物理量傳感器、振動裝置、電子設備以及移動體的制作方法

物理量傳感器、振動裝置、電子設備以及移動體的制作方法
【專利摘要】本發明提供一種物理傳感器、振動裝置、電子設備以及移動體。所述物理量傳感器具備：基板；固定部以及布線，其被設置在基板上；接觸部，其對固定部和布線進行電連接；可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接，在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的所述固定部上，所述第一區域為將被與所述可動電極和所述固定部連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的位移方向上假想延伸而成的區域。
【專利說明】物理量傳感器、振動裝置、電子設備以及移動體

【技術領域】
[0001]本發明涉及一種物理量傳感器、振動裝置、電子設備以及移動體。

【背景技術】
[0002]—般，已知一種作為具備了機械地可動的結構體的電氣機械系統結構體的物理量傳感器和振動裝置。作為物理量傳感器，例如，已知一種如下的電容型傳感器，所述電容型傳感器具備固定電極和可動電極，并且根據固定電極與可動電極之間的靜電電容而對物理量進行檢測，其中，所述固定電極被固定配置在基板上，所述可動電極相對于固定電極以相隔間隔的方式對置并且以能夠根據物理量(加速度、角速度等)的作用而進行位移的方式被設置。
[0003]這樣的電容型傳感器，例如，被構成為，通過將可動電極以及固定電極形成為梳齒狀，并且在可動電極的一側或兩側以各自的梳齒對置嚙合的方式配置固定電極并進行布線，從而形成比較大的靜電電容。
[0004]在專利文獻I中提出了如下的技術方案，即，在這種結構的物理量傳感器中，通過在可動電極的固定部(錨固部)與可動電極之間設置應力切斷用的狹縫，從而防止因外部應力而引起的可動電極的形變。由于外部應力在狹縫處被緩沖，從而能夠防止可動電極的形變，因此能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0005]但是，在專利文件I的技術中存在如下的課題，即，不能完全吸收在固定部上產生的外部應力等問題。具體而言，即使如專利文獻I所示那樣具備了狹縫的情況下，也存在如下課題，即，未形成狹縫的區域(對置的狹縫的間隙的區域)將作為能夠從固定部向可動電極直接傳遞應力的區域而殘留，此外，由于該區域存在于可動電極的基部(被固定部所支承，集中有梳齒狀的電極部分的部分)的位移方向(可動方向)的延長線上的附近，因此由于在固定部上所產生的應力而可動電極將會發生形變、或者對可動電極的位移造成影響等課題。特別是，存在以下的課題，即，在將與固定部相連接的電氣布線設置在固定部的下層并使從固定部的下層進行接觸的結構的情況下，在接觸部上所產生的從下層向上突出的應力通過應力切斷用狹縫而不能被完全吸收等課題。
[0006]專利文件1:日本特開2013-19906號公報


【發明內容】

[0007]本發明是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，能夠作為以下的應用例或方式來實現。
[0008]應用例I
[0009]本應用例所涉及的物理量傳感器的特征在于，具備:基板；固定部以及布線，其被設置在所述基板上；接觸部，其對所述固定部和所述布線進行電連接；可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接，在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的位移方向上假想延伸而成的區域。
[0010]根據本應用例，接觸部被設置在第一區域外的第二區域的固定部上，所述第一區域為，將被可動電極與固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于可動電極的位移方向上假想延伸而成的區域。
[0011]一般情況下，使由不同的材料所形成的部件、或即使材料相同但是形成為不同的獨立的形狀的部件相抵接的接觸部，因材料的熱膨脹系數的差或部件的形狀、使相抵接的結構等，而相對于被抵接部(固定部)而產生應力(機械應力以及熱應力)。根據本應用例，接觸部被設置在第一區域外的第二區域的固定部上。即，在接觸部上所產生的應力不會直接傳遞至固定支點區域(即包含與可動電極和固定電極連接的部分的區域)，而是從第二區域經由第一區域的固定部而被傳遞至固定支點區域。因此，例如，即使將與固定部連接的電氣布線設置在固定部的下層，并使從固定部的下層進行接觸的結構的情況下，也能夠降低該應力(從固定部的下層向接觸部的應力)傳遞至可動電極的程度。其結果為，能夠抑制因可動電極所受到的應力而可動電極發生形變、或對可動電極的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0012]應用例2
[0013]本應用例所涉及的物理量傳感器的特征在于，具備:基板；固定部以及布線，其被設置在所述基板上；接觸部，其對所述固定部以及所述布線進行電連接；可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接，在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的經由所述固定部而被連接設置的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的位移方向上假想延伸而成的區域。
[0014]根據本應用例，接觸部被設置在第一區域外的第二區域的經由固定部而被連接設置的固定部上，所述第一區域為，將被可動電極與固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于可動電極的位移方向上假想延伸而成的區域。
[0015]根據本使用例，接觸部被設置在第一區域外的第二區域的經由固定部而被連接設置的固定部上。即，在接觸部上所產生的應力不會直接傳遞至固定支點區域(即包含與可動電極和固定電極連接的部分的區域)，而是從第二區域經由第一區域外的第二區域的固定部以及第一區域的固定部而被傳遞至固定支點區域。因此，例如，即使將與固定部連接的電氣布線設置在固定部的下層，并使從固定部的下層進行接觸的結構的情況下，也能夠降低該應力(從固定部的下層向接觸部的應力)傳遞至可動電極的程度。其結果為，能夠抑制因可動電極所受到的應力而可動電極發生形變、或對可動電極的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0016]應用例3
