一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)及其方法

一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)及其方法
【專利摘要】一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)及其方法，包括客戶端、服務(wù)端和顯示終端。客戶端讀取測試機(jī)軟件產(chǎn)生的相關(guān)數(shù)據(jù)并上傳到服務(wù)端。服務(wù)端讀取客戶端上傳的數(shù)據(jù)并進(jìn)行分析對比得出測試機(jī)運(yùn)行狀態(tài)，并更新服務(wù)端數(shù)據(jù)。顯示終端將服務(wù)器對比之后的新數(shù)據(jù)及測試機(jī)狀態(tài)顯出出來?？蛻舳恕⒎?wù)端和顯示終端通過數(shù)據(jù)交互連接。采用本發(fā)明的技術(shù)方案后，本系統(tǒng)可以兼容多種測試機(jī)機(jī)型使用，數(shù)據(jù)無需人為清零，數(shù)據(jù)內(nèi)容豐富。由于能夠讀取測試機(jī)程序的所有信息，無需添加新硬件，節(jié)約了前期投入成本。
【專利說明】一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)及其方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)監(jiān)控領(lǐng)域，尤其涉及一種能夠?qū)Π雽?dǎo)體測試數(shù)據(jù)進(jìn)行 實(shí)時監(jiān)控的監(jiān)控系統(tǒng)及其監(jiān)控方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 目前半導(dǎo)體測試中對數(shù)據(jù)進(jìn)行監(jiān)控主要是采用MES系統(tǒng)，MES系統(tǒng)即制造執(zhí)行系 統(tǒng)（manufacturing execution system,簡稱MES)，MES可以為企業(yè)提供包括制造數(shù)據(jù)管 理、計(jì)劃排程管理、生產(chǎn)調(diào)度管理、庫存管理、質(zhì)量管理、人力資源管理、工作中心/設(shè)備管 理、工具工裝管理、采購管理、成本管理、項(xiàng)目看板管理、生產(chǎn)過程控制、底層數(shù)據(jù)集成分析、 上層數(shù)據(jù)集成分解等管理模塊。但MES系統(tǒng)側(cè)重在車間作業(yè)計(jì)劃的執(zhí)行，它并不與生產(chǎn)設(shè) 備本身打交道，無法真實(shí)的體現(xiàn)設(shè)備上生產(chǎn)狀況，即實(shí)時產(chǎn)出、良率等信息。這些狀況主要 還是靠人員到設(shè)備上一臺一臺地收集并匯總，當(dāng)上級管理部門收到匯總表時，設(shè)備狀態(tài)可 能已經(jīng)發(fā)生了新的變化，這就無法做到對生產(chǎn)狀態(tài)的實(shí)時監(jiān)控。
[0003] 為了完善MES系統(tǒng)存在的無法對生產(chǎn)狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控的目的，最常件的方式 就是增設(shè)硬件，即在每臺測試機(jī)上另外增加一臺監(jiān)控電腦和一塊GPIB (General-Purpose Interface Bus通用接口總線）通訊卡，通過GPIB卡來抓取測試機(jī)發(fā)出的分選信號，然后通 過監(jiān)控電腦上有專門的軟件對收集到信號進(jìn)行累加計(jì)數(shù)，完成之后再將數(shù)據(jù)通過局域網(wǎng)傳 到數(shù)據(jù)庫中以供匯總及分析。
[0004] 采用增加 GPIB卡的方式存在如下弊?。?1、適應(yīng)性差：只適用于GPIB協(xié)議進(jìn)行通訊的測試機(jī)，兼容性差。
[0005] 2、數(shù)據(jù)無法自動清零：系統(tǒng)無法自動判斷生產(chǎn)狀態(tài)是否更改，對數(shù)據(jù)持續(xù)累加，需 要人為清零。
[0006] 3、內(nèi)容單調(diào)：因采集的電信號進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，無法做到對測試機(jī)所有的數(shù)據(jù)的監(jiān)控，t匕 如：產(chǎn)品的名稱、何種測試程序、設(shè)備名、作業(yè)員工號通過GPIP卡是檢測不到這些信息的。
[0007] 4、前期硬件投入成本高：每臺測試機(jī)需新配一臺電腦和一塊GPIB卡，增加了成 本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 為了解決半導(dǎo)體測試時無法實(shí)時監(jiān)控測試數(shù)據(jù)及增加 GPIB卡帶來不便的問題， 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)及其監(jiān)控方法。
