用于檢測接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸的接觸布置和方法

用于檢測接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸的接觸布置和方法
【專利摘要】用于檢測接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸的接觸布置和方法。提供了接觸布置，其包括接觸結(jié)構(gòu)和感測結(jié)構(gòu)。感測結(jié)構(gòu)可被布置在接觸結(jié)構(gòu)附近。感測結(jié)構(gòu)可被布置成使得接觸結(jié)構(gòu)的正確機(jī)械接觸將不影響感測結(jié)構(gòu)且接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸將影響感測結(jié)構(gòu)。
【專利說明】用于檢測接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸的接觸布置和方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]各種實施例一般涉及用于檢測接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸的接觸布置和方法。

【背景技術(shù)】
[0002]電氣裝置(例如電路和半導(dǎo)體)可能需要例如在生產(chǎn)測試期間和在操作期間被電氣地接觸?？衫缤ㄟ^使用接觸針、懸臂式探針、垂直探針、球接頭、楔形接頭、球觸頭和任何其它合適的接觸技術(shù)來達(dá)到電接觸。
[0003]通常，要求電氣裝置的機(jī)械接觸，以便產(chǎn)生電連接。然而，機(jī)械接觸可能例如由于機(jī)械容限、未對準(zhǔn)、變形或太高的接觸力而傾向于出錯。例如，懸臂式探針可能撞擊接觸區(qū)域的邊緣，并可能損壞相鄰的結(jié)構(gòu)。作為另一示例，未對準(zhǔn)的布線接頭可能稍后在操作使用壽命期間引起故障，即使它通過功能測試。
[0004]在功能測試或參數(shù)生產(chǎn)測試期間未檢測到的不正確機(jī)械接觸可呈現(xiàn)潛在的可靠性風(fēng)險。然而，汽車系統(tǒng)可能要求低可靠性風(fēng)險。為了安全苛求應(yīng)用，可能要求符合ISO26262標(biāo)準(zhǔn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]提供了接觸布置，其包括接觸結(jié)構(gòu)和感測結(jié)構(gòu)。感測結(jié)構(gòu)可被布置在接觸結(jié)構(gòu)附近。感測結(jié)構(gòu)可被配置成使得接觸結(jié)構(gòu)的正確機(jī)械接觸將不影響感測結(jié)構(gòu)，而接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸將影響感測結(jié)構(gòu)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]在附圖中，相同的參考字符一般指的是遍及不同視圖的相同部分。附圖不一定是按比例的，相反一般將重點(diǎn)放在說明本發(fā)明的原理上。在附圖中，參考數(shù)字的最左邊的數(shù)位可識別該參考數(shù)字首次出現(xiàn)的附圖。相同的數(shù)字可遍及附圖用來參考相同的特征和部件。在下面的描述中，參考下面的附圖描述了本發(fā)明的各種實施例，其中:
圖1示出接觸布置的實施例；
圖2示出接觸布置的另一實施例；
圖3示出接觸布置的又另一實施例；
圖4示出接觸布置的進(jìn)一步的實施例；
圖5示出接觸布置的又進(jìn)一步的實施例；
圖6不出接觸布置的仍另一實施例；
圖7示出方法的實施例；以及圖8示出方法的另一實施例。

【具體實施方式】
[0007]下面的詳細(xì)描述提及通過例證示出本發(fā)明可被實踐的特定細(xì)節(jié)和實施例的附圖。
[0008]詞“示例性”在本文中用來意指“用作示例、實例或例證”。在本文中被描述為“示例性”的任何實施例或設(shè)計不一定被理解為超過其它實施例或設(shè)計優(yōu)選的或有利的。
[0009]關(guān)于“在”偵愐或表面“之上”形成的沉積的材料所使用的詞“在…之上”在本文中可用來意指沉積的材料可“直接在”暗指的側(cè)面或表面“上”形成，例如與暗指的側(cè)面或表面直接接觸。關(guān)于“在”側(cè)面或表面“之上”形成的沉積的材料所使用的詞“在…之上”在本文中可用來意指沉積的材料可“間接地在”暗指的側(cè)面或表面“上”形成，其中，一個或多個附加的層被布置在暗指的側(cè)面或表面和沉積的材料之間。
[0010]實施例的一些特征可與該實施例的其它特征隔離，即使它們被一起描述。示出不同的實施例，然而來自一個實施例的特征也可在其它實施例中使用。
[0011]圖1示出接觸布置100的實施例。在各種實施例中，接觸布置100可包括接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104。
[0012]接觸結(jié)構(gòu)102可由接觸部分機(jī)械地接觸。在各種實施例中，機(jī)械接觸可以是臨時的，例如當(dāng)使用用于測試目的探針時或在電連接器的情況中。在各種實施例中，機(jī)械接觸可以是永久的，例如在引線接合中或每當(dāng)形成永久電連接時。
[0013]在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102可以是例如半導(dǎo)體的接觸區(qū)域(諸如接合焊盤)。然而，接觸結(jié)構(gòu)102不限于接合焊盤。接觸結(jié)構(gòu)102可以例如是電連接器的部分，諸如插頭或插座。在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102可以是導(dǎo)電的。
[0014]在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可被布置在接觸結(jié)構(gòu)102附近。例如，感測結(jié)構(gòu)104可被布置在離接觸結(jié)構(gòu)102的邊界106的特定距離108處。在各種實施例中，距離108可被選擇為小于用于機(jī)械地接觸該接觸結(jié)構(gòu)102的接觸部分。例如，如果布線接合用于機(jī)械接觸，則布線球可表示接觸部分，且距離108可被選擇為小于布線球的直徑。例如，如果探針用于機(jī)械接觸，則探針可表示接觸部分，且距離108可被選擇為小于探針的接觸部分。以這種方式，用于機(jī)械接觸該接觸結(jié)構(gòu)102的接觸部分的未對準(zhǔn)可被檢測到，因為它可與接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104兩者接觸。在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可包括布置在接觸結(jié)構(gòu)的邊界附近的至少一個導(dǎo)電部分。在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可以是圍繞接觸結(jié)構(gòu)102的閉環(huán)。
[0015]在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可被配置成使得接觸結(jié)構(gòu)102的正確機(jī)械接觸將不影響感測結(jié)構(gòu)104。在各種實施例中，用詞“影響”可意指“對……有效果”、“感應(yīng)”、“與……交互作用”、“作用于”、“對……起作用”等。例如，感測結(jié)構(gòu)104可通過機(jī)械接觸(例如通過布線接頭或探針)來影響。在各種實施例中，影響可包括接觸部分和感測結(jié)構(gòu)104的電連接。在各種實施例中，影響可例如出現(xiàn)在機(jī)械接觸的接觸力超過被允許的限制或閾值時，所述限制或閾值可引起對接觸結(jié)構(gòu)102、感測結(jié)構(gòu)104及其周圍事物的損壞。影響也可出現(xiàn)在例如接觸部分例如由于接觸部分的未對準(zhǔn)而例如通過刮擦接觸結(jié)構(gòu)102、感測結(jié)構(gòu)104及其周圍事物中的至少一個來損壞時。
