自動光學檢測裝置的對焦方法
【專利摘要】本發明公開一種自動光學檢測裝置的對焦方法，該對焦方法包含依據多個待測物中第一待測物的對焦距離決定多個待選距離，第一待測物相鄰于第二待測物，以所述多個待選距離對第二待測物拍攝對應的多個待選影像，并從這些待選影像中，選擇清晰度最高的作為第二待測物的檢測影像，以進行檢測程序。
【專利說明】自動光學檢測裝置的對焦方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種自動光學檢測裝置的對焦方法，更具體地說，是關于一種自動光學檢測裝置可快速對多個待測物對焦的方法。
【背景技術】
[0002]在積體電路相關的領域中，自動測試是一個重要的環節。自動測試是用來判斷一個積體電路晶片的功能是否正常的流程。而對于具有光學鏡頭的積體電路更必須要判斷其光學鏡頭是否有瑕疵。
[0003]在決定一個積體電路晶片的光學鏡頭是否有瑕疵，可以拍攝此光學鏡頭的影像，以這個影像來判斷鏡頭內是否有刮痕或污點等瑕疵。而要用影像來判斷鏡頭內是否有瑕疵，必須要取得足夠清晰的影像。因此，如何快速對大量待測物進行對焦，是光學自動測試中待解決的問題。
【發明內容】
[0004]有鑒于以上的問題，本發明提出一種自動光學檢測裝置的對焦方法，此對焦方法在對一個托盤上的一個待測物對焦時，依據托盤上相鄰于此待測物的另外一個或多個待測物的對焦距離，來決定此待測物的對焦距離。由于托盤上相鄰的待測物的對焦距離差異不大，因此利用此方法可以快速地對多個待測物對焦，從而減少檢測所需花費的時間。
[0005]依據本發明一個或多個實施例所實現的一種自動光學檢測裝置的對焦方法，適于對一個托盤上的多個待測物(device under test, DUT)對焦,此對焦方法包含依據前述多個待測物中第一待測物所對應的對焦距離決定多個待選距離，第一待測物相鄰于第二待測物。以所述多個待選距離對第二待測物拍攝對應的多個待選影像，并從這些待選影像中，選擇清晰度最高的作為第二待測物的檢測影像，以進行進一步的檢測程序。
[0006]依據本發明一個或多個實施例所實現的另一種自動光學檢測裝置的對焦方法，適于對一個托盤上的多個待測物(device under test, DUT)對焦,此對焦方法包含依據所述多個待測物中第一待測物所對應的對焦距離決定第二待測物的第一待選距離與第二待選距離，其中第一待測物相鄰于第二待測物。以第一待選距離對第二待測物拍攝第一待選影像。以第二待選距離對第二待測物拍攝第二待選影像。比較第一待選影像的清晰度與第二待選影像的清晰度，以決定第三待選距離相對于第一待選距離或第二待選距離的關系。以第三待選距離對第二待測物拍攝第三待選影像，并至少依據第一待選影像、第二待選影像與第三待選影像，決定第二待測物的檢測影像，以對第二待測物執行檢測程序。
[0007]依據本發明的自動光學檢測裝置的對焦方法，依據相鄰且已經完成對焦的待測物的對焦信息，來決定當前的待測物可能的對焦距離，并且可以更進一步依據多個待測物來判斷對焦距離的變化趨勢，并且可以更進一步依據對同一個待測物的連續兩張待選影像來決定進一步的對焦方向，整體而言可以大幅度減少對焦所需花費的時間，因此可以提高光學自動測試的效率。[0008]以上的關于本
【發明內容】
的說明及以下的實施方式的說明是用以示范與解釋本發明的精神與原理，并且提供本發明的權利要求書更進一步的解釋。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為依據本發明一實施例中的方法所實現的檢測裝置功能方塊圖。