[0009] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系 統(tǒng)，包括：讀取測試機(jī)程序產(chǎn)生的相關(guān)數(shù)據(jù)并上傳的客戶端。讀取客戶端上傳的數(shù)據(jù)并進(jìn)行 分析對比的服務(wù)端。將服務(wù)器對比之后的數(shù)據(jù)顯示出來的顯示終端。所述客戶端、服務(wù)端 和顯示終端通過數(shù)據(jù)交互連接。
[0010] 進(jìn)一步的，所述客戶端包括讀取模塊、整合模塊和發(fā)送模塊。所述讀取模塊對各站 點(diǎn)測試機(jī)軟件的數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取，所述整合模塊將讀取模塊讀取的數(shù)據(jù)整合為統(tǒng)一格式，所 述發(fā)送模塊將整合數(shù)據(jù)上傳到服務(wù)端，所述讀取模塊、整合和發(fā)送模塊通過數(shù)據(jù)交互連接。
[0011] 進(jìn)一步的，所述服務(wù)端包括存儲模塊和對比模塊。所述存儲模塊將客戶端上傳的 數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲，所述對比模塊將客戶端上傳的數(shù)據(jù)與上次存儲數(shù)據(jù)對比分析，所述存儲模 塊與對比文件通過數(shù)據(jù)交互連接。
[0012] 進(jìn)一步的，所述顯示終端采用WEB形式顯示。
[0013] 一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控的方法：包括如下步驟： 執(zhí)行步驟S1，設(shè)置權(quán)利要求1中所述的客戶端與服務(wù)端，使客戶端在服務(wù)端有唯一地 址。
[0014] 執(zhí)行步驟S2,通過客戶端解析測試機(jī)程序中的程序名、批號、開始生產(chǎn)時間、員工 信息、測試步驟等信息。
[0015] 執(zhí)行步驟S3,通過客戶端間隔讀取測試機(jī)程序中的測試數(shù)據(jù)。
[0016] 執(zhí)行步驟S4,通過客戶端將采集到的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為統(tǒng)一格式上傳給服務(wù)端。
[0017] 執(zhí)行步驟S5,服務(wù)端將接收的數(shù)據(jù)與上次存儲到存儲模塊的數(shù)據(jù)進(jìn)行對比后判斷 測試機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)； 執(zhí)行步驟S6,服務(wù)端對其接收到的客戶端數(shù)據(jù)和經(jīng)判斷得出的測試機(jī)運(yùn)行狀態(tài)標(biāo)記更 新到存儲模塊中； 執(zhí)行步驟S7,顯示終端將存儲模塊更新之后的數(shù)據(jù)和測試機(jī)狀態(tài)進(jìn)行展示。
[0018] 采用半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)及其方法后：可以帶來如下優(yōu)點(diǎn)： 1、兼容多種機(jī)型：本方案不需要增加新硬件，數(shù)據(jù)采集也不在通過采集電信號進(jìn)行計(jì) 數(shù)。而是通過客戶端來讀取測試機(jī)程序產(chǎn)生的測試數(shù)據(jù)文件來實(shí)現(xiàn)對數(shù)據(jù)的監(jiān)控。故可以 兼容不同的測試機(jī)型。
[0019] 2、無需人為清零：當(dāng)測試機(jī)程序產(chǎn)生的數(shù)據(jù)發(fā)生變化是，客戶端檢測到數(shù)據(jù)也會 發(fā)生變化，故無需人為清零，即可做到數(shù)據(jù)實(shí)時統(tǒng)一。
[0020] 3、數(shù)據(jù)內(nèi)容豐富：由于客戶端監(jiān)控的是測試機(jī)程序的數(shù)據(jù)，測試機(jī)的任何數(shù)據(jù)都 會被監(jiān)控到，比如：產(chǎn)品的名字、產(chǎn)品的數(shù)量、何種測試程序、設(shè)備名、作業(yè)員工號等信息。
[0021] 4、無需額外的硬件投入：客戶端直接按照在測試機(jī)電腦內(nèi)，不需要增加新硬件，讀 取的是測試機(jī)程序的數(shù)據(jù)，不需要GPIB卡，節(jié)省了前期投入成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022] 圖1是半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)的原理框圖。
