專利名稱：陰極射線管電子槍電極平面度的測量裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及陰極射線管電子槍電極平面度的測量裝置，更具體地說，涉及改善了測得的平面度數據的可靠性并減少了測量平面度所需時間的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置。
陰極射線管的電子槍以這樣的方式起作用，即，使多個電極排列成一條線并使從陰極發射的熱電子最佳地聚焦以獲得圖象。
電子槍的這些電極具有帶電子束流通孔的杯形結構；當電子束流通孔附近區域的平面度低時，電子束的行進軌跡發生變化。
更具體地說，構成主聚焦透鏡系統的主電極必須具有高的平面度以便使電子束最佳地聚焦。
因此，在加工之后測量平面度過程中要測量電子槍電極表面的平面度。
然而，先有技術的平面度測量方法是通過把電極放在夾緊裝置上用數字顯示器選擇多個點、在數字顯示器與電極表面接觸的狀態下測量電極的平面度的。
但是，必須在一個表面的多個點上測量平面度，因此，這種由工人使用顯示器的測量方法需要的測量時間太多。
此外，由于這種平面度測量過程是由工人手工進行的，所以，測量數據的可靠性不高。
因此，本發明是在努力解決上述問題的過程中產生的，本發明的目的是提供一種用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置，該裝置通過把多個電極放在一個工作臺上，然后，在每個方向上移動工作臺并用激光束傳感器測量平面度的方法，改善了測得的平面度數據的可靠性和精度、減少了測量平面度所需的時間、按國際標準化組織(the I.S.O)的規定控制平面度、并且能夠用于數據庫自動化和E-CIM系統。
為了達到以上目的，本發明提供一種包含以下部分的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置工作臺；設置在工作臺Z軸方向上以便能夠在Z軸方向上移動滑塊的Z方向移動裝置；設置在所述Z方向移動裝置下面以便能夠在X軸方向移動所述滑塊的X方向移動裝置；以及設置在與所述X方向移動裝置垂直的方向上以便能夠在Y軸方向上移動所述滑塊的Y方向移動裝置；其中，所述Z方向移動裝置備有位移測量裝置。
所述Z方向移動裝置包括框架、安裝在該框架上側的旋轉驅動馬達以及由該馬達的旋轉力轉動的絲杠，并且，一個螺母構件與所述絲杠螺紋連接，該螺母構件固定在所述滑塊上。
所述框架備有為所述滑塊做直線移動用的導軌，所述滑塊備有導瓦。
圖1是本發明實施例的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置的透視圖。
圖2是本發明實施例的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置的X軸方向的剖面側視立視圖。
圖3是本發明實施例的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置的Y軸方向的剖面側視立視圖。
圖4是表示置于本發明實施例的裝置中的電極排列的視圖。
下面將結合附圖詳細地描述本發明的實施例。
圖1是表示平面度測量裝置的透視圖，該裝置包含下面裝有球形自位輪2因而可移動的工作臺4，垂直地安裝在工作臺4上的Z方向移動裝置以及安裝在Z方向移動裝置下面的X方向移動裝置和Y方向移動裝置。
所述Z方向移動裝置包括安裝在工作臺4的一側的框架、安裝在該框架上側的正向和反向(normal and reverse)旋轉驅動馬達8、以及與所述馬達的主動軸連接并由此接受旋轉驅動力的絲杠10，絲杠10與根據該絲的旋轉方向而上升或下降的滑塊12相連接。
在框架6的上端部和下端部分別構成托架14和16，其中，上托架支撐旋轉驅動馬達8，而下托架支撐絲杠10的下端。
滑塊12裝有與絲杠10螺紋連接的螺母構件18，并且，該滑塊還裝有配置在導軌20上的導瓦22，所述導軌20分別突出在框架6的左右表面上。
當導瓦22沿著固定的導軌20滑動時，在滑塊12上下移動過程中，滑塊12不會松動。
滑塊12裝有與它一起上升和下降的可見射線半導體型位移測量儀24。
已知的半導體激光束傳感器(KEYENCE 2320)可以作為可見射線半導體型位移測量儀24。
另一方面，如圖2中所示，X方向移動裝置包括與旋轉驅動馬達26的主動軸連接并且在正反方向轉動的絲杠28。
螺母構件30與絲桿28連接，因而隨著絲杠的旋轉方向而左右移動，此處，螺母構件固定在滑塊32上，因而實質上借助絲杠28的旋轉力而移動所述滑塊。