[0010]圖2為依據本發明一實施例中的方法所實現的檢測裝置操作示意圖。
[0011]圖3為依據本發明一實施例的清晰度分布圖。
[0012]圖4A為依據本發明一實施例中待測物的待測部位無瑕疵的影像。
[0013]圖4B為依據本發明一實施例中待測物的待測部位有瑕疵的影像。
[0014]圖5為依據本發明一實施例中的方法所實現的檢測裝置操作示意圖。
[0015]圖6為依據本發明一實施例的對焦方法流程圖。
[0016]圖7A為本發明一實施例中的對焦方法的部份流程圖。
[0017]圖7B為本發明一實施例中的對焦方法中接續于圖7A的部份流程圖。
[0018]圖7C為本發明一實施例中的對焦方法中接續于圖7A的部份流程圖。
[0019]其中:
[0020]I檢測裝置
[0021]11儲存模組
[0022]13影像拍攝模組
[0023]15處理模組
[0024]17檢測模組
[0025]19托盤
[0026]20、30、40 待測物
[0027]21、31、41對焦參考面
[0028]23、33、43 待測部位
[0029]402預設圖樣
[0030]406瑕疵影像
[0031]frf13 待選對焦平面
[0032]C20^C30 清晰度分布曲線
[0033]Cl1位移參數
【具體實施方式】
[0034]以下在實施方式中詳細敘述本發明的詳細特征以及優點，其內容足以使任何熟習相關技藝者了解本發明的技術內容并據以實施，且依據本說明書所公開的內容、權利要求書及附圖，任何熟習相關技藝者可輕易地理解本發明相關的目的及優點。以下的實施例進一步詳細說明本發明的觀點，但非以任何觀點限制本發明的保護范圍。
[0035]依據本發明一實施例中的方法所實現的一種檢測裝置，請參照圖1與圖2，圖1為依據本發明一實施例中的方法所實現的檢測裝置功能方塊圖，圖2為依據本發明一實施例中的方法所實現的檢測裝置操作示意圖。如圖1所示，檢測裝置I包含儲存模組11、影像拍攝模組13、處理模組15與檢測模組17。其中，處理模組15電性連接至儲存模組11與影像拍攝模組13。而檢測模組17電性連接至處理模組15。檢測裝置I可用以對一個托盤上的多個待測物進行檢測。
[0036]儲存模組11用以儲存前述多個待測物中至少一個已經完成對焦及/或檢測的待測物，例如圖2中的待測物20，所對應的對焦距離，其中待測物20位于正準備進行對焦及/或檢測的待測物30的一側(例如為左側)，且如圖2所示，待測物20可以相鄰于待測物30。舉例來說，當檢測裝置I對于一個托盤上一列的多個待測物，由左至右進行檢測時，當完成待測物20的檢測，則待測物20的對焦資料，例如對焦距離或是對焦平面，可以被儲存在儲存模組11中，以作為要對待測物30對焦的依據。依據本發明的精神，儲存模組11可以是揮發性儲存媒介或是非揮發性儲存媒介，本發明不加以限制。
[0037]要對托盤19上的一個或多個待測物對焦以進行檢測時，一般而言處理模組15可以控制影像拍攝模組13，以多個預設距離來對待測物拍攝多個待選影像。以圖2為例，首先對待測物20進行對焦及檢測時，處理模組15 (未繪示于圖2)控制影像拍攝模組13，以十三個預設距離，依序對焦到待選對焦平面Π至待選對焦平面Π3。由此可以得到十三張待選影像。其中，影像拍攝模組13的景深，可以選擇等于或者稍大于相鄰的兩個待選對焦平面(例如待選對焦平面f5與待選對焦平面f6)的距離。而后處理模組15分析這十三張待選影像中，每張影像對應到待測物20的對焦參考面21的部份影像，藉由分析每張待選影像的這個部份影像，來決定一張待選影像有「正確地」對焦到待測物20的對焦參考面21。
