癌細胞捕捉用金屬過濾器、癌細胞捕捉用金屬過濾片、癌細胞捕捉設備及它們的制造方法

癌細胞捕捉用金屬過濾器、癌細胞捕捉用金屬過濾片、癌細胞捕捉設備及它們的制造方法
【專利摘要】本發明提供一種高開口率的癌細胞捕捉用金屬過濾器、癌細胞捕捉用金屬過濾片及使用該癌細胞捕捉用金屬過濾器的癌細胞捕捉設備、以及它們的制造方法。根據癌細胞捕捉用金屬過濾器(1)，設置在金屬片(11)上的連結貫通孔(12)的開口是波形狀，因此能夠利用其短邊側的孔徑從其他成分提取CTC，并且由于具有波形狀，因此能夠維持著CTC的捕捉能力而使上述連結貫通孔彼此更接近。因而，能夠進一步提高癌細胞捕捉用金屬過濾器(1)的開口率。
【專利說明】癌細胞捕捉用金屬過濾器、癌細胞捕捉用金屬過濾片、癌細 胞捕捉設備及"S們的制造方法

【技術領域】
[0001] 本發明涉及能夠高效地捕捉血中循環癌細胞（Circulating Tumor Cell, W下根 據情況而稱作"CTC")的癌細胞捕捉用金屬過濾器、癌細胞捕捉用金屬過濾片、癌細胞捕捉 設備及它們的制造方法

【背景技術】
[0002] CTC被定義為在人的末梢血流中循環的腫瘤細胞，是從原發腫瘤或轉移腫瘤向血 管中浸潤的腫瘤細胞，如果能夠將CTC在與血流中同樣的狀態下捕捉，則能夠期待癌的早 期發現及有效的醫藥的早期開發。但是，CTC的數量相對于轉移性癌患者的血液中含有的 血液細胞IO 8?IO9個為1個左右，是極少的，除去血液細胞而僅捕捉CTC是非常困難的。
[0003] 對此，研究了利用血液細胞的尺寸與癌細胞的尺寸之差將它們分離的方法（例 女口，參照專利文獻1)。在該方法中，通過使用金屬的過濾器，孔的尺寸的偏差較小，期待能夠 W較高的分離精度將癌細胞分離、濃縮（例如，參照專利文獻2)。
[0004] 上述專利文獻2所公開的金屬過濾器呈長方形的孔形狀，一般通過使用抗蝕劑的 電沉積、電鑄或電鍛來形成。在用該方法制造金屬過濾器的情況下，在制造工序中途的階段 中，用于形成過濾器的貫通孔的抗蝕劑的許多島在基板上接近地排列。該里，如果沖洗液在 抗蝕劑間的狹小的空間中流動，則發生形成為島狀的抗蝕劑圖案倒伏、或抗蝕劑圖案從基 板剝離等的不良狀況，有金屬過濾器的成品率下降的問題。此外，有同樣研究用通過電鑄制 作的金屬過濾器進行CTC的捕捉的技術（例如，參照專利文獻3)。
[0005] 現有技術文獻 [000引專利文獻
[0007] 專利文獻1 ;國際公開第2010/135603號
[0008] 專利文獻2 ;特開平7 - 51521號公報
[0009] 專利文獻3 ;特開2011 - 163830號公報
[0010] 發明概要
[0011] 發明要解決的問題
[0012] 近年來，CTC還在轉移性的癌癥例中作為早期治療效果的判定及預測因子、W及預 后預測因子的有用性得到了認可，希望提高CTC測量的精度，并W提高CTC的分離精度為目 的，希望提供具有高開口率的過濾器。在專利文獻3中，公開了使用電鑄技術的金屬過濾 器，但在構造上公開了不易發生抗蝕劑圖案倒伏的構造。但是，專利文獻3的金屬過濾器在 構造上難W縮小相鄰的貫通孔間的距離，難W得到高開口率的結構。


【發明內容】

[0013] 本發明是鑒于上述情況而做出的，目的是提供一種高開口率且生產效率高的癌細 胞捕捉用金屬過濾器、癌細胞捕捉用金屬過濾片及使用該癌細胞捕捉用金屬過濾器的癌細 胞捕捉設備、W及它們的制造方法。
[0014] 用于解決問題的手段
[0015] 為了達到上述目的，有關本發明的癌細胞捕捉用金屬過濾器，在主成分是金屬的 金屬片的厚度方向上形成有貫通孔，貫通孔的開口是波形狀。
[0016] 如上述那樣，貫通孔的開口是波形狀，因此能夠利用其短邊側的孔徑（W下，為了 方便而將短邊側的長度稱作"孔徑"。孔徑的定義后述）從其他成分提取CTC，并且通過具 有波形狀，能夠維持CTC的捕捉能力而使上述貫通孔彼此更接近。因而，能夠使癌細胞捕捉 用金屬過濾器的開口率進一步提高。
[0017] 該里，作為有效發揮上述作用的結構，具體而言，優選的是貫通孔排列多個。通過 排列多個貫通孔，能夠將多個貫通孔W更接近的狀態配置，所W能夠更有效地使開口率提 局。
[0018] 該里，優選的是，開口的開口率是10?50%。通過使開口率為上述范圍，能夠維持 著金屬過濾器對CTC的捕捉能力而實現作為過濾器的處理容易及成品率的提高。
[0019] 此外，優選的是，金屬片的表面被鍛金。由于金屬片的表面被鍛金，因此CTC及血 球成分對于過濾器的附著性成為一樣，可W期待提高數據的再現性。
[0020] 此外，有關本發明的癌細胞捕捉用金屬過濾片，具備在主成分為金屬的金屬片的 厚度方向上形成有貫通孔的多個過濾部、W及設置在多個過濾部中包含的相互相鄰的兩個 過濾部之間的連接部，在過濾部設有多個貫通孔，該貫通孔的開口是波形狀。
[0021] 如上述那樣，設置在過濾部的貫通孔的開口是波形狀，因此能夠利用其短邊側的 孔徑從其他成分提取CTC，并且通過具有波形狀，能夠維持著CTC的捕捉能力而使上述貫通 孔彼此更接近。因而，能夠使癌細胞捕捉用金屬過濾片的開口率進一步提高。
[0022] 該里，優選的是，在過濾部中，開口的開口率是10?50%。
