本發明涉及噴淋設備檢測,尤其涉及一種噴淋板流阻三軸檢測裝置。
背景技術:
1、氣相沉積技術是利用氣相中發生的物理、化學變化,改變工件表面成分,并在工件表面形成具有特定光學、電學性能的金屬或化合物涂層的新技術,被廣泛應用于芯片制造等技術領域。
2、噴淋板或噴淋盤是半導體工藝設備中的關鍵部件,其用于將工藝氣體均勻噴涂至工件表面,其氣孔的大小以及均勻性都會對涂層厚度產生影響。由于噴淋板或噴淋盤的氣孔的加工工藝誤差,導致氣孔的流阻與理論值存在偏差,一般需要對所有氣孔進行流阻檢測。現有技術中,針對氣孔的流阻檢測一般采用人工方式進行,通過流阻檢測設備檢測氣流經某一氣孔的壓力值與流量反映流阻值,檢測時由人工將檢測氣嘴按壓在氣孔上,待氣流穩定后讀取檢測數值。
3、但是,采用人工檢測方式存在以下弊端:在噴淋板上眾多氣孔中尋找特定的氣孔進行檢測,操作非常困難,人工將氣嘴按壓至氣孔上,容易因按壓偏離或角度傾斜導致檢測數據不準確,并且一般需要一人按壓氣嘴,一人記錄檢測數據,檢測效率低下,準確性不高。
技術實現思路
1、本發明的目的在于克服現有技術的不足,提供一種噴淋板流阻三軸檢測裝置,以解決現有人工對噴淋板氣孔流阻檢測效率低、準確性差的技術問題。
2、為實現上述目的,本發明采用以下技術方案:
3、本發明的實施例提供了一種噴淋板流阻三軸檢測裝置,其包括:
4、橫向運動模組,所述橫向運動模組的移動端可沿第一方向往復移動;
5、縱向運動模組,所述縱向運動模組連接于所述橫向運動模組的移動端,所述縱向運動模組的移動端可沿第二方向往復移動;
6、豎向運動模組,所述豎向運動模組連接于所述縱向運動模組的移動端,所述豎向運動模組的移動端可沿第三方向往復移動;
7、流阻檢測氣嘴組件,所述流阻檢測氣嘴組件連接于所述豎向運動模組的移動端,其中,所述第一方向、第二方向和第三方向任意兩個方向均相互垂直。
8、其中,所述橫向運動模組、所述縱向運動模組和所述豎向運動模組的結構相同,均包括:驅動單元,連接于所述驅動單元的輸出端的減速單元,連接于所述減速單元的輸出端的絲桿組件,以及連接于絲桿組件的滑動件。
9、其中,所述驅動單元為伺服電機。
10、其中,所述絲桿組件為滾珠絲杠模組。
11、其中,流阻檢測氣嘴組件包括:氣管,設置于所述氣管的檢測端管口的密封墊,以及連接于所述氣管的流阻檢測儀。
12、其中,所述流阻檢測氣嘴組件還包括連接于所述氣管的外壁的連接塊,以及連接于所述連接塊的頂部的至少一個緩沖單元,所述緩沖單元能夠提供與所述第三方向同向的彈性緩沖力。
13、其中,所述緩沖單元包括:下端連接于所述連接塊的導桿,穿設于所述導桿的直線軸承和彈性件,所述彈性件的一端抵接于所述連接塊,另一端抵接于所述直線軸承,所述直線軸承還連接于所述豎向運動模組的移動端。
14、其中,所述噴淋板流阻三軸檢測裝置還包括定位件,所述定位件沿所述第三方向設置于所述豎向運動模組的下方。
15、其中,所述定位件上設有至少一個定位槽,所述定位槽的底部為開口結構。
16、其中,所述定位槽為沿同一軸心開設的若干環形臺,若干所述環形臺的直徑和高度由所述定位件的側邊緣向軸心方向依次減小。
17、本發明的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其通過三個相互垂直設置的橫向運動模組、縱向運動模組和豎向運動模組控制流阻檢測氣嘴組件精確自動移動至待檢測的氣孔位置,并結合定位件,快速、精準、高效的尋找檢測氣孔,相較于人工方式,其效率更高、檢測結果更準確。
18、上述說明僅是本發明技術方案的概述,為了能夠更清楚了解本發明技術手段,可依照說明書的內容予以實施,并且為了讓本發明的上述和其它目的、特征及優點能夠更明顯易懂,以下特舉較佳實施例,詳細說明如下。
1.一種噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述橫向運動模組、所述縱向運動模組和所述豎向運動模組的結構相同,均包括:驅動單元,連接于所述驅動單元的輸出端的減速單元,連接于所述減速單元的輸出端的絲桿組件。
3.根據權利要求2所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述驅動單元為伺服電機。
4.根據權利要求2所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述絲桿組件為滾珠絲杠模組。
5.根據權利要求1所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述流阻檢測氣嘴組件包括:氣管,設置于所述氣管的檢測端管口的密封墊,以及連接于所述氣管的流阻檢測儀。
6.根據權利要求5所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述流阻檢測氣嘴組件還包括連接于所述氣管的外壁的連接塊,以及連接于所述連接塊的頂部的至少一個緩沖單元,所述緩沖單元能夠為所述氣管提供與所述第三方向同向的彈性緩沖力。
7.根據權利要求6所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述緩沖單元包括:下端連接于所述連接塊的導桿,穿設于所述導桿的直線軸承和彈性件,所述彈性件的一端抵接于所述連接塊,另一端抵接于所述直線軸承,所述直線軸承還連接于所述豎向運動模組的移動端。
8.根據權利要求1至7任意一項所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述噴淋板流阻三軸檢測裝置還包括定位件,所述定位件沿所述第三方向設置于所述豎向運動模組的下方。
9.根據權利要求8所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述定位件上設有至少一個定位槽,所述定位槽的底部為開口結構。
10.根據權利要求9所述的噴淋板流阻三軸檢測裝置,其特征在于,所述定位槽為沿同一軸心開設的若干環形臺,若干所述環形臺的直徑和高度由所述定位件的側邊緣向軸心方向依次減小。