[0017]上述應用例所涉及的物理量傳感器的特征在于，所述固定部與所述布線以在俯視觀察時所述固定部覆蓋所述布線的一部分的方式通過所述接觸部而電連接。
[0018]如本應用例所示，由于即使在將與固定部連接的電氣布線設置在固定部的下層，并使從固定部的下層進行接觸的結構的情況下，也能夠降低在接觸部上所產生的應力傳遞至可動電極的程度，因此能夠抑制可動電極發生形變、或對可動電極的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0019]應用例4
[0020]上述應用例所涉及的物理量傳感器的特征在于，所述可動電極包括連結部，所述固定支點區域為被所述連結部與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的區域。
[0021]根據本應用例，固定支點區域為被與連結部和固定部連接的區域所夾持的區域。例如連結部作為能夠使可動電極更容易位移的屈曲部而構成。在這樣的結構中，能夠降低應力從接觸部被傳遞至固定支點區域、即包含與連結部和固定部連接的部分的區域，因此，同樣地，抑制了因可動電極所受到的應力而可動電極發生形變、或對可動電極的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0022]應用例5
[0023]上述應用例所涉及的物理量傳感器的特征在于，所述基板為玻璃基板，所述固定部以及所述可動電極由被層疊在所述玻璃基板上的硅基板構成。
[0024]根據本應用例，固定部以及可動電極，能夠通過對被層積在玻璃基板上的硅基板進行利用光刻蝕劑的圖案形成以及光刻蝕，從而能夠更加簡單地被形成。另外，由于即使在因玻璃基板與硅基板之間的熱膨脹系數的不同從而在接觸部上發生熱應力的情況下，從接觸部被傳遞至固定支點區域的應力被降低的結構，因此能夠抑制因可動電極所受到的應力而導致可動電極發生形變、或對可動電極的位移造成影響，能夠防止作為傳感器的檢測精度的降低。
[0025]應用例6
[0026]本應用例所涉及的振動裝置的特征在于，具備:基板；固定部以及布線，其被設置在所述基板上；接觸部，其對所述固定部以及所述布線進行電連接；可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接，在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的振動面方向上假想延伸而成的區域。
[0027]根據本應用例，接觸部被設置在第一區域外的第二區域的所述固定部上，所述第一區域為將被與所述可動電極和所述固定部連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的振動面方向上假設延長的區域。
[0028]一般，使由不同的材料所形成的部件、或即使材料相同但是形成為不同的獨立的形狀的部件相抵接的接觸部，因材料的熱膨脹系數的差或部件的形狀、使相抵接的結構等，而相對于被抵接部(固定部)而產生應力(機械應力以及熱應力)。根據本應用例，接觸部被設置在第一區域外的第二區域的固定部上。即，在接觸部上所產生的應力不會直接傳遞至固定支點區域(即包含與可動電極和固定電極連接的部分的區域)，而是從第二區域經由第一區域的固定部而被傳遞至固定支點區域。因此，例如，即使將與固定部連接的電氣布線設置在固定部的下層，并使從固定部的下層進行接觸的結構的情況下，也能夠降低該應力(從固定部的下層向接觸部的應力)傳遞至可動電極的程度。其結果為，能夠抑制因可動電極所受到的應力而可動電極發生形變、或對可動電極的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0029]應用例7
[0030]本應用例所涉及的振動裝置的特征在于，具備:基板；固定部以及布線，其被設置在所述基板上；接觸部，其對所述固定部以及所述布線進行電連接；可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接，在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的經由所述固定部而被連接設置的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的振動面方向上假想延伸而成的區域。
[0031]根據本應用例，接觸部被設置在第一區域外的第二區域的經由所述固定部而被連接設置的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的振動面方向上假想延伸而成的區域。
[0032]根據本使用例，接觸部被設置在第一區域外的第二區域的經由固定部而被連接設置的固定部上。即，在接觸部上所產生的應力不會直接傳遞至固定支點區域(即包含與可動電極和固定電極連接的部分的區域)，而是從第二區域經由第一區域外的第二區域的固定部以及第一區域的固定部而被傳遞至固定支點區域。因此，例如，即使將與固定部連接的電氣布線設置在固定部的下層，并使從固定部的下層進行接觸的結構的情況下，也能夠降低該應力(從固定部的下層向接觸部的應力)傳遞至可動電極的程度。其結果為，能夠抑制因可動電極所受到的應力而可動電極發生形變、或對可動電極的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0033]應用例8
[0034]上述應用例所涉及的振動裝置的特征在于，所述固定部與所述布線以在俯視觀察時所述固定部覆蓋所述布線的一部分的方式通過所述接觸部而電連接。
[0035]如本應用例所示，由于即使在將與固定部連接的電氣布線設置在固定部的下層，并使從固定部的下層進行接觸的結構的情況下，也能夠降低在接觸部上所產生的應力傳遞至可動電極的程度，因此能夠抑制可動電極發生形變、或對可動電極的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0036]應用例9
[0037]本應用例所涉及的電子設備，具備上述應用例所涉及的物理量傳感器。
[0038]根據本應用例，作為電子設備，通過具備能夠進一步抑制了檢測精度的下降的物理量傳感器，因此能夠提供一種工作精度更高的電子設備。
[0039]應用例10
[0040]本應用例所涉及的移動體，具備上述應用例所涉及的物理量傳感器。
[0041]根據本應用例，作為移動體，通過具備能夠進一步抑制了檢測精度的下降的物理量傳感器，因此能夠提供一種工作精度更高的移動體。