[0023] 此外，優選的是，在連接部中具有定位孔。通過將該定位孔與貫通孔獨立地設置， 當使用癌細胞捕捉用金屬過濾片構成癌細胞捕捉設備時，能夠容易地進行安裝。
[0024] 此外，有關本發明的癌細胞捕捉設備的特征在于，具備：框體，由具有透光性的樹 脂材料構成，具有蓋部件和收納部件，該蓋部件具有用于將被檢液向內部導入的導入流路， 該收納部件具有用于將被檢液向外部排出的排出流路；W及上述癌細胞捕捉用金屬過濾 器，設置在導入流路與排出流路之間的框體的內部的流路上，使得被檢液穿過貫通孔。
[00巧]該里，優選的是，貫通孔的上游側的主面上的孔徑小于與主面對應的背面側的孔 徑。通過做成該樣的形態，能夠避免從上游側一旦穿過了貫通孔的物質停留在貫通孔中，能 夠防止過濾器的網眼堵塞等。
[0026] 此外，優選的是，代替所述癌細胞捕捉用金屬過濾器而具備癌細胞捕捉用金屬過 濾部件，該癌細胞捕捉用金屬過濾部件具有；過濾部，在主成分為金屬的金屬片的厚度方向 上形成有貫通孔；W及連接部，設置在過濾部的周圍，具備定位孔；蓋部件和收納部件的至 少一方在安裝癌細胞捕捉用金屬過濾部件時與定位孔對應的位置上具備向定位孔插入的 突起部。通過具有上述結構，當使用癌細胞捕捉用金屬過濾部件構成癌細胞捕捉設備時，能 夠簡便且正確地進行安裝。
[0027] 此外，優選的是，蓋部件和收納部件被烙接。通過做成蓋部件和收納部件被烙接 的結構，包括癌細胞捕捉用金屬過濾器的內部的固定變容易，并且封入變可靠。
[0028] 此外，有關本發明的癌細胞捕捉用金屬過濾器的制造方法的特征在于，包括W下 工序：在金屬鉛上層壓光致抗蝕劑的工序；在光致抗蝕劑之上重疊具有呈波形狀的透光部 的光掩模并進行曝光的工序；進行顯影，將光致抗蝕劑的未硬化部除去而形成光致抗蝕劑 圖案的工序；對光致抗蝕劑圖案之間鍛金屬而形成比光致抗蝕劑圖案的高度低的鍛金屬圖 案的工序；通過化學溶解除去金屬鉛，得到由鍛金屬圖案和光致抗蝕劑圖案構成的構造物 的工序；W及從構造物除去光致抗蝕劑圖案，得到具有與透光部對應的貫通孔的鍛金屬圖 案的工序。
[0029] 根據上述制造方法，通過在金屬鉛上形成呈波形狀的光致抗蝕劑圖案，并基于此 形成鍛金屬圖案，能夠得到形成有波形狀的貫通孔的癌細胞捕捉用金屬過濾器。該里，由于 光致抗蝕劑圖案不是直線狀而為波形狀，因此光致抗蝕劑圖案成為更穩定的構造，在將抗 蝕劑圖案之間進行鍛金屬的工序等中，能夠防止抗蝕劑圖案倒伏、或從金屬鉛剝落，所W能 夠使作為癌細胞捕捉用金屬過濾器的成品率提高。
[0030] 該里，作為有效發揮上述作用的結構，具體而言，優選的是，金屬鉛粘貼于載體層； 在形成鍛金屬圖案的工序之后，還有將載體層剝離的工序。
[0031] 此外，優選的是，開口的開口率是10?50%。
[0032] 進而，優選的是，在得到鍛金屬圖案的工序之后，包括對鍛金屬圖案的表面鍛金的 工序。
[0033] 此外，有關本發明的癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法的特征在于，包括W下 工序：在金屬鉛上層壓光致抗蝕劑的工序；在光致抗蝕劑之上重疊具有多塊呈波形狀的透 光部的光掩模并進行曝光的工序；進行顯影，將光致抗蝕劑的未硬化部除去而形成光致抗 蝕劑圖案的工序；對光致抗蝕劑圖案之間鍛金屬，形成比光致抗蝕劑圖案的高度低的鍛金 屬圖案的工序；通過化學溶解除去金屬鉛，得到由鍛金屬圖案和光致抗蝕劑圖案構成的構 造物的工序；W及從構造物除去光致抗蝕劑圖案，得到具有與透光部對應的貫通孔的鍛金 屬圖案的工序。
[0034] 根據上述制造方法，通過在金屬鉛上形成呈波形狀的光致抗蝕劑圖案，并基于此 形成鍛金屬圖案，能夠得到形成有波形狀的貫通孔的癌細胞捕捉用金屬過濾片。該里，光致 抗蝕劑圖案不是直線狀而為波形狀，因此光致抗蝕劑圖案成為更穩定的構造，在將抗蝕劑 圖案之間進行鍛金屬的工序等中，能夠防止抗蝕劑圖案倒伏、或從金屬鉛剝落，所W能夠使 作為癌細胞捕捉用金屬過濾片的成品率提高。
[00巧]該里，作為有效發揮上述作用的結構，具體而言，優選的是，金屬鉛粘貼于載體層； 在形成鍛金屬圖案的工序之后，還有將載體層剝離的工序。
[0036] 此外，優選的是，在將光掩模重疊到光致抗蝕劑之上并進行曝光的工序中，使用在 波形的透光部的塊的周圍具有與透光部不同的第2透光部的光掩模。
[0037] 此外，優選的是，開口的開口率是10?50%。
[0038] 進而，優選的是，在得到鍛金屬圖案的工序之后，包括對鍛金屬圖案的表面鍛金的 工序。
[0039] 此外，有關本發明的癌細胞捕捉設備的制造方法的特征在于，在下述框體的導入 流路與排出流路之間的框體的內部的流路上，將上述癌細胞捕捉用金屬過濾器W貫通孔的 上游側的主面上的孔徑小于與主面對應的背面側的孔徑的方式進行設置，框體由具有透光 性的樹脂材料構成，具有蓋部件和收納部件，該蓋部件具有用于將被檢液向內部導入的導 入流路，該收納部件具有用于將被檢液向外部排出的排出流路。
[0040] 該里，優選的是，將蓋部件和收納部件烙接。
[00川發明效果
