一種高溫絕壓傳感器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種傳感器，特別涉及一種高溫絕壓傳感器及其制造方法。
【背景技術】
[0002]傳感器(英文名稱:transducer/sensor)是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。
[0003]現有的傳感器不適于在高溫條件工作。
【發明內容】
[0004]本發明所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種高溫絕壓傳感器及其制造方法。
[0005]為了實現上述目的，本發明所采取的措施:
[0006]—種高溫絕壓傳感器，包括機殼和基板，所述的機殼與基板之間形成一個真空腔，真空腔內安裝有由傳感器殼和傳感器敏感膜片組成的傳感器，基板上開設有與傳感器敏感膜片連通的壓力通道，傳感器連接有由機殼引出的傳導連接物；
[0007]所述的機殼的后蓋板上安裝有金屬管，金屬管內開設有抽真空通道；
[0008]所述的傳導連接物為通過彈簧接觸片或金屬絲連接到傳感器的鍍金引腿，鍍金引腿由機殼引出；
[0009]所述的鍍金引腿與機殼之間安裝有玻璃密封環；
[0010]所述的基板為螺紋基板，機殼與后蓋板之間為一體式結構或分體式結構；
[0011]所述的傳感器為金屬薄膜壓阻式傳感器。
[0012]—種制造上述高溫絕壓傳感器的方法，第一步:選取由金屬薄膜壓阻式傳感器為基本元器件;第二步:將傳感器焊接在基板上，基板上的壓力通道對準傳感器上的傳感器敏感膜片;第三步:在機殼上裝配好鍍金引腿和玻璃密封環;第四步:在真空條件下，將鍍金引腿通過金屬絲焊接到傳感器的接線端子上或通過彈簧接觸片連接到傳感器的接線端子上，將機殼焊接到基板上，機殼內形成一個真空腔;或在常態下，將鍍金引腿通過金屬絲焊接到傳感器的接線端子上或通過彈簧接觸片連接到傳感器的接線端子上，將機殼焊接到基板上，機殼的后蓋板上安裝有金屬管，通過金屬管內的抽真空通道將機殼內抽真空形成一個真空腔，抽真空過程中，將抽真空通道焊封，即可加工得到高溫絕壓傳感器。
[0013]本發明的有益效果:實用，生產成本低，使用方便，傳感器在真空條件下工作，適宜于在感溫環境的工作，穩定好。
【附圖說明】
[0014]圖1，本發明的螺紋基板后抽真空結構示意圖。
[0015]圖2，本發明的金屬絲封焊后抽真空結構示意圖。
[0016]圖3，本發明的彈簧接觸片連接后抽真空結構示意圖。
[0017]圖4，本發明的彈簧接觸片連接真空條件下封焊結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]—種高溫絕壓傳感器，包括機殼2和基板I，所述的機殼2與基板I之間形成一個真空腔11，真空腔11內安裝有由傳感器殼5和傳感器敏感膜片6組成的傳感器，基板I上開設有與傳感器敏感膜片6連通的壓力通道12，傳感器連接有由機殼2引出的傳導連接物。
[0019]所述的機殼2的后蓋板8上安裝有金屬管9，金屬管9內開設有抽真空通道10。
[0020]所述的傳導連接物為通過彈簧接觸片71或金屬絲7連接到傳感器的鍍金引腿4，鍍金引腿4由機殼2引出。
[0021]所述的鍍金引腿4與機殼2之間安裝有玻璃密封環3。密封性能好。
[0022]所述的基板I為螺紋基板，機殼2與后蓋板8之間為一體式結構或分體式結構。一體式結構適宜于在真空的環境下制造本發明絕壓傳感器。分體式結構便于在后蓋板8上安裝金屬管9，通過金屬管9內的抽真空通道10來抽真空。
[0023]所述的傳感器為金屬薄膜壓阻式傳感器。
[0024]整個傳感器在真空、絕壓的條件下工作，耐高溫，工作溫度可達320度，并能保證很尚的穩定性。