[0023] 圖2是半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)監(jiān)控的方法的原理框圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024] 下面結(jié)合附圖對本發(fā)明優(yōu)選的方案做進(jìn)一步的闡述： 一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)，包括：讀取測試機(jī)程序產(chǎn)生的相關(guān)數(shù)據(jù)并上傳的 客戶端。讀取客戶端上傳的數(shù)據(jù)并進(jìn)行分析對比的服務(wù)端。將服務(wù)器對比之后的數(shù)據(jù)顯示 出來的顯示終端。所述客戶端、服務(wù)端和顯示終端通過數(shù)據(jù)交互連接。
[0025] 客戶端包括讀取模塊、整合模塊和發(fā)送模塊。所述讀取模塊對各站點(diǎn)測試機(jī)軟件 的數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取，所述整合模塊將讀取模塊讀取的數(shù)據(jù)整合為統(tǒng)一格式，所述發(fā)送模塊將 整合數(shù)據(jù)上傳到服務(wù)端，所述讀取模塊、整合和發(fā)送模塊通過數(shù)據(jù)交互連接。作為更加優(yōu)選 的方式服務(wù)端的存儲模塊中還設(shè)有測試機(jī)IP數(shù)據(jù)庫。
[0026] 下面對客戶端進(jìn)行詳細(xì)描述：在Windows系統(tǒng)下需要編寫2個程序，一個是系統(tǒng)服 務(wù)程序，用以定時執(zhí)行數(shù)據(jù)文件的讀取，另一個是數(shù)據(jù)采集上傳程序。這兩個程序都比較普 通，本領(lǐng)域的技術(shù)人員都可以編寫出來。當(dāng)在UNIX系統(tǒng)下我們利用crontab來定時運(yùn)行這 個數(shù)據(jù)采集上傳程序。
[0027] 下面主要說明數(shù)據(jù)采集上傳程序是如何工作的。首先說明一點(diǎn)，不同的測試機(jī)生 成的實(shí)時的數(shù)據(jù)文件的格式是不同的，所以針對不同的測試機(jī)要編寫不同的數(shù)據(jù)采集匯總 功能，但最后的目的是相同的，就是將數(shù)據(jù)格式統(tǒng)一之后再進(jìn)行上傳。程序?qū)εR時數(shù)據(jù)文件 中的數(shù)據(jù)一行一行的讀取，將程序名、批號、開始生產(chǎn)時間、員工信息、測試步驟信息等記錄 下來，再將測試的每個產(chǎn)品的數(shù)量不斷的累加，并對應(yīng)上相應(yīng)的測試名稱，這樣就得到了測 試過的所有產(chǎn)品的數(shù)量，良品數(shù)量，每個測試工位測過的數(shù)量，以及每個分產(chǎn)品的數(shù)量，最 后編譯成統(tǒng)一的數(shù)據(jù)格式后再上傳到服務(wù)端。
[0028] 由于某些測試機(jī)的臨時文件會很大，而文件中的數(shù)據(jù)又是不斷累加的，當(dāng)測試的 類型越多，文件就會越大。為提高客戶端的讀取效率，我們的客戶端采用了續(xù)讀的方法，客 戶端會記錄上次讀到了哪一行，這次執(zhí)行時直接從該行開始讀取，然后將數(shù)量和上次的數(shù) 量進(jìn)行累加。完成之后再使用socket套接字，利用TCP/IP協(xié)議，將數(shù)據(jù)發(fā)向服務(wù)端。
[0029] 服務(wù)端包括存儲模塊和對比模塊。所述存儲模塊將客戶端上傳的數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲， 所述對比模塊將客戶端上傳的數(shù)據(jù)與上次存儲數(shù)據(jù)對比分析，所述存儲模塊與對比文件通 過數(shù)據(jù)交互連接。作為更加優(yōu)選的方式，作為更加優(yōu)選的方式，還可以使得工廠內(nèi)數(shù)據(jù)庫的 數(shù)據(jù)備份到云端，在云端提供Web監(jiān)控和各類客制化的報表。采用云端的方式還具有如下 優(yōu)勢：1、云端數(shù)據(jù)備份：數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)定期備份到云端數(shù)據(jù)庫中，提高了數(shù)據(jù)安全性。2、云端 數(shù)據(jù)處理：客戶可以利用云端處理數(shù)據(jù)量大的報表，不占用本地電腦資源，系統(tǒng)完成后可以 自動將報表發(fā)給客戶。3、云端數(shù)據(jù)比對：相同客戶可以利用云端數(shù)據(jù)比對不同分包商的生 產(chǎn)效率、良率等信息，平衡產(chǎn)能。4、多平臺訪問：由于使用WEB技術(shù)，透過互聯(lián)網(wǎng)，用戶可以 通過PC，平板電腦，智能手機(jī)實(shí)時監(jiān)控產(chǎn)線生產(chǎn)情況如同置身在工廠環(huán)境。
