一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法
【專利摘要】本發明公開一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，步驟一：自動派工系統進行WAT測試的派工時通過Recipe查詢本次測試所需的探針卡類型；步驟二：自動派工系統查詢需要派工的機臺上的探針卡類型；如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型一致則不用換卡，如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡；步驟三：機臺自動更換系統將機臺內的探針卡換出，同時，機臺自動更換系統選擇所需類型的探針卡并將此探針卡換入機臺；步驟四：所需類型的探針卡換入后Lot測試開始。使用本發明通過探針卡Stoker、探針卡搬運系統和自動更換系統來實現探針卡的自動更換，平衡探針卡的使用頻率，有效地避免手動換卡時出現放錯卡的問題。
【專利說明】—種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種半導體測試領域，尤其涉及一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法。
【背景技術】
[0002]現有的晶圓可接受性測試(Wafer Acceptance Test，簡稱:WAT)探針卡都是由操作人員根據制程方法(Recipe)需要的探針卡類型進行手動更換，這種更換方式效率低下，而且容易出現放錯探針卡的情況。同時，人工更換探針卡不能保證相同類型的探針卡的使用率保持一致，容易出現某幾張探針卡過度使用，而其它探針卡閑置不用的狀況。而且探針卡的人工更換成為了 WAT機臺實現全自動化測試的障礙。
【發明內容】
[0003]鑒于上述問題，本發明提供一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法。
[0004]本發明解決技術問題所采用的技術方案為:
[0005]一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，步驟一:自動派工系統進行晶圓可接受性測試的派工時通過制程方法查詢本次測試所需的探針卡類型；步驟二:自動派工系統查詢需要派工的機臺上的探針卡類型；如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型一致則不用換卡，如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡；步驟三:機臺自動更換系統將機臺內的探針卡換出，同時，機臺自動更換系統選擇所需類型的探針卡并將此探針卡換入機臺；步驟四:所需類型的探針卡換入后晶圓批次測試開始。
[0006]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，包括探針卡搬運系統，步驟三中，探針卡搬運系統將機臺內換出的探針卡搬運到探針卡排。
[0007]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，探針卡搬運系統將所需類型的探針卡搬運到機臺。
[0008]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，步驟三中，機臺自動更換系統選擇所需類型的探針卡中累計測試次數最少的一張探針卡。
[0009]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，步驟四中，測試時機臺將所需類型的探針卡的累計扎針次數計入系統。
[0010]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，所有探針卡存放在探針卡排中。
[0011]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，機臺上有探針卡信
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[0012]上述技術方案具有如下優點或有益效果:
[0013]通過探針卡排、探針卡搬運系統和自動更換系統來實現探針卡的自動更換，平衡探針卡的使用頻率，有效地避免手動換卡時出現放錯卡的問題。【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]參考所附附圖，以更加充分的描述本發明的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構成對本發明范圍的限制。
[0015]圖1為本發明的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，但不作為本發明的限定。
[0017]圖1為本發明的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法的流程圖，請參見圖1所示。
[0018]本發明的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，包括以下步驟:
[0019]步驟一:自動派工系統I進行WAT測試的派工時通過Recipe查詢本次測試所需的探針卡類型；
[0020]步驟二:自動派工系統I查詢讀取需要派工的機臺3上的現有探針卡類型信息；如果機臺3上的探針卡類型與所需探針卡類型一致則不用換卡，如果機臺3上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡；
[0021]步驟三:機臺自動更換系統將機臺3內的探針卡換出，同時，機臺自動更換系統選擇所需類型的探針卡并將此探針卡換入機臺3 ；
[0022]步驟四:所需類型的探針卡換入后，晶圓批次(Lot)測試開始。
[0023]本發明在上述基礎上還具有如下實施方式:
[0024]本發明的進一步實施例中,請繼續參見圖1所示。還包括有探針卡搬運系統。如果機臺3上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡，步驟三中，探針卡搬運系統將機臺3內換出的探針卡搬運到探針卡排(Stoker) 2，并且探針卡搬運系統將所需類型的探針卡搬運到機臺3。
[0025]本發明的進一步實施例中，步驟三中，在所需類型的探針卡有多張卡可以選擇時，機臺自動更換系統優先選擇所需類型的探針卡中累計測試次數最少的一張探針卡，并將所需類型的探針卡搬運到機臺3。
[0026]本發明的進一步實施例中，步驟四中，所需探針卡換入機臺3后測試開始，測試時機臺3將所需類型的探針卡的累計扎針次數計入系統。
[0027]本發明的進一步實施例中,所有探針卡存放在探針卡Stoker2中。
[0028]本發明的進一步實施例中，機臺上已有探針卡信息。
[0029]綜上所述,使用本發明的一種WAT探針卡自動更換方法,通過探針卡Stoker、探針卡搬運系統和自動更換系統來實現探針卡的自動更換，平衡探針卡的使用頻率，有效地避免手動換卡時出現放錯卡的問題。
[0030]以上所述僅為本發明較佳的實施例，并非因此限制本發明的實施方式及保護范圍，對于本領域技術人員而言，應當能夠意識到凡運用本發明說明書及圖示內容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應當包含在本發明的保護范圍內。
【權利要求】
1.一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于， 步驟一:自動派工系統進行晶圓可接受性測試的派工時通過制程方法查詢本次測試所需的探針卡類型； 步驟二:自動派工系統查詢需要派工的機臺上的探針卡類型；如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型一致則不用換卡，如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡； 步驟三:機臺自動更換系統將機臺內的探針卡換出，同時，機臺自動更換系統選擇所需類型的探針卡并將此探針卡換入機臺； 步驟四:所需類型的探針卡換入后晶圓批次測試開始。
2.根據權利要求1所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，包括探針卡搬運系統，步驟三中，探針卡搬運系統將機臺內換出的探針卡搬運到探針卡排。
3.根據權利要求2所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，探針卡搬運系統將所需類型的探針卡搬運到機臺。
4.根據權利要求1所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，步驟三中，機臺自動更換系統選擇所需類型的探針卡中累計測試次數最少的一張探針卡。
5.根據權利要求1所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，步驟四中，測試時機臺將所需類型的探針卡的累計扎針次數計入系統。
6.根據權利要求3所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，所有探針卡存放在探針卡排中。
7.根據權利要求1所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，機臺上有探針卡信息。
【文檔編號】G01R31/26GK103869231SQ201410059971
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年2月21日 優先權日:2014年2月21日
【發明者】周波, 莫保章 申請人:上海華力微電子有限公司