閃爍器面板以及放射線檢測器的制造方法
【專利摘要】在本發明所涉及的閃爍器面板(2A)中，通過厚度為150μm以下的玻璃基板(11)成為支撐體從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該閃爍器面板(2A)中以覆蓋玻璃基板(11)的一面(11a)側和側面(11c)側的形式形成有機樹脂層(12)。由此，玻璃基板被增強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。再有，除了能夠防止來自玻璃基板(11)的側面(11c)的雜散光之外，通過不將有機樹脂層(12)形成于玻璃基板(11)的另一面(11b)側，從而能夠確保光到達玻璃基板(11)的另一面(11b)側的透過性。
【專利說明】閃爍器面板以及放射線檢測器
【技術領域】
[0001]本發明涉及閃爍器面板以及放射線檢測器。
【背景技術】
[0002]作為現有的閃爍器面板有例如專利文獻I所記載的閃爍器面板。在現有的閃爍器面板的結構中，作為閃爍器層的支撐體是使用0.05mm的玻璃基板。另外，緩和來自框體外部的力的緩沖材料和剛性比閃爍器層更高的高剛性構件被配置于框體與閃爍器層之間。
[0003]另外，在專利文獻2所記載的閃爍器面板中，以聚酰亞胺類樹脂膜或者聚對二甲苯膜進行覆膜的石墨基板被作為支撐體來進行使用。再有，在專利文獻3所記載的閃爍器面板中，由無定形碳構成的基板的整個面被聚對二甲苯膜等中間膜覆蓋。
[0004]現有技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2006-58124號公報
[0007]專利文獻2:國際公開W02009/028275號冊子
[0008]專利文獻3:日本特開2007-279051號公報
【發明內容】
[0009]發明所要解決的技術問題
[0010]例如關于適用于被稱作為薄膜晶體管(TFT)面板的固體檢測器的閃爍器面板，要求能夠滿足相對于固體檢測器的形狀追隨性的可撓性。另外，如果在TFT面板的熱膨脹系數與閃爍器面板的基板的熱膨脹系數之間存在著差異的話，則閃爍器面板的基板上的細微傷痕、或由在通過蒸鍍來形成閃爍器層的情況下產生的異常生長部分而在與TFT面板之間產生的傷痕會由于工作時的熱而相對于受光面發生移動，恐怕會產生校正的工夫變得繁雜的問題。
[0011]為了解決像這樣的可撓性的問題或熱膨脹系數的問題，例如可以考慮將厚度為150 μ m以下的極薄玻璃作為閃爍器面板的基板來使用。然而，在使用極薄玻璃的情況下，玻璃的端部(邊緣部分)相對于沖擊而會有發生發脆、缺損或龜裂的問題。
[0012]本發明為了解決上述技術問題而完成，其目的在于提供一種既能夠防止玻璃基板發生缺損或龜裂又能夠確保可撓性的閃爍器面板以及使用了該閃爍器面板的放射線檢測器。
[0013]解決技術問題的手段
[0014]為了解決上述技術問題，本發明所涉及的閃爍器面板的特征在于，具備:具有放射線透過性的厚度為150 ym以下的玻璃基板、以覆蓋玻璃基板的一面側和側面側的形式形成的有機樹脂層、在形成有有機樹脂層的玻璃基板的一面側形成的閃爍器層、以覆蓋形成有有機樹脂層的玻璃基板和閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
[0015]在該閃爍器面板中，通過厚度為150 μ m以下的玻璃基板成為支撐體，從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該閃爍器面板中以覆蓋玻璃基板的一面側和側面側的形式形成有機樹脂層。由此，玻璃基板被補強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。再有，除了能夠防止來自玻璃基板的側面的雜散光之外，通過不將有機樹脂層形成于玻璃基板的另一面側從而能夠確保光到達玻璃基板的另一面側的透過性。
[0016]另外，本發明所涉及的閃爍器面板的特征在于，具備:具有放射線透過性的厚度為150 μπι以下的玻璃基板、以覆蓋玻璃基板的另一面側和側面側的形式形成的有機樹脂層、在形成有有機樹脂層的玻璃基板的一面側形成的閃爍器層、以覆蓋形成有有機樹脂層的玻璃基板和閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
[0017]在該閃爍器面板中，通過厚度為150 μπι以下的玻璃基板成為支撐體從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該閃爍器面板中以覆蓋玻璃基板的另一面側和側面側的形式形成有機樹脂層。由此，玻璃基板被補強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。再有，除了能夠防止來自玻璃基板的側面的雜散光之外，通過有機樹脂層處于玻璃基板的另一面側從而能夠消除閃爍器層的內部應力，并且能夠抑制玻璃基板翹曲。