[0025]—種制造上述高溫絕壓傳感器的方法，第一步:選取由金屬薄膜壓阻式傳感器為基本元器件;第二步:將傳感器焊接在基板I上，基板I上的壓力通道12對準傳感器上的傳感器敏感膜片6;第三步:在機殼2上裝配好鍍金引腿4和玻璃密封環3;第四步:在真空條件下，將鍍金引腿4通過金屬絲7焊接到傳感器的接線端子上或通過彈簧接觸片71連接到傳感器的接線端子上，將機殼2焊接到基板I上，機殼2內形成一個真空腔11;或在常態下，將鍍金引腿4通過金屬絲7焊接到傳感器的接線端子上或通過彈簧接觸片71連接到傳感器的接線端子上，將機殼2焊接到基板I上，機殼2的后蓋板8上安裝有金屬管9，通過金屬管9內的抽真空通道10將機殼2內抽真空形成一個真空腔11，抽真空過程中，將抽真空通道10焊封，即可加工得到高溫絕壓傳感器。
[0026]如圖1、圖2和圖3所示:在常態下，組裝好本發明后，通過金屬管9來抽真空得到真空腔11。
[0027]如圖4所示:直接在真空的條件焊接安裝連接帶有鍍金引腿4的機殼2。
【主權項】
1.一種高溫絕壓傳感器，包括機殼(2)和基板(I)，其特征在于:所述的機殼(2)與基板(I)之間形成一個真空腔(11)，真空腔(11)內安裝有由傳感器殼(5)和傳感器敏感膜片(6)組成的傳感器，基板(I)上開設有與傳感器敏感膜片(6)連通的壓力通道(12)，傳感器連接有由機殼(2)引出的傳導連接物。2.根據權利要求1所述的一種高溫絕壓傳感器，其特征在于:所述的機殼(2)的后蓋板(8)上安裝有金屬管(9)，金屬管(9)內開設有抽真空通道(10)。3.根據權利要求1或2所述的一種高溫絕壓傳感器，其特征在于:所述的傳導連接物為通過彈簧接觸片(71)或金屬絲(7)連接到傳感器的鍍金引腿(4)，鍍金引腿(4)由機殼(2)弓丨出。4.根據權利要求3所述的一種高溫絕壓傳感器，其特征在于:所述的鍍金引腿(4)與機殼(2)之間安裝有玻璃密封環(3)。5.根據權利要求2所述的一種高溫絕壓傳感器，其特征在于:所述的基板(I)為螺紋基板，機殼(2)與后蓋板(8)之間為一體式結構或分體式結構。6.根據權利要求5所述的一種高溫絕壓傳感器，其特征在于:所述的傳感器為金屬薄膜壓阻式傳感器。7.一種制造上述高溫絕壓傳感器的方法，其特征在于:第一步:選取由金屬薄膜壓阻式傳感器為基本元器件;第二步:將傳感器焊接在基板(I)上，基板(I)上的壓力通道(12)對準傳感器上的傳感器敏感膜片(6);第三步:在機殼(2)上裝配好鍍金引腿(4)和玻璃密封環(3);第四步:在真空條件下，將鍍金引腿(4)通過金屬絲(7)焊接到傳感器的接線端子上或通過彈簧接觸片(71)連接到傳感器的接線端子上，將機殼(2)焊接到基板(I)上，機殼(2)內形成一個真空腔(11);或在常態下，將鍍金引腿(4)通過金屬絲(7)焊接到傳感器的接線端子上或通過彈簧接觸片(71)連接到傳感器的接線端子上，將機殼(2)焊接到基板(I)上，機殼(2)的后蓋板(8)上安裝有金屬管(9)，通過金屬管(9)內的抽真空通道(10)將機殼(2)內抽真空形成一個真空腔(11)，抽真空過程中，將抽真空通道(10)焊封，即可加工得到高溫絕壓傳感器。
【專利摘要】本發明公開了一種高溫絕壓傳感器，包括機殼和基板，所述的機殼與基板之間形成一個真空腔，真空腔內安裝有由傳感器殼和傳感器敏感膜片組成的傳感器，基板上開設有與傳感器敏感膜片連通的壓力通道，傳感器連接有由機殼引出的傳導連接物；制造上述高溫絕壓傳感器的方法，選取由金屬薄膜壓阻式傳感器為基本元器件；將傳感器焊接在基板上，基板上的壓力通道對準傳感器上的傳感器敏感膜片；在機殼上裝配好鍍金引腿和玻璃密封環；在真空條件下，將鍍金引腿通過金屬絲焊接到傳感器的接線端子上或通過彈簧接觸片連接到傳感器的接線端子上，將機殼焊接到基板上；有益效果：使用方便，傳感器在真空條件下工作，適宜于在感溫環境的工作，穩定好。
【IPC分類】G01L9/06, G01L19/06
【公開號】CN105547569
【申請號】CN201511005272
【發明人】黃福春, 胡波
【申請人】黃福春, 胡波
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年12月30日