專利名稱：熒光型軟x射線單色儀的制作方法
技術領域：
本發明屬于軟X射線光學技術領域。
軟X射線單色儀能夠在一定的波段范圍內輸出一系列波長的單色X射線。這種儀器可用來測量軟X射線光電陰極的量子效率，測量各種襯底薄膜和各種軟X射線濾膜的透過率。該儀器還可用來對各種軟X射線探測器，如感光膠片、X射線二極管、正比計數管、微通道板、半導體探測器、變象管等進行絕對標定。已有的軟X射線單色儀(B.L.Henkeet.al.，J.Appl.phys.52(3)，1509～1520，1981)采用多次更換X光管陽極的辦法，以期在被測樣品處獲得足夠高的光強，這樣多次破壞真空會給使用帶來極大不便，并影響了測試樣品的測試結果的準確性。此種單色儀采用橡皮作為更換熒光靶和樣品的旋轉密封機構，其油脂對熒光靶的污染會導致輸出X射線的單色性的降低。該單色儀的輸出窗采用的是碳膜，每次打開真空都會破裂，需要重新更換，給使用帶來極大不便。
本發明是一種改進發明。其目的在于提出一種新的熒光型軟X射線單色儀，使其具有結構合理、操作方便、能提高測試結果的準確性和可靠性的優點。
本發明提出的熒光型軟X射線單色儀，它是由X光管、熒光靶室、樣品室、正比計數管和真空室等構成。其特征在于所說的X光管的陽極材料為銅。
本發明采用Henke型X光管作為激光源，用銅作陽極靶，在陽極電壓15Kev以下可產生兩條較強的特征輻射，Cuka線和CuLa線，其光子能量分別為8.04Kev和0.93Kev。用這兩條譜線作為激發光能夠產生7.5Kev以下足夠強度的各種熒光輻射，無須更換Henke型X光管的陽極靶材料。由于不用更換陽極靶，避免了某些光陰極，如CsI、CsBr等堿鹵化物受環境濕度的影響，在變更X射線波長和被測樣品時不破壞真空，使測量在同一條件下進行。本發明的熒光靶和樣品的更換，不用橡皮密封，而是采用波紋管全密轉動密封，避免了油污染，保證了輸出X射線的單色性，提高了測量精度。本發明采用1微米厚的聚丙烯薄膜作為其輸出窗的材料，此種薄膜對軟X射線的透過率高，在破壞真空時不會破裂，無需更換，給操作帶來方便。
附
圖1熒光型軟X射線單色儀裝置結構示意圖。
在附圖中，1為X光管，2為熒光靶室，3為樣品室，4為正比計數管，5為真空系統，6為真空泵。X光管發出的X射線照射在熒光靶上，熒光靶受激產生熒光輻射，輻射的光子能量取決于熒光靶材料。熒光靶的特征射線即作為單色X射線源的輸出光。一部分熒光X射線進入樣品室到達被測樣品上，或者通過樣品室進入正比計數管以進行光強測量。在空間上對稱的另一部分X射線通過擴展真空室進入另一正比計數管作為監測光。
權利要求
1.一種由X光管、熒光靶室、樣品室、正比計數管和真空室等構成的熒光型軟X射線單色儀，本發明的特征在于所說的X光管的陽極材料為銅。
2.根據權利要求1所述的熒光型軟X射線單色儀，其特征在于采用1微米厚的聚丙烯薄膜作為輸出窗的材料。
3.根據權利要求1或2所述的熒光型軟X射線單色儀，其特征在于熒光靶和樣品的更換為波紋管全密轉動密封。
全文摘要
一種熒光型軟X射線單色儀主要由X光管、熒光靶室、樣品室、正比計數管和真空室組成，采用銅作為X光管的陽極材料，熒光靶及樣品的更換使用波紋管全密轉動密封，聚丙烯薄膜為輸出窗材料，這種單色儀主要用于許多軟X射線光學元器件，如窗口材料、濾片、光電陰極、感光膠片、微通道板等的有關性能的測試。
文檔編號G01N23/225GK1042237SQ8910853
公開日1990年5月16日 申請日期1989年11月9日 優先權日1989年11月9日
發明者常增虎 申請人:中國科學院西安光學精密機械研究所