[0018]另外，在上述閃爍器面板中，有機樹脂層可以選自硅樹脂、聚氨酯樹脂、環氧樹脂以及氟樹脂。
[0019]另外，本發明所涉及的閃爍器面板的特征在于，具備:具有放射線透過性的厚度為150 μπι以下的玻璃基板、以覆蓋玻璃基板的一面側的形式貼附的樹脂薄膜層、在貼附有樹脂薄膜的玻璃基板的一面側形成的閃爍器層、以覆蓋貼附有樹脂薄膜的玻璃基板和閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
[0020]在該閃爍器面板中，通過厚度為150 μπι以下的玻璃基板成為支撐體從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該閃爍器面板中以覆蓋玻璃基板的一面側的形式形成有樹脂薄膜層。由此，玻璃基板被補強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。再有，通過樹脂薄膜層被形成于玻璃基板的另一面側從而能夠確保到達玻璃基板的另一面側的光的透過性。
[0021]另外，本發明所涉及的閃爍器面板的特征在于，具備:具有放射線透過性的厚度為150 μπι以下的玻璃基板、以覆蓋玻璃基板的另一面側的形式貼附的樹脂薄膜層、在貼附有樹脂薄膜被的玻璃基板的一面側形成的閃爍器層、以覆蓋貼附有樹脂薄膜的玻璃基板和閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
[0022]在該閃爍器面板中，通過厚度為150 μπι以下的玻璃基板成為支撐體從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該閃爍器面板中以覆蓋玻璃基板的另一面側的形式形成有樹脂薄膜層。由此，玻璃基板被補強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。再有，通過樹脂薄膜層處于玻璃基板的另一面側從而就能夠消除閃爍器層的內部應力，并且能夠抑制玻璃基板翹曲。
[0023]另外，本發明所涉及的閃爍器面板的特征在于，具備:具有放射線透過性的厚度為150 μπι以下的玻璃基板、以覆蓋玻璃基板的一面側以及另一面側的形式貼附的樹脂薄膜層、在貼附有樹脂薄膜的玻璃基板的一面側形成的閃爍器層、以覆蓋貼附有樹脂薄膜的玻璃基板和閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
[0024]在該閃爍器面板中，通過厚度為150 μπι以下的玻璃基板成為支撐體從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該閃爍器面板中以覆蓋玻璃基板的一面側以及另一面側的形式形成有樹脂薄膜層。由此，玻璃基板被補強并且能夠進一步有效抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。再有，通過樹脂薄膜層被形成于玻璃基板的一面側以及另一面側從而能夠抑制玻璃基板翹曲。
[0025]另外，在上述閃爍器面板中，樹脂薄膜可以選自PET、PEN、COP以及PI。
[0026]另外，本發明所涉及的閃爍器面板的特征在于，具備:具有放射線透過性的厚度為150 μπι以下的玻璃基板、以覆蓋玻璃基板的一面側和側面側的形式形成的有機樹脂層、以覆蓋玻璃基板的另一面側的形式貼附的樹脂薄膜層、在形成有有機樹脂層以及樹脂薄膜層的玻璃基板的一面側形成的閃爍器層、以覆蓋形成有有機樹脂層以及樹脂薄膜層的玻璃基板和閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
[0027]在該閃爍器面板中，通過厚度為150 μπι以下的玻璃基板成為支撐體從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該閃爍器面板中以覆蓋玻璃基板的一面側和側面側的形式形成有機樹脂層，并且以覆蓋玻璃基板的另一面側的形式形成有樹脂薄膜層。由此，玻璃基板被補強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。再有，除了能夠防止來自玻璃基板的側面的雜散光之外，通過在表面整體至少形成有機樹脂層以及樹脂薄膜層中的任意一方，從而能夠抑制玻璃基板翹曲。
[0028]另外，本發明所涉及的閃爍器面板的特征在于，具備:具有放射線透過性的厚度為150 μπι以下的玻璃基板、以覆蓋玻璃基板的另一面側和側面側的形式形成的有機樹脂層、以覆蓋玻璃基板的一面側的形式貼附的樹脂薄膜層、在形成有有機樹脂層以及樹脂薄膜層的玻璃基板的一面側形成的閃爍器層、以覆蓋形成有有機樹脂層以及樹脂薄膜層的玻璃基板和閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