[0042] 根據本發明，能夠提供一種高開口率且生產效率高的癌細胞捕捉用金屬過濾器、 癌細胞捕捉用金屬過濾片及使用該癌細胞捕捉用金屬過濾器的癌細胞捕捉設備、W及它們 的制造方法。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0043] 圖1是說明有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾器的結構的概略立體圖。
[0044] 圖2是用于說明金屬片的表面上的連結貫通孔12的形狀的概略平面圖。圖2(A) 表示將兩個長方形狀的單孔的端部彼此成規定的角度地連結而形成的連結貫通孔，圖 2炬）是表示將兩個圓角長方形狀的單孔的端部彼此成規定的角度地連結而形成的連結貫 通孔的圖。
[0045] 圖3是表示連結貫通孔的形狀不同的癌細胞捕捉用金屬過濾器的例子的概略立 體圖。
[0046] 圖4是表示連結貫通孔的形狀不同的癌細胞捕捉用金屬過濾器的例子的概略立 體圖。
[0047] 圖5是說明有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾片的結構的概略俯視圖。
[0048] 圖6是有關本實施方式的癌細胞捕捉設備的概略立體圖。
[0049] 圖7是圖6所示的癌細胞捕捉設備的概略平面圖。
[0050] 圖8(A)是圖7的VIIIA - VIIIA剖視圖，圖8做是圖7的VIIIB - VIIIB剖視 圖。
[0051] 圖9是圖1所示的癌細胞捕捉用金屬過濾器1的IX - IX剖視圖。
[0052] 圖10是對癌細胞捕捉設備的變形例進行說明的圖，是對應于圖8的圖。
[0053] 圖11是對癌細胞捕捉用金屬過濾器的制造方法進行說明的圖。
[0054] 圖12是對癌細胞捕捉用金屬過濾器的其他制造方法進行說明的圖。
[00巧]圖13是對計算癌細胞捕捉用金屬過濾器的具有過濾功能的區域的面積的方法說 明的圖。
[0056] 圖14是對有關比較例1的癌細胞捕捉用金屬過濾器的結構進行說明的概略立體 圖。
[0057] 圖15是表示連結貫通孔的形狀不同的癌細胞捕捉用金屬過濾器的例子的概略立 體圖。
[0058] 圖16是表示連結貫通孔的形狀不同的癌細胞捕捉用金屬過濾器的例子的概略立 體圖。
[0059] 圖17是對癌細胞捕捉設備的其他結構進行說明的概略平面圖。

【具體實施方式】
[0060] W下，參照附圖詳細地說明用于實施本發明的形態。另外，在圖的說明中，對于相 同要素賦予相同標號，省略重復的說明。此外，圖面是用于輔助理解的概略圖，尺寸、尺寸比 等與實際的結構不同。此外，本說明書中的"工序"，不僅是表示獨立的工序，即使是不能與 其他工序明確地區別的情況，只要能夠達到該工序所期望的作用，則也包含在本用語中。此 夕F，使用"?"表示的數值范圍，表示將記載在"?"的前后的數值分別作為最小值及最大值 包含的范圍。
[0061] (癌細胞捕捉用金屬過濾器）
[0062] 圖1是說明有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾器的結構的概略立體圖。圖 1所示的癌細胞捕捉用金屬過濾器1是用于使轉移性癌患者的血液中含有的紅血球、血小 板及白血球（W下，將它們總稱作"血球成分"）通過、而將CTC捕捉的過濾器。
[0063] 如圖1所示，癌細胞捕捉用金屬過濾器1在金屬片11上在厚度方向上形成有多個 連結貫通孔12 (貫通孔），該金屬片11的表面上的連結貫通孔12的形狀是波形狀。對波 形狀的連結貫通孔而言，由金屬片表面上的形狀為長方形或圓角長方形的多個單孔在端部 彼此成規定的交叉角度地連結而形成。另外，在圖1中，便于說明而記載有沿著癌細胞捕捉 用金屬過濾器1的主面的XY坐標軸。在圖1的癌細胞捕捉用金屬過濾器1中，連結貫通孔 12的波形狀沿著X軸方向形成。
[0064] 形成癌細胞捕捉用金屬過濾器1的金屬片11的材質中，金屬為主成分。該里，所謂 主成分，是形成上述金屬片的材料中的比例最多的成分。通過作為癌細胞捕捉用金屬過濾 器1的片的材質的主成分而使用金屬，孔的尺寸的偏差較小，能夠W較高的分離精度將CTC 分離、濃縮。此外，金屬與塑料等其他材料相比是剛直的，所W即使從外部施加力，也容易維 持其尺寸及形狀。因此，能夠使比連結貫通孔的孔徑稍大的血液成分（特別是白血球）變形 而通過，來進行高精度的分離、濃縮。在白血球中存在具有與CTC相同程度的尺寸的細胞， 僅通過尺寸的差異有時不能僅將CTC W高濃度區別。但是，白血球的變形能力比CTC大，所 W通過基于吸引或加壓等的外部的力，能夠穿過比自己（白血球）小的孔，認為能夠與CTC 分貿。
[006引金屬片11中使用的金屬的材質，可W列示金、銀、銅、鉛、鶴、媒、鉛及該些金屬的 合金，但并不限定于該些。此外，金屬既可W W單體使用，也可W為了賦予功能性而作為與 其他金屬的合金或金屬的氧化物使用。從價格及獲得的容易度的觀點來看，優選的是使用 媒、銅、金及W它們為主成分的金屬，特別優選的是使用W媒為主成分的金屬。此外，在金 屬片11由W媒為主成分的材料形成的情況下，優選的是對媒的表面鍛金。通過鍛金，能夠 防止過濾器表面的氧化，因此CTC及血球成分對于過濾器的附著性成為一樣，能夠提高數 據的再現性。