[0042]應用例11
[0043]本應用例所涉及的電子設備的特征在于，具備上述應用例所涉及的振動裝置。
[0044]根據本應用例，作為電子設備，通過具備能夠進一步抑制了檢測精度的下降的振動裝置，因此能夠提供一種工作精度更高的電子設備。
[0045]應用例12
[0046]本應用例所涉及的移動體的特征在于，具備上述應用例所涉及的振動裝置。
[0047]根據本應用例，作為移動體，通過具備能夠進一步抑制了檢測精度的下降的振動裝置，因此能夠提供一種工作精度更高的移動體。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0048]圖1 (a)?(d)為表示實施方式I所涉及的物理量傳感器的模式圖。
[0049]圖2(a)?(d)為表不現有技術中的物理量傳感器的模式圖。
[0050]圖3(a)?(C)為表示實施方式2所涉及的振動裝置的模式圖。
[0051]圖4(a)為表示作為電子設備的一個示例的便攜型的個人電腦的結構的立體圖，(b)為表示作為電子設備一個示例的移動電話的結構的立體圖。
[0052]圖5為表示作為電子設備的一個示例的數碼相機的結構的立體圖。
[0053]圖6為概要性地表示作為移動體的一個示例的汽車的立體圖。
[0054]圖7(a)?(C)為表示改變例I?3所涉及的物理量傳感器的固定部以及接觸部的平面圖。
[0055]圖8為表示改變例4所涉及的振動裝置的平面圖。

【具體實施方式】
[0056]以下參照附圖，對將本發明具體化的實施方式進行說明。以下為本發明的一個實施方式，而并非對本發明進行限定。另外，為了易于進行說明，在以下的各附圖中，也存在以與實際的尺寸不同的尺寸進行記載的情況。
[0057]實施方式I
[0058]首先，對實施方式I所涉及的物理量傳感器進行說明。
[0059]圖1 (a)?(d)為表示實施方式I所涉及的物理量傳感器100的模式圖，圖1 (a)為平面圖，圖1(b)為圖1(a)中的E部分的放大圖，圖1(c)為圖1(b)的B-B剖視圖，圖1(d)為圖1 (a)的A-A首I]視圖。
[0060]另外，在以下，為了便于說明，在圖中所標記的XYZ軸中，將X方向作為右方向而進行說明，并將X軸方向(±χ方向)作為橫向而進行說明，并將Y方向作為縱深方向而進行說明，并將Y軸方向(土Y方向)作為前后方向而進行說明，并將Z方向作為上方向而進行說明，并將Z軸方向(土Z方向)作為上下方向、或者后述的基板10的厚度方向而進行說明。
[0061]物理量傳感器100具備基板10、傳感器元件20、布線30等。
[0062]傳感器元件20具備:固定部41、42，可動電極50，固定電極60等。
[0063]可動電極50具備連結部51、52，可動電極指53、54，可動基部55。
[0064]基板10是作為底基板而對傳感器元件20進行支承的板狀體。
[0065]基板10在其作為主面的上表面上設置有凹部70。在俯視觀察該基板10時，該凹部70被形成在對傳感器元件20的可動電極50 (連結部51、52，可動電極指53、54以及可動基部55)進行收納的區域中。
[0066]在俯視觀察基板10時，固定部41、42在凹部70的區域的外側的區域中以與基板10的主面接合的方式被設置。具體而言，固定部41與基板10的主面的相對于凹部70而-X方向側(圖中左側)的部分接合，固定部42與基板10的主面的相對于凹部70而+X方向側(圖中右側)的部分接合。另外，在俯視觀察時，固定部41、42分別以橫跨凹部70的外周邊緣部的方式被設置。
[0067]可動基部55為長邊方向沿著X方向的長方形的板狀體，并且可動基部55在固定部41、42之間經由連結部51、52而以脫離基板10的方式被支承于基板10上。更加具體而言，可動基部55的左側的端部經由連結部51而連結于固定部41，并且可動基部55的右側的端部經由連結部52而連結于固定部42。
[0068]可動基部55的+Y側的長邊部分起向+Y方向延伸出多個(在本實施方式中為三個)梁狀的可動電極指53，并且，從可動基部55的-Y側的長邊部分起向-Y方向延伸出多個(在本實施方式中為三個)梁狀的可動電極指54。
[0069]凹部70作為用于使可動電極50(連結部51、52，可動電極指53、54，可動基部55)從基板10離開的退讓部而被形成。另外，取代凹部70，該退讓部也可以是在厚度方向上貫通基板10的貫通孔。另外，雖然在本實施方式中，凹部70的俯視形狀呈矩形，但并不限定于此。
[0070]連結部51、52以使可動基部55相對于固定部41、42而能夠進行位移的方式進行連結。在本實施方式中，連結部51、52被構成為，如在圖1中用箭頭標記a所示，能夠使可動基部55在X軸方向上進行位移。
[0071]在Y軸方向上延伸的多個可動電極指53以及多個可動電極指54，以分別在可動電極50進行位移的X軸方向上排列的方式被設置。
[0072]具體而言，連結部51由兩個(一對)梁構成，分別呈在Y軸方向上彎曲且在+X方向上延伸的形狀。換言之，各個梁呈在Y軸方向上多次(在本實施方式中為三次)折返的形狀。另外，各個梁的折返次數可以為I次或2次，也可以為4次以上。
[0073]連結部52也同樣地由呈在Y軸方向上彎曲且在-X方向上延伸的形狀的一對梁構成。
[0074]固定電極60具備多個固定電極指61、62，該固定電極指61、62以呈相對于可動電極50的多個可動電極指53、54而相隔間隔并嚙合的梳齒狀的方式排列。
[0075]固定電極指61被配置為，一對固定電極指61在X軸方向的兩側對置地隔開間隔而夾著一個可動電極指53 (因此，為2個X 3處)。另外，同樣地，固定電極指62被配置為，一對固定電極指62在X軸方向的兩側對置地隔開間隔而夾著一個可動電極指54 (因此，為2個X3處)。
[0076]在俯視觀察基板10時，固定電極指61、62在基板10的主面上，以在凹部70的區域的外側的區域內，各個固定電極指61、62的一側的端部與主面接合的方式被設置。具體而言，固定電極指61的與可動電極50側相反側(相對于可動電極50而+Y側)的端部分別與基板10的上表面的相對于凹部70而+Y方向側的部分相接合。另外，各固定電極指61中，將其被固定的一側的端部設為固定端，自由端向-Y方向延伸。同樣地，固定電極指62的與可動電極50側相反側(相對于可動電極50而-Y側)的端部分別與基板10的上表面的相對于凹部70而-Y方向側的部分相接合，并且將其被固定的一側的端部設為固定端，自由端向+Y方向延伸。
