專利名稱:高溫壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種壓力傳感器,尤指一種冷凝式全密封高溫壓力傳感器。
現(xiàn)有壓力傳感器的典型結(jié)構(gòu)如
圖1所示,主要由壓力聯(lián)接座1,彈性元件2,外殼3,插座4及箔式應(yīng)變片5等構(gòu)成,被測壓力由件1中間孔進(jìn)入,直接作用在彈性元件2上,使彈性元件2產(chǎn)生形變,粘貼在其上的應(yīng)變片電阻值隨機(jī)械變形量的大小而相應(yīng)改變,從而,使其組成的平衡電橋輸出端電壓發(fā)生變化,實(shí)現(xiàn)壓力變成電信號(hào)輸出,完成壓力測量的傳感過程。由于密封形式、膜片結(jié)構(gòu)和整體系統(tǒng)等因素,在高溫、高濕、易燃、易爆等環(huán)境下,不能正常工作,主要存在泄漏、無抗高溫措施等不足,致使傳感器穩(wěn)定性差,精度低。
本實(shí)用新型目的在于提供一種冷凝式全密封高溫壓力傳感器,通過結(jié)構(gòu)上的改變克服泄漏、抗高溫能力差等不足,提高工作穩(wěn)定性和測量精度。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的采用冷凝式全密封結(jié)構(gòu),外層為隔熱腔,中間為冷循環(huán)腔,內(nèi)層為全密封力傳感器,傳感器的壓力聯(lián)接座與彈性元件之間加有隔熱壓墊。
本實(shí)用新型由于采用冷凝式全密封結(jié)構(gòu),除具有普通壓力傳感器的一切性能外,還具有在高溫、高濕、易燃、易爆等惡劣環(huán)境下測量精度高,工作穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)。
下面對(duì)照附圖進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型圖1為現(xiàn)有傳感器結(jié)構(gòu)示意圖圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖如圖2所示,壓力傳感器的內(nèi)層是由內(nèi)套9、蓋板10、彈性元件2、箔式應(yīng)變片5、補(bǔ)償電路11、溫控開關(guān)12等部分組成,內(nèi)套與彈性元件之間、彈性元件與膜片之間通過焊接形成密封結(jié)構(gòu),壓力聯(lián)接座1與彈性元件2之間夾一層隔熱壓墊6,聯(lián)接座與內(nèi)套9焊接密封組成冷循環(huán)腔8的內(nèi)壁,緊挨著冷循環(huán)腔8為隔熱腔7,隔熱腔填有隔熱材料,隔熱腔外層套有外套3,由此構(gòu)成冷凝式全密封結(jié)構(gòu)的高溫壓力傳感器。當(dāng)壓力聯(lián)接座1接通壓力后,介質(zhì)壓力從中間孔作用于隔熱壓墊6,傳遞到彈性元件2上,力作用的大小引起彈性元件機(jī)械變形,使粘貼在其上的應(yīng)變片電阻阻值發(fā)生變化,由其組成的平衡電橋輸出電壓隨之變化,實(shí)現(xiàn)壓力→力→電信號(hào)的敏感過程。由于壓力不是直接在膜片式的彈性元件上,而是經(jīng)過隔熱壓墊施加在全密封力傳感器上,解決了因箔式應(yīng)變片粘貼膠薄厚不均勻等因素造成的飄移、穩(wěn)定性差、綜合精度低等問題;外界環(huán)境溫度向傳感器內(nèi)部傳遞過程中,先經(jīng)過隔熱腔7,再經(jīng)水(汽)冷循環(huán)腔8,傳遞到內(nèi)套件9及彈性元件2上,當(dāng)溫度高于額定值時(shí),安置在彈性元件2上的溫控開關(guān)12閉合,啟動(dòng)外部冷卻源,經(jīng)進(jìn)出水接頭13、14循環(huán),冷卻散熱,當(dāng)傳感器彈性元件溫度低于額定值,冷卻自動(dòng)停止。因外界溫度經(jīng)隔熱腔后,傳遞速度遠(yuǎn)小于冷卻散熱速度,這樣就保證了傳感器在高溫下的正常工作。因被測壓力的介質(zhì)(水、汽等)無泄漏到傳感器內(nèi)部或外泄,徹底解決了整個(gè)系統(tǒng)的泄漏問題,保證了測量精確。
權(quán)利要求1.一種壓力傳感器,包含壓力聯(lián)接座、彈性元件及箔式應(yīng)變片,其特征在于采用冷凝式全密封結(jié)構(gòu),外層為隔熱腔,中間為冷循環(huán)腔,內(nèi)層為全密封力傳感器,傳感器的壓力聯(lián)接座與彈性元件之間加有隔熱壓墊。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種高溫壓力傳感器,采用隔熱腔、冷循環(huán)腔及全密封力傳感器組成的冷凝式全密封結(jié)構(gòu),徹底解決了整個(gè)系統(tǒng)的泄漏問題,并保證了系統(tǒng)高溫下的正常工作。傳感器的敏感過程是壓力→力→電信號(hào),解決了因應(yīng)變片粘貼不均勻等因素造成的飄移、穩(wěn)定性差,綜合精度低等問題。具有測量精度高、穩(wěn)定性好,在高溫、高溫、易燃、易爆等惡劣環(huán)境下工作安全、可靠等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01L1/22GK2159561SQ93211529
公開日1994年3月23日 申請(qǐng)日期1993年5月7日 優(yōu)先權(quán)日1993年5月7日
發(fā)明者孫伯光, 莊華 申請(qǐng)人:孫伯光