[0029]在該閃爍器面板中，通過厚度為150 μπι以下的玻璃基板成為支撐體從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該閃爍器面板中以覆蓋玻璃基板的另一面側和側面側的形式形成有機樹脂層，并且以覆蓋玻璃基板的一面側的形式形成有樹脂薄膜層。由此，玻璃基板被補強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。再有，除了能夠防止來自玻璃基板側面的雜散光之外，通過在表面整體至少形成有機樹脂層以及樹脂薄膜層中的任意一方，從而能夠抑制玻璃基板翹曲。
[0030]另外，在上述閃爍器面板中，有機樹脂層可以選自硅樹脂、聚氨酯樹脂、環氧樹脂以及氟樹脂，樹脂薄膜可以選自于PET、PEN、COP以及PI。
[0031]另外，本發明所涉及的放射線檢測器的特征在于，具備:以上所述的閃爍器面板、與形成有保護層的閃爍器層相對配置的受光元件。
[0032]在該放射線檢測器中，通過厚度為150μπι以下的玻璃基板成為支撐體從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數的問題。另外，在該放射線檢測器中，通過有機樹脂層或者樹脂薄膜層，玻璃基板能夠被補強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。
[0033]發明效果
[0034]根據本發明，既能夠防止玻璃基板發生缺損或龜裂又能夠確保可撓性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0035]圖1是表示本發明的第I實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。
[0036]圖2是表示本發明的第2實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。
[0037]圖3是表示本發明的第3實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。
[0038]圖4是表示本發明的第4實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。
[0039]圖5是表示本發明的第5實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。
[0040]圖6是表示本發明的第6實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。
[0041]圖7是表示本發明的第7實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。
【具體實施方式】
[0042]以下是參照附圖并就本發明所涉及的閃爍器面板以及放射線檢測器的優選的實施方式進行詳細說明。
[0043][第I實施方式]
[0044]圖1是表示本發明的第I實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。如該圖所示，放射線檢測器IA通過將受光元件3固定于閃爍器面板2A來構成。受光元件3例如就是將光電二極管(PD)和薄膜晶體管(TFT)排列于玻璃基板上來進行構成的TFT面板。
[0045]受光元件3是以受光面3a相對于閃爍器面板2A中的后述的閃爍器層13進行相對的形式被貼附于閃爍器面板2A的一面側。還有，作為受光元件3除了 TFT面板之外還可以使用通過光學纖維面板(Fiber optic plate) (FOP:將數微米的光纖做成束的光學裝置，例如可以列舉浜松光子學株式會社制的J5734)來連接CCD等圖像傳感器的光學器件。
[0046]閃爍器面板2A由以下構件構成:成為支撐體構成的玻璃基板11、保護玻璃基板11的有機樹脂層12、將入射的放射線轉換成可見光的閃爍器層13、保護閃爍器層13受濕氣侵襲的耐濕性的保護層14。
[0047]玻璃基板11是一種例如厚度為150 μπι以下優選為100 μm以下的極薄的基板。通過玻璃基板11的厚度變得極薄從就能夠獲得充分的放射線透過性以及可撓性，并且能夠確保在對受光元件3的受光面3a實行貼附的時候的對閃爍器面板2A的追隨性。
[0048]有機樹脂層12是由例如硅類樹脂、聚氨酯類樹脂、環氧類樹脂、氟類樹脂等并以覆蓋玻璃基板11的一面Ila以及側面Ilc的形式構成。作為有機樹脂層12的形成方法例如可以列舉由旋轉涂布法等的涂布。有機樹脂層12的厚度例如成為ΙΟΟμπι左右。
