檢測用夾具、電極部、探針及檢測用夾具的制造方法
【專利摘要】本發明提供對微小的檢測點使用四探針法的檢測用夾具，提供低成本且電連接性穩定的構成。檢測用夾具包括復數個探針和復數個電極部。探針包括芯狀探針和筒狀探針。芯狀探針是電連接于檢測點。筒狀探針是與芯狀探針絕緣的狀態下配置在該芯狀探針的外側，并電連接于檢測點。電極部包括內筒電極部和外筒電極部。內筒電極部是與插入的芯狀探針的外周面接觸，從而電連接于該芯狀探針。外筒電極部是與內筒電極部絕緣的狀態下配置在該內筒電極部的外側，并與筒狀探針電連接。
【專利說明】檢測用夾具、電極部、探針及檢測用夾具的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及用于檢測在基板上形成的配線圖形的檢測用夾具。
【背景技術】
[0002]以往，知悉有檢測基板配線圖形的基板檢測裝置。基板檢測裝置是，將檢測用夾具接觸基板的檢測點，測定配線間的電阻值來檢測配線圖形。
[0003]而且，測定配線間電阻值的方法有四探針法。四探針法是，將供應電流用探針和測定電壓用探針2個探針同時接觸檢測點進行檢測的方法。使用四探針法，可以忽視電壓測定用探針和檢測點之間流過的電流，因此可以正確地測定兩個檢測點之間的電壓，可以求得正確的電阻值。
[0004]以往，使用四探針法時，在排列形成的一組孔(2個孔)分別使用設置有探針的檢測用夾具。然而，最近由于配線圖形的微細化，檢測點變小，設置探針的孔所需求的間隔就非常狹小，在加工技術方面，變得很難制造這類檢測用夾具。
[0005]從這一觀點，在專利文獻I中揭示對這種小的檢測點也能使用四探針法的檢測用夾具。所述檢測用夾具的探針具有筒狀第一接觸端子，和插入于第一接觸端子的棒狀第二接觸端子。使用這種雙重結構的探針，即使不形成狹小間隔的孔，也可以取得2個檢測點的導通。
[0006]而且，這種探針是，在檢測點的相反側端部連接電極部。電極部是由環狀第一電極部，和配置在第一電極部的內部且具有圓形斷面的第二電極部構成。第一接觸端子是與第一電極部接觸，第二接觸端子是與第二電極部接觸。第一電極部及第二電極部連接于執行基板檢測處理的檢測處理部。
[0007]通過這種構成，也可以對很小的檢測點使用四探針法。
[0008]然而，專利文獻I的檢測用夾具，由于探針及電極部非常小，若有一點尺寸上的誤差，兩者不能適當的連接，變得電連接性不穩定。由此，專利文獻I的檢測用夾具需要高尺寸精度，從而加工費用變高。專利文獻I的檢測用夾具在這種方面，具有改善余地。
[0009]另外，在專利文獻I中，第一接觸端子與第一電極部探針，以及第二接觸端子與第二電極部探針分別只是端部面之間相接觸，在組裝時等若有位置相錯，可能發生電連接性不穩定的情況。
[0010]【現有技術文獻】
[0011]【專利文獻I】
[0012]日本專利公開第2012-154670號公報
【發明內容】
[0013]本發明是鑒于以上的情況而完成的，其主要目的是提供對微小的檢測點使用四探針法的檢測用夾具，提供低成本且電連接性穩定的構成。
[0014]根據本發明的第一觀點，提供具有以下構成的檢測用夾具。即，此檢測用夾具包括:接觸基板上檢測點的復數個探針；以及將所述探針與對所述基板上形成的配線進行檢測處理的檢測處理部相電連接的復數個電極部。所述探針包括芯狀探針和筒狀探針。所述芯狀探針電連接于所述檢測點。所述筒狀探針是與所述芯狀探針絕緣的狀態下，配置在所述芯狀探針的外側，并電連接于所述檢測點。所述電極部具有內筒電極部和外筒電極部。所述內筒電極部與插入的所述芯狀探針的外周面接觸，從而電連接于所述芯狀探針。所述外筒電極部是與所述內筒電極部絕緣的狀態下，配置在所述內筒電極部的外側，并電連接于所述筒狀探針。