[0066] 癌細胞捕捉用金屬過濾器1的厚度優選的是3?100 U m。在使膜厚為上述的范圍 的情況下，過濾器的處理較容易，也適合于精密加工。
[0067] 此外，癌細胞捕捉用金屬過濾器1的尺寸優選的是25mm2?IOOOmm 2D更優選的是 25mm2?225mm2,更加優選的是25mm 2?IOOmm2D如果癌細胞捕捉用金屬過濾器1的尺寸超 過1000mm2,則死空間變多。此外，如果不到25mm 2,則處理時間變長。另外，該癌細胞捕捉用 金屬過濾器1的尺寸也與安裝癌細胞捕捉用金屬過濾器1而使用的癌細胞捕捉設備的結構 有關聯，詳細情況后述。
[0068] 接著，對設置于癌細胞捕捉用金屬過濾器1的連結貫通孔12的形狀進行說明。圖 2是用于說明金屬片11的表面上的連結貫通孔12的形狀的概略平面圖。圖2 (A)表示將兩 個長方形狀的單孔的端部彼此成規定的角度地連結而形成的連結貫通孔12A，圖2炬）是表 示將兩個圓角長方形狀的連結貫通孔的端部彼此成規定的角度地連結而形成的連結貫通 孔12B的圖。該里，所謂圓角長方形，是使端部的角變圓的長方形，作為該樣的形狀的一例， 可W舉出由兩個相等的長度的長邊和兩個半圓形構成、在長方形的兩個短邊的外側設有W 長方形的短邊的中點為中也的半圓形狀的形狀。
[0069] 此外，呈長方形狀或圓角長方形狀（W下，將它們總稱為"大致長方形狀"）的連結 貫通孔12的大小中的短邊（在圖2(A)中表示為短邊121A，在圖2炬）中表示為短邊121B) 的長度的范圍是約5.0?15.0 ym。另一方面，連結貫通孔12的長邊（在圖2 (A)中表示為 長邊122)的長度可W在連結貫通孔12(12A、12B)不與癌細胞捕捉用金屬過濾器1的外緣 交叉的范圍內適當變更，其范圍是大約IOym?5mm。
[0070] 另外，癌細胞捕捉用金屬過濾器1的孔徑根據作為捕獲對象的CTC的尺寸而變更。 該里，連結貫通孔的孔徑用能夠穿過各個連結貫通孔的不變形的球的直徑的最大值定義。 例如，圖2所示的連結貫通孔12A、12B的孔徑為該連結貫通孔的短邊的長度121AU21B。在 孔的形狀是長方形或圓角長方形的情況下，即使是捕獲到了作為捕獲對象的成分的狀態， 也在孔的長邊方向上出現間隙。液體能夠經由該間隙穿過，能夠防止過濾器的網眼堵塞。
[0071] 在癌細胞捕捉用金屬過濾器1的連結貫通孔12中，兩個單孔120AU20B在其端部 彼此連結而形成波形狀，由此能夠節約單孔120AU20B之間的多余的空間，所W能夠將多 個單孔彼此更接近地配置，所W能夠實現過濾器表面上的用每單位面積的貫通孔（單孔或 連結貫通孔）的面積表示的開口率的提高。
[0072] 多個連結貫通孔12優選的是使朝向相同而接近配置。在圖1的癌細胞捕捉用金屬 過濾器1中，連結貫通孔12將兩個大致長方形狀的單孔的一端側連結而形成，使過濾器表 面上的連結貫通孔12的排列方向一致，W使作為連結部分的連結貫通孔12的中央部彼此 更接近地配置。由此，癌細胞捕捉用金屬過濾器1的開口率提高，能夠效率更好地將血液中 的CTC分離、濃縮。此外，通過該樣將連結貫通孔12接近配置，能夠使癌細胞捕捉用金屬過 濾器1上的過濾部的面積變小。該里，所謂過濾部，是相對于癌細胞捕捉用金屬過濾器1整 體而言作為過濾器發揮功能的區域，即，設置連結貫通孔12的區域，在癌細胞捕捉用金屬 過濾器1具有的連結貫通孔12的面積相同的情況下，通過使連結貫通孔12彼此接近而將 連結貫通孔12密集配置，能夠使過濾部的面積變小并提高上述區域中的CTC的分離效率。 關于過濾部的面積在后面敘述。
[0073] 此外，設在同一個癌細胞捕捉用金屬過濾器1上的多個連結貫通孔12的形狀并不 限定于一種，可W適當變更，但通過如圖1所示做成波形狀，能夠提高連結貫通孔12相對于 癌細胞捕捉用金屬過濾器1的過濾部的面積的比例。
[0074] 此外，在有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾器1中，如圖2(A)所示，將在呈 大致長方形狀的兩個單孔120A、120B在端部彼此連結時由兩個單孔120A、120B的中也軸線 的交點形成的角中的不到180°的角稱作交叉角度R。并且，在癌細胞捕捉用金屬過濾器1 中，在具備多個將兩個大致長方形狀的單孔在端部彼此連結而形成的波形狀的連結貫通孔 12的情況下，各連結貫通孔12的交叉角度R優選的是與其他連結貫通孔12的交叉角度大 致相同。該是因為，在多個連結貫通孔12的交叉角度R共同時，在將連結貫通孔12彼此接 近配置的情況下能夠減小沒有形成連結貫通孔12的區域的面積。
[00巧]另外，連結貫通孔12的交叉角度R可W使用掃描型電子顯微鏡測量。具體而言， 如圖2(A)所示，大致長方形狀的單孔120A的長邊方向的中也線P與大致長方形狀的單孔 120B的長邊方向的中也線Q所交叉的點處的中也線P與中也線Q所成的角度中，比180° 小的角度為交叉角度R。另外，兩個大致長方形狀的單孔120A、120B的交叉角度R從連結貫 通孔12的形成容易度的觀點來看，優選的是30° W上且150° W下，更優選的是45° W上 且135° W下，更加優選的是60。W上且120° W下。