[0030] 下面對服務(wù)端進(jìn)行詳細(xì)描述：服務(wù)端采用另外的模塊，它是利用P〇E(Perl Object Environment)編寫的，用它來創(chuàng)建監(jiān)聽socket套接字并接收來自客戶端的IP以及數(shù)據(jù)。 由于我們事先設(shè)定了測試機(jī)和對應(yīng)IP的數(shù)據(jù)庫，這樣我們就可以將接收的數(shù)據(jù)和相應(yīng)的 設(shè)備一一對應(yīng)起來，然后再將這些數(shù)據(jù)保存到服務(wù)端的存儲模塊中，當(dāng)下次新的數(shù)據(jù)到來 時，對比模塊將對新數(shù)據(jù)與前一次的數(shù)據(jù)進(jìn)行對比分析，此次的對比主要是看測試數(shù)量的 變換，如果數(shù)量不變表示設(shè)備不在生產(chǎn)，如果數(shù)量變大了，表示在生產(chǎn)，我們將這個變化用 數(shù)字1和2來代表，對比完成之后1和2合并在一起形成一個新的1更新進(jìn)數(shù)據(jù)庫。至于 產(chǎn)品信息數(shù)據(jù)，我們也將它們保存到一個臨時的數(shù)據(jù)表中，并進(jìn)行實(shí)時更新。
[0031] 所述顯示終端采用WEB形式顯示。
[0032] 下面對顯示終端進(jìn)行詳細(xì)描述：在服務(wù)端成功獲取到客戶端的數(shù)據(jù)并經(jīng)過分析對 比后，就需要通過終端將其顯示出來，這里我們采用的顯示終端為WEB的方式，通過WEB的 形式將對比分析之后的數(shù)據(jù)顯示出來，供相關(guān)負(fù)責(zé)人了解和掌握不同位置測試機(jī)的實(shí)時狀 態(tài)，使用WEB作為顯示終端的好處是：更新無需到客戶端進(jìn)行，只要直接更新服務(wù)端，即將 經(jīng)過對比模塊后新生成的網(wǎng)頁文件更新即可。采用WEB的方式第二個好處就是便于維護(hù)。 第三個好處是還可以將端口開放，這樣用戶可以就通過internet直接進(jìn)行訪問，這樣用戶 在千里之外就可以實(shí)時的了解生產(chǎn)現(xiàn)場的實(shí)時狀況。以便能夠及時做出相應(yīng)的決策。
[0033] -種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控的方法是通過如下的方式來實(shí)現(xiàn)的，執(zhí)行步驟S1， 設(shè)置權(quán)利要求1中所述的客戶端與服務(wù)端，使客戶端在服務(wù)端有唯一地址。由于在半導(dǎo)體 測試機(jī)的測試過程中都能生成一份實(shí)時的數(shù)據(jù)文件， 執(zhí)行步驟S2,通過客戶端來定時執(zhí)行讀取并解析測試機(jī)程序產(chǎn)生的實(shí)時數(shù)據(jù)文件?？?戶端解析測試機(jī)程序中的程序名、批號、開始生產(chǎn)時間、員工信息、測試步驟等信息。
[0034] 執(zhí)行步驟S3,通過客戶端間隔讀取測試機(jī)程序中的測試數(shù)據(jù)，執(zhí)行步驟S3采用續(xù) 讀方式，讀取信息執(zhí)行時從上次記錄處開始讀取，并將讀取數(shù)據(jù)進(jìn)行累加。所述執(zhí)行步驟S3 還設(shè)有臨時一覽數(shù)據(jù)表，該數(shù)據(jù)表每分鐘更新一次數(shù)據(jù)。
[0035] 執(zhí)行步驟S4,通過客戶端將采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行提取并按照既定格式進(jìn)行排列然后 轉(zhuǎn)化為統(tǒng)一格式后，然后再將數(shù)據(jù)文件通過網(wǎng)絡(luò)傳送到服務(wù)端。
[0036] 執(zhí)行步驟S5,服務(wù)端將接收的數(shù)據(jù)與上次存儲到存儲模塊的數(shù)據(jù)進(jìn)行對比后判斷 測試機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)。即服務(wù)端的對比模塊對比前后兩次數(shù)據(jù)文件的狀況來判定出設(shè)備在生 產(chǎn)、停機(jī)和結(jié)批等結(jié)論，并將這些數(shù)據(jù)和結(jié)論保存到數(shù)據(jù)庫中。
[0037] 執(zhí)行步驟S6,服務(wù)端對其接收到的客戶端數(shù)據(jù)和經(jīng)判斷得出的測試機(jī)運(yùn)行狀態(tài)標(biāo) 記更新到存儲模塊中。
[0038] 執(zhí)行步驟S7,顯示終端將存儲模塊更新之后的數(shù)據(jù)和測試機(jī)狀態(tài)進(jìn)行展示。即顯 示終端通過web技術(shù)來將對比分析之后的數(shù)據(jù)展示給用戶。這里我們可以利用線框表示設(shè) 備，線框內(nèi)的顏色表示設(shè)備的狀態(tài)，數(shù)字表示良率，直觀地進(jìn)行展示；當(dāng)用戶將鼠標(biāo)移到具 體的線框上時，通過Ajax技術(shù)將數(shù)據(jù)庫中存儲的詳細(xì)信息顯示出來。