[0015]在所述檢測用夾具中，在所述芯狀探針的電極部側的端部形成越往前端外徑變細的錐形部較好。
[0016]在所述檢測用夾具中，所述外筒電極部的探針側的端部面的位置比所述內筒電極部的探針側的端部面靠向探針側較好。
[0017]在所述檢測用夾具中，所述筒狀探針的電極部側的端部面和所述外筒電極部的探針側的端部面相接觸，從而所述筒狀探針和所述外筒電極部電連接較好。
[0018]在所述檢測用夾具中，具有以下的構成較好。即，所述檢測用夾具還包括用于插入所述電極部的電極部插入部。在所述外筒電極部的探針側的端部形成有電極部定位部。所述電極部定位部的厚度及外徑大于所述外筒電極部的所述探針側的剩余部分。通過所述電極部定位部，所述電極部保持在所述電極部插入部。
[0019]在所述檢測用夾具中，所述內筒電極部是以絕緣體包覆較好。
[0020]在所述檢測用夾具中，所述筒狀探針上以長度方向形成有能彈性變形的彈簧，在所述彈簧縮小的狀態下，所述探針和所述電極部連接較好。
[0021]在所述檢測用夾具中，具有以下的構成較好。即，所述檢測用夾具還包括探針插入部和探針固定部。在所述探針插入部插入所述探針。所述探針固定部是將所述探針固定在所述探針插入部。在所述筒狀探針形成有外徑比所述筒狀探針之剩余部分大的探針定位部。所述探針定位部和所述探針固定部相接觸，從而所述探針固定在所述探針插入部。
[0022]在所述檢測用夾具中，所述探針的配置間隔是ΙΟΟμπι以下較好。
[0023]根據本發明的第二及第三觀點，提供與所述構成相同的電極部及探針。
[0024]根據本發明的第四觀點，對于所述檢測用夾具的制造方法，提供包含以下工藝的方法。即，所述制造方法包括:探針插入工藝和探針固定工藝。在所述探針插入工藝中，插入有所述電極部的電極部插入部和用于插入所述探針的探針插入部在重疊的狀態下，將所述探針插入所述探針插入部，以連接所述探針和所述電極部。在所述探針固定工藝中，設置探針固定部，從而固定在所述探針插入工藝中插入的所述探針。
[0025]根據本發明，即使芯狀探針或內筒電極部的位置有偏移，因芯狀探針插入于內筒電極部(決定位置)，從而可以確保芯狀探針和內筒電極部的電連接。另外，可以使內筒電極部和芯狀探針的接觸面積增大，因此可以提高電連接的穩定性。
[0026]即使芯狀探針或內筒電極部的位置有偏移，由錐形部的引導，芯狀探針插入于內筒電極部，所以可以提高芯狀探針和內筒電極部的電連接的穩定性。
[0027]在電極部的探針側的端部面僅有外筒電極部，所以可以使電極部端部的開口更大。因此，可以更可靠地向內筒電極部引導芯狀探針。
[0028]直至筒狀探針和外筒電極部的端部面相互接觸為止，芯狀探針插入于內筒電極部，從而可以確保筒狀探針和外筒電極部的電連接。
[0029]在電極部插入部只是插入電極部，便可以保持該電極部。另外，通過增加外筒電極部的厚度，可以提高筒狀探針和外筒電極部的電連接的穩定性。
[0030]以簡單的構成，可以使內筒電極部和外筒電極部互相絕緣。
[0031 ] 可以增加筒狀探針和外筒電極部的接觸壓力，從而可以提高筒狀探針和外筒電極部的電連接的穩定性。
[0032]將探針插入電極部后，使用探針固定部可以固定探針。因此，可以確保探針和電極部的電連接。
[0033]在難以排列配置探針之構成的情況下，也可以使用四探針法。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0034]圖1是概略示出具有本發明一實施形態之檢測用夾具的基板檢測裝置的說明圖。