[0038]請進一步參考圖3，其為依據本發明一實施例的清晰度分布圖。處理模組15可以把這十三張待選影像中對應于對焦參考面21的影像區塊的清晰度都記錄來，形成如圖3中的清晰度分布曲線C20。由圖2可知，對焦參考面21正好對準待選對焦平面f7，因此可以由清晰度分布曲線C20中可以發現對應到待選對焦平面f7的待選影像，在對焦參考面21的影像區塊具有最高的清晰度，由此，處理模組15會選擇對應于待選對焦平面f7的待選影像作為待測物20的檢測影像，并以這個檢測影像的對焦距離，也就是對焦到待選對焦平面f7的預設距離作為一個參考距離。而后檢測模組17可以據此(檢測影像以及這個參考距離)來對待測物20執行一個檢測程序。
[0039]簡單來說，處理模組15會對這十三張待選影像，都分析對應于對焦參考面21的影像區塊，以決定這十三張待選影像中，對應到對焦參考面21的影像區塊的清晰度最高的一張待選影像選為檢測影像，并將對應的對焦距離設定為參考距離，以便于檢測模組17對待測物20執行檢測程序。
[0040]檢測模組17要對待測物20的待測部位23執行的檢測程序中，檢測模組17會控制影像拍攝模組13依據前述的對焦距離(也就是對焦到對焦參考面21/待選對焦平面f7的對焦距離)，并依據一個位移參數dl來重新設定對焦距離，以對焦至待測部位23的頂端。以圖2的例子來說，就是控制影像拍攝模組13對焦到待選對焦平面f5，并可以依序對焦到待選對焦平面f6、待選對焦平面f7、待選對焦平面f8，同時對待測物20的待測部位23進行一次或多次的影像拍攝，以得到一張或多張檢測影像。得到檢測影像后，檢測模組17以光學辨識的方法分析檢測影像，以確認待測部位23是否有瑕疵。
[0041]所述光學辨識的方法，舉例來說，請參照圖4A與圖4B，圖4A系依據本發明一實施例中待測物的待測部位無瑕疵的影像，圖4B系依據本發明一實施例中待測物的待測部位有瑕疵的影像。一般而言如果待測部位23沒有瑕疵，則對待測物所拍攝到的檢測影像會如圖4A所示，在影像中對應于待測部位23的影像區塊中僅有預設圖樣402。反之，如果待測部位23有瑕疵(刮傷、雜質)，則如圖4B所示，在影像中對應于待測部位23的影像區塊中除了有預設圖樣402以外，還有瑕疵影像406。據此，當檢測模組17判斷檢測影像中對應于待測部位的影像區塊中存在非預期的圖樣，則可以判斷受檢測的待測物在待測部位有瑕疵。
[0042]通常處理模組15要對待測物30進行對焦以便于檢測模組17對待測物30進行檢測程序時，處理模組15會控制影像拍攝模組13對待測物30重復前述對于待測物20所執行的一系列動作。然而當待測物的數量龐大時，這樣的對焦檢測流程非常的耗時。
[0043]于本發明一實施例中，請回到圖2，當處理模組15對待測物20執行完前述的對焦流程后，會在儲存模組11中，記錄待測物20的對焦參考面21所對應的對焦距離會對焦到待選對焦平面f7。而當處理模組15要接著控制影像拍攝模組13對待測物30進行對焦時，因為待測物30的對焦參考面31與待測物20的對焦參考面21對應到的待選對焦平面即使不同，也不會差很多(相鄰兩個待測物的鉛直位置或者說Z軸位置大致上相同)，所以可以選擇以待選對焦平面f7為中心的N個待選對焦平面，作為對應于待測物30的對焦參考面31的「可能對焦平面」，其中N為正整數。
