基于t型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計的制作方法

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基于t型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種基于T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，該加速度計包括有諧振器、質量塊、正電極、負電極、安裝框、隔離框、固定框和連接臂；正負電極為覆銅在諧振器、固定框、連接臂和安裝框上，質量塊與固定框之間是諧振器。本發明設計的石英振梁加速度計，采用豎梁、橫梁及T型梁的結構形式，從而使諧振器具有測量溫度信息的功能，三梁結構在敏感軸方向的等效剛度很低，可實現高靈敏度的加速度測量。在非敏感軸方向的等效剛度很大，有效抑制非敏感軸方向上力的干擾。從結構設計上可消除兩個差動結構諧振器間的機械耦合，消除加速度計的檢測盲區，提高石英振梁加速度計的檢測精度。
【專利說明】基于T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計

【技術領域】
[0001] 本發明涉及一種加速度計，更特別地說，是指一種基于Τ型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，屬于微機電系統（簡稱MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)中的微慣性傳感【技術領域】。

【背景技術】
[0002] 石英振梁加速度計是一種基于石英力頻特性的MEMS慣性傳感器，具有成本低、體積小、量程大、靈敏度高、標度因數穩定性好、直接數字輸出等優點，可廣泛應用于戰術導彈姿態控制、慣性導航、大地重力測量、地球資源勘探以及微型機器人中，有著重要的軍用價值和民用價值。
[0003] 石英振梁加速度計是通過再次裝配形成差動結構的，因而兩個諧振器之間有較大的機械耦合，會導致較大的測量盲區。另外，撓性鉸鏈的彈性剛度很大，使質量塊在感知加速度計變化時運動幅度和反應靈敏度受到限制，降低了石英振梁加速度計的靈敏度，不易實現高精度的加速度測量。

【發明內容】

[0004] 為了改變環境溫度對石英振梁加速度計測量精度的影響，本發明設計了一種基于 T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計。本發明一方面采用質量塊所受的慣性力與諧振器振動梁振動方向保持一致，另一方面諧振器設計為三梁結構，且諧振器在石英振梁加速度計的敏感軸方向的彈性剛度較小，從而提高了石英振梁加速度計的靈敏度。通過測量諧振器中的T型結構件的振動頻率的改變量，以克服環境溫度對加速度計測量精度的影響。
[0005] 本發明的一種基于T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，其包括有A諧振器（1)、B諧振器（2)、A質量塊（6A)、B質量塊（6B)、第一正電極（7A)、第一負電極（7B)、第二正電極（7C)、第二負電極（7D)、第三正電極（8A)、第三負電極（8B)、第四正電極（8C)、第四負電極（8D)、安裝框（3)、A隔離框（4A)、B隔離框（4B)、A固定框（5A)、 B固定框（5B)、第一連接臂（9A)、第二連接臂（9B)、第三連接臂（9C)、第四連接臂（9D);
[0006] 其中，A諧振器⑴與B諧振器2的結構相同；
[0007] 其中，A質量塊（6A)與B質量塊6B的結構相同；
[0008] 其中，第一正電極（7A)、第一負電極（7B)、第二正電極（7C)和第二負電極（7D)的結構相同；
[0009] 其中，第三正電極（8A)與第三負電極（8B)的結構相同；
[0010] 其中，第四正電極（8C)與第四負電極（8D)的結構相同；
[0011] 其中，A隔離框（4A)與B隔離框（4B)的結構相同；
[0012] 其中，A固定框（5A)與B固定框（5B)的結構相同；
[0013] 其中，第一連接臂（9A)與第三連接臂（9C)的結構相同；
[0014] 其中，第二連接臂（9B)與第四連接臂（9D)的結構相同；
[0015] A諧振器（1)由AA堅梁（ΙΑ)、AB堅梁（IB)、AC堅梁（1C)、AD堅梁（ID)、AA橫梁 (IE) 、AB橫梁（IF)、AC橫梁（1G)、AD橫梁（1H)、第一 T形梁（1J)和第二T形梁（1K)構成；第一 T形梁（1J)設置在AA堅梁（1A)的中心處外側；第二T形梁（1K)設置在AD堅梁 (1D)的中心處外側；AA堅梁（1A)、AB堅梁（1B)、AC堅梁（1C)和AD堅梁（1D)沿X軸向平行放置，且AA堅梁（ΙΑ)、AB堅梁（IB)、AC堅梁（1C)和AD堅梁（1D)之間有切縫；AB橫梁 (IF) 、AC橫梁（1G)和AD橫梁（1H)沿Y軸向平行放置，且AB橫梁（1F)用于連接AA堅梁 (ΙΑ)、AB堅梁（IB)、AC堅梁（1C)和AD堅梁（1D)的上部，AD橫梁（1H)用于連接AA堅梁 (1A)、AB堅梁（1B)、AC堅梁（1C)和AD堅梁（1D)的下部，AB堅梁（1B)和AC堅梁（1C)用于連接AB堅梁（1B)與AC堅梁（1C);