[0035]圖2A至圖2C是示出探針及其構成因素的側面圖及斷面圖。
[0036]圖3A至圖3E是示出電極部構成因素的側面圖及斷面圖。
[0037]圖4A和圖4B是電極部的側面圖。
[0038]圖5A至圖是示出檢測用夾具的組裝方法的說明圖。
[0039]圖6A至圖6C是示出探針和電極部的連接狀態的側面斷面圖。
[0040]圖7是示出電極部和連接器部的連接狀態的側面圖。
[0041][附圖標記說明]
[0042]1:檢測用夾具2:檢測處理部
[0043]20:探針21:芯狀探針
[0044]22:絕緣包覆部24:筒狀探針
[0045]25:探針定位部30:電極部
[0046]31:內筒電極部32:絕緣包覆部
[0047]34:外筒電極部35:絕緣包覆部
[0048]100:基板檢測裝置
【具體實施方式】
[0049]接著，結合附圖對本發明的實施形態進行說明。首先，參考圖1，對檢測用夾具I及基板檢測裝置100的概況進行說明。
[0050]基板檢測裝置100是對檢測對象基板執行檢測。具體地說，基板檢測裝置100是求基板的所定檢測點之間的電阻值，并檢測電阻值及是否導通等。另外，作為檢測對象的基板不僅包含一般印制基板，也包含柔性基板及多層基板等。
[0051]基板檢測裝置100具有檢測用夾具I和檢測處理部2。在本實施形態使用四探針法，所以檢測用夾具I在基板的每個檢測點接觸兩處。如圖1所示，檢測用夾具I具有基底部11、支撐部12、電極部插入部13、探針插入部14和探針固定板(探針固定部)15。
[0052]基底部11構成檢測用夾具I的基底，在其一側連接支撐部12，同時在另一側連接連接器部40。
[0053]支撐部12是從基底部11向上延伸的柱狀部件。檢測用夾具I例如具有4個支撐部12。在支撐部12的上側連接有電極部插入部13。
[0054]電極部插入部13是形成有無數個貫通孔的長方體狀部件。在電極部插入部13的貫通孔插入電極部30。另外，電極部30插入保持在電極部插入部13，其構成將會后述。在電極部插入部13的上側連接有探針插入部14。
[0055]探針插入部14是與電極部插入部13上形成的貫通孔對應的位置上形成有貫通孔的長方體狀部件。在探針插入部14的貫通孔插入探針20。由此，探針20和電極部30電連接。另外，電極部插入部13及探針插入部14不是長方體，而是復數個板狀部件重疊構成也可。
[0056]探針固定板15是與電極部插入部13及探針插入部14上形成的貫通孔對應的位置上形成有貫通孔的板狀部件。探針固定板15是固定插入在探針插入部14的探針20 (詳細說明將會后述)。
[0057]如圖1所示，從探針固定板15露出探針20的一部分。檢測用夾具I使這些露出部分接觸在基板的檢測點。從檢測點獲得的電信號，通過探針20傳達到電極部30。電極部
30是從與探針20連接處向下延伸，同時在基底部11之前向一個方向(圖1的左側)被引導。電極部30電連接于基底部11上形成的連接器部40。
[0058]連接器部40是可與電極部30電連接，同時其內部形成有配線。連接器部40是通過這些配線及向連接器部40的外部延伸的電線等連接于檢測處理部2。
[0059]根據如上所述的構成，檢測處理部2是與基板電連接。檢測處理部2是測定基板上所定檢測點之間的電壓及電流來算出電阻值。檢測處理部2判斷算出的結果是否符合預定的規格。
[0060]接著，結合圖2對探針20的構成及制造方法進行說明。圖2是示出探針20及其構成因素的側面圖及斷面圖。另外，在探針20的說明中，如圖2所示，連接于基板的檢測點的一側稱為基板側，連接于電極部30的一側稱為電極部側。
