以是記錄在上述的記錄介質中的所述數字信號。
[0420] 另外，本發明也可以將所述計算機程序或所述數字信號經由電通信線路、無線或 有線通信線路、以因特網為代表的網絡、數據廣播等進行傳輸。
[0421] 另外，本發明是具有微處理器和存儲器的計算機系統，所述存儲器存儲上述計算 機程序，所述微處理器可以按照所述計算機程序進行工作。
[0422] 另外，通過將所述程序或所述數字信號記錄在所述記錄介質中轉移，或經由所述 網絡等將所述程序或所述數字信號進行轉移，可以通過獨立的其他的計算機系統實施。
[0423] (7)也可以將上述實施方式和上述變形例分別組合。
[0424] 產業上的可利用性
[0425] 本發明能夠利用于用于取得高分辨率的熱圖像的紅外線檢測裝置，特別是能夠利 用于作為模塊搭載于空調設備等其他設備并且用于控制該其他設備的紅外線檢測裝置。
【主權項】
1. 一種紅外線檢測裝置，具備： 一個以上的紅外線檢測元件以一個以上的列排列而成的紅外線傳感器;和 對所述紅外線傳感器的輸出信號進行信號處理的1C芯片， 所述紅外線傳感器和所述1C芯片在沿著所述紅外線傳感器的掃描旋轉軸的方向上大 致并列設置。2. 根據權利要求1所述的紅外線檢測裝置， 還具備在一個表面側安裝所述紅外線傳感器和所述1C芯片的封裝件主體。3. 根據權利要求2所述的紅外線檢測裝置， 所述封裝件主體具有以包圍所述紅外線傳感器和所述1C芯片的方式與所述一個表面 側接合的封裝件蓋， 所述封裝件蓋在與所述紅外線傳感器相對的位置具有使紅外線通向所述紅外線傳感 器的窗孔， 在所述窗孔配置有將紅外光導向所述紅外線傳感器的透鏡。4. 根據權利要求2所述的紅外線檢測裝置， 還具備將紅外光導向所述紅外線傳感器的透鏡， 所述掃描旋轉軸通過所述透鏡的光心， 所述封裝件主體和所述透鏡以通過所述光心的所述掃描旋轉軸為中心而旋轉。5. 根據權利要求所述的紅外線檢測裝置， 所述紅外線傳感器以所述掃描旋轉軸為中心而旋轉，由此對檢測對象范圍進行掃描， 在所述紅外線傳感器中，所述一個以上的列排列成相對于以所述掃描旋轉軸為中心的 旋轉方向具有預定角度的傾斜。6. 根據權利要求5所述的紅外線檢測裝置， 所述預定角度是被調整成使得構成所述紅外線傳感器的多個紅外線檢測元件各自的 中心位置成為從以所述掃描旋轉軸為中心的旋轉方向來看都不同的位置的角度。7. 根據權利要求1所述的紅外線檢測裝置， 在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以2個以上的列在所述紅外線傳感器和 所述1C芯片的排列方向上排列， 所述2個以上的列的數量按同一數量或者不同數量的行減少，并且越靠近所述紅外線 傳感器和所述1C芯片的所述排列方向的一端就越少。8. 根據權利要求1所述的紅外線檢測裝置， 在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以2個以上的列在所述紅外線傳感器和 所述1C芯片的排列方向上排列， 所述2個以上的列的各個列以越靠近以所述掃描旋轉軸為中心的旋轉方向上的最前頭 則越靠近所述1C芯片或越遠離所述1C芯片的方式偏移。9. 根據權利要求1所述的紅外線檢測裝置， 還具備至少2個以上的熱敏電阻， 所述2個以上的熱敏電阻沿著所述掃描旋轉軸配置在所述紅外線傳感器的附近， 所述1C芯片基于所述2個以上的熱敏電阻的輸出結果，對所述紅外線傳感器的輸出信 號進行修正處理，對修正處理后的所述輸出信號進行信號處理。10. 根據權利要求1所述的紅外線檢測裝置， 所述紅外線檢測裝置安裝于設置在與空間的底面大致垂直并且距離所述底面預定高 度的設置面的框體， 所述一個以上的紅外線檢測元件的排列面配置成相對于所述設置面具有傾斜。11. 根據權利要求10所述的紅外線檢測裝置， 所述掃描旋轉軸和所述排列面設置成與所述設置面具有所述傾斜， 所述排列面與所述掃描旋轉軸大致平行。12. 根據權利要求10所述的紅外線檢測裝置， 所述掃描旋轉軸與所述設置面大致平行， 所述排列面與所述掃描旋轉軸交叉。