樣品座的制作方法
【專利摘要】一種樣品座，涉及平面TEM樣品制備的領域，其中，樣品座包括底板和呈面向設置在底板上兩側的第一側板和第二側板，第一側板與底板鉸接，第二側板固定設置于底板上，當第一側板的側邊面朝第二側板的側邊時，第一側板和第二側板之間構成第一容置槽，第一側板的頂部設置有第二容置槽，第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的樣品并通過螺栓進行固定。通過此樣品座來改善樣品表面的電荷累計情況，即防止在制備平面樣品時，樣品發生漂移的狀況，同時，折疊小樣品槽的設計極大程度上的保護了樣品不受污染，這樣既提高了制樣的效率，又節省了資源，同時又能保證在制備樣品過程中，FIB機臺腔體不受污染。
【專利說明】樣品座
【技術領域】
[0001]本發明涉及平面TEM樣品制備領域，尤其涉及一種樣品座。
【背景技術】
[0002]隨著半導體技術的不斷發展和進步，對于器件研發的尺寸也越來越小，因而也提高了對樣品結構、材料等分析的能力，而對于FIB (Focused 1n Beam,聚焦離子束)制備平面樣品的要求也越來越高，其中如何防止平面TEM(Transmiss1n Electron Microscopy,透射電子顯微鏡)樣品在制備過程中的表面電荷累計情況已然成了一個難題。
[0003]目前傳統的固定平面TEM樣品的方法時利用碳導電膠或銅導電膠帶粘樣品靠近成像區域，并與金屬底座導通，但是此方法對于減少樣品表面的電荷累積情況不是很顯著。若樣品導電性不良，探測器或捕獲不到電子成像或捕獲到的電子攜帶的信息不準確而影響成像質量，通常表現為圖像發黑或圖像流動；同時，由于碳導電膠屬于有機物，放置于機臺腔體中會產生脫氣現象，故這種固定方法甚至可能對機臺的腔體造成污染，這樣大大降低了制備此類TEM樣品的質量和效率。
[0004]中國專利(CN103743609A)記載了一種用于制備平面TEM樣品的樣品座，包括:樣品座本體，為導電性材質制備，并進一步包括底板和呈面向設置在所述底板上的第一側板和第二側板，所述第一側板和所述第二側板之間形成用于收容所述平面TEM樣品的容置槽，鎖固孔，間隔設置在所述樣品座本體之第一側板和第二側板上，鎖固件，穿設在所述鎖固孔內。
[0005]中國專利(CN103645083A)記載了一種TEM樣品再制備的方法，所述方法包括:將一表面設置有若干TEM樣品的第一金屬網底部騰空架置于一樣品座上；于所述TEM樣品中找到需要進行再制樣品的特殊樣品；將所述樣品轉移至一第二金屬網上，對所述特殊樣品進行減薄，形成精加工樣品，對所述精加工樣品進行TEM觀測。
[0006]上述兩個專利均未記載有關折疊小樣品槽的技術特征。
【發明內容】
[0007]鑒于上述問題，本發明提供一種樣品座。
[0008]—種樣品座，其中，所述樣品座包括底板和呈面向設置在所述底板上兩側的第一側板和第二側板，所述第一側板與所述底板鉸接，所述第二側板固定設置于所述底板上；
[0009]當所述第一側板的側面面朝所述第二側板的側面時，所述第一側板和所述第二側板之間構成第一容置槽，所述第一側板的頂部設置有第二容置槽，所述第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的樣品并通過螺栓進行固定。
[0010]上述的樣品座,其中,所述底板與第一側板、第二側板均為金屬材質。
[0011]上述的樣品座，其中，所述第一側板中設置有若干螺孔，至少一個螺紋孔貫穿所述第一側板的外側面至第二容置槽，至少一個螺紋孔貫穿所述第一側板的外側面和內側面，且該所述第一側板的底面設置有至少一個螺孔。
[0012]上述的樣品座，其中，所述底板設置有至少一個螺孔，且底板中的螺孔對準所述第一側板底部的螺孔，并通過插入螺栓以將第一側板進行固定。
[0013]上述的樣品座，其中，所述底板的底面還固定設置有一固定桿。
[0014]上述的樣品座，其中，所述固定桿的材質與所述底板的材質相同。
[0015]上述的樣品座，其中，當所述第一側板和所述第二側板之間構成第一容置槽時，所述第一側板的頂部與所述第二側板的頂部齊平。
[0016]上述的樣品座，其中，所述第二容置槽用于放置比所述第一容置槽放置樣品尺寸小的樣品。
[0017]上述的樣品座，其中，所述第一側板通過合頁鉸接在所述底板上。
[0018]綜上所述，本發明用于制備平面TEM樣品的樣品座通過在樣品座的容置槽內設置平面TEM樣品，并通過穿設在螺孔內的螺栓固定平面TEM樣品，使得平面TEM樣品與樣品座接觸，有效避免在平面TEM樣品上形成平面電荷累積，防止平面TEM樣品在制備過程中發生漂移，且一折疊小樣品槽的設計極大程度上的保護了樣品不受污染，從而改善樣品制備的質量和效率，又節省了資源，同時又能保證在制備樣品的過程中，FIB機臺腔體不受污染。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]參考所附附圖，以更加充分的描述本發明的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構成對本發明范圍的限制。
[0020]圖1是樣品座結構不意圖；
[0021]圖2是樣品座斜45°仰視圖；
[0022]圖3是樣品座翻折后斜45°仰視圖；
[0023]圖4是樣品座翻折后側視圖。
【具體實施方式】
[0024]下面結合附圖和具體的實施例對本發明作進一步的說明，但是不作為本發明的限定。