[0061]如圖2A至圖2C所示，探針20是由芯狀探針21和筒狀探針24所構成。在圖2A示出的芯狀探針21是圓形斷面的細長狀部件，以具有導電性的材料(例如，金、銅及鎳等，以下皆同)構成。在芯狀探針21上形成有檢測點接觸部21a、電極連接部21b和錐形部21c。
[0062]檢測點接觸部21a是在芯狀探針21的基板側的端部形成的半球狀部分，用于連接基板上檢測點的部分。檢測點接觸部21a采取半球形狀，可使檢測點接觸部21a適當地連接基板的檢測點。電極連接部21b是在電極部側的端部附近形成的部分，用于連接電極部30的部分。在相比于電極連接部21b更靠向電極部側(前段側)之處形成有錐形部21c。錐形部21c是越往電極部側其外徑變細。另外，錐形部21c并不限定于直線形狀的錐形，彎曲形狀的錐形也可。
[0063]另外，在芯狀探針21除了檢測點接觸部21a及電極連接部21b以外的部分形成有絕緣包覆部22。例如，絕緣包覆部22可以用電鍍形成。
[0064]在圖2B示出的筒狀探針24是筒狀導電性部件。在筒狀探針24形成有檢測點接觸部24a、電極接觸部24b、粘著部24c和彈簧24d。檢測點接觸部24a是基板側的端部，用于連接與檢測點接觸部21a相同檢測點的部分。電極接觸部24b是在電極部側的端部形成的部分，用于連接電極部30的部分。
[0065]粘著部24c是在筒狀探針24的長度方向上的中央部形成的部分。在粘著部24c的兩側形成有彈簧24d。彈簧24d是將筒狀探針24以螺旋形狀切割而構成，沿長度方向具有彈性。
[0066]例如，筒狀探針24可以用以下的方法制造。即，首先，在極細的芯材的外周形成鎳等電鑄層及抗蝕層。接著，在所述抗蝕層以螺旋形狀照射激光后，消除照射部分的抗蝕層。接著，進行蝕刻，將抗蝕層被消除部分的鎳等電鑄層消除，然后消除芯材。
[0067]另外，在筒狀探針24的基板側的端部附近用電鍍等方式形成具有絕緣性的探針定位部25。而探針定位部25的外徑大于筒狀探針24的剩余部分。
[0068]如圖2C所示，探針20是，在筒狀探針24的內部插入芯狀探針21，將粘著部24c的內側和絕緣包覆部22的外側以環氧(Epoxy)系的粘著劑等粘合而制造。在芯狀探針21的周圍形成有絕緣包覆部22，所以芯狀探針21和筒狀探針24兩者是在絕緣的狀態下連接。
[0069]筒狀探針24是通過彈簧24d具有彈性，因此對探針20的基板側的端部施壓，筒狀探針24會縮小，如后述的圖6C所示，可以露出檢測點接觸部21a。由此，可使芯狀探針21和筒狀探針24同時接觸在相同檢測點。另外，芯狀探針21及筒狀探針24中的一個是用于供應電流的探針，另一個是用于測定電壓的探針。
[0070]接著，參照圖3對電極部30的構成及制造方法進行說明。圖3A至圖3E是示出電極部30構成因素的側面圖及斷面圖。另外，在電極部30的說明中，如圖3A至圖3E所示，連接于探針20的一側稱為探針側，連接于連接器部40的一側稱為連接器側。
[0071]電極部30是由內筒電極部31和外筒電極部34所構成。
[0072]在圖3A示出的內筒電極部31是具有導電性及可繞性的筒狀部件。內筒電極部31是與筒狀探針24 —樣，在芯材的周圍用電鍍形成具有導電性的部件，然后消除該芯材等而形成。另外，在內筒電極部31形成有探針連接部31a和連接器連接部31b。
[0073]探針連接部31a是在探針側的端部形成的部分，與探針20 (具體的是芯狀探針21)電連接。連接器連接部31b是在連接器側的端部形成的部分，連接于連接器部40。另外，如圖3B所示，在內筒電極部31上除了連接器連接部31b以外的部分形成有絕緣包覆部32。
