一種無塵布磷含量熒光測試裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種無塵布磷含量熒光測試裝置，包括暗箱，所述暗箱設置有安全門；所述暗箱頂部還設置有至少兩個布夾，所述暗箱側板設置有365nm紫外燈以對應所述布夾上的無塵布；所述暗箱內還設置有對應所述布夾上的無塵布的影像采集器，所述影像采集器通過數據線連接至外置顯示器。該實用新型在暗箱內采用波長為365nm的紫外燈照射無塵布，無塵布通過暗箱頂部的布夾夾住以充分展開，并通過影像采集器采集磷光源并將影像傳送至外接的顯示器以方便測試者觀察，因此，該實用新型可以實時監控每個LOT的無塵布的磷含量是否滿足要求，檢測結果及時、有效且測試過程安全可控。
【專利說明】一種無塵布磷含量熒光測試裝置
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種無塵布磷含量熒光測試裝置。
【背景技術】
[0002]無塵擦拭布廣泛運用于半導體產業、面板產業、TP產業以及太陽能產業，在上述的產業中無塵布是直接用于擦拭生產設備或者產品，且上述產業中對磷的要求非常高，甚至要求測試為ND，所以為滿足客戶對于無塵布磷含量的要求，目前國際上是利用氣相或者液相色普法來測試磷的定量含量，或者用熒光燈照射做定性分析，上述方法有如下缺點:
[0003]①測試設備價位高，維護費用高，且需要委外測試；
[0004]②測試時效性差，不能及時測試并及時掌控無塵布中是否含有磷；
[0005]③如果用熒光燈直接照射的話，對人體具有一定的危害性。
實用新型內容
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種無塵布磷含量熒光測試裝置，以實現無塵布上憐兀素的實時、聞效檢測，提聞生廣效率及廣品質量。
[0007]為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下:
[0008]一種無塵布磷含量熒光測試裝置，包括暗箱，所述暗箱設置有安全門；所述暗箱頂部還設置有至少兩個布夾，所述暗箱側板設置有365nm紫外燈以對應所述布夾上的無塵布；所述暗箱內還設置有對應所述布夾上的無塵布的影像采集器，所述影像采集器通過數據線連接至外置顯示器。
[0009]其中，所述紫外燈有三根，分別對應所述布夾上無塵布的上中下部位置，以確保能夠對無塵布進行完整測試。
[0010]其中，所述暗箱側壁還設置有除塵器，以確保在磷含量測試前為無塵布提供潔凈空間，確保檢測精度及內部設施的使用壽命。
[0011]通過上述技術方案，本實用新型提供的一種無塵布磷含量熒光測試裝置，其采用波長為365nm的紫外燈照射無塵布，同時把紫外燈安裝在一個不透光的暗箱內，確保不受其他光源的影響，并可同時保護測試者不受內部紫外線的影響，無塵布通過暗箱頂部的布夾夾住以充分展開，并通過影像采集器采集磷光源并將影像傳送至外接的顯示器以方便測試者觀察，因此，該實用新型可以實時監控每個LOT的無塵布的磷含量是否滿足要求，檢測結果及時、有效且測試過程安全可控。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0013]圖1為本實用新型實施例所公開的一種無塵布磷含量熒光測試裝置結構示意圖。
[0014]圖中數字表示:[0015]11.暗箱 12.布夾 13.紫外燈
[0016]14.無塵布 15.除塵器
【具體實施方式】
[0017]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。
[0018]參考圖1，本實用新型提供的無塵布磷含量熒光測試裝置，包括暗箱11，暗箱11設置有安全門以方便測試者進行無塵布14取放操作；暗箱11頂部還設置有至少兩個布夾12，暗箱11側板設置有三根365nm的紫外燈13以對應布夾12上的無塵布14的上中下部位置，以確保能夠對無塵布14進行完整測試；暗箱11內還設置有對應布夾12上的無塵布14的影像采集器(圖中未示出)，影像采集器通過數據線連接至外置顯示器(圖中未示出);暗箱11側壁還設置有除塵器15，以確保在磷含量測試前為無塵布14提供潔凈空間，確保檢測精度及內部設施的使用壽命。
[0019]本實用新型的工作原理:
[0020]首先打開暗箱11的安全門，將無塵布14平整的夾在暗箱11頂部的布夾12上，然后關上安全門；
[0021]打開除塵器15以確保暗箱11內部測試環境潔凈，然后關閉除塵器15 ；
[0022]開啟紫外燈13對無塵布14進行充分全面的照射；
[0023]開啟影像采集器，通過影像采集器采集無塵布14上的磷光源，并通過外接的顯示器顯示影像采集結果，測試者通過顯示結果可以方便、及時的或者檢測結果；
[0024]重復上述步驟以實現暗箱11內不同批次不同無塵布14的高效、及時、安全可控的檢測。
[0025]對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對上述實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
【權利要求】
1.一種無塵布磷含量熒光測試裝置，其特征在于，包括暗箱，所述暗箱設置有安全門；所述暗箱頂部還設置有至少兩個布夾，所述暗箱側板設置有365nm紫外燈以對應所述布夾上的無塵布；所述暗箱內還設置有對應所述布夾上的無塵布的影像采集器，所述影像采集器通過數據線連接至外置顯示器。
2.根據權利要求1所述的一種無塵布磷含量熒光測試裝置，其特征在于，所述紫外燈有三根，分別對應所述布夾上無塵布的上中下部位置。
3.根據權利要求1所述的一種無塵布磷含量熒光測試裝置，其特征在于，所述暗箱側壁還設置有除塵器。
【文檔編號】G01N21/64GK203811542SQ201420195841
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年4月22日 優先權日:2014年4月22日
【發明者】段俊麗 申請人:龍鉅超潔凈科技（蘇州）有限公司