[0044]例如N為5，那就是選擇待選對焦平面f5到待選對焦平面f9共五個待選對焦平面。因此，處理模組15可以控制影像拍攝模組13以對應到前述五個被選擇出來的待選對焦平面的五個待選距離，來分別對待測物30的對焦參考面31拍攝待選影像。由此，影像拍攝模組13拍攝到待測物30的五張待選影像，而處理模組15可以對這五張待選影像分別進行清晰度的分析，得到如圖3中的清晰度分布曲線C30。最終，處理模組15可以從這五張待選影像中，選出對應到對焦參考面31的影像區塊的清晰度最高的一張待選影像。依據圖3，處理模組15 —樣會選擇對焦到待選對焦平面f7的待選影像，并將之作為待測物30的檢測影像，以進行如同前述對待測物20進行過的一系列檢測程序。
[0045]同時請參照圖3，需要注意的是，即使待測物20與待測物30的位置關系(在Z軸上)如圖2所示位在同一個水平面上，但是對待測物20取得的待選影像的清晰度分布，仍然會與對待測物30取得的待選影像的清晰度分布不同。即使同樣是待選對焦平面(例如待選對焦平面f7)對應的待選影像，其清晰度都不相同。蓋因清晰度對于每個待測物的對焦參考面上的花紋，如圖4A或圖4B上的「CAP」字樣，來進行分析，但是每個待測物之間的花紋本身的清晰度就不會相同，因此，并不能單獨的設定一個預設清晰度門檻值來簡化此一流程，否則可能會有某些待測物對應的所有待選影像的清晰度都不超過預設清晰度門檻值，而導致無法對焦。
[0046]前述方法直接以前一個待測物的對焦信息，例如對焦距離或對焦平面，來作為中心以決定要被選擇用來對當前一個待測物拍攝影像的多個對焦距離或對焦平面。例如前述的例子中以正確對焦到對焦參考面20的待選對焦平面f7為中心，選擇了待選對焦平面f5到待選對焦平面f9作為要對待測物30拍攝待選影像的多個待選對焦平面。然而，可以更進一步以之前多個待測物的對焦信息，來推測一個對焦距離的變化趨勢，并依照這個變化趨勢適當的選擇多個可能的待選對焦平面或待選距離，以對當前的待測物拍攝多個待選影像。以下茲舉例敘述其中一種實作方式。
[0047]請參照圖5，其為依據本發明一實施例中的方法所實現的檢測裝置操作示意圖。如圖5所示，當處理模組15要對待測物20、待測物30、待測物40與待測物50進行對焦的時候，首先，處理模組15先控制影像拍攝模組13對準待測物20，以多個預設距離分別對焦到待選對焦平面fl到待選對焦平面Π3，以對待測物20拍攝共十三張待選影像，而后由于如圖5所示，對焦參考面21最接近待選對焦平面f6，因此依據前述的方法對待測物20的對焦距離會對焦到待選對焦平面f6，據此以前述的檢測程序，檢測模組17控制影像拍攝模組13對焦到待選對焦平面f4之后，向負Z軸方向以不同的對焦距離多次對待測物20拍攝檢測影像，以便辨識待測物20的待測部位23有無瑕疵。
[0048]接著，處理模組15控制影像拍攝模組13對準待測物30，此時可以依據待測物20的對焦信息，也就是待測物20的對焦距離、最接近對焦參考面21的待選對焦平面f6，來選擇待選對焦平面f4至待選對焦平面f8。處理模組15控制影像拍攝模組13分別對焦到這五個待選對焦平面來對待測物30拍攝待選影像。依據前述方法流程，由于如圖5所示，待測物30的對焦參考面31最接近待選對焦平面f5，所以處理模組15可以認定待選對焦平面f5所對應的待選影像是待測物30的檢測影像，以讓檢測模組17據以依據前述檢測程序對待測物30的待測部位33進行檢測，并且認定對焦到待選對焦平面K的一個預設距離是待測物30的對焦距離。