[0016]在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102的正確機(jī)械接觸可涉及機(jī)械接觸(例如相對于接觸結(jié)構(gòu)102或其它結(jié)構(gòu))的對準(zhǔn)。在各種實施例中，正確機(jī)械接觸可以是被限制或局限到接觸結(jié)構(gòu)102的機(jī)械接觸。例如，圖1中的機(jī)械接觸110 (其可以例如是布線接頭(諸如球接頭或楔形接頭)或者探針接觸)被限制或局限到接觸結(jié)構(gòu)102。在各種實施例中，正確機(jī)械接觸可以是不涉及與感測結(jié)構(gòu)104的接觸的機(jī)械接觸。例如，圖1中的機(jī)械接觸111 (其可以例如是布線接頭(諸如球接頭或楔形接頭)或者探針接觸)并不被局限到接觸結(jié)構(gòu)102 ?’然而，它不與感測結(jié)構(gòu)104接觸。機(jī)械連接110和111可被考慮為正確機(jī)械接觸，因為它們不影響感測結(jié)構(gòu)104。
[0017]在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102的正確機(jī)械接觸可涉及接觸力，即，接觸部分被壓在接觸布置100上所用的力，其對接觸布置100的一些或所有部分(例如對感測結(jié)構(gòu)104)沒有影響。在這種情況下，接觸結(jié)構(gòu)102、感測結(jié)構(gòu)104或者其上布置接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104的襯底將不被損壞。
[0018]在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可被配置成使得接觸結(jié)構(gòu)102的不正確機(jī)械接觸將影響感測結(jié)構(gòu)104。例如，用于機(jī)械地接觸該接觸結(jié)構(gòu)102的傳導(dǎo)部分的不正確定位或未對準(zhǔn)或太高的接觸力可能對感測結(jié)構(gòu)104有影響。在這種情況下，影響可以是例如通過刮擦感測結(jié)構(gòu)104或提供到它的電連接而引起的感測結(jié)構(gòu)104的損壞。例如，圖1所示的機(jī)械連接112可提供到感測結(jié)構(gòu)104的電連接，因而對它有影響。
[0019]圖1所示的機(jī)械接觸114也可被考慮為不正確機(jī)械接觸，因為它影響感測結(jié)構(gòu)104?？赡芾щy的是，感測電路116 (其稍后被描述)檢測影響，因為機(jī)械接觸只與感測結(jié)構(gòu)104而不與接觸結(jié)構(gòu)102接觸。然而，如果機(jī)械接觸114對于電路布置的操作是必要的，則不正確機(jī)械接觸114可在測試期間被檢測到。
[0020]在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104可分別在金屬層、導(dǎo)電多晶硅層和導(dǎo)電擴(kuò)散區(qū)中的一個或多于一個中形成。在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104可被布置在半導(dǎo)體襯底或印刷電路板(PCB)上。金屬層可以例如是半導(dǎo)體的頂部金屬層。
[0021]在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104可被布置在相同的傳導(dǎo)層中。在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102可被布置在與閉環(huán)104相同的傳導(dǎo)平面中。在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104可包括相同類型的表面。例如，它們可由相同的材料組成，且它們可在相同的過程期間被生產(chǎn)。材料可以例如是鋁。在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104沒有鈍化——如果它被布置在半導(dǎo)體上，且沒有焊料阻擋——如果它被布置在印刷電路板(PCB)上。如果機(jī)械接觸涉及接合過程，則接合球或接合楔可以用相似的方式(即，以相同的接合質(zhì)量和性質(zhì))連接到接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104。
[0022]在各種實施例中，接觸布置100還可包括感測或檢測器電路116。在各種實施例中，感測電路116可耦合到至少感測結(jié)構(gòu)104，例如閉環(huán)104。在各種實施例中，感測電路116可被配置成檢測對感測結(jié)構(gòu)104的影響。例如，感測電路116可檢測感測結(jié)構(gòu)104的電位。感測結(jié)構(gòu)104的電位可取決于是已經(jīng)有不正確機(jī)械接觸還是已經(jīng)有正確機(jī)械接觸。例如，圖1所示的不正確機(jī)械接觸112可使感測結(jié)構(gòu)104具有與接觸結(jié)構(gòu)102相同的電位，而正確機(jī)械接觸110將不影響感測結(jié)構(gòu)104的電位。
[0023]接觸結(jié)構(gòu)102也可耦合到感測電路116。在各種實施例中，感測電路116被配置成確定在感測結(jié)構(gòu)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個。感測電路116可然后在其輸出端117處提供對應(yīng)的信號，其可用來確定是已經(jīng)發(fā)生了正確機(jī)械接觸，還是已經(jīng)發(fā)生了不正確機(jī)械接觸，并可例如用于檢測電位或隱藏的可靠性問題。例如，圖1所示的不正確機(jī)械接觸112可允許電流在感測結(jié)構(gòu)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間泄漏，而正確機(jī)械接觸110將不允許電流在感測結(jié)構(gòu)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間泄漏。在各種實施例中，可通過將第一電位施加到感測結(jié)構(gòu)104并將第二電位施加到接觸結(jié)構(gòu)102并接著測量電流來測量泄漏電流。
[0024]在各種實施例中，如果沒有泄漏電流在感測結(jié)構(gòu)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間流動，則在輸出端117處的信號可例如指示零電流值。在各種實施例中，可設(shè)置在輸出端117處輸出信號之前當(dāng)前值必須超過其的合適的限制或閾值，例如以指示由機(jī)械損壞引起的過多的泄漏電流。
[0025]在各種實施例中，如果在感測結(jié)構(gòu)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間沒有電位差，則在輸出端117處的信號可例如指示零電壓值。在各種實施例中，可設(shè)置合適的限制或閾值，在輸出端117處輸出信號之前電壓值必須在該限制或閾值之下。例如，該限制或閾值可對應(yīng)于接觸部分與接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104重疊的量。
[0026]在各種實施例中，如果在感測結(jié)構(gòu)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間沒有電阻，則在輸出端117處的信號可例如指示零電阻值。在各種實施例中，可設(shè)置合適的限制或閾值，在輸出端117處輸出信號之前電阻值必須在該限制或閾值之下。例如，該限制或閾值可對應(yīng)于在接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104之間的電短路的量。
