一種超聲鍵合壓力的識別方法
【專利摘要】一種超聲鍵合壓力的識別方法，屬于超聲鍵合【技術領域】，鍵合壓力的增加，超聲電壓包絡幅值逐步增大，而電流包絡幅值逐步減小，根據其相互變化建立公式評估鍵合壓力；鍵合壓力的變化從0.2N到0.7N依次增加，間隔為0.1N。一共安排了6組實驗，其它3個工藝參數固定為：鍵合時間：15ms，超聲功率：25mW，加載溫度：200℃。式中：F——鍵合壓力評估值；n——數據長度；xi，yi——超聲電壓信號和電流信號，i=1,2,…,n；λF——調整系數。實驗時每組實驗對應一個壓力點，每組實驗分別測量10個樣本，通過多組數據的計算，取其平均值，得到均值λF，最后就可以得到計算超聲鍵合壓力的計算公式值了。
【專利說明】—種超聲鍵合壓力的識別方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種超聲鍵合壓力的識別方法，屬于超聲鍵合【技術領域】。
【背景技術】
[0002]鍵合過程工藝參數是影響鍵合質量的最關鍵因素，工程實際中，一般都是通過調整工藝參數來確保鍵合質量的。然而，鍵合工藝參數可能會隨外部環境或鍵合系統的不穩定性發生漂移。例如外部電源的波動會影響到超聲功率的變化，鍵合力控系統故障引起的鍵合力發生變化等等。因此，對鍵合過程工藝參數進行實時監控意義重大。
[0003]一般的鍵合系統，工藝參數的調節都是通過固定檔位的切換來完成的，因此受外部影響大，一般誤差率在15%左右，對于本專利所涉及的超聲鍵合系統，鍵合時間和超聲功率可分為30個檔位，從小到大依次變化，鍵合壓力可分為6個檔位，加載溫度的變化從0-400 V之間連續變化。已有的研究已經證明，鍵合過程超聲電信號可以反映鍵合過程質量信息，與鍵合工藝參數之間存在密切關系，因此，理論上來講可以通過超聲電信號來識別鍵合過程的壓力參數。如何建立目前是一個急需解決的問題。
【發明內容】
[0004]本發明的目的是提供一種超聲鍵合壓力的識別方法。
[0005]本發明要解決的是現有固定檔位調節壓力不準確的不足。
[0006]一種超聲鍵合壓力的識別方法，鍵合壓力的增加，超聲電壓包絡幅值逐步增大，而電流包絡幅值逐步減小，根據其相互變化建立公式評估鍵合壓力；鍵合壓力的變化從0.2N到0.7N依次增加，間隔為0.1N。一共安排了 6組實驗，其它3個工藝參數固定為:鍵合時間:15ms，超聲功率:25mW，加載溫度:200°C。
[0007]
【權利要求】
1.一種超聲鍵合壓力的識別方法,其特征在于: 鍵合壓力的增加，超聲電壓包絡幅值逐步增大，而電流包絡幅值逐步減小，根據其相互變化建立公式評估鍵合壓力；鍵合壓力的變化從0.2N到0.7N依次增加，間隔為0.1N。一共安排了 6組實驗，其它3個工藝參數固定為:鍵合時間:15ms，超聲功率:25mW，加載溫度:200。。。
【文檔編號】G01R19/00GK103852203SQ201410053685
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2014年2月17日 優先權日:2014年2月17日
【發明者】馮武衛, 李鵬鵬 申請人:浙江海洋學院