一種無塵車間內空氣分析方法及系統的制作方法
【專利摘要】本發明提供一種無塵車間內空氣分析方法及系統，在所述無塵車間內設置多個采樣點；在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；對所采樣空氣樣本進行元素分析；對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理；本發明保證產線內空氣中SO4情況被管理，以預防因其超管理線而導致的產品信賴性失效。
【專利說明】 一種無塵車間內空氣分析方法及系統
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體制造【技術領域】，特別是涉及一種無塵車間內空氣分析方法及系統。
【背景技術】
[0002]現有半導體無塵車間內，需要對空氣進行過濾凈化，但目前缺乏有效的空氣分析，往往使得空氣中S04含量超標，會導致產品良率降低。
【發明內容】
[0003]鑒于以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在于提供一種無塵車間內空氣分析方法及系統，解決上述現有技術中無塵車間空氣過濾缺少配套分析使得產品良率降低的問題。
[0004]為實現上述目標及其他相關目標，本發明提供一種無塵車間內空氣分析方法，所述無塵車間內設有過濾器，所述方法包括:在所述無塵車間內設置多個采樣點；在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；提供元素分析設備對所采樣空氣樣本進行元素分析；對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理。
[0005]可選的，所述提供元素分析設備以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括:在所述采樣分析設備對與所述標準數據對應的用來分析用的標準溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數據的準確性，進而對采樣進入設備的樣本進行定性和定量分析。
[0006]可選的，所述元素包括S04。
[0007]為實現上述目標及其他相關目標，本發明提供一種無塵車間內空氣分析系統，所述無塵車間內設有過濾器，所述系統包括:多個空氣采樣裝置，分別設置于所述無塵車間內所預設的多個采樣點處，用于進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；元素分析設備，用于對所采樣空氣樣本進行元素分析，并對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理。
[0008]可選的，所述空氣采樣裝置包括采樣管。
[0009]可選的，所述采樣管長度為100m。
[0010]可選的，所述提供元素分析設備以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括:在所述采樣分析設備對與所述標準數據對應的用來分析用的標準溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數據的準確性，進而對采樣進入設備的樣本進行定性和定量分析。
[0011]可選的，所述元素包括S04。
[0012]如上所述，本發明提供一種無塵車間內空氣分析方法及系統，在所述無塵車間內設置多個采樣點；在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；對所采樣空氣樣本進行元素分析；對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理；本發明保證產線內空氣中S04情況被管理，以預防因其超管理線而導致的產品信賴性失效。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1顯示為本發明的無塵車間內空氣分析方法的一實施例的流程示意圖。
[0014]圖2顯示為本發明的無塵車間內空氣分析系統的一實施例的結構示意圖。
[0015]元件標號說明:
1-無塵車間；
2-過濾器；
3-空氣分析系統；
31-空氣采樣裝置；
32-元素分析設備；
S1—S4-方法步驟。
【具體實施方式】
[0016]以下通過特定的具體實例說明本發明的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本發明的其他優點與功效。本發明還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節也可以基于不同觀點與應用，在沒有背離本發明的精神下進行各種修飾或改變。需說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0017]如圖1所示，本發明提供一種無塵車間內空氣分析方法，無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應采用初、中、高效過濾器三級過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。所述無塵車間可以是電子半導體制備及封裝作業的用途，里面設有半導體制造的產線。
[0018]所述方法包括:
步驟S1:在所述無塵車間內設置多個采樣點；在一實施例中，各個采樣點覆蓋整個車間產線；
步驟S2:在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器(MAU)的過濾出口之前和之后的采樣；
步驟S3:提供元素分析設備對所采樣空氣樣本進行元素分析；
步驟S4:對所述元素分析獲得的數據(SPEC)進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理。在一實施例中，所述分析數據可形成圖表，例如，縱軸是成分含量，橫軸是時間等；并且對應各種不同氣體成分均有不同圖線例如折線等。
[0019]在一實施例中，所述提供元素分析設備以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括:在所述采樣分析設備對與所述標準數據對應的用來分析用的標準溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數據的準確性，進而對采樣進入設備的樣本進行定性和定量分析。
[0020]在一實施例中所述元素，包括S04 ;當然還可能包括氯氣等。
[0021]如圖2所示，本發明提供一種無塵車間I內空氣分析系統3，所述無塵車間I內設有過濾器2，需說明的是，所述系統3實施例的技術原理與前述實施例相類似，上述實施例中的技術特征均可應用于所述系統3實施例中，因此不再對相同的技術細節作重復贅述。
[0022]所述系統3包括:多個空氣采樣裝置31，分別設置于所述無塵車間I內所預設的多個采樣點處，用于進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器2的過濾出口之前和之后的采樣；元素分析設備32，用于對所采樣空氣樣本進行元素分析，并對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理，其例如為氣體檢測儀，質譜儀等。
[0023]在一實施例中，所述空氣采樣裝置31包括采樣管。
[0024]在一實施例中，所述采樣管長度為100m。
[0025]在一實施例中，所述提供元素分析設備32以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括:在所述采樣分析設備對與所述標準數據對應的用來分析用的標準溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數據的準確性，進而對采樣進入設備的樣本進行定性和定量分析。
[0026]在一實施例中，所述元素包括S04。
[0027]綜上所述，本發明提供一種無塵車間內空氣分析方法及系統，在所述無塵車間內設置多個采樣點；在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；對所采樣空氣樣本進行元素分析；對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理；本發明保證產線內空氣中S04情況被管理，以預防因其超管理線而導致的產品信賴性失效。
[0028]上述實施例僅例示性說明本發明的原理及其功效，而非用于限制本發明。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本發明的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本發明所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本發明的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種無塵車間內空氣分析方法，所述無塵車間內設有過濾器，其特征在于，所述方法包括: 在所述無塵車間內設置多個采樣點； 在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣； 提供元素分析設備對所采樣空氣樣本進行元素分析； 對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理。
2.根據權利要求1所述的無塵車間內空氣分析方法，其特征在于，所述提供元素分析設備以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括:在所述采樣分析設備對與所述標準數據對應的用來分析用的標準溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數據的準確性，進而對采樣進入設備的樣本進行定性和定量分析。
3.根據權利要求1所述的無塵車間內空氣分析方法，其特征在于，所述元素包括S04。
4.一種無塵車間內空氣分析系統，所述無塵車間內設有過濾器，其特征在于，所述系統包括: 多個空氣采樣裝置，分別設置于所述無塵車間內所預設的多個采樣點處，用于進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣； 元素分析設備，用于對所采樣空氣樣本進行元素分析，并對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理。
5.根據權利要求4所述的無塵車間內空氣分析系統，其特征在于，所述空氣采樣裝置包括采樣管。
6.根據權利要求5所述的無塵車間內空氣分析系統，其特征在于，所述采樣管長度為10m0
7.根據權利要求4所述的無塵車間內空氣分析系統，其特征在于，所述提供元素分析設備以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括:在所述采樣分析設備對與所述標準數據對應的用來分析用的標準溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數據的準確性，進而對采樣進入設備的樣本進行定性和定量分析。
8.根據權利要求4所述的無塵車間內空氣分析系統，其特征在于，所述元素包括S04。
【文檔編號】G01N33/00GK104459059SQ201510005253
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2015年1月7日 優先權日:2015年1月7日
【發明者】卞正鳳 申請人:海太半導體（無錫）有限公司