[0074]在圖3C示出的外筒電極部34是具有導電性及可繞性的筒狀部件。外筒電極部34是與筒狀探針24等一樣，在芯材的周圍用電鍍形成具有導電性的部件，然后消除該芯材而形成。另外，在外筒電極部34形成有探針連接部34a和連接器連接部34b。探針連接部34a是在探針側的端部形成得部分，與探針20 (具體的是筒狀探針24)電連接。連接器連接部34b是在連接器側的端部形成的部分，連接于連接器部40。
[0075]另外，如圖3D所示，在外筒電極部34的探針側端部有比其他部分的厚度及外徑大的電極部定位部34c。電極部定位部34c是通過電鍍等形成。另外，如圖3的(e)所示，在外筒電極部34上除了連接器連接部34b以外的部分通過電鍍等形成有絕緣包覆部35。
[0076]電極部30是將所述內筒電極部31插入固定在外筒電極部34 (參照圖4的A)，并在露出的連接器連接部31b及連接器連接部34b進行鍍金等(參照圖4B之箭頭)而制造。此時，在本實施形態中，外筒電極部34的探針側的端部比內筒電極部31的探針側的端部更靠向探針側的位置上固定，但內筒電極部31和外筒電極部34的探針側的端部之間對準位置而固定也可。另外，在內筒電極部31的外側形成有絕緣包覆部32，因此可將內筒電極部31和外筒電極部34在絕緣的狀態下固定。另外，可以進行除了金以外的鍍金，或可以省略鍍金。
[0077]接著，參照圖5A至圖及圖6A至圖6C，對檢測用夾具I的組裝方法進行說明。圖5A至圖是示出檢測用夾具I的組裝方法的說明圖。圖6A至圖6C示出是探針20和電極部30的連接狀態的側面斷面圖。
[0078]在本實施形態中，事先，將電極部30插入在電極部插入部13的插入孔13a(參照圖5A及圖6A)。在此狀態下，通過電極部定位部34c，保持電極部30致使其不會從電極部插入部13脫離。
[0079]然后，將探針插入部14載置在電極部插入部13的上部，用螺栓等固定(參照圖5B)。接著，將探針20插入在探針插入部14的插入孔14a (參照圖5C及圖6A)。
[0080]隨著探針20插入至插入孔14a，探針20的芯狀探針21插入于電極部30。另外，在本實施形態中，在電極部30的探針側的端部只有外筒電極部34，所以開口部較大。由此，可以確保芯狀探針21插入電極部30。即使位置有偏移，通過錐形部21c引導探針20至適當的位置。
[0081]然后，再隨著探針20的插入，芯狀探針21 (電極連接部21b)插入于內筒電極部
31(探針連接部31a)的內部。由此，芯狀探針21和內筒電極部31電連接。另外，由于芯狀探針21上形成有錐形部21c，即使芯狀探針21或內筒電極部31的位置稍有偏移的情況下，一邊修改位置關系，可將芯狀探針21插入于內筒電極部31內部。因此，可以提高兩者電連接的穩定性。
[0082]另外，從圖6A狀態，又壓入探針20，從而筒狀探針24的電極部側的端部面(電極接觸部24b)和外筒電極部34的探針側的端部面(探針連接部34a)相接觸。由此，筒狀探針24和外筒電極部34電連接。另外，由于探針連接部34a比其他部分的厚度及外徑大，可以確保與筒狀探針24的電連接。另外，如上所述，由于芯狀探針21和內筒電極部31的位置關系能被修改，可在位置關系為適當的狀態下將筒狀探針24和外筒電極部34電連接。因此，可以提聞兩者電連接的穩定性。
[0083]接著，將探針固定板15設置在探針插入部14的上部(參照圖及圖6B)。此時，探針定位部25被探針固定板15的貫通孔上形成的階梯部15a加壓。由此，彈簧24d收縮而變形，在此狀態下用螺栓等將探針固定板15固定在探針插入部14(參照圖6C)。通過由彈簧24d的收縮產生的施壓力，筒狀探針24向電極部側被加壓。由此，可以提高筒狀探針24和外筒電極部34的電連接的穩定性。