[0049]接著當處理模組15控制影像拍攝模組13對準待測物40準備對待測物40進行對焦時。由于前述待測物20與待測物30的對焦信息(對焦距離或對焦平面)已經被紀錄于儲存模組11，因此依據待測物20的對焦參考面21大致位于待選對焦平面f6，而待測物30的對焦參考面31大致位于待選對焦平面f5這樣的信息，處理模組15可以預測待測物40的對焦參考面41可能大致位于待選對焦平面f4。因此處理模組15可以控制影像拍攝模組13分別對焦到待選對焦平面f2至待選對焦平面f6來拍攝五張待測物40的待選影像。由圖5可以知道，實際上待測物40的對焦參考面41最接近待選對焦平面f5，因此處理模組15仍然計算出待選對焦平面f5所對應的待選影像中，對焦參考面41的影像區塊的清晰度高于其他幾張待選影像中同樣的影像區塊的清晰度。從而處理模組15會選擇待選對焦平面f5所對應的待選影像作為待測物40的檢測影像，而檢測模組17則以前述檢測程序對待測物40的待測部位43進行檢測。
[0050]由前述例子可以看出，于本發明一個實施例中，處理模組15并不是單純的以待測物30的對焦信息來決定待測物40的多個待選對焦平面或者多個待選距離。處理模組15可以更進一步依據待測物20的對焦信息搭配待測物30的對焦信息，來預測并選擇待測物40的多個待選對焦平面及/或待選距離。
[0051]因此，關于本發明一實施例的對焦方法，可以參照圖6，其依據本發明一實施例的對焦方法流程圖。如步驟S610所示:以N個預設距離分別對第一待測物拍攝待選影像，N為正整數。如步驟S620所示:依據N個第一待測物的待選影像來決定第一待測物的對焦距離。如步驟S630所示:依據第一待測物的對焦距離，從N個預設距離中選擇M個相鄰的待選距離，以對相鄰于第一待測物的第二待測物拍攝M個待選影像，其中M小于N。如步驟S640所示:依據M個第二待測物的影像來決定第二待測物的對焦距離。
[0052]于本發明另一個實施例中，請繼續參照圖5，當處理模組15已經控制影像拍攝模組13對待測物20完成對焦流程后，處理模組15將待測物20相關的對焦信息紀錄在儲存模組11中，于是處理模組15要控制影像拍攝模組13對待測物30對焦時，處理模組15可以先控制影像拍攝模組13對準待測物30，并且對焦于待選對焦平面f6，拍攝待測物30的第一待選影像。處理模組15并分析第一待選影像中，對應于待測物30的對焦參考面31的部份的影像區塊的清晰度。
[0053]接著，處理模組15可以控制影像拍攝模組13對焦于相鄰于待選對焦平面f6的其中一個待選對焦平面(例如待選對焦平面f5)，并拍攝待測物30的第二待選影像。處理模組15同樣分析第二待選影像中，對應于待測物30的對焦參考面31的部份的影像區塊的清晰度，而后處理模組15會發現同樣對應至對焦參考面31的部份的影像區塊，對焦在待選對焦平面f5的第二張待選影像具有更高的清晰度。據此，處理模組15可以預期如果控制影像拍攝模組13對焦到待選對焦平面f4來對待測物30拍攝第三待選影像，則第三待選影像中對應于對焦參考面31的部份的影像區塊可能會具有更好的清晰度。
[0054]當處理模組15實際控制影像拍攝模組13對焦到待選對焦平面f4來對待測物30拍攝第三待選影像，并且處理模組15實際分析第三待選影像時，處理模組15會發現，在前述三張待選影像中，第二待選影像中對應于待測物30的對焦參考面31的部份的影像區塊的清晰度最高，因此處理模組15就可以選擇第二待選影像作為待測物30的檢測影像。檢測模組17接著依據這個檢測影像以及所對應的對焦信息:對焦于待選對焦平面f5，以前述的檢測程序對待測物30的待測部位33進行檢測。
[0055]因此，于本發明另一實施例中的對焦方法，可以包含如圖7A至圖7C的流程，其中圖7A至圖7C分別為本發明一實施例中的對焦方法的部份流程圖。如步驟S710所示:以第一對焦距離來對待測物拍攝第一待選影像。如步驟S720所示:以大于第一對焦距離的第二對焦距離來對待測物拍攝第二待選影像。如步驟S730所示:判斷第一待選影像的清晰度是否大于第二待選影像的清晰度。