[0027]在各種實施例中，接觸布置100還可包括開關(guān)122。在各種實施例中，開關(guān)122可耦合到接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104中的至少一個。例如，開關(guān)122可在點(diǎn)118處連接到接觸結(jié)構(gòu)102，并可在點(diǎn)120處連接到感測結(jié)構(gòu)104。在各種實施例中，開關(guān)122可被集成在半導(dǎo)體襯底上。例如，開關(guān)122可被集成在其上布置接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104的相同的半導(dǎo)體襯底上。
[0028]在各種實施例中，開關(guān)122可具有兩個、三個或四個位置。在第一位置(例如圖1所示的開關(guān)122的位置“1”)上，感測結(jié)構(gòu)104可連接到感測電路116。因為接觸結(jié)構(gòu)102也可連接到感測電路116，所以在接觸結(jié)構(gòu)102和感測結(jié)構(gòu)104之間的電位差或泄漏電流或電阻可被測量。感測電路116可然后在其輸出端117處提供對應(yīng)的信號，其可例如用來確定是已發(fā)生正確機(jī)械接觸還是已發(fā)生不正確機(jī)械接觸，或者用于檢測電位或隱藏的可靠性問題。
[0029]在第二位置(例如圖1所示的開關(guān)122的位置“2”)上，感測結(jié)構(gòu)104可連接到接觸結(jié)構(gòu)102。感測結(jié)構(gòu)104可然后在與接觸結(jié)構(gòu)102相同的電位處。
[0030]在第三位置(例如圖1所示的開關(guān)122的位置“3”)上，感測結(jié)構(gòu)104可連接到預(yù)先限定的電位。例如，預(yù)先限定的電位可以是地電位或任何其它固定電位。
[0031]在第四位置(例如圖1所示的開關(guān)122的位置“4”)上，感測結(jié)構(gòu)104不連接到任何電位。例如，感測結(jié)構(gòu)104的電位可以是浮動的。
[0032]在各種實施例中，開關(guān)122可具有第一位置與第二位置、第三位置和第四位置的任何組合。例如，開關(guān)122可具有第一位置和第二位置而沒有第三位置且沒有第四位置，或可具有第一位置、第三位置和第四位置而沒有第二位置。
[0033]在各種實施例中，開關(guān)122在檢測或測量將被執(zhí)行時的時間處可以在第一位置上，且在沒有檢測或測量被執(zhí)行期間的時間處在第二位置、第三位置或第四位置上。
[0034]在各種實施例中，接觸布置100可具有耦合在接觸結(jié)構(gòu)102和感測電路116之間的另外的開關(guān)(在圖1中未示出)。另外的開關(guān)可電連接并斷開接觸結(jié)構(gòu)116與感測電路116。
[0035]在各種實施例中，開關(guān)122和另外的開關(guān)(如果它存在)可由控制單元(在圖1中未示出)操作。在各種實施例中，控制單元可例如在具有接觸布置100的電路布置的操作期間周期性地操作開關(guān)122以在第一位置上。在各種實施例中，控制電路可例如只在一個時間點(diǎn)處或在特定時間點(diǎn)處周期性地操作開關(guān)122以在第一位置上。時間點(diǎn)可以例如是在啟動期間或在具有接觸布置100的電路布置的前端和/或后端生產(chǎn)測試期間。
[0036]在各種實施例中，控制單元可被集成在半導(dǎo)體襯底上或被集成在半導(dǎo)體襯底中。例如，控制單元可被集成在其上布置接觸結(jié)構(gòu)102、感測結(jié)構(gòu)104和開關(guān)122的相同的半導(dǎo)體襯底上。在各種實施例中，控制單元可以是內(nèi)建自測試(BIST)的部分。
[0037]在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可由一個或多個感測部分組成。一個或多個感測部分可以例如在未對準(zhǔn)或影響將被檢測到的方向上被布置在接觸結(jié)構(gòu)102的邊界附近。例如，閉環(huán)104可分成四個或更多單獨(dú)的感測部分，例如頂邊界部分124、右邊界部分126、底邊界部分128和左邊界部分130。在各種實施例中，感測部分可被布置在接觸區(qū)域102周圍。例如，它們可遵循接觸結(jié)構(gòu)102的邊界，并且除了它們之間的間隙以外還可圍繞接觸結(jié)構(gòu) 102。
[0038]在各種實施例中，感測部分中的每一個感測部分(例如邊界部分124、126、128、130)可連接到如上所述的感測電路116。在各種實施例中，感測部分(例如邊界部分124、126、128、130)可串聯(lián)地電連接到彼此，例如以例如在接觸結(jié)構(gòu)102周圍形成閉環(huán)或形成開環(huán)，且因而產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)可連接到感測電路116。在各種實施例中，感測部分中的每一個感測部分(例如邊界部分124、126、128、130可連接到個別的感測電路116。
[0039]作為示例，頂邊界部分124可檢測在方向A上的位移或影響，右邊界部分126可檢測在方向B上的位移或影響，底邊界部分128可檢測在方向C上的位移或影響，以及左邊界部分130可檢測在方向D上的位移或影響。
[0040]感測部分中的每一個感測部分(例如頂邊界部分124、右邊界部分126、底邊界部分128和左邊界部分130)可被獨(dú)自使用。感測部分不需要與彼此電連接，以便檢測位移或影響。例如，只有頂邊界部分124、右邊界部分126、底邊界部分128和左邊界部分130足以分別檢測在方向A上、在方向B上、在方向C上和在方向D上的未對準(zhǔn)或影響。
[0041]在各種實施例中，感測部分(例如邊界部分124、126、128、130)可彼此相組合地被使用。例如，右邊界部分126和左邊界部分130可一起用來檢測平行于方向B、D的位移或影響。類似地，頂邊界部分124和底邊界部分128可一起用來檢測平行于方向A、C的位移或影響。然而在各種實施例中，部分可例如被連接以形成閉環(huán)104。
[0042]圍繞接觸結(jié)構(gòu)102的閉環(huán)104可能是有用的，因為在感測部分之間沒有間隙。諸如例如未對準(zhǔn)或使用太高的接觸壓力的不正確機(jī)械接觸在間隙中可能不被感測電路116檢測到。然而如果在感測部分之間的間隙足夠小，例如小于接觸部分，則不正確機(jī)械接觸也可在感測部分之間被檢測到。
[0043]圖1示出僅僅一個閉環(huán)104。然而在各種實施例中，可提供多于一個閉環(huán)。在各種實施例中，多個環(huán)可連接到感測電路116。在各種實施例中，閉環(huán)可以是彼此同心的。在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102可形成閉環(huán)的同心布置的中心。在各種實施例中，同心的閉環(huán)可彼此由間隙分離，也就是說，它們不與彼此電接觸。在各種實施例中，間隙小于接觸部分(例如布線球或探針)。換句話說，間隙可被選擇成足夠小，使得接觸部分將接觸兩個相鄰的閉環(huán)。
[0044]在各種實施例中，至少兩個閉環(huán)可被布置在相同的傳導(dǎo)平面中。在各種實施例中，閉環(huán)可耦合到感測電路116。在各種實施例中，感測電路116可被配置成確定在閉環(huán)之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個。以這種方式，可通過檢測在第一閉環(huán)和第二閉環(huán)之間的泄漏電流、低電阻或低電位差來定位例如在第一閉環(huán)和第二閉環(huán)之間的不正確機(jī)械接觸。