[0084]以往，在探針插入部保持探針的狀態下，將探針插入部插入到電極部插入部而進行組裝。在此情況，根據探針和電極部的位置精度及安裝精度，發生有些探針和電極部不能連接的情形。在這種觀點上，如本實施形態一樣，在電極部插入部13保持電極部30的狀態下插入探針20，從而可以確保探針20連接于電極部30。
[0085]另外，電極部30的連接器部側的端部是，內筒電極部31和外筒電極部34各自分別連接于連接器部40。另外，如圖7所示，若內筒電極部31和外筒電極部34相互絕緣，可以連接于以同一個基板構成的連接器部40。圖7是，內筒電極部31的連接器連接部31b釬焊于連接器部40，且外筒電極部34的連接器連接部34b釬焊于連接器部40。連接器連接部31b及連接器連接部34b是，通過在連接器部40內部形成的電路及電線等，各自連接于檢測處理部2。
[0086]在本實施形態中，如此，通過四探針法可以實現基板的檢測。另外，本實施形態的構成是，例如，探針20之間的距離在20或30 μ m左右以上，100 μ m以下時，可以實現。
[0087]如上所述，本實施形態的檢測用夾具I具有復數個探針20和復數個電極部30。探針20具有芯狀探針21和筒狀探針24。芯狀探針21是電連接于檢測點。筒狀探針24是與芯狀探針21絕緣的狀態下，配置在所述芯狀探針21的外側，并電連接于同一個檢測點。電極部30具有內筒電極部31和外筒電極部34。內筒電極部31是與插入的芯狀探針21的外周面接觸而電連接于所述芯狀探針21。外筒電極部34是與內筒電極部31絕緣的狀態下，配置在所述內筒電極部31的外側，并與筒狀探針24電連接。
[0088]由此，比如芯狀探針21或內筒電極部31的位置有偏移，因芯狀探針21插入于內筒電極部31 (決定位置)，可以確保芯狀探針21和內筒電極部31的電連接。另外，可以使內筒電極部31和芯狀探針21的接觸面積增大，便可以提高電連接的穩定性。
[0089]以上說明了本發明的較佳實施形態，但所述的構成，例如，可以變更如下。
[0090]只要是芯狀探針21進入內筒電極部31而電連接的構成，可以變更探針20及電極部30的形狀。
[0091]也可不形成探針定位部25或電極部定位部34c，而固定探針20及電極部30。
[0092]在所述實施形態中，電極部30是沿著基底部11向一側被引導的構成，但將這個向一側引導的部分以基板上形成的電路來構成也可。在此情況，電極部30是，從電極部插入部13向下延伸而連接于該基板。而且，通過該基板上形成的電路，連接到檢測處理部2。
【權利要求】
1.一種檢測用夾具，包括: 復數個探針，接觸基板的檢測點；以及 復數個電極部，將所述探針和對所述基板上形成的配線進行檢測處理的檢測處理部相電連接， 所述探針包括: 芯狀探針，電連接于所述檢測點；以及 筒狀探針，與所述芯狀探針絕緣的狀態下，配置在所述芯狀探針的外側，并電連接于所述檢測點， 所述電極部包括: 內筒電極部，與插入的所述芯狀探針的外周面接觸，從而電連接于所述芯狀探針；以及外筒電極部，與所述內筒電極部絕緣的狀態下，配置在所述內筒電極部的外側，并電連接于所述筒狀探針。
2.根據權利要求1所述的檢測用夾具，其特征在于， 在所述芯狀探針的電極部側的端部形成越往前端外徑變細的錐形部。
3.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于， 所述外筒電極部的探針側的端部面的位置比所述內筒電極部的探針側的端部面靠向探針側。
