具有由過程墊片承載的過程變量傳感器的過程變量變送器的制造方法
【專利摘要】用于感測工業過程中過程流體的過程變量的過程變量變送器包括過程墊片，過程墊片具有構造成用于與過程容器表面形成密封的表面。該過程墊片通過過程容器表面中的開口暴露至過程流體。過程變量傳感器由過程墊片承載，并且構造成用于感測過程流體的過程變量和提供傳感器輸出。耦接到過程變量傳感器的測量電路提供與過程變量輸出相關的過程變量變送器輸出。
【專利說明】具有由過程墊片承載的過程變量傳感器的過程變量變送器
【技術領域】 [0001]
[0002] 本實用新型涉及工業過程控制和監測系統中的過程變量的測量。更具體地，本實 用新型涉及使用由過程墊片承載的過程變量傳感器進行的過程變量的測量
【背景技術】
[0003] 過程變量傳感器通過過程變量變送器用于工業過程控制和監測系統以感測過程 流體的過程變量。示例性過程變量包括壓力、流量、液位、溫度、酸堿性（pH)、和混濁度等。
[0004] 為測量過程變量，過程變量傳感器通常被耦接到過程流體。這可以通過管道、凸緣 或法蘭、歧管或其他的連接件或接頭。這些連接件的每一個必須密封，以防止過程流體泄 露。進一步，該連接件可以增加工業過程中安裝過程變量變送器的復雜性。這些接頭要求 "穿透"進入工業過程，這增加了安裝成本和復雜性，降低可靠性并且增加過程變量變送器 裝置的大小和重量。 實用新型內容
[0005] 用于感測工業過程中過程流體的過程變量的過程變量變送器包括過程墊片，過程 墊片具有構造成用于與過程容器表面形成密封的表面。該過程墊片通過過程容器表面中的 開口暴露至過程流體。過程變量傳感器由過程墊片承載，并且構造成用于感測過程流體的 過程變量和提供傳感器輸出。耦接到過程變量傳感器的測量電路提供與過程變量輸出相關 的過程變量變送器輸出。
[0006] 根據一方面，所述過程變量傳感器包括壓力傳感器。
[0007] 根據一方面，所述過程變量傳感器構造成用于感測溫度。
[0008] 根據一方面，過程變量傳感器包括構造成用于感測溫度的第二過程變量傳感器。
[0009] 根據一方面，所述過程變量傳感器與過程流體直接接觸。
[0010] 根據一方面，所述過程變量傳感器與過程流體隔離。
[0011] 根據一方面，所述過程變量傳感器由脆性材料制成。
[0012] 根據一方面，所述過程變量傳感器嵌入在過程墊片中。
[0013] 根據一方面，過程變量傳感器包括具有第二過程變量傳感器的第二過程墊片，并 且其中，測量電路構造成用于測量過程變量傳感器和第二過程變量傳感器之間的壓差。
[0014] 根據一方面，過程變量變送器包括構造成用于在過程流體流中產生壓差的孔板， 并且其中，過程墊片和第二過程墊片定位在孔板的相對側。
[0015] 根據一方面，過程容器表面包括過程管道的凸緣。
[0016] 根據一方面，過程容器表面包括箱的凸緣。
[0017] 根據一方面，所述過程墊片包括與過程變量傳感器間隔開的第二過程變量傳感 器。
[0018] 根據一方面，所述過程變量傳感器和第二過程變量傳感器構造成用于測量壓差。
[0019] 根據一方面，所述壓差與箱中的過程流體的液位相關。
[0020]根據一方面，所述過程墊片是環狀的。
[0021 ]根據一方面，所述過程變量傳感器沿徑向布置在過程墊片中。
[0022]根據一方面，所述測量電路安裝到過程容器表面。
[0023] 根據一方面，所述測量電路用過程墊片一體地承載。
[0024] 根據一方面，所述過程墊片包括承載測量電路的槳式延伸部。
[0025]根據一方面，用于密封抵靠過程容器表面的過程墊片，包括：環狀圓環，該環狀圓 環由墊片材料形成，具有構造成用于密封抵靠相應的第一和第二過程容器表面的相對的第 一和第二表面；開口，該開口在環狀圓環的中心，構造成用于在其中接收過程流體；腔，該 腔形成在環狀圓環中；過程變量傳感器，該過程變量傳感器承載在環狀圓環的腔中，構造成 用于感測過程流體的過程變量；和電連接件，該電連接件耦接到過程變量傳感器，并且從腔 延伸通過環狀圓環到環狀圓環的外側的位置。
[0026] 根據一方面，所述過程變量傳感器包括壓力傳感器。
[0027] 根據一方面，所述過程變量傳感器直接地暴露于過程流體。
[0028] 根據一方面，所述過程變量傳感器由細長的脆性材料形成。
