一種快速檢測黑心片的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及硅棒切片檢測領域，具體是涉及一種快速檢測黑心片的方法。
【背景技術】
[0002]由于工藝、設備、輔材或操作的各種問題使單晶硅棒在生產過程當中或多或少的產生一部分黑心片，黑心片在后期電池片的生產上會帶來一定程度的效率損失。目前采用檢測黑心片的主要方法是采用進口儀器:WT-2000或者WT2000pvn系列檢測設備，采用整面測試，通過硅料切片整面的少子壽命分布圖來完成黑心片的檢測與判斷，此檢測方法優點是直觀，可以通過檢測圖像一目了然的看出黑心片的存在，但是缺點是速度慢，環境要求高，檢測一片需要5到20分鐘時間，在大規模快速檢測上存在一定局限性，檢測成本較高。
【發明內容】
[0003]本發明所要解決的技術問題是:如何提供一種簡單快速檢測黑心片的方法。
[0004]本發明所采用的技術方案是:一種快速檢測黑心片的方法，按照如下步驟進行: 步驟一、將待測硅棒進行切片；
步驟二、硅棒切片的電阻率，高于臨界值的為合格產品，低于臨界值的產品為不合格產品O
[0005]作為一種優選方案:將娃棒切片一面緊貼金屬板，娃棒切片、金屬板、電源、電流表、金屬探針形成一個串聯回路，探針放置于硅棒切片另一面上，通過探針測量硅棒切片多個位置硅棒切片電阻率，計算硅棒切片多個位置的電阻率高于臨界值的比率，如果比率小于等于10%，該硅棒切片為良好切片，如果比率大于10%，小于等于40%，該硅棒切片為輕微黑心片，如果比率大于40%，該硅棒切片為嚴重黑心片。
[0006]作為一種優選方案:金屬探針有多根，金屬探針在5mm的半徑圓上，組成三個探針同心圓，金屬探針通過探針固定裝置固定，每個探針都串聯一個電流表，然后和硅棒切片、金屬板、電源構成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏。
[0007]作為一種優選方式，硅棒切片的電阻率測量過程通過一種快速檢測黑心片裝置完成:包括機架、安裝在機架上的夾緊裝置，夾緊裝置上一端安裝一塊金屬板，另一端安裝一個探針固定裝置，探針固定裝置上安裝有多根金屬探針，金屬探針集中在5mm的半徑圓上，每個探針都串聯一個電流表，然后和娃棒切片、金屬板、電源構成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏；使用過程中把夾緊裝置打開，放入硅棒切片合上夾緊裝置，然后通過顯示屏觀察，硅棒切片按照良好切片、輕微黑心片、嚴重黑心片進行分類。
[0008]本發明的有益效果是:本發明能夠快速簡便的區別黑心片，節省了成本，提高了工作效率；對環境要求不是很高，可以采用現場生產現場測試的方法，降低了測試周期；節省材料，降低能源消耗。
【附圖說明】
[0009]圖1是本發明的娃棒切片良好切片娃片少子壽命分布圖；
圖2是本發明的硅棒切片輕微黑心片硅片少子壽命分布圖；
圖3是本發明的硅棒切片嚴重黑心片硅片少子壽命分布圖；
圖4探針固定裝置上探針分布圖；
圖1、2、3中顏色越深代表電阻越大。
[0010]圖中，1、探針，2、外圈同心圓，3、中間同心圓，4、內圈同心圓。
【具體實施方式】
[0011 ] 將待測硅棒進行切片，切片的厚度為3-5mm。
[0012]將硅棒切片放入快速檢測黑心片裝置進行硅棒切片的電阻率，高于臨界值的為合格產品，低于臨界值的產品為不合格產品。臨界值電阻率一般取6.00