4.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于， 所述筒狀探針的電極部側的端部面和所述外筒電極部的探針側的端部面相接觸，從而所述筒狀探針和所述外筒電極部電連接。
5.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于， 還包括用于插入所述電極部的電極部插入部， 在所述外筒電極部的探針側的端部形成有電極部定位部， 通過所述電極部定位部，所述電極部保持在所述電極部插入部。
6.根據權利要求5所述的檢測用夾具，其特征在于， 所述電極部定位部的厚度及外徑大于所述外筒電極部的所述探針側的剩余部分。
7.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于， 所述內筒電極部是以絕緣體包覆。
8.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于， 所述筒狀探針上以長度方向形成有能彈性變形的彈簧，在所述彈簧縮小的狀態下，所述探針和所述電極部連接。
9.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于，還包括: 探針插入部，用于插入所述探針；以及 探針固定部，將所述探針固定在所述探針插入部， 在所述筒狀探針形成有外徑比所述筒狀探針之剩余部分大的探針定位部， 所述探針定位部和所述探針固定部相接觸，從而所述探針固定在所述探針插入部。
10.根據權利要求1或2所述的檢測用夾具，其特征在于， 所述探針的配置間隔是100 μ m以下。
11.一種電極部，將接觸基板上檢測點的雙重結構的探針和對所述基板上形成的配線進行檢測處理的檢測處理部相電連接，其特征在于所述電極部包括: 內筒電極部，插入有所述雙重結構的內側的芯狀探針，并與所述芯狀探針的外周面接觸，從而電連接于所述芯狀探針；以及 外筒電極部，與所述內筒電極部絕緣的狀態下，配置在所述內筒電極部的外側，并與所述雙重結構的外側的筒狀探針電連接。
12.—種探針，接觸基板上的檢測點，并通過由內筒電極部和外筒電極部構成的電極部，電連接于對所述基板上形成的配線進行檢測處理的檢測處理部，其特征在于所述探針包括: 芯狀探針，在一端側電連接于所述檢測點，在另一端側接觸所述內筒電極部的內周面，從而電連接于所述內筒電極部；以及 筒狀探針，與所述芯狀探針絕緣的狀態下，配置在所述芯狀探針的外側，且在一端側電連接于所述檢測點，在另一端側與所述外筒電極部電連接。
13.—種檢測用夾具的制造方法，其中所述檢測用夾具包括復數個探針和復數個電極部， 所述探針包括:芯狀探針，電連接于基板的檢測點；以及筒狀探針，與所述芯狀探針絕緣的狀態下配置在所述芯狀探針的外側，并電連接于所述檢測點， 所述電極部包括:內筒電極部，與所述芯狀探針的外周面接觸而電連接；以及外筒電極部，與所述內筒電極部絕緣的狀態下配置在所述內筒電極部的外側，并與所述筒狀探針電連接， 其特征在于所述制造方法，包含: 探針插入工藝，插入有所述電極部的電極部插入部和用于插入所述探針的探針插入部在重疊的狀態下，將所述探針插入所述探針插入部，以連接所述探針和所述電極部；以及探針固定工藝，通過設置探針固定部，從而固定在所述探針插入工藝中插入的所述探針。
【文檔編號】G01R1/073GK104515880SQ201410524378
【公開日】2015年4月15日 申請日期:2014年10月8日 優先權日:2013年10月8日
【發明者】沼田清 申請人:日本電產理德股份有限公司