[0029] 根據一方面，過程變量傳感器包括形成在環狀圓環中的第二腔和承載在第二腔中 的、構造成用于感測第二過程變量的第二過程變量傳感器。
[0030] 根據一方面，所述過程變量傳感器包括壓力傳感器，并且第二過程變量傳感器包 括溫度傳感器。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0031] 圖1是顯示用于通過過程變量變送器測量壓差的現有技術的布置的一個示例性 構造的示意圖。
[0032] 圖2是顯示定位在連接到過程管道的兩個凸緣之間的過程墊片的一個示例性構 造的分解圖。
[0033] 圖3是圖2示出的凸緣和過程墊片的剖視圖，并且示出由過程墊片承載的過程變 量傳感器。
[0034] 圖4是顯示用于測量過程流體的流量的流動的兩個過程墊片和一個孔板的使用 方法的分解透視圖。
[0035]圖5是圖4示出的構造的側面剖視圖，并且示出夾在每一個都承載過程變量傳感 器的兩個過程墊片之間的孔板。
[0036] 圖6A是圖2中示出的過程墊片的透視圖，圖6B是圖2中示出的過程墊片的俯視 圖，并且圖6C是圖2中示出的過程墊片的側面剖視圖。
[0037]圖6D是示出關于過程墊片的過程變量傳感器的另一個構造的側面剖視圖。
[0038]圖6E是包括過程墊片中形成的袋型區域的過程墊片的另一個示例性實施例的側 視圖。
[0039] 圖7是顯示耦接到密封在連接到過程管道的兩個相對的凸緣之間的過程墊片的 過程變量變送器的側視圖。
[0040] 圖8是圖7的過程變量變送器的簡化框圖。
[0041] 圖9A是顯示用于測量箱中過程流體的液位的耦接到過程墊片的過程變量變送器 的側面剖視圖。
[0042]圖9B是顯示圖9A的過程墊片中的兩個過程變量傳感器的定位的側面剖視圖9A。 [OO43]圖1〇是包括一體的過程變量變送器電路的過程墊片的透視圖。
【具體實施方式】
[0044]如在【背景技術】部分所提到的，過程變量的測量通常需要進入諸如箱或罐、管道等 的過程容器的穿透或其他的開口，以接近過程流體。例如，圖1是顯示現有技術配置的示 圖，其中過程變量變送器100用于測量壓差。變送器1〇〇通過脈沖線路1〇4、1〇6耦接到過 程管道102。這些脈沖線路分別地耦接到提供入口到管道 102中承載的過程流體的管道凸 緣108、110。這種耦接通過各自的閥112、114。脈沖線路ι〇4、1〇6通過附加的閥120和歧 管122連接到過程變量變送器1〇〇。如圖1所示，將過程變量變送器 100耦接到過程流體是 復雜的，并且要求多個連接件。每個連接件要求必須密封以防止泄漏的接口。
[0045] 一方面，提供一種過程墊片，與圖1示出的構造相比，其減少要求將過程變量傳感 器耦接到過程流體的連接件數量。在一個示例性構造中，使用過程墊片將過程變量變送器 耦接到過程流體，過程墊片具有配置成與過程流體容器的表面形成密封的至少一個表面。 這允許該過程墊片通過過程容器表面中的開口暴露給過程流體。過程墊片承載構造成感測 過程流體的過程變量的過程變量傳感器。感測到的過程變量被提供到用于提供與感測到的 過程變量有關的輸出的測量電路。測量電路可以與墊片一體地形成，或可以是與例如在過 程變量變送器中的墊片間隔分開的分離部件。進一步，下文中更詳細地描述多個方面和構 造。在一個示例性方面，有利地，本文中詳盡地解釋的實施例可以使用可以在整個工業過程 系統中已經存在的多個過程穿透（penetrations)以接近過程流體。
[0046] 圖2是顯示定位成抵靠過程管道202的凸緣或法蘭204和206被密封的過程墊片 200的分解透視圖，圖3是顯示裝配在兩個凸緣204和206之間的過程墊片200的部分的 側面剖視圖。如下文中更詳細地描述，墊片200包括用于感測工業過程的過程變量的過程 變量傳感器220 (圖3)。凸緣204包括過程容器面208 (圖3)，過程容器表面208具有形成 在其中的開口 209(圖3)，過程容器表面208抵接墊片200的表面以與過程墊片200形成 密封。類似地，凸緣206包括過程容器表面210,過程容器表面210具有形成在其中的開口 212,過程容器表面210抵接墊片200的相對的表面以形成密封。存在具有開口的過程容器 表面的多個例子，通過該開口能夠獲得接近過程流體。