[0013]快速檢測黑心片裝置包括機架、安裝在機架上的夾緊裝置，夾緊裝置上一端安裝一塊金屬板，另一端安裝一個探針固定裝置(如圖4所示)，探針固定裝置上安裝有多根金屬探針，金屬探針集中在5mm的半徑圓上，金屬探針組成3個同心圓，同心圓上的探針沿圓周均勾分布，每個探針都串聯一個電流表，然后和娃棒切片、金屬板、電源構成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏；使用過程中把夾緊裝置打開，放入硅棒切片合上夾緊裝置，然后通過顯示屏觀察，硅棒切片按照良好切片、輕微黑心片、嚴重黑心片進行分類。處理裝置為一塊處理芯片，計算硅棒切片多個位置的電阻率高于臨界值的比率，如果比率小于等于10%，該硅棒切片為良好切片，如果比率大于10%，小于等于40%，該硅棒切片為輕微黑心片，如果比率大于40%，該硅棒切片為嚴重黑心片。
[0014]利用硅片全功能掃描儀(WT-2000PVN)對分類的硅片進行掃描，如圖1、圖2、圖3所示，得出硅片少子壽命分布圖，即B— O復合體的路線圖同心圓(黑心片圖)。主要測試硅片少子壽命大小及在整個硅片表面的分布圖。同時觀察黑心片的存在狀況。
[0015]將所測硅片的少子壽命與電阻率與分布圖進行對應，找出合格片與不合格片電阻率的臨界值，做好記錄。結果發現本發明方法測量準確。
【主權項】
1.一種快速檢測黑心片的方法，其特征在于按照如下步驟進行: 步驟一、將待測硅棒進行切片； 步驟二、硅棒切片的電阻率，高于臨界值的為合格產品，低于臨界值的產品為不合格產品O
2.根據權利要求1所述的一種快速檢測黑心片的方法，其特征在于:硅棒切片的電阻率測量過程為:將硅棒切片一面緊貼金屬板，硅棒切片、金屬板、電源、電流表、金屬探針形成一個串聯回路，探針放置于硅棒切片另一面上，通過探針測量硅棒切片多個位置硅棒切片電阻率，計算硅棒切片多個位置的電阻率高于臨界值的比率，如果比率小于等于10%，該硅棒切片為良好切片，如果比率大于10%，小于等于40%，該硅棒切片為輕微黑心片，如果比率大于40%，該硅棒切片為嚴重黑心片。
3.根據權利要求2所述的一種快速檢測黑心片的方法，其特征在于:金屬探針有多根，金屬探針在5mm的半徑圓上，組成三個探針同心圓，金屬探針通過探針固定裝置固定，每個探針都串聯一個電流表，然后和娃棒切片、金屬板、電源構成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏。
4.根據權利要求2所述的一種快速檢測黑心片的方法，其特征在于:硅棒切片的電阻率測量過程通過一種快速檢測黑心片裝置完成:包括機架、安裝在機架上的夾緊裝置，夾緊裝置上一端安裝一塊金屬板，另一端安裝一個探針固定裝置，探針固定裝置上安裝有多根金屬探針，金屬探針集中在5_的半徑圓上，每個探針都串聯一個電流表，然后和硅棒切片、金屬板、電源構成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏；使用過程中把夾緊裝置打開，放入硅棒切片合上夾緊裝置，然后通過顯示屏觀察，硅棒切片按照良好切片、輕微黑心片、嚴重黑心片進行分類。
【專利摘要】本發明涉及硅棒切片檢測領域，具體是涉及一種快速檢測黑心片的方法。一種快速檢測黑心片的方法，按照如下步驟進行：步驟一、將待測硅棒進行切片；步驟二、硅棒切片的電阻率，高于臨界值的為合格產品，低于臨界值的產品為不合格產品。本發明的有益效果是：本發明能夠快速簡便的區別黑心片，節省了成本，提高了工作效率；對環境要求不是很高，可以采用現場生產現場測試的方法，降低了測試周期；節省材料，降低能源消耗。
【IPC分類】G01N27-20
【公開號】CN104677953
【申請號】CN201510089111
【發明人】劉進, 董建明, 羅曉賓, 董皓, 張之棟
【申請人】山西潞安太陽能科技有限責任公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2015年2月27日