[0077]通過采用這種結構，從而能夠根據可動電極50的位移，而使固定電極指61中的位于可動電極指53的+X側的固定電極指61 (以下，稱為第一固定電極指)與可動電極指53之間的靜電電容，以及，固定電極指61中的位于可動電極指53的-X側的固定電極指61 (以下，稱為第二固定電極指)與可動電極指53之間的靜電電容發生變化。
[0078]同樣地，能夠根據可動電極50的位移，而使固定電極指62中的位于可動電極指54的+X側的固定電極指62(以下，同樣地稱為第一固定電極指)與可動電極指54之間的靜電電容，以及，固定電極指62中的位于可動電極指54的-X側的固定電極指62 (以下，同樣地稱為第二固定電極指)與可動電極指54之間的靜電電容發生變化。
[0079]第一固定電極指與第二固定電極指在基板10上相互分離，并并且電氣絕緣。因此，能夠分別對第一固定電極指與可動電極50 (可動電極指53、54)之間的靜電電容、以及第二固定電極指與可動電極50(可動電極指53、54)之間的靜電電容進行測量，并根據這些測量結果，高精度地對物理量進行檢測。
[0080]即，傳感器元件20中，例如根據加速度和角速度等物理量的變化，可動電極50 (可動電極指53、54)使連結部51、52發生彈性形變，并且在X軸方向(+X方向或者-X方向)上進行位移。物理量傳感器100能夠基于隨著這樣的位移而發生變化的靜電電容，而對加速度和角速度等物理量進行檢測。
[0081]另外，可動電極50以及固定電極60的形狀是，根據構成傳感器元件20的各個部分的形狀、大小等而被決定的，并不限定于上述的結構。
[0082]布線30為用于對上述的靜電電容進行檢測的電連接布線，沿著被形成在基板10的主面上的凹部71而被鋪設。布線30分別設置有連接于電極31a的布線、連接于電極31b的布線、連接于電極31c的布線，其中，所述電極31a為用于對第一固定電極指進行接線并與外部電路連接的布線，所述電極31b為用于對第二固定電極指進行接線并與外部電極連接的布線，所述電極31c為用于連接可動電極50與外部電路的布線。
[0083]凹部71在凹部70的外側的區域中，作為鋪設布線30的區域而被設置。S卩，凹部71被形成為，在俯視觀察基板10時，鋪設有布線30的區域被收納在凹部71的區域內。
[0084]凹部71的深度尺寸(基板10的厚度方向上的尺寸)為，除后述發熱接觸部外，深于布線30的厚度尺寸、且淺于凹部70的深度尺寸小。
[0085]傳感器元件20(固定部41、42，連結部51、52，可動電極指53、54，可動基部55，固定電極指61、62)是,例如通過對一塊娃基板進行圖案形成加工而被形成的。
[0086]硅基板能夠利用刻蝕而更高精度地進行加工。因此,通過以硅基板作為主材料而構成傳感器元件20，從而使傳感器元件20的尺寸精度優異，其結果為，能夠實現物理量傳感器100的高靈敏度化。另外，優選為，在構成傳感器元件20的硅材料中，參雜有磷、硼等雜質。由此,物理量傳感器100能夠使傳感器元件20的導電性優異。
[0087]另外，作為傳感器元件20的構成材料，并不限定于硅基板，只要是能夠根據靜電電容的變化而進行物理量的檢測的材料即可。
[0088]在基板10的構成材料中，作為優選示例，使用有具有絕緣性的玻璃材料。另外，特別是在傳感器元件20由硅基板構成的情況下，優選使用含有堿金屬離子(可動離子)的玻璃材料(例如，Pyrex (注冊商標)玻璃這樣的硼硅酸玻璃)。從而，能夠通過將基板10 (玻璃基板)與傳感器元件20 (硅基板)進行陽極接合從而構成物理量傳感器100。
[0089]如上所述，通過在基板10的主面上形成凹部71，并在凹部71的區域內鋪設與凹部71的深度相比較薄的布線30，從而能夠回避在預定的電連接部以外的區域內的布線30與被層疊在基板10的上層的傳感器元件20之間的接觸。
[0090]預定的電連接部是指，以覆蓋布線30的一部分的方式構成傳感器元件20的上層進行層疊而布線30與該上層抵接從而被電連接的接觸部。
[0091]如圖1(a)所示，由布線30而實現的第一固定電極指的接線、第二固定電極指的接線，和布線30與固定部41之間的連接是通過接觸部81而實施的。可動電極50經由固定部40而與布線30電連接。
[0092]作為布線30的構成材料，只要是分別具有導電性的材料，則不進行特別限定，雖然可以使用各種電極材料，但例如，列舉出IT0(Indium Tim Oxide)、IZO(Indium zincOxide)、In2O3、SnO2、含有SnO2的Sb,含有ZnO的Al等氧化物(透明電極材料)，Au、Pt、Ag、Cu、Al或者含有這些物質的合金等，也能夠組合使用其中的一種或兩種以上。
[0093]圖1(b)、(C)為表示包括接觸部81在內的固定部41的放大圖以及剖視圖。
[0094]在凹部71的區域內，以在接觸部81中布線30與該上層(固定部41)抵接的方式形成有隆起部82 (凹部71的深度尺寸小于布線30的厚度的部分)。具體而言，在物理量傳感器100的制造工序中，在基板10的主面上形成凹部71時，以與接觸部81對應的部分上留出隆起部82的方式形成凹部71。布線30以至少與隆起部82的一部分相重疊的方式層疊并進行圖案形成。接下來，通過層疊構成傳感器元件20的上層，從而隆起部82的布線30與上層抵接，從而被電連接。
[0095]另外，接觸部81的結構并不限定于此，也可以采用如下的結構，即，設置導電性的隆起物來取代隆起部82。即，可以采用如下的方法，在俯視觀察基板10時，在形成接觸部81的部分的布線30的上部配置導電性的隆起物，并以由布線30和層疊在導電性的隆起物之上的構成傳感器元件20的上層來進行夾持的方式使抵接，從而使經由導電性的隆起物而導通。
[0096]另外，除了布線30和構成傳感器元件20的上層相抵接的接觸部以外，也可以在布線30上設置絕緣膜。該絕緣膜具有避免布線30與傳感器元件20的非連接部分之間的電連接(短路)的功能。作為絕緣膜的構成材料，并不做特別的限定，能夠使用具有絕緣性的各種材料，但當基板10由玻璃材料(特別是添加了堿金屬離子的玻璃材料)構成的情況下，優選使用二氧化娃(Si02)。
[0097]另外，當采用如本實施方式的接觸部81那樣，使布線30從傳感器元件20的下層相接觸的結構的情況下，根據物理量傳感器100的使用環境，而有可能發生對檢測精度造成影響的溫度應力(因熱膨脹系數的不同等而產生的如圖1(C)中用箭頭標記所示的來自下層的應力)。在此，在本實施方式中，在基板10的王面上，將固定部41中的接觸部81設置在向第一區域D外的第二區域G延伸的固定部41 (固定部41G)上，其中，所述第一區域D為，將連結部51和固定部41相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域F在可動電極50的位移方向(X軸方向)上假想延伸而成的區域。