[0049]閃爍器層13例如是通過由蒸鍍法來使摻雜了 Tl的CsI柱狀結晶生長并沉積，從而被形成于形成有有機樹脂層12的玻璃基板11的一面Ila側。閃爍器層13的厚度例如成為250 μπι。閃爍器層13吸濕性強，如果就這樣露出，恐怕會由于空氣中的濕氣而發生潮解。因此，對閃爍器層13來說耐濕性的保護層14就成為了必要。
[0050]保護層14例如是以通過使用CVD法等氣相沉積法來使聚對二甲苯等生長，從而覆蓋形成有有機樹脂層12的玻璃基板11和閃爍器層13的形式進行形成的。保護層14的厚度例如成為10 μ m左右。
[0051]在具有以上所述那樣的結構的放射線檢測器IA中，從玻璃基板11側入射的放射線在閃爍器層13被轉換成光，并被受光元件3檢測出。在閃爍器面板2A上，通過厚度為150 μπι以下的玻璃基板11成為支撐體，從而就能夠獲得優異的放射線透過性以及可撓性。
[0052]通過玻璃基板11具有充分的可撓性，從而就能夠滿足在將閃爍器面板2A貼附于受光元件3的受光面3a的時候的對形狀的追隨性。另外，在作為受光元件3而使用TFT面板并且受光面3a為玻璃制的面板的情況下，能夠使受光面3a的熱膨脹系數與閃爍器面板2A的玻璃基板11的熱膨脹系數相一致。為此，就能夠防止玻璃基板11上的細微傷痕、或由在通過蒸鍍來形成閃爍器層13的情況下產生的異常生長部分而在與TFT面板之間產生的傷痕由于工作時的熱而相對于受光面3a發生移動，并且還能夠避免校正的工夫變得繁雜。
[0053]另外，在該閃爍器面板2A中，有機樹脂層12是以覆蓋玻璃基板11的一面Ila以及側面Ilc的形式被形成的。由此，玻璃基板11被補強并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。這還有助于提高制造時或使用時的操作性。再有，除了能夠防止來自玻璃基板11的側面Ilc的雜散光之外，通過不將有機樹脂層12形成于玻璃基板11的另一面Ilb側，從而能夠確保光到達玻璃基板11的另一面Ilb側的透過性，到達受光元件3側的光的反射發生衰減，其結果能夠維持分辨率。
[0054]另外，通過以覆蓋玻璃基板11的一面Ila以及側面Ilc的形式形成有機樹脂層12，從而能夠以在形成閃爍器層13的時候成為適宜的表面能量以及表面粗糙度的形式調整玻璃基板11的表面狀態。
[0055][第2實施方式]
[0056]圖2是表示本發明的第2實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。如該圖所示，第2實施方式所涉及的放射線檢測器IB在以下所述方面與第I實施方式有所不同，即，在閃爍器面板2B上有機樹脂層12是以不覆蓋玻璃基板11的一面Ila而覆蓋另一面Ilb的形式進行形成的。
[0057]即使是在像這樣的結構中也與上述實施方式相同地，因為玻璃基板11被有機樹脂層12補強，所以能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生，并且能夠防止來自玻璃基板11的側面Ilc的雜散光。
[0058]另外，通過有機樹脂層12處于玻璃基板11的另一面Ilb側，從而就能夠消除閃爍器層13的內部應力，并且抑制玻璃基板11的翹曲。玻璃基板11的翹曲的抑制效果在玻璃基板為1cmX 1cm程度的小型基板的情況變得特別顯著。
[0059][第3實施方式]
[0060]圖3是表示本發明的第3實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。如該圖所示，第3實施方式所涉及的放射線檢測器IC在以下所述方面與第I實施方式有所不同，即，在閃爍器面板2C上，并非是有機樹脂層12而是樹脂薄膜層16覆蓋玻璃基板11的一面Ila的形式被貼附，并且側面Ilc沒有被有機樹脂層12覆蓋。
[0061]更加具體地來說樹脂薄膜層16在玻璃基板11上通過使用層壓等從而被貼附于形成有閃爍器層13的面(一面Ila)偵U。
[0062]作為樹脂薄膜層16例如可以使用PET (聚對苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、COP (環烯烴聚合物)、PI (聚酰亞胺)等。另外，樹脂薄膜層16的厚度例如成為100 μπι的程度。另外，優選樹脂薄膜層16的邊緣部與玻璃基板11的邊緣部相一致，或者成為突僅出一點的程度。
[0063]即使是在像這樣的結構中，因為玻璃基板11被樹脂薄膜層16補強，所以與以上所述實施方式相同地，也能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。另外，通過將樹脂薄膜層16形成于玻璃基板11的另一面Iib側，從而與第I實施方式相同地，到達玻璃基板11的另一面Ilb側的光的透過性被確保，到達受光元件3側的光的反射發生衰減，其結果，能夠維持分辨率。
