一體式壓力傳感器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及傳感器領域，具體地，涉及一種一體式壓力傳感器。
【背景技術】
[0002]壓力傳感器包括電阻式、電容式、變磁阻式、壓阻式、壓電式、壓磁式、電動式等。由于壓阻式壓力傳感器具有靈敏度高、分辨率高等特點，得到了廣泛的應用。產品普遍采用將壓電芯片封裝在由隔離膜片、管座、殼體等組成的密封腔體內，組成壓力敏感芯體。壓力變送器的廠家在購得該類壓力傳感器后，要經過二次設計、封裝，用O型圈密封或經焊接完成壓力傳感器與接嘴的密封連接，形成壓力變送器探頭，其結構復雜、裝配環節多、且生產成本高。
【發明內容】
[0003]本發明為了解決上述技術問題提供一種一體式壓力傳感器，其結構簡單、裝配環節少且成本低。
[0004]本發明解決上述問題所采用的技術方案是:
一體式壓力傳感器，包括基體、引壓接嘴、設置在基體和引壓接嘴之間的隔離膜片，所述的基體上設置有凹槽，所述的凹槽內設置有壓力芯片，所述的壓力芯片固定在管座上，為了減小溫度漂移的影響，所述的壓力芯片和凹槽的槽壁之間設置有填充環；所述的管座密封在凹槽的槽口上，所述的基體、引壓接嘴和隔離膜片為一體結構，所述的管座上設置有引線孔，所述的凹槽內填充有壓力傳導物質。
[0005]本發明在現有技術的基礎上做了改進，將基體、引壓接嘴和隔離膜片設置為一體結構，三者一體成型，在封裝時，裝配步驟減小，減小了人力成本和生產成本。壓力芯片的引線直接從引線孔內引出，與后續的信號處理電路相連。壓力芯片通過隔離膜片與被測介質隔離，壓力傳導物質傳遞壓力。
[0006]作為優選，所述的隔離膜片上設置有波紋。
[0007]進一步的，為了盡量減少壓力傳遞過程中的壓力損失，所述的波紋為正弦波波紋。
[0008]作為優選，為了進一步的提高密封性能，增強對數據的準確性，所述的引線孔內設置有密封層。
[0009]作為優選，為了提高該壓力傳感器的適用范圍，所述的壓力芯片為單晶硅壓力芯片。
[0010]作為優選，為了提高壓力傳導物質對數據傳導的準確性，所述的壓力傳導物質為硅油。
[0011]綜上，本發明的有益效果是:
1、本發明的基體、引壓接嘴和隔離膜片采用一體結構，不需要二次設計，其封裝程序減小，減小了人力成本和生產成本。
[0012]2、本發明的結構簡單，易于制作。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發明的結構示意圖。
[0014]附圖中標記及相應的零部件名稱:1、基體；2、引壓接嘴；3、隔離膜片；4、壓力芯片；5、管座；6、填充環；7、引線孔。
【具體實施方式】
[0015]下面結合實施例及附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
[0016]實施例1:
如圖1所示的一種一體式壓力傳感器，包括基體1、引壓接嘴2、設置在基體I和引壓接嘴2之間的隔離膜片3，所述的基體I上設置有凹槽，所述的凹槽內設置有壓力芯片4，所述的壓力芯片4固定在管座5上，所述的壓力芯片4和凹槽的槽壁之間設置有填充環6，所述的管座5密封在凹槽的槽口上，所述的基體1、引壓接嘴2和隔離膜片3為一體結構，所述的管座5上設置有引線孔7，所述的凹槽內填充有壓力傳導物質。本實施例對壓力的檢測原理與現有技術相同。
[0017]實施例2:
如圖1所示的一種一體式壓力傳感器，本實施例在上述實施例的基礎上做了優化，即所述的隔離膜片3上設置有波紋。
[0018]所述的波紋為正弦波波紋。采用正弦波波紋，可盡量減小壓力傳遞過程中的壓力損失。
[0019]實施例3:
如圖1所示的一種一體式壓力傳感器，本實施例在上述實施例的基礎上做了優化，即所述的引線孔7內設置有密封層。引線孔7用于將壓力芯片的引線引出，便于與后續的信號處理電路相連，但是，由于壓力傳導物質的特性，采用引線孔7使得其密封性不強，在引線孔7內設置密封層，增強一體式壓力傳感器的密封性能，提高數據的準確性。
[0020]為了提高該一體式壓力傳感器的適用范圍，所述的壓力芯片4為單晶硅壓力芯片。單晶硅壓力芯片的使用溫度范圍在40攝氏度-125攝氏度之間，其適用范圍廣。
[0021]所述的壓力傳導物質為硅油。
[0022]如上所述，可較好的實現本發明。
【主權項】
1.一體式壓力傳感器，其特征在于:包括基體(I)、引壓接嘴(2)、設置在基體(I)和引壓接嘴(2)之間的隔離膜片(3)，所述的基體(I)上設置有凹槽，所述的凹槽內設置有壓力芯片(4)，所述的壓力芯片(4)固定在管座(5)上，所述的壓力芯片(4)和凹槽的槽壁之間設置有填充環(6)，所述的管座(5)密封在凹槽的槽口上，所述的基體(1)、引壓接嘴(2)和隔離膜片(3)為一體結構，所述的管座(5)上設置有引線孔(7)，所述的凹槽內填充有壓力傳導物質。2.根據權利要求1所述的一體式壓力傳感器，其特征在于:所述的隔離膜片(3)上設置有波紋。3.根據權利要求2所述的一體式壓力傳感器，其特征在于:所述的波紋為正弦波波紋。4.根據權利要求1所述的一體式壓力傳感器，其特征在于:所述的引線孔(7)內設置有密封層。5.根據權利要求1所述的一體式壓力傳感器，其特征在于:所述的壓力芯片(4)為單晶硅壓力芯片。6.根據權利要求1所述的一體式壓力傳感器，其特征在于:所述的壓力傳導物質為硅油。
【專利摘要】本發明公開了一種一體式壓力傳感器，包括基體、引壓接嘴、設置在基體和引壓接嘴之間的隔離膜片，所述的基體上設置有凹槽，所述的凹槽內設置有壓力芯片，所述的壓力芯片固定在管座上，為了減小溫度漂移的影響，所述的壓力芯片和凹槽的槽壁之間設置有填充環；所述的管座密封在凹槽的槽口上，所述的基體、引壓接嘴和隔離膜片為一體結構，所述的管座上設置有引線孔，所述的凹槽內填充有壓力傳導物質，其結構簡單、裝配環節少且成本低。
【IPC分類】G01L1/00
【公開號】CN105021322
【申請號】CN201510400256
【發明人】郭健
【申請人】四川奇勝科技有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年7月10日