[0039] 以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā) 明的技術(shù)方案內(nèi)所做出的等效變換，或直接或間接運(yùn)用在與之相關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】內(nèi)，均落入到 本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：包括：讀取測試機(jī)程序產(chǎn)生的相 關(guān)數(shù)據(jù)并上傳的客戶端；讀取客戶端上傳的數(shù)據(jù)并進(jìn)行分析對比的服務(wù)端； 將服務(wù)器對比之后的數(shù)據(jù)顯示出來的顯示終端； 所述客戶端、服務(wù)端和顯示終端通過數(shù)據(jù)交互連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述客戶端包 括讀取模塊、整合模塊和發(fā)送模塊； 所述讀取模塊對各站點(diǎn)測試機(jī)軟件的數(shù)據(jù)進(jìn)行讀??； 所述整合模塊將讀取模塊讀取的數(shù)據(jù)整合為統(tǒng)一格式； 所述發(fā)送模塊將整合數(shù)據(jù)上傳到服務(wù)端； 所述讀取模塊、整合和發(fā)送模塊通過數(shù)據(jù)交互連接。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述服務(wù)端包 括存儲模塊和對比模塊；所述存儲模塊將客戶端上傳的數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲；所述對比模塊將 客戶端上傳的數(shù)據(jù)與上次存儲數(shù)據(jù)對比分析；所述存儲模塊與對比文件通過數(shù)據(jù)交互連 接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述顯示終端 采用WEB形式顯示。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述服務(wù)端中 的存儲模塊內(nèi)設(shè)有設(shè)備對應(yīng)IP數(shù)據(jù)庫。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述服務(wù)端的 存儲模塊將存儲數(shù)據(jù)按固定時間備份到云端。
7. -種半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控的方法：其特征在于：包括如下步驟：執(zhí)行步驟S1， 設(shè)置權(quán)利要求1中所述的客戶端與服務(wù)端，使客戶端在服務(wù)端有唯一地址； 執(zhí)行步驟S2,通過客戶端解析測試機(jī)程序中的程序名、批號、開始生產(chǎn)時間、員工信息、 測試步驟等信息；執(zhí)行步驟S3,通過客戶端間隔讀取測試機(jī)程序中的測試數(shù)據(jù)；執(zhí)行步 驟S4,通過客戶端將采集到的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為統(tǒng)一格式上傳給服務(wù)端； 執(zhí)行步驟S5,服務(wù)端將接收的數(shù)據(jù)與上次存儲到存儲模塊的數(shù)據(jù)進(jìn)行對比后判斷測試 機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)； 執(zhí)行步驟S6，服務(wù)端對其接收到的客戶端數(shù)據(jù)和經(jīng)判斷得出的測試機(jī)運(yùn)行狀態(tài)標(biāo)記更 新到存儲模塊中； 執(zhí)行步驟S7,顯示終端將存儲模塊更新之后的數(shù)據(jù)和測試機(jī)狀態(tài)進(jìn)行展示。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控的方法，其特征在于：所述執(zhí)行步 驟S3采用續(xù)讀方式，讀取信息執(zhí)行時從上次記錄處開始讀取，并將讀取數(shù)據(jù)進(jìn)行累加。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控的方法，其特征在于：所述執(zhí)行步 驟S3還設(shè)有臨時一覽數(shù)據(jù)表，該數(shù)據(jù)表每分鐘更新一次數(shù)據(jù)。
【文檔編號】G01R31/26GK104122871SQ201410363773
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年7月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月29日
【發(fā)明者】于兵, 趙銀波 申請人:于兵, 趙銀波