[0047] 過程墊片200的部分延伸進入開口 209和212之間的空間，使得墊片200的該部 分與開口 209和212中的過程流體接觸。過程墊片200中承載的過程變量傳感器220耦接 到延伸到過程墊片200的外部圓周之外的電連接件222。在圖3示出的構造中，墊片200材 料圍繞過程變量傳感器220并且將過程變量傳感器220與任何過程流體隔離開。例如，如 果過程變量傳感器220是壓力傳感器，則由于墊片材料的偏斜或撓曲或變形，過程流體的 壓力可以傳送至傳感器220。可以使用其他的隔離技術，例如，隔離膜片。然而，在另一個示 例性構造中，過程變量傳感器220直接地暴露至開口 209和212中的過程流體。在其他的 實施例中，例如過程變量傳感器220感測其他的過程變量，例如溫度，和/或測量多個過程 變量，例如壓力和溫度。
[0048] 圖4是分別地使用在過程墊片200A和200B中承載的過程變量傳感器220A和 220B (圖5中示出）測量壓差的構造的分解透視圖。圖4中，孔板230設置在過程墊片200A 和200B之間，并且具有穿過孔板230形成的限制開口 232。當過程流體流234流過限制開 口 232時，生成與過程流體的流量成比例的壓差。圖5示出夾在過程墊片200A和200B之 間的孔板230的局部側面剖視圖。過程變量傳感器220A和220B可以用于感測限制性開口 232的任一側的壓力，并且用于確定流量。孔板230上的相對的表面提供過程容器表面的另 一個示例性示圖。
[0049] 圖6A、6B、和6C示出過程墊片200的透視圖、俯視圖和側面剖視圖。如圖6A-C所 示出，過程墊片200包括相對的表面240和242，并且具有形成在過程墊片200中的開口 244。如圖所示表面240和242分別地具有可選的環形脊246、248。例如，環形脊246、248 可以用于密封抵靠凸緣204、206表面的凹陷或其他的特征。如圖6C所示，在該示例性構造 中，兩個過程變量傳感器220A和220B被承載在單個過程墊片200中。在圖6C的示例性構 造中，過程變量傳感器220A直接地暴露至過程流體，同時過程變量傳感器220B通過墊片材 料與過程流體隔離。過程變量傳感器220A和220B承載在各自的徑向地形成進入墊片200 的腔250A和250B中。在該例子中，一個傳感器能夠測量壓力，同時另一個傳感器測量溫度。 腔250A和250B可以包括可選的護套，例如，細長管252A和252B，它們可以分別地承載電連 接件222A和222B。
[0050] 圖6D是過程墊片200的另一個示例性實施例的正面剖視圖。在圖6D中，過程變 量傳感器220通常布置成垂直于過程墊片200的半徑。注意，可以采用任意定向和構造的 過程變量傳感器220,并且本實用新型不限于本文中介紹的細長的構造。
[0051]圖6E是過程墊片200的另一個示例性實施例的側視圖，其包括延伸進入過程墊片 200的開口 244中的袋型區域。這種構造可以用于將過程變量傳感器220定位在過程流體 流中，同時墊片2〇0的內部圓周的剩余部分基本地與過程管道202的內部半徑對齊。袋型 區域251可以由與過程墊片200的其余部分相同的材料制成，或可以由不同的材料或合成 材料形成。
[0052] 圖7是顯示使用螺栓258密封在過程管道2〇2的凸緣204和206之間的過程墊片 2〇〇的側視圖。在該實施例中，過程變量變送器260通過細長管252A和252B中承載的電 線分別地耦接到過程變量傳感器220A和MOB。通過使用由螺栓258中的一個固定的支架 2似，可以將過程變量變送器260直接地固定到過程管道202。
[0053] 圖8是過程變量變送器260的簡化框圖，其包括耦接到測量電路282的微處理器 280。測量電路通過電連接件M2A和222B連接到圖6C示出的過程變量傳感器220A和220B。 微處理器280根據存儲在存儲器284中的指令并以由時鐘286確定的時鐘速率操作。通信 電路2洲為微處理器 28〇提供通信能力，并且連接到天線29〇。圖中示出可選的內部電源 292,其用于給過程變量變送器260的電路供電。