[0016] B諧振器⑵由BA堅梁（2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)、BD堅梁（2D)、BA橫梁 (2E)、BB橫梁（2F)、BC橫梁（2G)、BD橫梁（2H)、第三T形梁（2J)和第四T形梁（2K)構成；第三T形梁（2J)設置在BA堅梁（2A)的中心處外側；第四T形梁（2K)設置在BD堅梁 (2D)的中心處外側；BA堅梁（2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)和BD堅梁（2D)沿X軸向平行放置，且BA堅梁（2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)和BD堅梁（2D)之間有切縫；BB橫梁 (2F)、BC橫梁（2G)和BD橫梁（2H)沿Y軸向平行放置，且BB橫梁（2F)用于連接BA堅梁 (2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)和BD堅梁（2D)的上部，BD橫梁（2H)用于連接BA堅梁 (2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)和BD堅梁（2D)的下部，BB堅梁（2B)和BC堅梁（2C)用于連接BB堅梁（2B)與BC堅梁（2C);
[0017] 第一正電極（7A)的覆銅構型從里向外順次覆銅為AA堅梁（ΙΑ)、AA橫梁（IE)、AB 堅梁（IB)、A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3);
[0018] 第一負電極（7B)的覆銅構型從里向外順次覆銅為AC堅梁（1C)、AA橫梁（IE)、AD 堅梁（ID)、A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3);
[0019] 第二正電極（7C)的覆銅構型從里向外順次覆銅為BA堅梁（2A)、BA橫梁（2E)、BB 堅梁（2B)、B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3);
[0020] 第二負電極（7D)的覆銅構型從里向外順次覆銅為BC堅梁（2C)、BA橫梁（2E)、BD 堅梁（2D)、B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3);
[0021] 第三正電極（8A)的第一支覆銅構型從里向外順次覆銅為第一 T形梁（1J)、AA堅梁（1A);第三正電極（8A)的第二支覆銅構型從里向外順次覆銅為第二T形梁（IK)、ADM 梁（ID);第三正電極（8A)的第三支覆銅構型從里向外順次覆銅為A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3);且第一支覆銅構型與第二支覆銅構型在A固定框（5A)匯合后共用第三支覆銅構型；
[0022] 第三負電極（8B)的第一支覆銅構型從里向外順次覆銅為第一 T形梁（1J)、AA堅梁（ΙΑ)、A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3); 第三負電極（8B)的第二支覆銅構型從里向外順次覆銅為第二T形梁（1K)、AD堅梁（1D)、A 固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3);且第一支覆銅構型與第二支覆銅構型在安裝框（3)匯合；
[0023] 第四正電極（8C)的第一支覆銅構型從里向外順次覆銅為第三T形梁（2J)、BA堅梁（2A);第四正電極（8C)的第二支覆銅構型從里向外順次覆銅為第四T形梁（2K)、BD堅梁（2D);第四正電極（8C)的第三支覆銅構型從里向外順次覆銅為B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3);且第一支覆銅構型與第二支覆銅構型在B固定框（5B)匯合后共用第三支覆銅構型；
[0024] 第四負電極（8D)的第一支覆銅構型從里向外順次覆銅為第三T形梁（2J)、BA堅梁（2A)、B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3); 第四負電極（8D)的第二支覆銅構型從里向外順次覆銅為第四T形梁（2K)、BD堅梁（2D)、B 固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3);且第一支覆銅構型與第二支覆銅構型在安裝框（3)匯合；