[0098]以下，具體地進行說明。
[0099]被連結部51與固定部41相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域F是指，被圖1(b)所示的Fl與F2所夾持的區域。Fl為固定部41與連結部51相連接的+Y側的邊緣部，F2為固定部41與連結部51相連接的-Y側的邊緣部。即，被Fl與F2夾持的固定支點區域F是指，作為一對連接梁而被設置的連結部51以夾持固定部41的方式進行連接的區域，并且成為固定部41對可動電極50進行支承的支點的區域。即，該固定支點區域F為在固定部41與可動電極50之間傳遞應力的區域。
[0100]由于物理量傳感器100以如上所述那樣可動電極50在X軸方向上進行位移作為基本，因此在該固定支點區域F上作用有成為檢測對象的物理量以外的應力(特別是X軸方向的應力)時，有可能對可動電極50的位移造成影響。
[0101]因此，由于在本實施方式中，至少在物理量傳感器100的結構中，使傳遞至固定支點區域F的應力降低，因此使在固定部41上設置接觸部81的情況下的接觸部81的位置位于在結構上從固定支點區域F遠離的位置處。具體而言，如圖1(b)所示，在將固定支點區域F于可動電極50的位移方向(X軸方向)上假想延伸而成的第一區域D外的第二區域G上，使固定部41延伸以作為固定部41G，并且在第二區域G中構成接觸部81。
[0102]圖2(a)?(d)中圖示了現有技術的物理量傳感器99。圖2 (a)為物理量傳感器99的平面圖，圖2(b)為圖2(a)的E部的放大圖，圖2(c)為圖2(b)的A-A剖視圖，圖2 (d)為圖2(b)的B-B剖視圖。
[0103]物理量傳感器99中除具備固定部941以取代固定部41的這一點以外，與物理量傳感器100相同。
[0104]在物理量傳感器99的情況下，固定部941中的接觸部81被設置在如下的第一區域D上，所述第一區域D為將被與連結部51和固定部941連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域F在可動電極50的位移方向(X軸方向)上假想延伸而成的區域。在這種情況下，即使在具備了以緩和應力為目的的狹縫999的情況下，如圖2 (d)的箭頭標記所示，從隆起部82經由接觸部81而被傳遞至固定部941的來自下層的應力很容易直接傳遞至附近的固定支點區域F，因此，存在可動電極50發生變形、和對可動電極50的位移造成影響的情況。
[0105]如上所述，根據本實施方式的物理量傳感器，可以獲得以下的效果。
[0106]由于接觸部81被配置在將固定支點區域F于可動電極50的位移方向(X軸方向)上假想延伸而成的第一區域D外的第二區域G的固定部41 (固定部41G)上。S卩，在接觸部81上所產生的應力，從第二領域G通過經由第一領域D的固定部41 (固定部41D)的路徑而被傳遞至固定支點區域F (包括可動電極50 (連結部51)與固定部41相連接的部分的區域)。因此，即使在基板10的主面上固定部41以覆蓋布線30的一部分的方式層疊并抵接的結構中(即，即使在將與固定部41相連接的布線30設置在固定部41的下層，并使從固定部41的下層接觸的結構中)，也能夠降低其應力(從固定部41的下層向接觸部81的應力)被傳遞至可動電極50的程度。其結果為，能夠抑制由于可動電極50所受到的應力而導致可動電極50發生形變、或對可動電極50的位移造成影響的情況，能夠防止作為傳感器的檢測精度的降低。
[0107]另外，固定部41、42、固定電極60以及可動電極50,能夠通過對被層積在基板10(玻璃基板)的主面上的硅基板進行利用光刻蝕劑的圖案形成以及光刻蝕，從而能夠更加簡單地被形成。另外，由于即使在因玻璃基板與硅基板之間的熱膨脹系數的不同從而在接觸部81上發生熱應力的情況下，從接觸部81被傳遞至固定支點區域F的應力被降低的結構，因此能夠抑制因可動電極50所受到的應力而導致可動電極50發生形變、或對可動電極50的位移造成影響，能夠防止作為傳感器的檢測精度的降低。
[0108]實施方式2
[0109]接下來，對實施方式2所涉及的振動裝置進行說明，另外，在進行說明時，與上述的實施方式相同的結構部位使用相同的符號并省略重復的說明。
[0110]圖3(a)、(b)為表示實施方式3所涉及的振動裝置200的模式圖，圖3(a)為立體圖、圖3(b)為平面圖。
[0111]在實施方式I中，可動電極50為在X軸方向上進行位移的可動電極，相對于此，實施方式2的特征在于，可動電極為在Z軸方向上進行位移、或者振動的懸臂梁的結構。
[0112]振動裝置200為懸臂梁型的振動裝置，并且具備基板10V、振動元件20V、布線30V
坐寸ο
[0113]振動元件20V具備固定部40V、可動電極50V、固定電極60V等。
[0114]基板1V為作為底基板而對振動元件20V進行支承的板狀體。
[0115]基板1V中，作為主面的上表面上設置有凹部70V。在俯視觀察基板1V時，該凹部70V被形成在對可動電極50V以及固定電極60V進行收納的區域中。
[0116]在俯視觀察基板1V時，固定部40V在凹部70V的區域的外側的區域內，以與基板1V的主面相接合的方式被設置。具體而言，固定部40V在基板1V的主面的相對于凹部70V而-X方向側(圖中左側)的部分相接合。
[0117]可動電極50V為長邊方向沿X方向的長方形的板狀體，被固定部40V所支承，并以在凹部70V中從基板1V的主面遠離的方式被支承。具體而言，通過固定部40V與可動電極50V成為一體的板狀體的左側的端部與基板10的主面相接合從而構成固定部40V，因凹部70V而從基板10的主面遠離的部分作為可動電極50V而被構成。
[0118]固定電極60V被設置在凹部70V的區域內的主面上，且為在俯視觀察時呈矩形形狀的電極。在俯視觀察基板10時，固定電極60V被配置在可動電極50V的至少一部分和固定電極60V的至少一部分重疊的位置處。凹部70V的Z軸方向的深度大于固定電極60V的厚度，因此，可動電極50V和固定電極60V以具有間隙的方式重疊。
[0119]這種結構的振動裝置200，通過隨著被施加于電極間(可動電極50V與固定電極60V之間)的交流電壓而產生的電荷的靜電力，而可動電極50V進行振動。在電極間輸出有振動裝置200所固有的共振頻率信號。
[0120]布線30V為用于在可動電極50V與固定電極60V之間施加該交流電壓的電連接布線，并且分別設置有連接于用于對固定部40V與外部電路進行連接的電極(省略圖示)的布線30V、連接于用于對固定電極60V與外部電路進行連接的電極的布線(省略圖示)。