[0056]如果第一待選影像的清晰度大于第二待選影像的清晰度，則如步驟S740所示:以小于第一對焦距離的第三對焦距離來對待測物拍攝第三待選影像。并如步驟S742所示:判斷第二待選影像的清晰度是否小于第一待選影像的清晰度。如果第二待選影像的清晰度小于第一待選影像的清晰度，則如步驟S744所示:以第一待選影像作為待測物的檢測影像。否則如步驟S746所示:以第一對焦距離做為新的第二對焦距離，以第三對焦距離做為新的第一對焦距離而后回到步驟S740。
[0057]如果第一待選影像的清晰度小于第二待選影像的清晰度，則如步驟S750所示:以大于第二對焦距離的第三對焦距離來對待測物拍攝第三待選影像。并如步驟S752所示:判斷第二待選影像的清晰度是否小于第二待選影像的清晰度。如果第二待選影像的清晰度小于第二待選影像的清晰度，則如步驟S754所示:以第二待選影像作為待測物的檢測影像。否則如步驟S756所示:以第二對焦距離做為新的第一對焦距離，以第三對焦距離做為新的第二對焦距離而后回到步驟S750。
[0058]在另一實施例中，若步驟S720是以小于第一對焦距離的第二對焦距離來對待測物拍攝第二待選影像，則在步驟S730中，當第一待選影像的清晰度大于第二待選影像的清晰度時，設定第三對焦距離大于第一對焦距離；當第一待選影像的清晰度小于第二待選影像的清晰度時，設定第三對焦距離小于第二對焦距離，其余的流程類似，不再贅述。如此，搭配本發明的其他部份的精神，甚至可以只對一個待測物對焦三次至四次，就完成對于待測物正確的對焦，而能對待測物執行進一步的檢測程序。[0059]依據本發明的精神，影像拍攝模組13可以應用感光I禹合元件(charge-coupleddetector, CCD)、互補金屬氧化物半導體接面電晶體光感測裝置(complementarymetal-oxide semiconductor photo detector, CMOS PD)或其他適于感應并拍攝影像的裝置，并且影像拍攝模組13所拍攝的影像可以是灰階(grayscale)或全彩的影像，本發明不加以限制。
[0060]同樣地，依據本發明的精神，處理模組15與檢測模組17可以由特殊應用積體電路(application-specific integrated circuit, ASIC)、進階精簡指令集機器(advancedRISC machine, ARM)、中央處理單兀(central processing unit, CPU)、單晶片控制器或其他適于執行運算及控制指令的設備來實現，本發明不以此為限。
[0061]綜上所述，依據本發明一個或多個實施例所實現的對焦方法及應用此方法的檢測裝置，在要對一個待測物進行對焦時，可以依據相鄰的待測物的對焦距離來決定此待測物可能的對焦距離，從而大幅地減少對每一個待測物對焦的時間，加快了自動測試的流程。
[0062]雖然本發明以前述的實施例公開如上，然其并非用以限定本發明。在不脫離本發明的精神和范圍內，所為的更動與潤飾，均屬本發明的專利保護范圍。關于本發明所界定的保護范圍請參考本申請的權利要求書的保護范圍。
【權利要求】
1.一種自動光學檢測裝置的對焦方法，用以對一托盤上的多個待測物進行對焦，其特征在于，該對焦方法包含: (a)依據該些待測物中一第一待測物的對焦距離決定M個待選距離，該M個待選距離彼此不同，M為大于一的整數； (b)以該M個待選距離對一第二待測物拍攝M個第二待測物的待選影像，該第二待測物相鄰于該第一待測物，該M個第二待測物的待選影像分別對應于該M個待選距離；以及 (c)選擇該M個第二待測物的待選影像中清晰度最高的影像作為該第二待測物的一檢測影像。