[0064]另外，通過以覆蓋玻璃基板11的一面Ila的形式形成樹脂薄膜層16，從而能夠以在形成閃爍器層13的時候成為適宜的表面能量以及表面粗糙度的形式調整玻璃基板11的表面狀態。
[0065][第4實施方式]
[0066]圖4是表示本發明的第4實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。如該圖所示，第4實施方式所涉及的放射線檢測器ID在以下所述方面與第3實施方式有所不同，即，在閃爍器面板2D上，樹脂薄膜層16是以不覆蓋玻璃基板11的一面Ila而覆蓋另一面Ilb的形式被貼附。
[0067]即使是在像這樣的結構中，因為玻璃基板11被樹脂薄膜層16補強，所以與以上所述實施方式相同地，也能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。另外，通過樹脂薄膜層16處于玻璃基板11的另一面Ilb側，從而與第2實施方式相同能夠消除閃爍器層13的內部應力并且能夠抑制玻璃基板11的翹曲。
[0068][第5實施方式]
[0069]圖5是表示本發明的第5實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。如該圖所示，第5實施方式所涉及的放射線檢測器IE在以下所述方面與第3和第4實施方式有所不同，即，在閃爍器面板2E上樹脂薄膜層16是以覆蓋玻璃基板11的兩面的形式被貼附。
[0070]即使是在像這樣的結構中，因為玻璃基板11的一面Ila以及另一面Ilb的兩面被樹脂薄膜層16增強，所以也能夠更加有效地抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。另外，通過將相同材質的樹脂層形成于玻璃基板11的一面IIa側以及另一面Ilb側的兩面，從而能夠抑制玻璃基板11的翹曲。
[0071]另外，通過以覆蓋玻璃基板11的一面Ila以及另一面Ilb的形式形成樹脂薄膜層16，從而能夠以在形成閃爍器層13的時候成為適宜的表面能量以及表面粗糙度的形式調整玻璃基板11的表面狀態。
[0072][第6實施方式]
[0073]圖6是表示本發明的第6實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。如該圖所示，第6實施方式所涉及的放射線檢測器IF在以下所述方面與第I實施方式有所不同，即，在閃爍器面板2F上追加了樹脂薄膜層16。更加具體地來說在以有機樹脂層12覆蓋一面Ila側以及側面Ilc側的形式進行形成的玻璃基板11上，以進一步覆蓋另一面Ilb側的形式貼附樹脂薄膜層16。
[0074]在如此結構中因為玻璃基板11的整個面被有機樹脂層12以及樹脂薄膜層16補強，所以能夠更加有效地抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。另外，與第I實施方式相同通過以覆蓋玻璃基板11的側面Ilc的形式形成有機樹脂層12，從而就能夠防止來自玻璃基板11的側面Ilc的雜散光。另外，通過將樹脂層分別形成于玻璃基板11的一面Ila側以及另一面Ilb側，從而變得能夠抑制玻璃基板11的翹曲。
[0075]另外，通過以覆蓋玻璃基板11的整個面的形式形成有機樹脂層12以及樹脂薄膜層16，從而能夠以在形成閃爍器層13的時候成為適宜的表面能量以及表面粗糙度的形式調整玻璃基板11的表面狀態。
[0076][第7實施方式]
[0077]圖7是表示本發明的第7實施方式所涉及的放射線檢測器結構的截面圖。如該圖所示，第7實施方式所涉及的放射線檢測器IG在以下所述方面與第2實施方式有所不同，即，在閃爍器面板2G上追加了樹脂薄膜層16。更加具體地來說在以有機樹脂層12覆蓋另一面Ilb側以及側面Ilc側的形式進行形成的玻璃基板11上，進一步以覆蓋一面Ila側的形式貼附樹脂薄膜層16。
[0078]在如此結構中因為玻璃基板11的整個面被有機樹脂層12以及樹脂薄膜層16增強，所以與第6實施方式相同能夠更加有效地抑制邊緣部分缺損或龜裂的發生。另外，與第6實施方式相同地，通過以覆蓋玻璃基板11的側面Ilc的形式形成有機樹脂層12，從而就能夠防止來自玻璃基板11的側面IlC的雜散光，通過將樹脂層分別形成于玻璃基板11的一面Ila側以及另一面Ilb側，從而變得能夠抑制玻璃基板11的翹曲。
[0079]另外，通過以覆蓋玻璃基板11的整個面的形式形成有機樹脂層12以及樹脂薄膜層16，從而能夠以在形成閃爍器層13的時候成為適宜的表面能量以及表面粗糙度的形式調整玻璃基板11的表面狀態。
[0080]符號說明
[0081]IA?1G.放射線檢測器
[0082]2A?2G.閃爍器面板
[0083]3.受光元件