[0121]另外，在圖3(a)的立體圖中，省略了布線30V的圖示。
[0122]對固定部40V與布線30V進行電連接的結構，與實施方式I的情況相同地，采用了使布線30V從固定部40V的下層進行接觸的結構。即，成為如下的結構，在鋪設有布線30的基板10的主面上設置凹部71V，并在固定部40V與布線30V的連接部(接觸部80V)上形成有隆起部82V(凹部7IV的深度尺寸小于布線30V的厚度的部分)，并且布線30V以至少與隆起部82V的一部分重疊的方式層疊并進行圖案形成，并在其上部層疊固定部40V，從而隆起部82V的布線30V與固定部40V抵接，并進行電連接。
[0123]另外，如上文所述，使布線30V從固定部40V的下層進行接觸的結構中，接觸部80V被設置在第一區域DV外的第二區域GV的固定部40V上，其中，所述第一區域DV為將被與可動電極50V和固定部40V連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域FV在可動電極50V的振動面方向假想延伸而成的區域。
[0124]以下進行具體說明。
[0125]被與可動電極50V和固定部40V相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域FV是指，被與可動電極50V和固定部40V連接的區域的兩端部F1V、F2V所夾持的區域，且為固定部40V對可動電極50V進行支承的作為支點的區域。即，該固定支點區域FV為在固定部40V與可動電極50V之間傳遞應力的區域。
[0126]如上所述，由于振動裝置200以可動電極50V在Z軸方向上進行位移(振動)作為基本，因此在該固定支點區域FV上作用有應力(特別是Z軸方向的應力)的情況下，有可能對可動電極50V的位移(振動)造成影響。
[0127]因此，由于在本實施方式中，至少在振動裝置200的結構中，被傳遞至固定支點區域FV上的應力被降低，因此使在固定部40V上設置接觸部80V的情況下的接觸部80V的位置位于從結構上遠離固定支點區域FV的位置處。具體而言，如圖3(b)所示，將固定支點區域FV于可動電極50V的位移方向(振動方向)上假想延伸而成的第一區域DV外的第二區域GV所包括的位置處使固定部40V延伸，并且在第二區域GV中構成接觸部80V。
[0128]如上所述，根據本實施方式所涉及的振動裝置，能夠獲得以下的效果。
[0129]接觸部80V被設置在第一區域DV外的第二區域GV的固定部40V中。S卩，在接觸部80V中所產生的應力，從第二區域GV以經過第一區域DV的固定部40V的路徑而傳遞至固定支點區域FV (即，包含與可動電極50V與固定部40V相連接的部分的區域)。因此，即使為將與固定部40V連接的布線30V設置在固定部40V的下層，并且使從固定部40V的下層進行接觸的結構(即，使與固定部40V連接的布線30V設置在固定部40V的下層，并使從固定部40V的下層進行接觸的結構的情況下)，也能夠降低其應力(從固定部40V的下層向接觸部80V的應力)傳遞至可動電極50V的程度。其結果為，能夠抑制因可動電極50V所受到的應力而導致可動電極50V發生形變、或對可動電極50V的位移(振動)造成影響，能夠防止作為振動裝置的精度的降低。
[0130]另外，用于使可動電極50V從基板1V遠離的結構，并不限定于上述的設置凹部70V的結構。例如，如圖3(c)所示的具備可動電極50W的振動元件20W那樣，將可動電極50W以從與固定部40V的連接部起逐漸向+Z方向彎曲的方式抬起從而使可動電極50W從基板1W以及固定電極60V遠離。
[0131]另外，作為振動元件，并不限定于如振動元件20V、20W那樣的懸臂梁(clamped-free beam)型的振動兀件，也可以是兩端夾緊梁(clamped-clamped beam)型。
[0132]電子設備
[0133]接下來，根據圖4(a)、(b)、圖5，對應用了作為本發明的一個實施方式所涉及的電子部件的物理量傳感器100或振動裝置200的電子設備進行說明。
[0134]圖4(a)為表示作為具備了本發明的一個實施方式所涉及的電子部件的電子設備的便攜式(或筆記本型)的個人計算機的結構的概略的立體圖。在該圖中，個人計算機1100由具備了鍵盤1102的主體部1104以及具備了顯示部1000的顯示單元1106構成,顯示單元1106相對于主體部1104經由鉸鏈結構部而能夠轉動地被支承。在這樣的個人計算機1100中，內置有作為濾波器、共振器、基準時鐘等而發揮功能的電子部件的物理量傳感器100或振動裝置200。
[0135]圖4(b)為表示作為具備本發明的一個實施方式所涉及的電子部件的電子設備的移動電話(包括PHS:Personal Handy-phone System(個人移動電話系統))的結構的概略的立體圖。在該圖中，移動電話1200具備多個操作按鍵1202、聽筒1204以及話筒1206，在操作按鍵1202與聽筒1204之間配置有顯示部1000。在這樣的移動電話1200中，內置有作為濾波器、共振器、角速度傳感器等而發揮功能的電子部件(同步裝置)的物理量傳感器100或振動裝置200。
[0136]圖5為表示作為具備本發明的一個實施方式所涉及的電子部件的電子設備的數碼照相機的結構的概要的立體圖。另外，在該圖中，也簡易地示出了與外部設備之間的連接。數碼照相機1300是通過CCD (charge couple device:電荷稱合元件)等攝像元件對被攝體的光像進行光電轉變并生成攝像信號(圖像信號)。
[0137]在數碼照相機1300中的殼體(主體)1302的背面上設置有顯示部1000，并且成為根據通過CCD而獲得的攝像信號來進行顯示的結構，顯示部1000作為將被攝體作為電子圖像而進行顯示的取景器而發揮功能。另外，在殼體1302的正面側(圖中里面側)設置有受光單元1304，該受光單元1304包括光學透鏡(攝像光學系統)或C⑶等。
[0138]攝影者對在顯示部1000上被顯示的被攝體圖像進行確認，當按下快門鍵1306時，該時間點上的CCD的攝像信號被傳送并存儲到存儲器1308中。另外，在該數碼照相機1300中，在殼體1302的側面上設置有視頻信號輸出端子1312和數據通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖示所示，根據需要而在視頻信號輸出端子1312上連接影像監視器1430，在數據通信用的輸入輸出端子1314上連接個人計算機1440。進而，成為如下的結構，S卩，根據預定的操作，而被存儲在存儲器1308內的攝像信號被輸出至影像監視器1430或個人計算機1440。在這樣的數碼照相機1300中，內置有作為濾波器、共振器、角速度傳感器等而發揮功能的電子部件的物理量傳感器100或振動裝置200。