13. 根據權利要求12所述的紅外線檢測裝置， 在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以一個以上的列排列， 所述列的各個列的多個紅外線檢測元件各自的與所述底面大致平行的橫邊的寬度，越 靠近所述底面就越窄。14. 根據權利要求12所述的紅外線檢測裝置， 當設所述列的各個列的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測元件的橫邊的寬度 為Lx，設與所述一個紅外線檢測元件在所述底面側相鄰的紅外線檢測元件的橫邊的寬度為 Ly，設所述一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近所述底面的最下端的主光線與所述掃描 旋轉軸所成的角為θ χ，設所述相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端的主光線與所述掃 描旋轉軸所成的角為Μ寸，滿足Lx/L y = sin(0x)/Sin(0y)的關系。15. 根據權利要求12所述的紅外線檢測裝置， 當設所述列的各個列的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測元件的橫邊的寬度 為Lx，設與所述一個紅外線檢測元件在所述底面側相鄰的紅外線檢測元件的橫邊的寬度為 Ly，設所述一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近所述底面的最下端的主光線與所述掃描 旋轉軸所成的角為θ χ，設所述相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端的主光線與所述掃 描旋轉軸所成的角為Μ寸，滿足Lx/L y>sin(0x)/Sin(0y)的關系。16. 根據權利要求12所述的紅外線檢測裝置， 當設所述列的各個列的多個紅外線檢測元件中的一個紅外線檢測元件的橫邊的寬度 為Lx，設與所述一個紅外線檢測元件在所述底面側相鄰的紅外線檢測元件的橫邊的寬度為 Ly，設所述一個紅外線檢測元件的視場角的最靠近所述底面的最下端的主光線與所述掃描 旋轉軸所成的角為θ χ，設所述相鄰的紅外線檢測元件的視場角的最下端的主光線與所述掃 描旋轉軸所成的角為Μ寸，滿足Lx/L y<sin(0x)/Sin(0y)的關系。17. 根據權利要求13所述的紅外線檢測裝置， 在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以3個以上的列排列， 所述列的各個列的多個紅外線檢測元件各自的與所述底面大致平行的橫邊的寬度，越 靠近所述底面就越窄， 在所述3個以上的列的相鄰的列中，對應的位置的紅外線檢測元件的中心位置的距離 恒定。18. 根據利要求13所述的紅外線檢測裝置， 在所述紅外線傳感器中，多個紅外線檢測元件以3個以上的列排列， 所述列的各個列的多個紅外線檢測元件各自的與所述底面大致平行的橫邊的寬度，越 靠近所述底面就越窄， 所述3個以上的列的各個列的多個紅外線檢測元件各自的位置，越靠近所述底面則越 靠近所述3個以上的列的成為列方向的中心的位置。19. 根據權利要求17所述的紅外線檢測裝置， 所述3個以上的列的從所述底面來看成為起始的紅外線檢測元件的位置以依次靠近所 述底面的方式偏移。20. 根據權利要求19所述的紅外線檢測裝置， 一個列的所述成為起始的紅外線檢測元件的位置，從相鄰的所述列的成為起始的紅外 線檢測元件偏移所述相鄰的列的所述成為起始的紅外線檢測元件的與所述底面大致垂直 的縱邊的寬度的1/4。
【文檔編號】G01J5/20GK105865636SQ201610032364
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年1月18日
【發明人】楠龜弘, 楠龜弘一, N·塞拉萬, 米田亞旗
【申請人】松下知識產權經營株式會社