為了使X方向移動裝置的滑塊32沿直線移動，工作臺4裝有導軌34，并且，該導軌與導瓦(未示出)相連接，該導瓦具有與Z方向移動裝置的導瓦相同的結構。
靠近導軌34的滾珠軸承36安裝在槽38中，滾珠軸承36與所述滑塊的底面接觸，從而使該滑塊能夠平滑地移動。
另一方面，如圖3中所示，在Y方向移動裝置中，在滑塊32的上側垂直導軌34的方向上安裝導軌40，并且，與旋轉驅動馬達42的主動軸連接的絲杠44可旋轉地安裝在該裝置中。
螺母構件46與絲杠44連接，因而，螺母構件46能夠隨著該絲杠的旋轉方向而前后移動，而且，該螺母構件固定在滑塊48的底面，從而，使滑塊48實質上隨所述絲杠的旋轉而移動。
在滑塊48的底面裝有導瓦50，以便該滑塊能夠沿著導軌40移動。
此外，在滑塊32的上側面也構成槽52，以便裝入滾珠軸承54，該滾珠軸承與滑塊48的底面接觸，從而使該滑塊能夠平滑地移動。
滑塊48的上側面構成一個平面，把待測電極安置在該平面上以便測量它們的平面度。
在本發明的用于測量電子槍電極平面度的裝置中，首先，把經過一系列制造工藝過程的待測電極固定在夾具中，然后把這些電極放在Y方向移動裝置的滑塊48的平面上，如圖1中所示。
如圖4中所示，按如下步驟測量裝在夾具J上的多個電極G10、G11、G12、G13和G14的平面度。
即，起動Z軸的旋轉驅動馬達8，使滑塊12向下移動，當從位移測量儀24輻射的可見射線束的聚焦最佳化時，Z方向移動裝置停止移動(見圖2)。
在這種情況下，驅動X方向移動裝置和Y方向移動裝置，以便滑塊48能夠在所有方向移動，通過把可見射束分別照射到一個電極G10的8個點上來測量所述儀器與電極之間的間距，如圖4中所示。
按照這種方法，在完成一個電極的平面度的測量之后，驅動X方向移動裝置和Y方向移動裝置，以便用相同的方法測量另一個電極G11的平面度。
因此，在設定Z方向移動裝置的情況，驅動X方向移動裝置和Y方向移動裝置，以便能夠測量放置在所述夾具中的所有電極的表面的平面度。
在這種方法中，工作人員不是自已進行所述測量，因此，能夠提高測得的平面度數據的可靠性，并且，由于把多個電極裝在一個夾具上進行平面度測量，所以，能夠減少測量平面度所需的時間。
權利要求
1.一種用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置，該裝置包括工作臺；Z方向移動裝置，它設置在所述工作臺Z軸方向上，以便使滑塊能夠在Z軸方向上移動；X方向移動裝置，它設置在所述Z方向移動裝置下面以便使所述滑塊能夠在X軸方向上移動；Y方向移動裝置，它設置在與所述X方向移動裝置垂直的方向上以便使所述滑塊能夠在Y軸方向上移動；其特征在于所述Z方向移動裝置備有位移測量裝置。
2.根據權利要求1的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置，其中，所述Z方向移動裝置包括框架、安裝在該框架上側的旋轉驅動馬達以及由該馬達的旋轉力轉動的絲杠，并且，一個螺母構件與所述絲杠螺紋連接，而該螺母構件固定在該滑塊上。
3.根據權利要求1的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置，其中，所述框架備有為所述滑塊做直線移動用的導軌，并且，所述滑塊備有導瓦。
4.根據權利要求1的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置，其中，所述X方向移動裝置包括旋轉驅動裝置、由馬達的旋轉力轉動的絲杠以及與該絲杠螺紋連接的螺母構件，該螺母構件固定在所述滑塊的底面。
5.根據權利要求4的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置，其中，在所述滑塊中構成凹槽，在該凹槽中安裝多個滾珠軸承。
6.根據權利要求1的用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置，其中，所述Y方向移動裝置包括旋轉驅動裝置、由馬達的旋轉力轉動的絲杠以及與該絲杠螺紋連接的螺母構件，該螺母構件固定在滑塊的底面。
全文摘要
一種用于測量陰極射線管電子槍電極平面度的裝置包括工作臺；設置在工作臺Z軸方向上以便能夠在Z軸方向上移動滑塊的Z方向移動裝置；設置在Z方向移動裝置下面以便能夠在X軸方向上移動滑塊的X方向移動裝置；以及設置在與X方向移動裝置垂直的方向上以便能夠在Y軸方向上移動滑塊的Y方向移動裝置，其中，所述Z方向移動裝置裝有位移測量裝置。
文檔編號G01B11/30GK1151518SQ9610423
公開日1997年6月11日 申請日期1996年3月6日 優先權日1995年11月24日
發明者韓相仁 申請人:三星電管株式會社