Mems慣性傳感器非線性度補償方法
【專利摘要】本發明涉及一種MEMS慣性傳感器非線性度補償方法，為：建立MEMS慣性傳感器的理想輸出值與實際輸出值的多項式函數關系式，多項式函數關系式中包含有非線性項；通過多項式擬合獲得多項式函數關系式中的各個非線性項的系數并帶入多項式函數關系式中得到非線性補償式；通過非線性補償式對MEMS慣性傳感器的實際輸出值進行非線性補償而獲得其理想輸出值。本發明通過簡單的多項式擬合即可對MEMS慣性傳感器進行非線性度補償，其簡單可行，便于在MIMU或Micro-INS系統中通過編程實現。
【專利說明】MEMS慣性傳感器非線性度補償方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及一種對MEMS慣性傳感器進行非線性度補償方法。
【背景技術】
[0002] 現有的對MEMS慣性傳感器進行非線性度補償方法通常有如下幾種：1、如論文《運 用神經網絡代數算法的陀螺儀非線性誤差補償》，其通過神經網絡的方法實現非線性補償； 2、 如申請號為200710070395. 2的發明專利《一種補償數字閉環光纖陀螺標度因數非線性 度的方法》，其是通過補償電光集成相位調制器電光調制系數非線性的方法補償非線性度； 3、 如申請號為200910078269. 0的發明專利《一種改善光纖陀螺低角速率下標度因數非線 性方法》，其采用加大光源輸入的驅動電流，提高到達探測器的光功率，增強Sagnec相位差 信號，實現提高非線性的目的。上述這幾種方法較為復雜，不易通過編程實現。
【發明內容】
[0003] 本發明的目的是提供一種較為簡單且易于通過編程實現的MEMS慣性傳感器非線 性度補償方法。
[0004] 為達到上述目的，本發明采用的技術方案是：
[0005] -種MEMS慣性傳感器非線性度補償方法，為：建立MEMS慣性傳感器的理想輸出值 與實際輸出值的多項式函數關系式，所述的多項式函數關系式中包含有非線性項；通過多 項式擬合獲得所述的多項式函數關系式中的各個非線性項的系數并帶入所述的多項式函 數關系式中得到非線性補償式；通過所述的非線性補償式對所述的MEMS慣性傳感器的實 際輸出值進行非線性補償而獲得其理想輸出值。
[0006] 所述的MEMS慣性傳感器的理想輸出值與實際輸出值的多項式函數關系式為
【權利要求】
1. 一種MEMS慣性傳感器非線性度補償方法，其特征在于：該方法為：建立MEMS慣性傳 感器的理想輸出值與實際輸出值的多項式函數關系式，所述的多項式函數關系式中包含有 非線性項；通過多項式擬合獲得所述的多項式函數關系式中的各個非線性項的系數并帶入 所述的多項式函數關系式中得到非線性補償式；通過所述的非線性補償式對所述的MEMS 慣性傳感器的實際輸出值進行非線性補償而獲得其理想輸出值。
2. 根據權利要求1所述的MEMS慣性傳感器非線性度補償方法，其特征在于：所述的 MEMS慣性傳感器的理想輸出值與實際輸出值的多項式函數關系式為
【文檔編號】G01D21/00GK104330105SQ201410578583
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年10月24日 優先權日:2014年10月24日
【發明者】董冀, 鞠莉娜, 周芳 申請人:中國兵器工業集團第二一四研究所蘇州研發中心