[0045]在各種實施例中，可例如基于布置在第一環(huán)和接觸結(jié)構(gòu)102之間的閉環(huán)的數(shù)量來指定例如機(jī)械接觸的位置離接觸結(jié)構(gòu)102的距離。如果距離是已知的，可例如通過使用較大的調(diào)整步長來更快地校正在機(jī)械接觸中的調(diào)整。
[0046]在各種實施例中，也可以同心方式(S卩，在具有離接觸結(jié)構(gòu)102增加的距離的情況下)布置感測部件，如上面針對閉環(huán)描述的。在各種實施例中，機(jī)械接觸的位置離接觸結(jié)構(gòu)102的距離可如上所述被確定。
[0047]接觸結(jié)構(gòu)102在圖1中被示為矩形。然而在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102可具有任何形狀。例如，它可以是L形或圓形。類似地，感測結(jié)構(gòu)104或感測部分(例如邊界部分124、126、128、130)可具有任何形狀。在各種實施例中，它們可具有一側(cè)，其具有與接觸結(jié)構(gòu)102的邊界相同的形狀。例如，如果接觸結(jié)構(gòu)102是矩形，則它們可具有直的側(cè)邊或邊緣。例如，如果接觸結(jié)構(gòu)102是具有第一半徑的圓，則它們可具有圓形側(cè)邊或邊緣，其具有大于第一半徑的半徑。在各種實施例中，它們可具有一側(cè)，所述一側(cè)具有離接觸結(jié)構(gòu)102的邊界的恒定距離。在各種實施例中，感測部分中的每一個感測部分可以比接觸焊盤102的對應(yīng)側(cè)的寬度短。
[0048]圖2示出接觸布置200的實施例。接觸布置200可類似于結(jié)合圖1描述的接觸布置100，使得所描述的所有特征也可在這里應(yīng)用。例如，接觸布置200可具有開關(guān)122，即使它未在圖2中示出。
[0049]在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可包括圍繞接觸結(jié)構(gòu)102的至少一個開環(huán)。在各種實施例中，開環(huán)104可以與結(jié)合接觸布置100描述的閉環(huán)104相同并可以用相同的方式進(jìn)行布置，除了間隙210以外。在各種實施例中，開環(huán)104可包括第一端202和第二端204。在各種實施例中，第一端202和第二端204可彼此由間隙210分離。間隙210可與開環(huán)104離接觸結(jié)構(gòu)102的邊界106的距離108 —樣大。
[0050]在各種實施例中，第一端202和第二端204可耦合到感測電路116。在各種實施例中，第一端202可具有第一連接點(diǎn)206，而第二端204可具有第二連接點(diǎn)208。第一連接點(diǎn)206和第二連接點(diǎn)208可連接到感測電路116。
[0051]在各種實施例中，感測電路116可被配置成確定在至少一個開環(huán)104的第一端202和第二端204之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個。
[0052]測量電阻、電流或電壓可用來測試開環(huán)104的整體性。例如，如果開環(huán)104是整體的或未受損害的，則當(dāng)它們短路時沒有電阻或非常低的電阻可存在于第一端202和第二端204之間。類似地，如果開環(huán)104是整體的或未受損害的，則沒有電位差或非常低的電位差可在第一端202和第二端204之間被測量到。類似地，如果開環(huán)104是整體的或未受損害的，則電流可在第一端202和第二端204之間流動并可被測量到。如果確定開環(huán)是整體的或未受損害的，則可假設(shè)接觸結(jié)構(gòu)102被正確地機(jī)械接觸。
[0053]相反，測量電阻、電流或電壓可用來測試開環(huán)104是否被機(jī)械接觸影響。例如，由未對準(zhǔn)的探針例如不正確地機(jī)械接觸該接觸結(jié)構(gòu)102可能例如通過刮擦它來損壞開環(huán)104。在各種實施例中，與針對正確機(jī)械接觸相比，在第一端202和第二端204之間的電阻和電位差可以更高，且在第一端202和第二端204之間流動的電流可以更低。電阻的量可指示損壞的量。更高的電阻比更低的電阻可指示更大的損壞。
[0054]在各種實施例中，在第一端202和第二端204之間的測量可與在如結(jié)合接觸布置100描述的感測結(jié)構(gòu)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個的測量相組合。
[0055]雖然圖2示出除了間隙210以外圍繞全部接觸結(jié)構(gòu)102的開環(huán)104，感測結(jié)構(gòu)104在各種實施例中也可由如結(jié)合接觸布置100描述的感測部分104中的一個或多個感測部分組成。例如，感測部分104可以是右邊界部分126。在各種實施例中，感測部分中的一個或多個感測部分可具有相應(yīng)的第一端202和相應(yīng)的第二端204。相應(yīng)的第一端202和相應(yīng)的第二端204可例如位于相應(yīng)的感測部分的相對端處。在這種情況下，幾乎感測部分的所有長度都可用于檢測影響。相應(yīng)的第一端202和相應(yīng)的第二端204可耦合到可被配置成確定在相應(yīng)的感測部分的第一端202和第二端204之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個的感測電路116。使用用于感測結(jié)構(gòu)104的多于一個的感測部分可幫助檢測其上出現(xiàn)影響的方向并延伸，如上所述。在各種實施例中，在相應(yīng)的第一端202和相應(yīng)的第二端204之間的測量可與在如上所述的相應(yīng)的感測部分104和接觸部分102之間的相應(yīng)電阻、相應(yīng)電流和相應(yīng)電壓(或電位差)中的至少一個的測量相組合。
[0056]圖3示出接觸布置300的實施例。接觸布置300可類似于結(jié)合圖2描述的接觸布置200，使得所描述的所有特征也可在這里應(yīng)用。
[0057]如可在圖2中看到的，開環(huán)104可具有間隙210。在各種實施例中，間隙210可以是在檢測影響時的盲點(diǎn)。換句話說，影響(諸如穿過間隙210的刮擦)可能將不被檢測到。
[0058]在各種實施例中，第一端202和第二端204可在正交于接觸結(jié)構(gòu)102的邊界106的方向302上重疊。重疊的效應(yīng)可類似于接觸布置100的閉環(huán)104的效應(yīng)。換句話說，影響更可能被檢測到。例如，在圖3中，在方向302上從接觸結(jié)構(gòu)穿過間隙210的刮擦可損壞位于第一端202之前的感測結(jié)構(gòu)104的某個部分并可被檢測到。與閉環(huán)比較，重疊開環(huán)104可允許確定在相應(yīng)感測部分104的第一端202和第二端204之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個，使得感測結(jié)構(gòu)104的整體性可被確定。
[0059]在各種實施例中，在第一端202和第二端204之間的測量可與在如上所述的重疊開環(huán)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間的電阻、相應(yīng)電流和相應(yīng)電壓中的至少一個的測量相組合。
[0060]圖4示出接觸布置400的實施例。接觸布置400可類似于結(jié)合圖2描述的接觸布置200，使得所描述的所有特征也可在這里應(yīng)用。
[0061]如可在圖2中看到的，開環(huán)104可具有間隙210，其可以是當(dāng)檢測影響時的盲點(diǎn)，如上所述。
[0062]在各種實施例中，接觸布置400可包括第一開環(huán)104和第二開環(huán)402。第一開環(huán)104可具有第一端202和第二端204。第二開環(huán)402可具有第一端404和第二端406。
[0063]第一開環(huán)104的第一端202和第二端204可具有相應(yīng)的連接點(diǎn)206、208。第二開環(huán)402的第一端404和第二端406可具有相應(yīng)的連接點(diǎn)408、410。連接點(diǎn)206、208、408、410可連接到感測電路116。