2.根據權利要求1所述的自動光學檢測裝置的對焦方法，其特征在于:其中在步驟(a)中，以該第一待測物的對焦距離作為中心以決定該M個待選距離。
3.根據權利要求1所述的自動光學檢測裝置的對焦方法，其特征在于，更包含: (d)以N個預設距離對該第一待測物拍攝N個第一待測物的待選影像，該N個第一待測物的待選影像分別對應于該N個預設距離，N為大于M的整數；以及 (e)依據該N個第一待測物的待選影像中清晰度最高的影像，決定該第一待測物的對焦距離。
4.一種自動光學檢測裝置的對焦方法，用以對一托盤上的多個待測物進行對焦，其特征在于，該對焦方法包含: (a)依據該些待測物中一第一待測物的對焦距離決定一第一對焦距離與一第二對焦距離； (b)以該第一對焦距離對一第二待測物拍攝一第一待選影像，該第二待測物相鄰于該第一待測物； (C)以該第二對焦距離對該第二待測物拍攝一第二待選影像； (d)依據該第一待選影像的清晰度與該第二待選影像的清晰度，決定一第三對焦距離； (e)以該第三對焦距離對該第二待測物拍攝一第三待選影像；以及 (f)當該第三待選影像的清晰度小于該第一待選影像或該第二待選影像時，依據該第一待選影像的清晰度與該第二待選影像的清晰度較大者，決定該第二待測物的一檢測影像。
5.根據權利要求4所述的自動光學檢測裝置的對焦方法，其特征在于，更包含: (g)當該第三待選影像的清晰度大于該第一待選影像與該第二待選影像時，依據該第三對焦距離決定新的該第一對焦距離與該第二對焦距離，并重復步驟(b)至步驟(e)。
6.根據權利要求4所述的自動光學檢測裝置的對焦方法，其特征在于:其中在步驟(a)中，以該第一待測物的對焦距離作為該第一對焦距離，且該第二對焦距離大于該第一對焦距離。
7.根據權利要求6所述 的自動光學檢測裝置的對焦方法，其特征在于，其中在步驟(d)中，包含: (dl)當該第一待選影像的清晰度大于該第二待選影像的清晰度時，設定該第三對焦距離小于該第一對焦距離；以及 (d2)當該第一待選影像的清晰度小于該第二待選影像的清晰度時，設定該第三對焦距離大于該第二對焦距離。
8.根據權利要求4所述的自動光學檢測裝置的對焦方法，其特征在于:其中在步驟(a)中，以該第一待測物的對焦距離作為該第一對焦距離，且該第二對焦距離小于該第一對焦距離。
9.根據權利要求8所述的自動光學檢測裝置的對焦方法，其特征在于，其中在步驟(d)中，包含: (dl)當該第一待選影像的清晰度大于該第二待選影像的清晰度時，設定該第三對焦距離大于該第一對焦距離；以及 (d2)當該第一待選影像的清晰度小于該第二待選影像的清晰度時，設定該第三對焦距離小于該第二對焦距離。
10.根據權利要求4所述的自動光學檢測裝置的對焦方法，其特征在于，更包含: (h)以多個預設距離對該第一待測物拍攝多個第一待測物的待選影像，該多個第一待測物的待選影像分別對應于該多個預設距離；以及 (i)依據該多個第一待測物的待選影像中清晰度最高的影像，決定該第一待測物的對焦距離 。
【文檔編號】G01N21/88GK103808733SQ201410075333
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2014年3月4日 優先權日:2014年3月4日
【發明者】薛名凱, 羅文期, 高俊豪, 蔡欣洋 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司