[0076] 在癌細胞捕捉用金屬過濾器1中，在排列多個連結貫通孔12的情況下，相鄰的連 結貫通孔12之間的Y方向的孔間的距離優選的是10 y m W上且115 y m W下，更優選的是 15 Ji m W上且65 y m W下，更加優選的是20 y m W上且45 y m W下。如果孔間的距離不到 10 y m，則有連結貫通孔12的排列形成變困難的傾向，如果超過115 y m則開口率變小，所W 有作為噪聲的血球成分的殘留增加的傾向。此外，X方向的孔間的距離優選的是IOym W上 且300 y m W下，更優選的是30 y m W上且200 y m W下，更加優選的是35 y m W上且100 y m W下。如果不到10 U m，則有連結貫通孔12的排列形成變困難的傾向，如果超過300 y m則 開口率變小，所W有作為噪聲的血球成分的殘留增加的傾向。
[0077] 此外，癌細胞捕捉用金屬過濾器1上的連結貫通孔的開口率優選的是10?50%， 更優選的是10?40%，更加優選的是10?30%。所謂開口率，是指在癌細胞捕捉用金屬 過濾器1中貫通孔（單孔或連結貫通孔）相對于作為過濾器發揮功能的區域的面積所占的 面積的比例（參照圖13)。該里，作為過濾器發揮功能的區域的面積是圖13所示的矩形或 楠圓形的區域的面積。目P，是在癌細胞捕捉用金屬過濾器中包含的多個連結貫通孔中，通過 兩條直線L1、L2、直線L3和直線L4得到的矩形或與連結貫通孔抵接并包含全部連結貫通孔 而形成的楠圓中的最小的楠圓L5,所述兩條直線L1、L2沿著連結貫通孔的排列方向（癌細 胞捕捉用金屬過濾器1的Y方向）將連結貫通孔的端部彼此連結而得到，所述直線L3與 兩條直線正交，沿著癌細胞捕捉用金屬過濾器1的X方向將連結貫通孔的中央的連結部彼 此連結而得到，所述直線L4沿著癌細胞捕捉用金屬過濾器1的X方向將連結貫通孔的端部 彼此連結而得到。
[0078] 另外，在計算作為過濾器發揮功能的區域的面積時，采用上述矩形及楠圓形中的 較小的面積為作為過濾器發揮功能的區域的面積。例如，在圖13所示的過濾器的情況下， 由于將Ll?L4連結而得到的矩形的面積比與連結貫通孔抵接并包含全部連結貫通孔而形 成的楠圓中的最小的楠圓L5的面積小，所W采用矩形的面積為作為過濾器發揮功能的區 域的面積。另外，癌細胞捕捉用金屬過濾器如后述那樣，一側的面上的連結貫通孔的短邊的 長度比另一側的面上的連結貫通孔的短邊的長度大。在此情況下，在開口率的計算或測量 時，采用連結貫通孔的短邊的長度小的一方。另外，一側的面上的連結貫通孔12的短邊的 長度與另一側的面上的連結貫通孔12的短邊的長度之差優選的是0. 1 U m?2. 5 y m，更優 選的是0. 1 y m?2. 0 y m,更加優選的是0. 1 y m?1. 5 y m。
[0079] 開口率有時能夠基于上述定義通過計算而求出，但可W使用分光光度計，將具有 與作為上述過濾器發揮功能的區域的面積相當的開口的掩膜設置在發光部與受光部之間， 求出400?SOOnm的可視光的吸光度的平均值，接著將癌細胞捕捉用金屬過濾器設置在發 光部與受光部之間，求出400?SOOnm的可視光的吸光度的平均值，將癌細胞捕捉用金屬 過濾器的吸光度相對于作為過濾器發揮功能的區域的面積的吸光度的比率（％)作為開口 率。另外，有時分光光度計的發光部的面積比作為過濾器發揮功能的區域的面積小。在此 情況下，將作為過濾器發揮功能的區域中的測量區域任意地錯移而測量3次，將開口率的 平均值作為該過濾器的開口率。此時，測量區域也可W-部分重復。從網眼堵塞防止的觀 點來看，開口率越大越優選，但如果超過50 %，則有可能發生過濾器的強度的下降、由于加 工變困難而造成的成品率的下降等。此外，如果開口率比10%小，則容易發生網眼堵塞，有 時過濾器的濃縮性能下降。
[0080] 另外，在癌細胞捕捉用金屬過濾器上設置的貫通孔的形狀只要是波形狀，則并不 限定于圖1的形狀。在圖3、圖4、圖15及圖16中表示貫通孔的形狀不同的癌細胞捕捉用 金屬過濾器1的例子。在圖3的癌細胞捕捉用金屬過濾器IA中，設有具有長方形狀的單孔 W在癌細胞捕捉用金屬過濾器IA的X軸方向上延伸的方式在端部彼此連結3個的波形狀 的連結貫通孔13。如癌細胞捕捉用金屬過濾器IA所示，在連結3個長方形狀的單孔的情況 下，優選的是W與相鄰的連結部分的交叉角度的朝向相互為反方向的方式使長方形狀的單 孔彼此連結而做成波形狀，W使得連結貫通孔13作為整體呈S字形狀。交叉角度也可W相 對于長方形狀的中央軸線連續形成在相同側，但優選的是根據制造癌細胞捕捉用金屬過濾 器時的成品率、連結貫通孔的大小的精度、作為過濾器整體的開口率等而適當變更。
[0081] 此外，在圖4的癌細胞捕捉用金屬過濾器IB中，設有具有圓角長方形狀的單孔將 其端部彼此沿著X軸方向改變角度地連結了 8個的波形狀的連結貫通孔14。在此情況下， 也優選的是通過W圓角長方形狀的單孔的與相鄰的連結部分的交叉角度的朝向相互為反 方向的方式使圓角長方形狀的單孔彼此連結來做成波形狀。另外，在圖4中，根據紙面的狀 況，沿著癌細胞捕捉用金屬過濾器IB的Y軸方向僅配置了 1列，但也可W配置多列。