[0064]在各種實施例中，第一間隙210可在第一開環(huán)104的第一端202和第二端204之間形成。在各種實施例中，第二間隙412可在第二開環(huán)402的第一端408和第二端410之間形成。在各種實施例中，第一間隙210和第二間隙412不在正交于接觸結(jié)構(gòu)102的邊界106的方向414、416、418、420上重疊。非重疊的效應(yīng)可類似于接觸布置100的閉環(huán)104的效應(yīng)。換句話說，影響更可能被檢測到。例如在圖4中，在方向416上從接觸結(jié)構(gòu)102穿過間隙210的刮擦可損壞第二環(huán)402的某個部分并可被檢測到。與閉環(huán)比較，兩個開環(huán)104、402均可允許分別確定在相應(yīng)的第一端202、404和相應(yīng)的第二端204、406之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個，使得第一開環(huán)104和第二開環(huán)402的整體性可被確定。
[0065]在各種實施例中，在相應(yīng)的第一端202、404和相應(yīng)的第二端204、406之間的測量可與在第一開環(huán)104、第二開環(huán)402和接觸結(jié)構(gòu)102中的至少兩個之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個的相應(yīng)測量相組合。例如，可確定在第一開環(huán)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間的第一泄漏電流。例如，可確定在第二開環(huán)402和接觸結(jié)構(gòu)102之間的第二泄漏電流。例如，可確定在第一開環(huán)104和第二開環(huán)402之間的第三泄漏電流。
[0066]在各種實施例中，不同的泄漏電流可用來確定機(jī)械接觸的影響的嚴(yán)重性。例如，第一泄漏電流可用來發(fā)出布線接合或探測未對準(zhǔn)并需要調(diào)整的警告。例如，第二泄漏電流或第三泄漏電流可用來指示故障。在各種實施例中，嚴(yán)重性可隨著感測結(jié)構(gòu)(例如開環(huán)104、402)離接觸結(jié)構(gòu)102的距離的增加而增加。
[0067]在各種實施例中，第一開環(huán)104和第二開環(huán)402可被布置在相同的傳導(dǎo)平面中。在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102可被布置在與第一開環(huán)104和第二開環(huán)402相同的傳導(dǎo)平面中。
[0068]雖然圖4只示出兩個開環(huán)104、402，但可使用任何數(shù)量的環(huán)。在各種實施例中，環(huán)可與接觸結(jié)構(gòu)102同心地進(jìn)行布置。
[0069]取代開環(huán)的非重疊間隙，在正交于接觸結(jié)構(gòu)102的邊界的方向上的非重疊間隙的原理也可應(yīng)用于如結(jié)合接觸布置100描述的兩個或更多的感測部分。
[0070]圖5示出接觸布置500的實施例。在附圖的底部示出沿著X-X的橫截面。接觸布置500可類似于結(jié)合圖4描述的接觸布置400，使得所描述的所有特征也可在這里應(yīng)用。
[0071]在各種實施例中，第一開環(huán)104和第二開環(huán)502被布置在不同的傳導(dǎo)平面中。例如，第一開環(huán)104可以在具有第一 Z坐標(biāo)Z1的平面中，且第二開環(huán)502可以在具有另一 Z坐標(biāo)Z2的平面中。Z方向可以是垂直或正交于接觸結(jié)構(gòu)102的平面的方向。
[0072]在各種實施例中，其中布置第一開環(huán)104和第二開環(huán)502的層可以是金屬層、導(dǎo)電(摻雜)多晶硅(Poly-Si )層或?qū)щ姅U(kuò)散區(qū)。導(dǎo)電多晶硅和擴(kuò)散區(qū)可以是具有高摻雜水平的半導(dǎo)體，其與半導(dǎo)體相比更像金屬一樣起作用(簡并半導(dǎo)體)。第一開環(huán)104可例如在金屬層中，例如在頂部金屬層中。
[0073]在各種實施例中，第一開環(huán)104和第二開環(huán)502可在垂直于接觸結(jié)構(gòu)102的平面的方向上彼此重疊。例如，第一開環(huán)104和第二開環(huán)502可在Z方向上彼此重疊。作為結(jié)果，第一開環(huán)104的某些部分可掩蓋第二開環(huán)502的某些部分，如可在圖5的頂部中看到的。
[0074]在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102可被布置在與第一開環(huán)104或第二開環(huán)502之一相同的傳導(dǎo)平面中。換句話說，接觸結(jié)構(gòu)102和第一開環(huán)104和第二開環(huán)502之一可具有相同的Z坐標(biāo)。例如，第一開環(huán)104和接觸結(jié)構(gòu)102可在相同的頂部金屬層中。
[0075]在各種實施例中，隔離層508可被布置在第一開環(huán)104和第二開環(huán)502之間。隔離層508可例如包括二氧化硅Si02。
[0076]在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102、第一開環(huán)104、隔離層508和第二開環(huán)502可被布置在半導(dǎo)體襯底上。在各種實施例中，第二開環(huán)502可以比第一開環(huán)104更接近于襯底。
[0077]在各種實施例中，感測電路116可耦合到接觸結(jié)構(gòu)102、第一開環(huán)104和第二開環(huán)502中的至少一個。在各種實施例中，第一開環(huán)104可具有第一端202和第二端204，其可耦合到感測電路116。在各種實施例中，第二開環(huán)502可具有第一端504和第二端506，其可耦合到感測電路116。
[0078]在各種實施例中，感測電路116可被配置成確定在第一開環(huán)104的第一端202和第二端204以及第二開環(huán)502的第一端504和第二端506中的至少一個之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個。電阻、電流或電壓可指示已經(jīng)存在由于在可充當(dāng)感測結(jié)構(gòu)的第一開環(huán)104或第二開環(huán)502上的不正確機(jī)械接觸而引起的影響。例如，第一開環(huán)104或第二開環(huán)502可在機(jī)械接觸期間已經(jīng)被損壞。它們可例如在測試期間例如已經(jīng)被探針刮擦，使得在第一端202、504和第二端204、506之間的電阻可能已經(jīng)增加。
[0079]在各種實施例中，感測電路116可被配置成確定在第一開環(huán)104和接觸結(jié)構(gòu)102、第二開環(huán)502和接觸結(jié)構(gòu)102以及第一開環(huán)104和第二開環(huán)502中的至少一個之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個。電阻、電流或電壓可指示已經(jīng)存在由于不正確機(jī)械接觸而引起的影響。例如，在第一開環(huán)104和接觸結(jié)構(gòu)102之間的電阻或電壓的降低可指示未對準(zhǔn)的布線接頭，其中布線接頭與第一開環(huán)104和接觸結(jié)構(gòu)102重疊。例如，在第一開環(huán)104和第二開環(huán)502之間的電阻或電壓的降低可指示在第一開環(huán)104和第二開環(huán)502之間的隔離層508例如通過用太大的接觸力的機(jī)械接觸而已經(jīng)被損壞，使得第一開環(huán)104和第二開環(huán)502彼此接觸。