[0084]11.玻璃基板
[0085]Ila.一面
[0086]Ilb.另一面
[0087]He.側面
[0088]12.有機樹脂層
[0089]13.閃爍器層
[0090]14.保護層
[0091]16.樹脂薄膜層
【權利要求】
1.一種閃爍器面板，其特征在于: 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的一面側和側面側的形式形成的有機樹脂層； 在形成有所述有機樹脂層的所述玻璃基板的所述一面側形成的閃爍器層；以及以覆蓋形成有所述有機樹脂層的所述玻璃基板和所述閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
2.一種閃爍器面板，其特征在于: 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的另一面側和側面側的形式形成的有機樹脂層； 在形成有所述有機樹脂層的所述玻璃基板的一面側形成的閃爍器層；以及以覆蓋形成有所述有機樹脂層的所述玻璃基板和所述閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
3.如權利要求1或者2所述的閃爍器面板，其特征在于: 所述有機樹脂層選自硅樹脂、聚氨酯樹脂、環氧樹脂以及氟樹脂。
4.一種閃爍器面板，其特征在于: 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的一面側的形式貼附的樹脂薄膜層； 在貼附有所述樹脂薄膜的所述玻璃基板的所述一面側形成的閃爍器層；以及 以覆蓋貼附有所述樹脂薄膜的所述玻璃基板和所述閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
5.一種閃爍器面板，其特征在于: 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的另一面側的形式貼附的樹脂薄膜層； 在貼附有所述樹脂薄膜的所述玻璃基板的一面側形成的閃爍器層；以及 以覆蓋貼附有所述樹脂薄膜的所述玻璃基板和所述閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
6.一種閃爍器面板，其特征在于: 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的一面側以及另一面側的形式貼附的樹脂薄膜層； 在貼附有所述樹脂薄膜的所述玻璃基板的所述一面側形成的閃爍器層；以及 以覆蓋貼附有所述樹脂薄膜的所述玻璃基板和所述閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
7.如權利要求4?6中任意一項所述的閃爍器面板，其特征在于: 所述樹脂薄膜選自PET、PEN、COP以及PI。
8.一種閃爍器面板，其特征在于: 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的一面側和側面側的形式形成的有機樹脂層； 以覆蓋所述玻璃基板的另一面側的形式貼附的樹脂薄膜層； 在形成有所述有機樹脂層以及所述樹脂薄膜層的所述玻璃基板的所述一面側形成的閃爍器層；以及 以覆蓋形成有所述有機樹脂層以及所述樹脂薄膜層的所述玻璃基板和所述閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
9.一種閃爍器面板，其特征在于: 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的另一面側和側面側的形式形成的有機樹脂層； 以覆蓋所述玻璃基板的一面側的形式貼附的樹脂薄膜層； 在形成有所述有機樹脂層以及所述樹脂薄膜層的所述玻璃基板的所述一面側形成的閃爍器層；以及 以覆蓋形成有所述有機樹脂層以及所述樹脂薄膜層的所述玻璃基板和所述閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護層。
10.如權利要求8或者9所述的閃爍器面板，其特征在于: 所述有機樹脂層選自硅樹脂、聚氨酯樹脂、環氧樹脂以及氟樹脂，所述樹脂薄膜選自PET, PEN, COP 以及 PI。
11.一種放射線檢測器，其特征在于: 具備: 權利要求1?10中任意一項所述的閃爍器面板；以及 與形成有所述保護層的所述閃爍器層相對配置的受光元件。
【文檔編號】G01T1/20GK104508756SQ201380038103
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2013年4月18日 優先權日:2012年7月20日
【發明者】上西秀典, 式田宗功, 楠山泰 申請人:浜松光子學株式會社