[0082] 此外，在圖15的癌細胞捕捉用金屬過濾器IC中，設有具有圓角長方形狀的單孔將 其端部彼此一邊沿著X軸方向改變角度地連結了 7個的波形狀的連結貫通孔16。在該連結 貫通孔16的情況下，成為沿X軸方向延伸的單孔與沿相對于X軸交叉的方向延伸的單孔交 替地連結的波形狀，沿X軸方向延伸的單孔形成波形的"腹"。
[0083] 此外，在圖16的癌細胞捕捉用金屬過濾器ID中，設有半圓交替地相對并在端部連 結而沿X軸方向延伸的波形狀的貫通孔17。在該貫通孔17中，與其他癌細胞捕捉用金屬過 濾器不同，由于貫通孔由1個曲線形成，所W在能夠將貫通孔的短邊的長度設計為大致一 定該一點上是優選的。貫通孔17例如可W通過使用CAD描繪光致抗蝕劑圖案來形成。在 癌細胞捕捉用金屬過濾器上設置的貫通孔不需要是金屬片表面上的形狀為長方形或圓角 長方形的多個單孔在端部彼此成規定的交叉角度地連結了而成的連結貫通孔。也可W如癌 細胞捕捉用金屬過濾器ID的貫通孔17那樣，在金屬片表面上其外形由曲線形成。
[0084] 在圖3的癌細胞捕捉用金屬過濾器IA及圖4的癌細胞捕捉用金屬過濾器IB都 能夠設為使具有波形狀的連結貫通孔彼此接近的配置，癌細胞捕捉用金屬過濾器的開口率 提高。此外，通過使連結貫通孔為波形狀，能夠提高后述的制造工序中的成品率。關于該一 點后述。
[0085] (癌細胞捕捉用金屬過濾片）
[0086] 接著，對有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾片2進行說明。圖5是說明有 關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾片2的結構的概略俯視圖。癌細胞捕捉用金屬過濾 片2是用于效率良好地生產多個癌細胞捕捉用金屬過濾器的片，如圖5所示通過沿著切斷 線L裁斷而得到的癌細胞捕捉用金屬過濾部件10可W分別作為癌細胞捕捉用金屬過濾器 使用。在裁斷后的個體片即癌細胞捕捉用金屬過濾部件10中，包括形成有多個連結貫通孔 12的過濾部21、和設置在過濾部21的周圍的連接部22。其中，過濾部21具有與癌細胞捕 捉用金屬過濾器1同等的功能。
[0087] 裁斷前的癌細胞捕捉用金屬過濾片2具備形成有多個連結貫通孔12且主成分由 金屬構成的過濾部21、和由與過濾部21相同的材料構成且將相鄰的過濾部21之間連接的 連接部22。
[0088] 另外，在設置在癌細胞捕捉用金屬過濾片2的各過濾部21的外側的連接部22,優 選的是形成有與過濾部21上的波形狀的連結貫通孔不同的定位孔23。該定位孔23用于在 沿著切斷線L裁斷后將過濾部21安裝到后述的蓋部件或收納部件的規定的位置上。
[0089] 過濾部21的連結貫通孔12的開口率優選的是10?50%，更優選的是10?40%， 更加優選的是10?30%。所謂開口率，是指貫通孔（單孔或連結貫通孔）所占的面積相對 于作為過濾器發揮功能的區域的面積的比例，可W使用分光光度計計測來計算。從網眼堵 塞防止的觀點來看，開口率越大越優選，但如果超過50%，則有過濾部21的強度下降的情 況及加工變困難的情況。此外，如果比10%小則容易發生網眼堵塞，有作為過濾器的性能下 降的情況。
[0090] 癌細胞捕捉用金屬過濾片2與癌細胞捕捉用金屬過濾器1的金屬片11同樣，主成 分是金屬。作為金屬的材質，可W例示金、銀、銅、鉛、鶴、媒、鉛及它們的金屬的合金，但并不 限定于該些。此外，優選的是對癌細胞捕捉用金屬過濾片2的表面鍛金。通過鍛金，能夠防 止過濾器表面的氧化，所W CTC及血球成分的對于過濾器的附著性成為一樣，能夠實現數 據的再現性。
[0091] (癌細胞捕捉設備）
[0092] 接著，對安裝有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾器1而使用的癌細胞捕捉 設備3的結構進行說明。圖6是癌細胞捕捉設備3的概略立體圖。此外，圖7是癌細胞捕 捉設備3的概略平面圖。此外，圖8(A)是圖7的VIIIA-VIIIA剖視圖，圖8炬）是圖7的 VIIIB - VIIIB 剖視圖。
[0093] 有關本實施方式的癌細胞捕捉設備3具備透明的樹脂制的框體33和使作為被檢 液的細胞分散液穿過的癌細胞捕捉用金屬過濾器1。此外，框體33包括具有用于將含有CTC 的被檢液向內部導入的導入流路301的蓋部件31、和具有用于將被檢液從內部向外部排出 的排出流路302的收納部件32而構成，癌細胞捕捉用金屬過濾部件10設置在蓋部件31與 收納部件32之間。在癌細胞捕捉設備3中，通過將都具有凹部的蓋部件31與收納部件32 組合，在框體33的內部設置用于被檢液流動的空間。通過做成從與該框體33的內部的空 間連接的導入流路301導入被檢液、使被檢液從同樣與空間連接的排出流路302排出的結 構，形成從導入流路301向排出流路302的被檢液的流路。通過在該被檢液的流路上配置 癌細胞捕捉用金屬過濾器，被檢液穿過癌細胞捕捉用金屬過濾器，作為捕捉對象的CTC被 過濾器捕捉。