[0080]雖然在圖5中只示出兩個開環(huán)，但可以有在不同的Z坐標(biāo)處布置的任何數(shù)量的開環(huán)。此外，接觸布置500也可與接觸布置400的教導(dǎo)相組合。例如，在一層中可以有多于一個的環(huán)，且環(huán)可與接觸結(jié)構(gòu)102同心。
[0081]圖6示出接觸布置600的實施例。在圖的底部示出沿著X-X的橫截面。接觸布置600可類似于結(jié)合圖5描述的接觸布置500，使得所描述的所有特征也可在這里應(yīng)用。
[0082]在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可包括在第一傳導(dǎo)平面中的至少一個感測部分602、在第二傳導(dǎo)平面中的至少一個感測部分604和將在第一傳導(dǎo)平面中的相應(yīng)感測部分602電連接到在第二傳導(dǎo)平面中的相應(yīng)感測部分604的至少一個導(dǎo)電元件606。
[0083]在各種實施例中，第一傳導(dǎo)平面可以在具有第一 Z坐標(biāo)Z1的平面中，而第二傳導(dǎo)平面可以在具有另一 Z坐標(biāo)Z2的平面中。Z方向可以是垂直或正交于接觸結(jié)構(gòu)102的平面的方向。在各種實施例中，第一和第二傳導(dǎo)平面可以是金屬層、導(dǎo)電(摻雜)多晶娃(Poly-Si)層或?qū)щ姅U(kuò)散區(qū)。導(dǎo)電多晶硅和擴(kuò)散區(qū)可以是具有高摻雜水平的半導(dǎo)體，其與半導(dǎo)體相比更像金屬一樣起作用(簡并半導(dǎo)體)。第一傳導(dǎo)平面可以例如是金屬層，例如頂部金屬層。在各種實施例中，接觸結(jié)構(gòu)102可被布置在與第一傳導(dǎo)平面相同的傳導(dǎo)平面中。換句話說，接觸結(jié)構(gòu)102和第一傳導(dǎo)平面可具有相同的Z坐標(biāo)。例如，第一傳導(dǎo)平面和接觸結(jié)構(gòu)102可以在相同的頂部金屬層中。
[0084]在各種實施例中，第一傳導(dǎo)平面的感測部分602可被布置在接觸結(jié)構(gòu)102周圍，如在圖6上所示的。例如，它們可沿著接觸結(jié)構(gòu)102的邊界例如在離邊界給定距離處被布置，如上所述。
[0085]在各種實施例中，第一傳導(dǎo)平面的相鄰感測部分602可具有在它們之間的間隙620或距離。換句話說，它們彼此不直接電接觸。在各種實施例中，第二傳導(dǎo)平面的相鄰感測部分604可具有在它們之間的間隙622或距離。換句話說，它們彼此不直接電接觸。
[0086]在各種實施例中，第一傳導(dǎo)平面的感測部分602和第二傳導(dǎo)平面的感測部分604可在垂直于接觸結(jié)構(gòu)102的平面的方向上(例如在Z方向上)彼此部分地重疊。
[0087]在各種實施例中，第二傳導(dǎo)平面的相應(yīng)感測部分604可被布置在第一傳導(dǎo)平面的相鄰感測部分602之間的相應(yīng)間隙620之下。
[0088]在各種實施例中，導(dǎo)電元件606可被布置在第一傳導(dǎo)平面的感測部分602和第二傳導(dǎo)平面的感測部分604的重疊部分之間。它可電連接第一傳導(dǎo)平面的感測部分602和第二傳導(dǎo)平面的感測部分604。在各種實施例中，導(dǎo)電元件606可以是通孔。
[0089]在各種實施例中，第一傳導(dǎo)平面的感測部分602可具有相應(yīng)的第一端612和相應(yīng)的第二端614，而第二傳導(dǎo)平面的感測部分604可具有相應(yīng)的第一端616和相應(yīng)的第二端618。
[0090]在各種實施例中，第一傳導(dǎo)平面的第一感測部分602的第二端614可經(jīng)由導(dǎo)電元件606連接到第二傳導(dǎo)平面的感測部分604的第一端616，且第一傳導(dǎo)平面的第二感測部分602的第一端612可經(jīng)由另一導(dǎo)電元件606連接到第二傳導(dǎo)平面的感測部分604的第二端618。第二傳導(dǎo)平面的第一感測部分604的第二端618可經(jīng)由導(dǎo)電元件606連接到第一傳導(dǎo)平面的感測部分602的第一端612，而第二傳導(dǎo)平面的第二感測部分604的第一端616可經(jīng)由另一導(dǎo)電元件606連接到第一傳導(dǎo)平面的感測部分602的第二端614。以這種方式，第一傳導(dǎo)平面的感測部分602和第二傳導(dǎo)平面的感測部分604可串聯(lián)地電連接到彼此。例如，它們可如上所述形成閉環(huán)或形成開環(huán)作為感測結(jié)構(gòu)104，其中環(huán)的感測部分以交替的方式布置在第一傳導(dǎo)平面和第二傳導(dǎo)平面中。
[0091]結(jié)合圖1到5討論的接觸布置的所有測量可應(yīng)用于接觸布置600。在各種實施例中，環(huán)可具有重疊的第一端608和第二端610,可以有布置在接觸區(qū)域102周圍的多于一個的同心環(huán)且可以有具有在多于兩個的Z坐標(biāo)處的感測部分的多于兩個的傳導(dǎo)層。雖然感測部分602、604和接觸區(qū)域102被示為矩形的，但它們可具有任何形狀，如上所述。
[0092]在各種實施例中，導(dǎo)電元件606可被配置為感測結(jié)構(gòu)104的預(yù)先確定機(jī)械斷點(diǎn)。換句話說，與接觸布置600的其它部分比較，導(dǎo)電元件606可表示機(jī)械上弱的部分。在各種實施例中，導(dǎo)電元件606可由比其它部分更硬或脆得多的材料制成。在各種實施例中，如果平行或正交于接觸結(jié)構(gòu)102的平面的力被施加在第一傳導(dǎo)層的感測部分602上，則導(dǎo)電元件606將在其它部分?jǐn)嗔阎皵嗔?，從而引起環(huán)中的電中斷。力可例如出現(xiàn)在不正確機(jī)械接觸期間，例如，如果布線接頭或探針未對準(zhǔn)或使用了太高的接觸力，如上所述。
[0093]在各種實施例中，感測電路116可耦合到環(huán)的第一端608和第二端610以檢測環(huán)的中斷。在各種實施例中，感測電路116可被配置成確定在環(huán)104的第一端608和第二端610以及環(huán)104和接觸結(jié)構(gòu)102中的至少一個之間的電阻、電流和電壓(或電位差)中的至少一個。電阻、電流或電壓可指示已經(jīng)存在由于不正確機(jī)械接觸而引起的影響。
[0094]圖7示出方法700的實施例。在各種實施例中，該方法可用于檢測接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸。不正確機(jī)械接觸可以例如是未對準(zhǔn)的機(jī)械接觸或具有太高的接觸力的機(jī)械接觸。
[0095]在各種實施例中，方法700可包括將至少一個感測結(jié)構(gòu)布置在接觸結(jié)構(gòu)附近，使得接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸將影響感測結(jié)構(gòu)，而接觸結(jié)構(gòu)的正確機(jī)械接觸將不影響感測結(jié)構(gòu)的步驟702。
[0096]在各種實施例中，方法700可包括機(jī)械接觸所述接觸結(jié)構(gòu)的步驟703。在各種實施例中，機(jī)械接觸可以是使用接觸部分(諸如測試探針或布線接頭)的接觸。
[0097]在各種實施例中，方法700可包括測量或確定在接觸結(jié)構(gòu)和感測結(jié)構(gòu)之間的電壓、在接觸結(jié)構(gòu)和感測結(jié)構(gòu)之間流動的電流、在接觸結(jié)構(gòu)和感測結(jié)構(gòu)之間的電阻以及在機(jī)械地接觸所述接觸結(jié)構(gòu)之后的感測結(jié)構(gòu)的電阻中的至少一個的步驟704。
[0098]在各種實施例中，方法700可包括將所測量或確定的電壓、電流和電阻中的至少一個與對應(yīng)的限制或閾值進(jìn)行比較的步驟706。