[0139]如上所述，作為電子設備，通過具備進一步抑制了檢測精度的下降的物理量傳感器100或振動裝置200，能夠提供工作精度更高的電子設備。
[0140]另外，本發明的一個實施方式所涉及的物理量傳感器100或振動裝置200，除了圖4(a)的個人計算機(移動型個人計算機)、圖4(b)的移動電話、圖5的數碼照相機以夕卜，還能夠應用于以下的裝置，即，噴墨式噴出裝置(例如，噴墨式打印機)、膝上型個人計算機、電視機、攝像機、導航裝置、尋呼機、電子記事本(也包括附加通訊功能)、電子詞典、臺式電子計算器、電子游戲設備、工作站、可視電話、防盜用視頻監視器、電子雙筒望遠鏡、POS(point of sale:銷售點)終端、醫療器械(例如，電子體溫計、血壓計、血糖計、心電圖測定裝置、超聲波診斷裝置、電子內窺鏡)、魚群探知器、各種測定器械、儀表類(例如，車輛、飛機、船舶的儀表類)、飛行模擬器等。
[0141]移動體
[0142]接下來，根據圖6，對應用了本發明的一個實施方式所涉及的物理量傳感器100或振動裝置200的移動體進行說明。
[0143]圖6為概要地表示作為具備物理量傳感器100或振動裝置200的移動體的汽車1400的立體圖。在汽車1400中搭載有包含本發明所涉及的物理量傳感器100或振動裝置200而被構成的陀螺傳感器。例如，該圖所示，在作為移動體的汽車1400上搭載有電子控制單元1402，且在該電子控制單元1402中內置了對輪胎1401進行控制的該陀螺傳感器。另夕卜，作為其他示例，物理量傳感器100或振動裝置200能夠廣泛地應用于以下的裝置，即，遙控門鎖、發動機防盜鎖止系統、導航系統、汽車空調、防抱死制動系統(ABS)、氣囊、輪胎壓力監測系統(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、引擎控制、混合動力汽車或電氣汽車的電池監測器、車體姿勢控制系統等電子控制單元(E⑶:electronic control unit)。
[0144]如上所述，作為移動體，通過具備進一步抑制了精度下降的物理量傳感器100或振動裝置200，從而能夠提供工作精度更高的移動體。
[0145]另外，本發明并不限定于上述的實施方式，能夠對上述的實施方式增加各種的變形或改良。以下，對改變例進行敘述。在此，對于與上述的實施方式相同的結構部位使用相同的符號并省略對其重復說明。
[0146]圖7(a)?(C)為表示改變例I?3所涉及的物理量傳感器的固定部以及接觸部的平面圖。
[0147]在實施方式I中，如圖1(b)所示，對以下結構進行了說明，將固定支點區域F于可動電極50的位移方向(X軸方向)上假想延伸而成的第一區域D外的第二區域G上使固定部41延伸以作為固定部41G，并在第二區域G中構成接觸部81。改變例I?3為，在使固定部41從第二區域G的固定部41G進一步延伸的區域內設置接觸部81。在接觸部81上所發生的應力經由固定部41G而傳遞至固定部41D，進一步傳遞至可動電極50。
[0148]改變例I
[0149]圖7(a)所示的改變例I中，將接觸部81設置在如下的區域上，即，通過使固定部41從第二區域G的固定部41G進一步向-X方向延伸，并進一步向+Y方向延伸，從而返回到第一區域D的區域。
[0150]根據本改變例，雖然接觸部81被設置在與包括固定支點區域F在內的固定部41D相同的第一區域D上，但在接觸部81上所產生的應力不會直接傳遞至固定部41D，或得到抑制，經由固定部41G后傳遞到固定部41D進而傳遞至可動電極50。其結果為，與實施方式I相同地，抑制了因可動電極50所受到的應力而可動電極50發生變形、或對可動電極50的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的降低。
[0151]改變例2
[0152]如圖7(b)所示的改變例2中，將接觸部81設置在如下的區域上，即，通過使固定部41從設置在固定部41D的前后(土Y方向)的兩處上的固定部41G起進一步分別向-X方向延伸，并使+Y方向側的固定部41起進一步向-Y方向延伸，另外，使-Y方向側的固定部41起向+Y方向延伸,從而返回到第一區域D并合在一起的區域。
[0153]根據本改變例，雖然接觸部81被設置在與包括固定支點區域F在內的固定部41D相同的第一區域D內，但在接觸部81上所產生的應力不會直接傳遞至固定部41D，或得到抑制，并且經由被設置在固定部41D的前后(土Y方向)的兩處上的固定部41G而傳遞至固定部41D，進而傳遞至可動電極50。其結果為，與實施方式I相同地，抑制了因可動電極50所受到的應力而可動電極50發生變形、或對可動電極50的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。另外，在本改變例中，與改變例I相比，能夠進一步降低接觸部81與可動電極50之間的電氣阻抗。
[0154]改變例3
[0155]如圖7(c)所示的改變例3為，在改變例I的基礎上，使固定部41進一步延伸。
[0156]具體而言，使固定部41進一步向+Y方向、-X方向、-Y方向彎曲并延伸。
[0157]根據本改變例，在接觸部81上所產生的應力不會直接傳遞至固定部41D，或得到抑制，并且經由彎曲的固定部41后傳遞至固定部41D進而傳遞至可動電極50。其結果為，與實施方式I相同地，抑制了因可動電極50所受到的應力而可動電極50發生變形、或對可動電極50的位移造成影響，從而能夠防止作為傳感器的檢測精度的下降。
[0158]改變例4
[0159]圖8為表示改變例4所涉及的振動裝置的平面圖。
[0160]在實施方式2中，如圖3(b)所示，對如下內容進行了說明，即，在將固定支點區域FV于可動電極50V的位移方向(振動面方向)上假想延伸而成的第一區域DV外的第二區域GV所包含的位置處使固定部40V延伸，并且在第二區域GV中構成接觸部80V。本改變例為，在使固定部40V從第二區域GV的固定部40GV進一步延伸的區域上設置有接觸部80。
[0161]具體而言，將接觸部80V設置在如下的區域上，S卩，通過使固定部40V從第二區域GV的固定部40GV進一步向-X方向延伸，并進一步向-Y方向延伸，從而返回到第一區域DV的區域。
[0162]根據本改變例，雖然接觸部80V被設置在與包括固定支點區域FV在內的固定部41DV相同的第一區域DV上，但在接觸部80V上所產生的應力不會直接傳遞至固定部40DV，或得到抑制，并且經由固定部40GV而傳遞到固定部40DV，進而傳遞至可動電極50V。