[0025] 在介質基板（9)上采用光刻腐蝕出多個切縫得到鏤空構型；
[0026] 在介質基板（9)上去除第一切縫（91)后構型得到A隔離框（4A)、B隔離框（4B)、第一連接臂（9A)和第四連接臂（9D)，通過第一連接臂（9A)實現A隔離框（4A)與安裝框 (3)連接，通過第四連接臂（9D)實現B隔離框（4B)與安裝框（3)連接；
[0027] 在介質基板（9)上去除第二切縫（92)與第四切縫（94)后構型得到A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A質量塊（6A)和A諧振器（1)，通過第二連接臂（9B)實現A固定框（5A) 與A隔離框（4A)連接，A諧振器（1)連接在A固定框（5A)與A質量塊（6A)之間，且位于介質基板（9)的上層面；
[0028] 在介質基板（9)上去除第三切縫（93)與第五切縫（95)后構型得到B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B質量塊（6B)和B諧振器（2)，通過第三連接臂（9C)實現B固定框（5B) 與B隔離框（4B)連接，B諧振器（2)連接在B固定框（5B)與B質量塊（6B)之間，且位于介質基板（9)的下層面。
[0029] 本發明設計的一種基于T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，具有以下優點：
[0030] ①本發明設計的諧振器具有T型結構部件，可以準確測量諧振器溫度信息，可以避免環境溫度對加速度計高精度測量的影響。
[0031] ②本發明設計的諧振器采用的三梁結構在加速度計敏感軸向的彈性剛度較小，由于質量塊沿敏感軸方向振動，質量塊所受到的慣性力可以完全加載到振梁的軸向上，因此提高了石英振梁加速度計的靈敏度。
[0032] ③本發明設計的諧振器中的堅梁與T型梁的振動模態是不同的，固有頻率相差大，從而避免了堅梁、橫梁及T型梁的振動產生相互影響。
[0033] ④本發明的石英振梁加速度計中，三梁結構諧振器可以有效的抑制非敏感軸方向力的干擾。
[0034] ⑤本發明的石英振梁加速度計中，采用隔離框將諧振器與安裝框相連，因此可以有效隔離外界振動和熱應力對振梁的影響。
[0035] ⑥本發明的石英振梁加速度計中，兩個差動結構的諧振器通過MEMS加工技術一體加工而成，這種一體差動結構可以完全消除兩個差動諧振器間的機械耦合，消除測量盲區，降低測量誤差，提高加速度計的檢測精度。
[0036] ⑦本發明的石英振梁加速度計中，整片結構采用同一種石英材料，避免了由于不同材料熱膨脹系數不同導致的熱應力的影響。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0037] 圖1是本發明設計的一體差動式石英振梁加速度計的正視結構示意圖。
[0038] 圖1A是本發明設計的一體差動式石英振梁加速度計的正視結構灰度示意圖。
[0039] 圖1B是本發明設計的一體差動式石英振梁加速度計的后視結構示意圖。
[0040] 圖1C是本發明設計的一體差動式石英振梁加速度計的后視結構灰度示意圖。
[0041] 圖1D是本發明設計的一體差動式石英振梁加速度計的立體結構示意圖。
[0042] 圖2是本發明設計的A諧振器的正視結構示意圖。
[0043] 圖2A是本發明設計的B諧振器的正視結構示意圖。
[0044] 圖2B是本發明設計的A諧振器的振動模態示意圖。
[0045] 圖2C是本發明設計的A諧振器的T形梁的振動模態示意圖。
[0046] 圖3是本發明設計的四個電極的結構圖。
[0047] 圖3A是本發明設計的位于A諧振器處的電極結構圖。
[0048] 圖3B是本發明設計的位于B諧振器處的電極結構圖。

【權利要求】
1. 一種基于T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，其特征在于：該加速度計包括有Α諧振器（1)、Β諧振器（2)、Α質量塊（6Α)、Β質量塊（6Β)、第一正電極 (7A)、第一負電極（7B)、第二正電極（7C)、第二負電極（7D)、第三正電極（8A)、第三負電極 (8B)、第四正電極（8C)、第四負電極（8D)、安裝框（3)、A隔離框（4A)、B隔離框（4B)、A固定框（5A)、B固定框（5B)、第一連接臂（9A)、第二連接臂（9B)、第三連接臂（9C)、第四連接臂（9D); 其中，A諧振器⑴與B諧振器2的結構相同；其中，A質量塊^A)與B質量塊6B的結構相同；其中，第一正電極（7A)、第一負電極（7B)、第二正電極（7C)和第二負電極（7D)的結構相同；其中，第三正電極（8A)與第三負電極（8B)的結構相同；其中，第四正電極（8C)與第四負電極（8D)的結構相同；其中，A隔離框（4A)與B隔離框（4B)的結構相同；其中，A固定框（5A)與B固定框（5B)的結構相同；其中，第一連接臂（9A)與第三連接臂（9C)的結構相同；其中，第二連接臂（9B)與第四連接臂（9D)的結構相同； A諧振器（1)由AA堅梁（ΙΑ)、AB堅梁（IB)、AC堅梁（1C)、AD堅梁（ID)、AA橫梁（1E)、 