[0099]在各種實施例中，如果所測量或確定的電壓、電流和電阻超過相應(yīng)限制或閾值，則該方法可以以步驟708繼續(xù)。在步驟708中，可輸出指示相應(yīng)的限制或閾值已被超過的信號。在各種實施例中，信號可指示不正確機(jī)械接觸已發(fā)生。例如，它可指示探針或布線接頭已經(jīng)未對準(zhǔn)或錯放，或在機(jī)械地接觸所述接觸結(jié)構(gòu)時使用了太高的力，或感測結(jié)構(gòu)以某種方式或其它方式被損壞。在各種實施例中，可在接觸布置的產(chǎn)生期間執(zhí)行測量。
[0100]在各種實施例中，如果所測量或確定的電壓、電流和電阻不超過或低于相應(yīng)的限制或閾值，則流程可返回到步驟704并以測量或確定電壓、電流和電阻中的至少一個繼續(xù)。在各種實施例中，可在接觸布置的操作期間執(zhí)行測量。例如，測量可連續(xù)地、周期性地被執(zhí)行為例如內(nèi)建自測試的部分，或非周期性地例如在具有接觸布置的電路的啟動期間被執(zhí)行。
[0101]在各種實施例中，信號也可指示在可能隨著時間而已經(jīng)出現(xiàn)的接觸布置中的變化。例如，這樣的變化可由于老化過程、腐蝕或機(jī)械應(yīng)力而出現(xiàn)。例如，老化過程可能由于溫度或濕度極端狀況或由于溫度或濕度周期的數(shù)量。
[0102]在各種實施例中，方法700可以以步驟708停止。
[0103]在各種實施例中，在沒有執(zhí)行測量的時間期間，感測結(jié)構(gòu)可連接到預(yù)先限定的電位或接觸結(jié)構(gòu)。例如，感測結(jié)構(gòu)可通過如上所述的開關(guān)來連接到預(yù)先限定的電位或接觸結(jié)構(gòu)。
[0104]圖8示出方法800的實施例。在各種實施例中，該方法可用于檢測布線接頭相對于接合焊盤的未對準(zhǔn)。
[0105]在各種實施例中，方法800可包括將至少一個導(dǎo)電感測結(jié)構(gòu)布置在接合焊盤附近，使得未對準(zhǔn)的布線接頭將接觸感測結(jié)構(gòu)和接合焊盤的步驟802。
[0106]在各種實施例中，方法800可包括布線接合該接合焊盤的步驟803。在各種實施例中，布線接合可以是球接頭或楔形接頭。
[0107]在各種實施例中，方法800可包括測量或確定在接合焊盤和感測結(jié)構(gòu)之間的電壓、在接合焊盤和感測結(jié)構(gòu)之間流動的電流和在接合焊盤和感測結(jié)構(gòu)之間的電阻中的至少一個的步驟804。
[0108]在各種實施例中，方法800可包括將所測量或確定的電壓、電流和電阻中的至少一個與相應(yīng)的限制或閾值進(jìn)行比較的步驟806。
[0109]在各種實施例中，如果所測量或確定的電壓、電流和電阻超過相應(yīng)限制或閾值，則該方法可以以步驟808繼續(xù)。在步驟808中，可輸出指示限制或閾值已被超過的信號。在各種實施例中，信號可指示布線接頭例如相對于接合焊盤未對準(zhǔn)或移位。
[0110]在各種實施例中，信號可指示可隨著時間而已經(jīng)出現(xiàn)的在布線接頭中的改變。例如，這樣的改變可由于老化過程、腐蝕或機(jī)械應(yīng)力而出現(xiàn)。例如，老化過程可能由于溫度或濕度極端狀況或由于溫度或濕度周期的數(shù)量。
[0111]在各種實施例中，如果所測量或確定的電壓、電流和電阻不超過或低于相應(yīng)的限制或閾值，則流程可返回到步驟804并以測量或確定電壓、電流和電阻中的至少一個繼續(xù)。在各種實施例中，可在接觸布置的操作期間執(zhí)行測量。例如，測量可連續(xù)地、周期性地被執(zhí)行作為例如內(nèi)建自測試的部分，或非周期性地例如在具有接合焊盤和接合布線的電路的啟動期間被執(zhí)行。
[0112]在各種實施例中，800可以以步驟808停止。
[0113]在各種實施例中，在沒有執(zhí)行測量的時間期間，感測結(jié)構(gòu)可連接到預(yù)先限定的電位或接合焊盤。例如，感測結(jié)構(gòu)可通過如上所述的開關(guān)連接到預(yù)先限定的電位或接合焊盤。
[0114]在各種實施例中，可使用上面描述的接觸布置100、200、300、400、500、600中的任何一個接觸布置來執(zhí)行方法700、800。在各種實施例中，接觸布置100、200、300、400、500、600可通過方法700、800來操作。
[0115]接觸布置100、200、300、400、500、600的實施例和對應(yīng)的圖1到6只示出一個接觸結(jié)構(gòu)102。然而在各種實施例中，例如當(dāng)接觸結(jié)構(gòu)102包括多個接觸部分時可以有多于一個的接觸結(jié)構(gòu)102，且方法700、800可應(yīng)用于多個接觸部分。接觸部分可具有上面描述的接觸結(jié)構(gòu)102的一些或所有特征。
[0116]在各種實施例中，感測結(jié)構(gòu)104可圍繞多個接觸部分。例如，感測結(jié)構(gòu)102可以是閉環(huán)或開環(huán)或圍繞多個接觸部分的多個感測部分。
[0117]在各種實施例中，一些或所有接觸部分可具有相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)104，即，相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)可被布置在相應(yīng)的接觸部分附近并被配置成使得相應(yīng)的接觸部分的正確機(jī)械接觸將不影響相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)，且相應(yīng)的接觸部分的不正確機(jī)械接觸將影響相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)。換句話說，可以有多個接觸布置。
[0118]在各種實施例中，多個接觸部分和感測結(jié)構(gòu)或相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)104可連接到感測電路116，像上面描述的接觸結(jié)構(gòu)和感測結(jié)構(gòu)或感測部分。作為第一示例，一些或所有相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)或感測部分104可彼此串聯(lián)連接。串聯(lián)連接的相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)中的第一個和最后一個可連接到感測電路116。作為第二示例，一些或所有相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)104及其相應(yīng)的接觸部分可連接到它們自己的或相應(yīng)的感測電路116。作為第三示例，一些或所有相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)104及其相應(yīng)的接觸部分可連接到復(fù)用器并被復(fù)用到感測電路116。復(fù)用器可由控制單元操作。在各種實施例中，在第一示例、第二示例和第三示例中的至少一個的組合中，相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)及其相應(yīng)的接觸部分可連接到感測電路116。
[0119]雖然參考特定的實施例特別示出和描述了本發(fā)明，本領(lǐng)域中的技術(shù)人員應(yīng)理解，在不脫離如所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在形式和細(xì)節(jié)上做出各種改變。本發(fā)明的范圍因此由所附權(quán)利要求指示，且因此意在包括出現(xiàn)在權(quán)利要求的等同形式的意義和范圍內(nèi)的所有改變。
【權(quán)利要求】
1.一種接觸布置，包括:接觸結(jié)構(gòu)；感測結(jié)構(gòu)，其被布置在所述接觸結(jié)構(gòu)附近并被配置成使得所述接觸結(jié)構(gòu)的正確機(jī)械接觸將不影響所述感測結(jié)構(gòu)；以及所述接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸將影響所述感測結(jié)構(gòu)。