[0094] 此外，有關本實施方式的癌細胞捕捉設備也可W為其他形狀。例如，圖17所示的 癌細胞捕捉設備3'與癌細胞捕捉設備3相比，將用于被檢液流動的空間的形狀從矩形做成 了楠圓形（或圓形）。目P，具備上面及下面的形狀為楠圓形的框體33'和使作為被檢液的細 胞分散液穿過的癌細胞捕捉用金屬過濾器1'。進而，框體33'包括具有導入流路301'的蓋 部件31'和具有排出流路302'的收納部件32'而構成，癌細胞捕捉用金屬過濾部件10'設 置在蓋部件31'與收納部件32'之間。該樣，癌細胞捕捉設備的形狀能夠適當變更，根據內 部的空間的形狀，將在癌細胞捕捉用金屬過濾器1'中作為過濾器發揮功能的區域的形狀變 更。
[0095] 另外，在W下的實施方式中，對在設備上安裝有將圖5所示的癌細胞捕捉用金屬 過濾片2裁斷而得到、包括過濾部21和連接部22而構成的癌細胞捕捉用金屬過濾部件10 的結構進行說明。
[0096] 將癌細胞捕捉設備3的框體33從上方觀察時的大小優選的是5mmX5mm? 50mmX 50mm的尺寸。此外，框體的厚度優選的是5?30mm。此外，優選的是，框體33的材 質在用于檢測CTC的可視光區域中實質上透明。由此，在使血液流動而進行CTC的分離、濃 縮處理后，能夠不將設備分解，而從外部觀察被捕捉到癌細胞捕捉用金屬過濾部件10上的 CTC。具體而言，可W舉出丙帰樹脂、聚二甲基娃氧焼等的高分子，更優選的是在CTC觀察時 當照射300?SOOnm的波長區域的光時材料自身所發出的自英光性較低的丙帰樹脂，特別 優選的是聚甲基丙帰酸甲醋。在框體33由上述樹脂構成的情況下，從生產效率的觀點來 看，優選的是注射成形而制作。另外，導入流路301及排出流路302為了確認被檢液的穿過 而被要求是透明的樹脂制，但由于不要求觀察CTC，所W也可W是與蓋部件或收納部件不同 的樹脂制。
[0097] 此外，在框體33的材質由具有透光性的部件構成的情況下，不需要將使被檢液穿 過后的癌細胞捕捉用金屬過濾器（在本實施方式中是癌細胞捕捉用金屬過濾部件10)從 癌細胞捕捉設備3取出，所W能夠防止因灰塵附著于癌細胞捕捉用金屬過濾器等而造成的 誤判斷。此外，由于不需要使附著有可能被各種病原菌或病毒污染的、來源于人的被檢液或 CTC的設備內部露出到外部，所W能夠減少作業的安全性的確保的麻煩。
[0098] 框體33通過將蓋部件31與收納部件32固接而形成。框體33的形狀沒有特別限 定，但為了在使被檢液穿過收容在內部中的癌細胞捕捉用金屬過濾器（在本實施方式中是 癌細胞捕捉用金屬過濾部件10)的連結貫通孔12后，從外部觀察殘留在癌細胞捕捉用金屬 過濾器的表面上的物質，優選的是作為與癌細胞捕捉用金屬過濾器的主面對置的面的上表 面及下表面平坦且相互平行。
[0099] 框體33中的蓋部件31具備導入流路301及導入口 303。導入流路301被配置在 蓋部件31的側面。此外，在蓋部件31上，設有用于被檢液穿過癌細胞捕捉用金屬過濾器 (在本實施方式中是癌細胞捕捉用金屬過濾部件10)的導入區域311。在將癌細胞捕捉設 備3從上方觀察時，導入區域311設置在癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的過濾部21的上 方，W將安裝在收納部件32上的癌細胞捕捉用金屬過濾部件10中的設置連結貫通孔12的 過濾部21全部包含。導入區域311經由導入口 303連接在導入流路301上，成為用于將 從導入口 303導入的被檢液向癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的過濾部21的連結貫通孔12 引導的空間。
[0100] 在將癌細胞捕捉設備3從上方觀察時，蓋部件31的導入口 303配置在比過濾部 21所處的觀察區域更靠外側的位置，導入流路301沿著癌細胞捕捉用金屬過濾器1的面內 方向延伸。通過具有該樣的結構，能夠避免存在當從癌細胞捕捉設備3的外部觀察癌細胞 捕捉用金屬過濾部件10的過濾部21的情況下妨礙視野的構造物。因而，能夠將癌細胞捕 捉設備3直接穩定地固定到顯微鏡的臺座上，并且不將癌細胞捕捉設備3分解而觀察。另 夕F，所謂面內方向，是指癌細胞捕捉用金屬過濾器1的面內的所有的方向，是沿著與癌細胞 捕捉用金屬過濾器1的面平行的面的全部方向。此外，所謂"沿著面內方向"，是指相對于面 內方向成小于60°、優選的是小于45°、更優選的是小于30°的角度的方向。
[0101] 導入流路301優選的是聚丙帰（P巧等的樹脂制。導入流路301的外徑優選的是 0. 4?2. 4mm，其內徑優選的是0. 2?2. 2mm。此外，與導入區域311連接的導入口 303的內 徑優選的是0. 4?2. 5mm。
[0102] 此外，框體33中的收納部件32具備排出流路302及排出口 304。排出流路302被 配置在收納部件32的側面。此外，在收納部件32的內部，設有用于安裝癌細胞捕捉用金屬 過濾器1的安裝區域312、和設設置在癌細胞捕捉用金屬過濾器1的安裝區域312的下方、 作為用于將穿過癌細胞捕捉用金屬過濾器1后的被檢液向排出流路302引導的空間的排出 區域313。