[0054]在操作過程中，測量電路282用于測量由過程變量傳感器220A、220B感測的過程 變量。例如，模擬到數字的轉化電路可以用于將與感測到的過程變量相關的模擬值轉化成 數字值，并且將該數字值提供給微處理器280。通信電路 28S用于將與感測到的過程變量相 關的信息通信到例如集中化過程控制室（未示出）的另一個位置。該通信可以是通過天線 2 9〇的無線通信。一個示例性無線通信技術是根據IEC62591標準的無線HART: 1^·信協議。 然而，通信電路別8還可以通過有線連接通信。一個示例性有線連接是雙線過程控制回路， 其還可以用于給過程變量變送器260的電路供電。可以通過控制在這種回路中流過的電流 強度（例如4mA和20mA之間）通信傳輸過程變量。其他的示例性過程控制回路包括例如 根據HAKTX通信協議傳輸數字信息的那些回路。其他的示例性通信協議包括Foundation Fieldbus (基礎現場總線）和PR0FIBUS (過程現場總線）。
[0055] 過程變量傳感器220A、220B可以根據任何適當的技術，用于測量期望的過程變 量。示例性過程變量包括壓力、流量、溫度、液位、酸堿性（pH)、混濁度等。在一個具體的示 例性實施例中，過程變量傳感器220A、B構造成用于感測過程流體的壓力。一種具體的壓力 感測技術使用由基本地脆性材料制成的細長的傳感器。在1997年6月10日公開的、名稱 為"CAPACITIVE PRESSURE SENSOR FOR A PRESSURE TRANSMITTER WHERE ELECTRIC FIELD EMANATES SUBSTANTIALLY FROM BACK SIDES OF PLATES(用于電場基本上從板的背面傳出 的壓力變送器的電容壓力傳感器）"的第5, 637, 802號的美國專利；2000年6月27日公開 的名稱為"SINTERED PRESSURE SENSOR FOR A PRESSURE TRANSMHTER(壓力變送器用燒結 的壓力傳感器）"的第6, 079, 276號美國專利；2000年7月4日公開的名稱為"PRESSURE SENSOR CAVITY ETCHED WITH HOT P0CL3GAS(用高溫P0CL3氣體刻蝕的壓力傳感器腔）"的 第6, 082, 199號美國專利；2000年7月18日公開的名稱為"ELONGATED PRESSURE SENSOR F0RAPRESSURETRANSMITER(壓力變送器用的細長的壓力傳感器）"的第 6,089,097 號 美國專利；2003年1月14日公開的名稱為"CAPCITIVE PRESSURE SENSING WITH MOV頂G DIELECTRIC (通過移動電介質進行的電容壓力感測）"的第6, 505, 516號美國專利；20〇3年 2月 18 日公開的名稱為"METHOD AND APPARATUS FOR A DIRECT BONDED ISLATED PRESSURE SENSOR(直接結合的隔離的壓力傳感器的方法和設備）"的第6, 520, 020號美國專利；2003 年1月 21 日公開的名稱為"PRESSURE SENSOR CAPSULE WITH IMPROVED IS0LATI0NC改進隔 離的壓力傳感器）"的第6, 508, 129號美國專利；2002年11月26日公開的名稱為"PRESSURE SENSOR FOR A PRESSURE TRANSMITTTER (壓力變送器用壓力傳感器）"的第6, 484, 585號美 國專利；2003 年 2 月 11 日公開的名稱為"GRAIN GROWTH OF ELECTRICAL INTERCONNECTION FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)(微機電系統（MEMS)用電互連的晶粒生 長）"的第6, 516, 671號美國專利；2003年5月13日公開的名稱為"SENSOR WITH FLUID ISOLATION BARRIERC具有流體隔離屏障的傳感器）"的第6, 561，038號美國專利；和2005 年2月1日公開的名稱為"PRESSURE SENSOR ASSEMBLY (壓力傳感器組件）"的第6, 848, 316 號美國專利中示出和描述該類型的壓力傳感器的例子，以上專利通過參考全部合并在本文 中。