2.權(quán)利要求1所述的接觸布置，還包括:感測電路，其耦合到至少所述感測結(jié)構(gòu)并被配置成檢測對所述感測結(jié)構(gòu)的影響。
3.權(quán)利要求2所述的接觸布置，其中所述接觸結(jié)構(gòu)是導(dǎo)電的并耦合到所述感測電路；以及所述感測結(jié)構(gòu)包括布置在所述接觸結(jié)構(gòu)的邊界附近的至少一個導(dǎo)電部分。
4.權(quán)利要求3所述的接觸布置，其中所述接觸結(jié)構(gòu)是接合焊盤。
5.權(quán)利要求1所述的接觸布置，其中所述接觸結(jié)構(gòu)和所述感測結(jié)構(gòu)被布置在相同的傳導(dǎo)層中。
6.權(quán)利要求5所述的接觸布置，其中所述接觸結(jié)構(gòu)和所述感測結(jié)構(gòu)包括相同種類的表面。
7.權(quán)利要求1所述的接觸布置，其中所述感測結(jié)構(gòu)在下列項之一中形成:金屬層；導(dǎo)電多晶硅層；以及導(dǎo)電擴(kuò)散區(qū)。
8.權(quán)利要求2所述的接觸布置，其中所述感測電路被配置成確定下列項中的至少一個:在所述感測結(jié)構(gòu)和所述接觸結(jié)構(gòu)之間的電阻；電流；以及電壓。
9.權(quán)利要求2所述的接觸布置，其中所述感測結(jié)構(gòu)包括圍繞所述接觸結(jié)構(gòu)的至少一個閉環(huán)。
10.權(quán)利要求2所述的接觸布置，其中所述感測結(jié)構(gòu)包括圍繞所述接觸結(jié)構(gòu)的至少一個開環(huán)；以及其中所述至少一個開環(huán)的所述第一端和第二端耦合到所述感測電路。
11.權(quán)利要求10所述的接觸布置，其中所述感測電路被配置成確定下列項中的至少一個:在所述至少一個開環(huán)的所述第一端和所述第二端之間的電阻；電流；以及電壓。
12.權(quán)利要求10所述的接觸布置， 其中所述第一端和所述第二端在正交于所述接觸結(jié)構(gòu)的邊界的方向上重疊。
13.權(quán)利要求10所述的接觸布置， 其中在所述至少一個開環(huán)的第一開環(huán)的第一端和第二端之間形成的第一間隙和在所述至少一個開環(huán)的第二開環(huán)的第一端和第二端之間形成的第二間隙不在正交于所述接觸結(jié)構(gòu)的邊界的方向上重疊。
14.權(quán)利要求13所述的接觸布置， 其中所述第一開環(huán)和所述第二開環(huán)被布置在相同的傳導(dǎo)平面中。
15.權(quán)利要求13所述的接觸布置， 其中所述接觸結(jié)構(gòu)被布置在與所述第一開環(huán)和所述第二開環(huán)相同的傳導(dǎo)平面中。
16.權(quán)利要求10所述的接觸布置， 其中所述至少一個開環(huán)的第一開環(huán)和所述至少一個開環(huán)的第二開環(huán)被布置在不同的傳導(dǎo)平面中。
17.權(quán)利要求16所述的接觸布置， 其中所述接觸結(jié)構(gòu)被布置在與所述第一開環(huán)和所述第二開環(huán)之一相同的傳導(dǎo)平面中。
18.權(quán)利要求16所述的接觸布置， 其中所述第一開環(huán)和所述第二開環(huán)在垂直于所述接觸結(jié)構(gòu)的平面的方向上彼此重疊。
19.權(quán)利要求10所述的接觸布置， 其中所述感測電路被配置成確定下列項中的至少一個: 在下列項中的至少一個: 所述第一開環(huán)和所述接觸結(jié)構(gòu)； 所述第二開環(huán)和所述接觸結(jié)構(gòu)；以及 所述第一開環(huán)和所述第二開環(huán)之間的 電阻； 電流；以及 電壓。
20.權(quán)利要求13所述的接觸布置， 其中所述第一開環(huán)的所述第一端和所述第二端以及所述第二開環(huán)的所述第一端和所述第二端耦合到所述感測電路。
21.權(quán)利要求1所述的接觸布置， 其中所述感測結(jié)構(gòu)包括: 在第一傳導(dǎo)平面中的至少一個感測部分； 在第二傳導(dǎo)平面中的至少一個感測部分；以及 配置成將在所述第一傳導(dǎo)平面中的感測部分電連接到在所述第二傳導(dǎo)平面中的感測部分的至少一個導(dǎo)電兀件， 其中所述至少一個導(dǎo)電元件被配置為所述感測結(jié)構(gòu)的預(yù)先確定的機(jī)械斷點(diǎn)。
22.權(quán)利要求2所述的接觸布置，還包括: 開關(guān)，其被配置成將所述感測結(jié)構(gòu)連接到下列項中的至少一個: 所述感測電路； 所述接觸結(jié)構(gòu)；以及 固定電位。
23.權(quán)利要求1所述的接觸布置，其中 所述接觸結(jié)構(gòu)和所述感測結(jié)構(gòu)被布置在下列項之一上: 半導(dǎo)體襯底；以及 印刷電路板。
24.權(quán)利要求1所述的接觸布置，其中 所述接觸結(jié)構(gòu)包括多個接觸部分。
25.權(quán)利要求24所述的接觸布置，其中 其中相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)被布置在相應(yīng)的接觸部分附近并被配置成使得: 所述相應(yīng)的接觸部分的正確機(jī)械接觸將不影響所述相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)；以及 所述相應(yīng)的接觸部分的不正確機(jī)械接觸將影響所述相應(yīng)的感測結(jié)構(gòu)。
26.一種用于檢測接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸的方法，包括: 將至少一個感測結(jié)構(gòu)布置在所述接觸結(jié)構(gòu)附近，使得所述接觸結(jié)構(gòu)的不正確機(jī)械接觸將影響所述感測結(jié)構(gòu)并且所述接觸結(jié)構(gòu)的正確機(jī)械接觸將不影響所述感測結(jié)構(gòu)； 機(jī)械地接觸所述接觸結(jié)構(gòu)；以及 測量下列項中的至少一個: 在所述接觸結(jié)構(gòu)和所述感測結(jié)構(gòu)之間的電壓； 在所述接觸結(jié)構(gòu)和所述感測結(jié)構(gòu)之間流動的電流； 在所述接觸結(jié)構(gòu)和所述感測結(jié)構(gòu)之間的電阻；以及 所述感測結(jié)構(gòu)的電阻。
27.權(quán)利要求26所述的方法， 其中所述測量在接觸布置的產(chǎn)生期間被執(zhí)行。
28.權(quán)利要求26所述的方法， 其中所述測量在接觸布置的操作期間被執(zhí)行。
29.權(quán)利要求26所述的方法， 其中在沒有測量的時間期間，所述感測結(jié)構(gòu)連接到下列項中的一個: 預(yù)先限定的電位；以及 所述接觸結(jié)構(gòu)。
30.一種用于檢測布線接頭相對于接合焊盤的未對準(zhǔn)的方法，包括: 將至少一個傳導(dǎo)感測結(jié)構(gòu)布置在所述接合焊盤附近，使得未對準(zhǔn)的布線接頭將接觸所述感測結(jié)構(gòu)和所述接合焊盤，且對準(zhǔn)的布線接頭將不接觸所述感測結(jié)構(gòu)； 布線接合所述接合焊盤；以及 測量下列項中的至少一個: 在所述接合焊盤和所述感測結(jié)構(gòu)之間的電壓； 在所述接合焊盤和所述感測結(jié)構(gòu)之間流動的電流；以及 在所述接合焊盤和所述感測結(jié)構(gòu)之間的電阻。
【文檔編號】G01R31/02GK104459432SQ201410481863
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年9月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月20日
【發(fā)明者】W.霍恩, M.維斯納 申請人:英飛凌科技股份有限公司