AB橫梁（IF)、AC橫梁（1G)、AD橫梁（1H)、第一 T形梁（1J)和第二T形梁（1K)構成；第一 T形梁（1J)設置在AA堅梁（1A)的中心處外側；第二T形梁（1K)設置在AD堅梁（1D)的中心處外側；AA堅梁（1A)、AB堅梁（1B)、AC堅梁（1C)和AD堅梁（1D)沿X軸向平行放置，且 AA堅梁（ΙΑ)、AB堅梁（IB)、AC堅梁（1C)和AD堅梁（1D)之間有切縫；AB橫梁（IF)、AC橫梁（1G)和AD橫梁（1H)沿Y軸向平行放置，且AB橫梁（1F)用于連接AA堅梁（1A)、AB堅梁（IB)、AC堅梁（1C)和AD堅梁（1D)的上部，AD橫梁（1H)用于連接AA堅梁（ΙΑ)、AB堅梁（IB)、AC堅梁（1C)和AD堅梁（1D)的下部，AB堅梁（1B)和AC堅梁（1C)用于連接AB 堅梁（1B)與AC堅梁（1C); B諧振器（2)由BA堅梁（2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)、BD堅梁（2D)、BA橫梁（2E)、 BB橫梁（2F)、BC橫梁（2G)、BD橫梁（2H)、第三T形梁（2J)和第四T形梁（2K)構成；第三 T形梁（2J)設置在BA堅梁（2A)的中心處外側；第四T形梁（2K)設置在BD堅梁（2D)的中心處外側；Μ堅梁（2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)和BD堅梁（2D)沿X軸向平行放置，且 BA堅梁（2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)和BD堅梁（2D)之間有切縫；BB橫梁（2F)、BC橫梁（2G)和BD橫梁（2H)沿Y軸向平行放置，且BB橫梁（2F)用于連接BA堅梁（2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)和BD堅梁（2D)的上部，BD橫梁（2H)用于連接BA堅梁（2A)、BB堅梁（2B)、BC堅梁（2C)和BD堅梁（2D)的下部，BB堅梁（2B)和BC堅梁（2C)用于連接BB 堅梁（2B)與BC堅梁（2C); 第一正電極（7A)的覆銅構型從里向外順次覆銅為AA堅梁（1A)、AA橫梁（1E)、AB堅梁 (1B)、A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3); 第一負電極（7B)的覆銅構型從里向外順次覆銅為AC堅梁（1C)、AA橫梁（1E)、AD堅梁 (1D)、A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3); 第二正電極（7C)的覆銅構型從里向外順次覆銅為BA堅梁（2A)、BA橫梁（2E)、BB堅梁 (2B)、B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3); 第二負電極（7D)的覆銅構型從里向外順次覆銅為BC堅梁（2C)、BA橫梁（2E)、BD堅梁 (2D)、B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3); 第三正電極（8A)的第一支覆銅構型從里向外順次覆銅為第一 T形梁（1J)、AA堅梁 (1A);第三正電極（8A)的第二支覆銅構型從里向外順次覆銅為第二T形梁（1K)、AD堅梁 (1D);第三正電極（8A)的第三支覆銅構型從里向外順次覆銅為A固定框（5A)、第二連接臂 (9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3);且第一支覆銅構型與第二支覆銅構型在A固定框（5A)匯合后共用第三支覆銅構型；第三負電極（8B)的第一支覆銅構型從里向外順次覆銅為第一 T形梁（1J)、AA堅梁 (ΙΑ)、A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3);第三負電極（8B)的第二支覆銅構型從里向外順次覆銅為第二T形梁（1K)、AD堅梁（1D)、A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A隔離框（4A)、第一連接臂（9A)和安裝框（3);且第一支覆銅構型與第二支覆銅構型在安裝框（3)匯合；第四正電極（8C)的第一支覆銅構型從里向外順次覆銅為第三T形梁（2J)、BA堅梁 (2A);第四正電極（8C)的第二支覆銅構型從里向外順次覆銅為第四T形梁（2K)、BD堅梁 (2D);第四正電極（8C)的第三支覆銅構型從里向外順次覆銅為B固定框（5B)、第三連接臂 (9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3);且第一支覆銅構型與第二支覆銅構型在B固定框（5B)匯合后共用第三支覆銅構型；第四負電極（8D)的第一支覆銅構型從里向外順次覆銅為第三T形梁（2J)、BA堅梁 (2A)、B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3);第四負電極（8D)的第二支覆銅構型從里向外順次覆銅為第四T形梁（2K)、BD堅梁（2D)、B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B隔離框（4B)、第四連接臂（9D)和安裝框（3);且第一支覆銅構型與第二支覆銅構型在安裝框（3)匯合；在介質基板（9)上采用光刻腐蝕出多個切縫得到鏤空構型；在介質基板（9)上去除第一切縫（91)后構型得到A隔離框（4A)、B隔離框（4B)、第一連接臂（9A)和第四連接臂（9D)，通過第一連接臂（9A)實現A隔離框（4A)與安裝框⑶連接，通過第四連接臂（9D)實現B隔離框（4B)與安裝框（3)連接；在介質基板（9)上去除第二切縫（92)與第四切縫（94)后構型得到A固定框（5A)、第二連接臂（9B)、A質量塊（6A)和A諧振器（1)，通過第二連接臂（9B)實現A固定框（5A)與 A隔離框（4A)連接，A諧振器（1)連接在A固定框（5A)與A質量塊（6A)之間，且位于介質基板（9)的上層面；在介質基板（9)上去除第三切縫（93)與第五切縫（95)后構型得到B固定框（5B)、第三連接臂（9C)、B質量塊（6B)和B諧振器（2)，通過第三連接臂（9C)實現B固定框（5B)與 B隔離框（4B)連接，B諧振器（2)連接在B固定框（5B)與B質量塊（6B)之間，且位于介質基板（9)的下層面。
2.根據權利要求1所述的基于T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，其特征在于A諧振器（1)和B諧振器（2)的構型具體尺寸為：將堅梁沿X軸向上的寬度記為d1A，堅梁沿Y軸向上的長度記為h 1A，兩個堅梁之間的間隔記為a1A，則有d1A = a1A，h1A =(36 ?40) d1A ; 其中，AA橫梁（1E)和AD橫梁（1H)的結構相同，AB橫梁（IF)和AC橫梁（1G)的結構相同；橫梁沿Y軸向上的長度記為h1E，AA橫梁（1E)和AD橫梁（1H)沿X軸向上的寬度記為d 1E，且d1E = 4d1A+3a1A ;AB橫梁（1F)和AC橫梁（1G)沿X軸向上的寬度記為d1F，且d1F = 2d1A+a1A;AA橫梁（1E)與AB橫梁（IF)之間的間隔記為h 1E_1F，AB橫梁（IF)與AC橫梁（1G) 之間的間隔記為 h1F_lc，h1F_lc = (1. 5 ?2. 5)d1A ; 其中，第一 T形梁（1J)和第二T形梁（1K)的結構相同；T形梁沿X軸向上的寬度記為 (^，Τ形梁連接臂沿X軸向上的寬度記為di, Τ形梁沿Υ軸向上的長度記為h1T，Τ形梁連接臂沿Y軸向上的長度記為14,所述也是第一 T形梁（1J)與AA堅梁（1A)的間距，同理，所述< 也是第二T形梁（1K)與AD堅梁（1D)的間距；(^ = (0. 5?l)d1A，h = (1. 5? 2. 5) d1A，
A諧振器（1)和B諧振器（2)的在Y軸方向上的形變量的通式為Ay = Yd，γ表示形變系數。
3. 根據權利要求1所述的基于Τ型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，其特征在于：質量塊用于將慣性力轉換為施加到諧振器的堅梁上的應變力。
4. 根據權利要求1所述的基于Τ型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，其特征在于：隔離框能夠抑制Α諧振器（1)與Β諧振器（2)在振動情況下的機械耦合。
5. 根據權利要求1所述的基于T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，其特征在于：A固定框（5A)與A質量塊（6A)及B固定框（5B)與B質量塊（6B)之間的撓性結合，使得本發明設計的加速度計工作在差動狀態。
6. 根據權利要求1所述的基于T型結構的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，其特征在于：諧振器上的堅梁振動模式為振動模式，諧振器上的T型梁振動模式為溫度模式，振動模式對于Z軸方向的加速度力敏感，溫度模式對于T型梁的X、Y兩個軸方向的加速度力敏感。
【文檔編號】G01P15/097GK104049107SQ201410239300
【公開日】2014年9月17日申請日期:2014年5月30日優先權日:2014年5月30日
【發明者】周震, 史杰, 馮麗爽, 楊功流申請人:北京航空航天大學

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