[0163]其結果為，與實施方式2相同地，抑制了因可動電極50V所受到的應力而可動電極50V發生變形、或對可動電極50的位移(振動)造成影響，從而能夠防止作為振動裝置的檢測精度的下降。
[0164]另外，雖然未進行圖示，但作為在使固定部40V從第二區域GV的固定部40GV進一步延伸的區域上設置接觸部80V的結構，也可以采用圖7(b)、(c)中所進行說明的結構相同的結構。另外，也可以采用以下的結構，即，將接觸部80V設置在如下的區域，S卩，通過使固定部40V從被設置在固定部40DV的前后方向(土Y方向)的兩處上的固定部40GV分別向-X方向進一步延伸，并且從+Y方向側的固定部40V起向-Y方向延伸，另外從-Y方向側的固定部40V起進一步向+Y方向延伸，從而返回到第一區域DV并合在一起的區域。另外，也可以采用如下的結構，即，相對于改變例4，使固定部40V進一步向-Y方向、向-X方向、向+Y方向彎曲并延伸的結構。
[0165]符號說明
[0166]10…基板；10V…基板；20…傳感器兀件；20V、20W…振動兀件;30、30V…布線；
31 …電極；40DV、40GV、40V、41...固定部;41D、41G、42…固定部;50、50V、50W......可動電極；
51、52…連結部；53、54…可動電極指；55…可動基部;60、60V…固定電極;61、62…固定電極指；70、70V、71、71V…凹部；80V、81…接觸部;82、82V…隆起部；100……物理量傳感器；
200…振動裝置。
【權利要求】
1.一種物理量傳感器，其特征在于，具備: 基板； 固定部以及布線，其被設置在所述基板上； 接觸部，其對所述固定部和所述布線進行電連接； 可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接， 在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的位移方向上假想延伸而成的區域。
2.—種物理量傳感器，其特征在于，具備: 基板； 固定部以及布線，其被設置在所述基板上； 接觸部，其對所述固定部以及所述布線進行電連接； 可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接， 在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的經由所述固定部而被連接設置的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的位移方向上假想延伸而成的區域。
3.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述固定部與所述布線以在俯視觀察時所述固定部覆蓋所述布線的一部分的方式通過所述接觸部而電連接。
4.如權利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述固定部與所述布線以在俯視觀察時所述固定部覆蓋所述布線的一部分的方式通過所述接觸部而電連接。
5.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述可動電極包括連結部， 所述固定支點區域為，被所述連結部與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的區域。
6.如權利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述可動電極包括連結部， 所述固定支點區域為，被所述連結部與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的區域。
7.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述基板為玻璃基板，所述固定部以及所述可動電極由被層疊在所述玻璃基板上的硅基板構成。
8.如權利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述基板為玻璃基板，所述固定部以及所述可動電極由被層疊在所述玻璃基板上的硅基板構成。
9.一種振動裝置，其特征在于，具備: 基板； 固定部以及布線，其被設置在所述基板上； 接觸部，其對所述固定部以及所述布線進行電連接； 可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接， 在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的振動面方向上假想延伸而成的區域。
10.一種振動裝置，其特征在于，具備: 基板； 固定部以及布線，其被設置在所述基板上； 接觸部，其對所述固定部和所述布線進行電連接； 可動電極，其經由所述固定部而與所述布線電連接， 在俯視觀察時，所述接觸部被設置在第一區域外的第二區域的經由所述固定部而被連接設置的所述固定部上，所述第一區域為，將被所述可動電極與所述固定部相連接的區域的邊緣部所夾持的固定支點區域于所述可動電極的振動面方向上假想延伸而成的區域。
11.如權利要求9所述的振動裝置，其特征在于， 所述固定部與所述布線以在俯視觀察時所述固定部覆蓋所述布線的一部分的方式通過所述接觸部而電連接。
12.如權利要求10所述的振動裝置，其特征在于， 所述固定部與所述布線以在俯視觀察時所述固定部覆蓋所述布線的一部分的方式通過所述接觸部而電連接。
13.一種電子設備，其特征在于，具備權利要求1所述的物理量傳感器。
14.一種電子設備，其特征在于，具備權利要求2所述的物理量傳感器。
15.一種移動體，其特征在于，具備權利要求1所述的物理量傳感器。
16.一種移動體，其特征在于，具備權利要求2所述的物理量傳感器。
17.一種電子設備，其特征在于，具備權利要求9所述的振動裝置。
18.一種電子設備，其特征在于，具備權利要求10所述的振動裝置。
19.一種移動體，其特征在于，具備權利要求9所述的振動裝置。
20.一種移動體，其特征在于，具備權利要求10所述的振動裝置。
【文檔編號】G01P15/125GK104422789SQ201410456006
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年9月9日 優先權日:2013年9月10日
【發明者】田中悟 申請人:精工愛普生株式會社