[0056] 過程墊片200可以依照用于工業過程控制和監測系統的任何墊片構造或技術類 型。過程墊片200通常地構造成用于充滿和填充匹配的的兩個過程表面之間的任何不均 勻，因而密封兩個表面。進一步，材料應該優選地能夠抵抗由于施加在兩個表面之間的負荷 力和由于過程操作引起的力帶來的擠壓。可以用于形成墊片的示例性材料包括彈性材料、 纖維材料、柔性石墨、云母、聚四氟乙烯（PTFE)、金屬材料和其他。進一步，多種材料可以被 用在單個的墊片中。過程墊片可以由單個薄板材料形成，或可以的多個不同的材料和構造 的合成物。示例性墊片構造包括凸輪輪廓、金屬小孔、金屬封裝件、金屬加固的軟墊片、波 紋金屬和纏繞式墊片。在制造過程中過程變量傳感器220可以模塑進入過程墊片材料。在 另一個例子中，在制造過程中過程變量傳感器被放置在各層墊片之間。在另一個例子中，過 程墊片被加工以提供用于容納過程變量傳感器的腔。例如，孔可以被徑向地鉆過墊片，以保 持過程變量傳感器220和相關的電連接件。
[0057]圖9A是顯示使用本文中描述的過程墊片200實現的用于測量箱302中承載的過 程流體300的液位的系統的簡化示意圖。在圖9A中，延伸部304穿透進入箱302的側面并 且承載凸緣306。過程墊片200抵靠凸緣306定位并且通過凸緣308密封到凸緣306。過 程變量變送器260安裝到支架310上的凸緣308。如圖9B所示出，圖9A的過程墊片200包 括分別定位在過程墊片200的底部和頂部的過程變量傳感器22〇B、220A。這些傳感器分別 地通過在細長管252A、 252B中承載的電連接件222連接到過程變量變送器260。在圖9A和 9B的構造中，可以基于由過程變量傳感器220A、B測量的壓力差確定過程流體300的液位。 該壓力差可以發送到例如過程控制室的另一個位置。如圖9A所示出，在該例子中，過程變 量變送器260使用雙線過程控制回路310,用于通信和接收電力。在圖9A的構造中，單個的 過程墊片承載分開180°定位的兩個過程變量傳感器220A、B。在另一個示例性構造中，兩 個過程墊片200可以被使用并且以與它們各自的過程變量傳感器220分開180。定位的方 式布置以測量壓力差。
[0058]圖1〇示出過程墊片200的另一個示例性實施例。相對于圖7示出的構造，在圖1〇 的實施例中，由形成為與過程墊片2〇0的一體部件的槳式延伸部320承載變送器電子器件 (見圖8)。該電子器件可以提供圖8所示出的相同的功能，包括過程變量測量和通信。可 選的電連接器3M和324可以設置在槳式延伸部 32〇上，用于耦接到內部的電路。例如，這 些電連接器可以用于耦接到雙線過程控制回路或包括例如I2C總線的其他的通信聯接。作 為另一例子，連接器322、324可以用于向內部電路提供電力。在另一個例子中，槳式延伸部 320中的電路可以無線通信。可選的內部電池可以用于給電路供電。
[0059]雖然本實用新型已經參照優選的實施例進行描述，但是本領域的技術人員將認 識到，在沒有脫離本實用新型的實質和范圍的條件下可以做出改變。如本文中使用的，術語 "墊片"指用于在兩個表面之間提供機械密封的任何構件。在一個構造中，墊片在平面中延 伸。然而，墊片可以以非平面的構造形式形成。在一個構造中，墊片包括通過其中的開口， 并且在具體的構造中，開口是圓形的。然而，墊片不限于圓形的構造或包括通過其中的開口 的構造。墊片可以針對具體的應用由任何適當的材料制成。本文中描述的過程墊片構造成 用于密封抵靠承載或以其他方式耦接到過程流體的過程容器的表面。如本文中所使用的， 術語"表面"不限于平面。進一步，術語"容器"包括工業過程中的承載或連接到過程流體 的任何構件。雖然本文中詳盡地解釋的過程墊片示出為具有環狀的構造，但是本實用新型 不受這種設計限制。
【權利要求】
1. 一種過程變量變送器，用于感測工業過程中的過程流體的過程變量，其特征在于，所 述過程變量變送器包括： 過程墊片，該過程墊片具有構造成用于與過程容器表面形成密封的表面，其中該過程 墊片通過過程容器表面中的開口暴露至過程流體； 由過程墊片承載的過程變量傳感器，構造成用于感測過程流體的過程變量并且提供傳 感器輸出；和 測量電路，該測量電路耦接到過程變量傳感器且構造成提供與感測到的過程變量輸出 相關的過程變量輸出。
2. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程變量傳感器包括壓 力傳感器。
3. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程變量傳感器構造成 用于感測溫度。
4. 根據權利要求2所述的過程變量變送器，其特征在于，還包括構造成用于感測溫度 的第二過程變量傳感器。
5. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程變量傳感器與過程 流體直接接觸。
6. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程變量傳感器與過程 流體隔離。
7. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程變量傳感器由脆性 材料制成。
8. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程變量傳感器嵌入在 過程墊片中。
9. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，還包括具有第二過程變量傳 感器的第二過程墊片，并且其中，測量電路構造成用于測量過程變量傳感器和第二過程變 量傳感器之間的壓差。
10. 根據權利要求9所述的過程變量變送器，其特征在于，還包括構造成用于在過程流 體流中產生壓差的孔板，并且其中，過程墊片和第二過程墊片定位在孔板的相對側。
11. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，過程容器表面包括過程管道 的凸緣。
12. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，過程容器表面包括箱的凸 緣。
13. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程墊片包括與過程變 量傳感器間隔開的第二過程變量傳感器。
14. 根據權利要求12所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程變量傳感器和第 二過程變量傳感器構造成用于測量壓差。
15. 根據權利要求14所述的過程變量變送器，其特征在于，所述壓差與箱中的過程流 體的液位相關。
16. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程墊片是環狀的。
17. 根據權利要求16所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程變量傳感器沿徑 向布置在過程墊片中。
18. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述測量電路安裝到過程容 器表面。
19. 根據權利要求1所述的過程變量變送器，其特征在于，所述測量電路用過程墊片一 體地承載。
20. 根據權利要求19所述的過程變量變送器，其特征在于，所述過程墊片包括承載測 量電路的槳式延伸部。
21. -種用于密封抵靠過程容器表面的過程墊片，其特征在于，包括： 環狀圓環，該環狀圓環由墊片材料形成，具有構造成用于密封抵靠相應的第一和第二 過程容器表面的相對的第一和第二表面； 開口，該開口在環狀圓環的中心，構造成用于在其中接收過程流體； 腔，該腔形成在環狀圓環中； 過程變量傳感器，該過程變量傳感器承載在環狀圓環的腔中，構造成用于感測過程流 體的過程變量；和 電連接件，該電連接件耦接到過程變量傳感器，并且從腔延伸通過環狀圓環到環狀圓 環的外側的位置。
22. 根據權利要求21所述的過程墊片，其特征在于，所述過程變量傳感器包括壓力傳 感器。
23. 根據權利要求21所述的過程墊片，其特征在于，所述過程變量傳感器直接地暴露 于過程流體。
24. 根據權利要求21所述的過程墊片，其特征在于，所述過程變量傳感器由細長的脆 性材料形成。
25. 根據權利要求21所述的過程墊片，其特征在于，包括形成在環狀圓環中的第二腔 和承載在第二腔中的、構造成用于感測第二過程變量的第二過程變量傳感器。
26. 根據權利要求25所述的過程墊片，其特征在于，所述過程變量傳感器包括壓力傳 感器，并且第二過程變量傳感器包括溫度傳感器。
【文檔編號】G01F23/14GK204085538SQ201420450671
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年8月11日 優先權日:2014年3月24日
【發明者】羅伯特·C·海德克 申請人:羅斯蒙特公司