[0025]如圖1-圖4所不,一種用于制備平面透射電鏡樣品的多功能樣品座,其中，該樣品座包括樣品座本體，該樣品座本體為導電材質制備的，因為傳統的固定平面透射電鏡樣品的方法時利用碳導電膠或銅導電膠帶粘樣品靠近成像區域，并與金屬底座導通，但是此方法對于減少樣品表面的電荷累計情況不是很顯著，所以，若樣品導電性不良，探測器會捕獲不到電子成像或捕獲到的電子攜帶的信息不準確而影響成像質量，所以本申請中的導電材質為金屬材料，這樣將樣品固定于樣品座上，樣品與由導電材質制備的樣品座電性接觸，避免在樣品上形成表面電荷累計，防止樣品在制備過程中發生漂移，從而改善樣品制備的質量和效率，優選的金屬材料為銅等其他金屬材料。
[0026]該樣品座本體包括底板6和呈面向設置在底板上的第一側板I和第二側板2，這樣在第一側板I側面8和第二側板2側面之間形成用于收容樣品的第一容置槽3，當形成第一容置槽3時，第一側板I的頂部與第二側板2的頂部齊平，該第一側板I與底板6通過合頁鉸接，這樣在放置尺寸較大樣品時，翻折開第一側板I，樣品直接放置于底板6上，避免了與側板的接觸，防止了樣品粘污。該樣品座的第二側板2與底板6固定連接，在第一側板I上間隔設置有若干螺孔5，這些螺孔5貫穿第一側板I的外側面和內側面，在第一側板I的上表面還設置一收容樣品的第二容置槽4，該第二容置槽4用于收容較小尺寸的樣品。
[0027]在樣品座底板6上還設置一螺孔并貫穿第一側板1，這樣通過螺栓就可以將第一側板I固定于底板6上了，然后用螺栓通過設置在第一側板I上的螺孔將樣品固定于上述的容置槽內，在底板的下表面還設置一固定桿7，用于把持該樣品座，該固定桿7的材質與樣品座的底板6材質相同。
[0028]在設計該樣品座時,樣品座的底板長度設置為30mm,寬度設置為9mm,高度設置為7mm，設置在底板上，且呈面向設置的第一側板和第二側板之間形成用于收容樣品的第一容置槽的深度為5mm,寬度為2mm,設置在第一側板上表面的第二容置槽的深度為4mm,寬度為2mm,長度為6mm,該第二容置槽距第一側板的內側邊和外側邊分別為Imm,距離該第一側板的一側端為4mm，底邊至凹槽的高度為2mm，設置在第一側板和底板上的螺孔的孔徑為
2.52mm,用于固定樣品的螺栓直徑為2.1mm,位于第一側板上的螺孔距離第一側板上表面為
0.21mm,設置于底板下表面的規定干長度為7mm,直徑為3_。
[0029]本發明用于制備平面TEM樣品的多功能樣品座在通過樣品座的容置槽內設置平面TEM樣品，并通過穿設在螺孔內的螺栓固定平面TEM樣品，使得平面TEM樣品與樣品座電性接觸，且第一側板與底板鉸接，防止樣品與側板側面接觸造成污染，于第一側板上設置一可放置較小樣品的容置槽，放置較小尺寸的樣品，，這樣不僅有效避免在平面TEM樣品上形成表面電荷累積，防止平面TEM樣品在制備過程中發生漂移，從而改善樣品制備的質量和效率，而且克服了因碳導電膠或銅導電膠帶脫氣對FIB機臺腔體造成的污染。
[0030]通過說明和附圖，給出了【具體實施方式】的特定結構的典型實施例，基于本發明精神，還可作其他的轉換。盡管上述發明提出了現有的較佳實施例，然而，這些內容并不作為局限。
[0031]對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本發明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內任何和所有等價的范圍與內容，都應認為仍屬本發明的意圖和范圍內。
【權利要求】
1.一種樣品座，其特征在于，所述樣品座包括底板和呈面向設置在所述底板上兩側的第一側板和第二側板，所述第一側板與所述底板鉸接，所述第二側板固定設置于所述底板上； 當所述第一側板的側面面朝所述第二側板的側面時，所述第一側板和所述第二側板之間構成第一容置槽，所述第一側板的頂部設置有第二容置槽，所述第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的樣品并通過螺栓進行固定。
2.根據權利要求1所述的樣品座，其特征在于，所述底板與第一側板、第二側板均為金屬材質。
3.根據權利要求1所述的樣品座，其特征在于，所述第一側板中設置有若干螺孔，至少一個螺紋孔貫穿所述第一側板的外側面至第二容置槽，至少一個螺紋孔貫穿所述第一側板的外側面和內側面，且該所述第一側板的底面設置有至少一個螺孔。
4.根據權利要求1所述的樣品座，其特征在于，所述底板設置有至少一個螺孔，且底板中的螺孔對準所述第一側板底部的螺孔，并通過插入螺栓以將第一側板進行固定。
5.根據權利要求1所述的樣品座，其特征在于，所述底板的底面還固定設置有一固定桿。
6.根據權利要求5所述的樣品座，其特征在于，所述固定桿的材質與所述底板的材質相同。
7.根據權利要求1所述的樣品座，其特征在于，當所述第一側板和所述第二側板之間構成第一容置槽時，所述第一側板的頂部與所述第二側板的頂部齊平。
8.根據權利要求1所述的樣品座，其特征在于，所述第二容置槽用于放置比所述第一容置槽放置樣品尺寸小的樣品。
9.根據權利要求1所述的樣品座，其特征在于，所述第一側板通過合頁鉸接在所述底板上。
【文檔編號】G01N1/28GK104198245SQ201410440457
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年9月1日 優先權日:2014年9月1日
【發明者】孫蓓瑤, 陳強 申請人:上海華力微電子有限公司