[0103] 安裝區域312是與癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的形狀對應地設置在收納部件 32的上面側的凹部。此外，從上面觀察時的形狀比安裝區域312小的排出區域313作為凹 部設置在安裝區域312的中央部。在安裝區域312的周緣側（沒有形成排出區域313的區 域）設有突起部314。該突起部314與設置在癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的連接部22 上的定位孔23對應設置，具有作為將癌細胞捕捉用金屬過濾部件10安裝于收納部件32時 的定位部件的功能。該樣，通過做成利用設置在收納部件上的突起部314將癌細胞捕捉用 金屬過濾部件10安裝于收納部件32的結構，設備的組裝時的癌細胞捕捉用金屬過濾部件 10的設置變容易，生產效率提高。安裝區域312的厚度與癌細胞捕捉用金屬過濾器的厚度 相當。即，優選的是3?100 Jim。
[0104] 該里，有對安裝區域312安裝的癌細胞捕捉用金屬過濾器的連結貫通孔12的形狀 在上面側和下面側不同的情況。圖9是圖1所示的癌細胞捕捉用金屬過濾器1的IX - IX 剖視圖。在沿著后述的癌細胞捕捉用金屬過濾器1的制造方法制造癌細胞捕捉用金屬過濾 器1的情況下，如圖9所示，一側的面上的連結貫通孔12的短邊的長度比另一側的面上的 連結貫通孔12的短邊的長度大。在此情況下，優選的是將連結貫通孔12的短邊的長度較 小的面配置在蓋部件31側，即在被檢液的流路中作為上游側的一側。通過該樣將短邊的長 度較小的面作為上游側，能夠抑制因被檢液中含有的血球成分等造成的網眼堵塞的發生。 一側的面上的連結貫通孔12的短邊的長度與另一側的面上的連結貫通孔12的短邊的長 度之差優選的是0. 1 y m?2. 5 y m，更優選的是0. 1 y m?2. 0 y m，更加優選的是0. 1 y m? 1. 5ym。另外，在連結貫通孔的孔徑的大小的設計中，基于更小側的短邊的長度來規定。
[0105] 當將癌細胞捕捉設備3從上方觀察時，設置在框體33的中央部下方的排出區域 313 W包含癌細胞捕捉用金屬過濾部件10中的設有連結貫通孔12的過濾部21的全部的 方式設置在安裝于收納部件32上的癌細胞捕捉用金屬過濾器1的過濾部21的下方。排出 區域313連接在排出流路302上，成為用于將穿過癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的過濾部 21的連結貫通孔12后的被檢液從排出流路302排出的空間。
[0106] 排出流路302優選的是聚丙帰（P巧等的樹脂制。排出流路302的外徑優選的是 0. 4?2. 4mm，其內徑優選的是0. 2?2. 2mm。此外，與排出區域313連接的排出口 304的內 徑優選的是0. 4?2. 5mm。
[0107] 當從癌細胞捕捉設備3的上方觀察時，收納部件32的排出流路302及排出口 304 配置在比過濾部21所處的觀察區域更靠外側的位置，排出流路302沿著癌細胞捕捉用金屬 過濾器1的面內方向延伸，由此能夠避免存在當從癌細胞捕捉設備3的外部經由上面觀察 癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的過濾部21的情況下妨礙視野的構造物。因而，能夠將癌 細胞捕捉設備3直接穩定地固定到顯微鏡的臺座上，并且能夠不將癌細胞捕捉設備3分解 而進行觀察。
[010引如上述那樣，設置在癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的上方的導入區域311及設 置在癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的下方的排出區域313優選形成為將癌細胞捕捉用金 屬過濾器1中的設置連結貫通孔12的過濾部21全部包含。
[0109] 將形成癌細胞捕捉設備3的框體33的蓋部件31與收納部件32優選的是被烙接。 所謂烙接，是指通過在高溫下將材料自身一部分烙化而將它們直接結合。烙接有時也稱為 熱粘（對應日文；融著）、熱粘接（對應日文；熱接著）、熱密封。作為烙接方法，可W舉出 熱烙接、超聲波烙接、高頻烙接等。在將癌細胞捕捉用金屬過濾器1載置在安裝區域312之 后，將其周圍通過熱或超聲波等的處理進行烙接，將蓋部件31與收納部件32固定，由此能 夠可靠地得到癌細胞捕捉設備的氣密性，能夠確保使作為被檢液的細胞分散液流入到癌細 胞捕捉設備內時的較高的液密性。此外，基于烙接的接合由于能夠在短時間內進行接合處 理，所W生產性也良好。上述烙接方法中，特別是超聲波烙接或高頻烙接由于能夠僅將材料 的需要部位在更短時間內烙化，所W是優選的。
[0110] 另外，在上述實施方式中，對在收納部件32上安裝癌細胞捕捉用金屬過濾部件10 的結構進行了說明，但該結構可W適當進行變更。
[0111] 圖10是對癌細胞捕捉設備的變形例進行說明的圖，是與圖8對應的圖。在圖10所 示的癌細胞捕捉設備3A中，在蓋部件31側設有作為用于將癌細胞捕捉用金屬過濾部件10 固定的凹部的安裝區域312'該一點與圖8所示的癌細胞捕捉設備3不同。該樣，癌細胞捕 捉設備的內部的結構并不限定于上述實施方式，可W適當進行變更。
[0112] 對上述癌細胞捕捉設備3的使用方法進行說明。
[0113] 作為細胞分散液，可W使用積存在骨髓、脾臟、肝臟等中的血液、淋己、組織液、廝 帶血等，但使用在體內循環的末梢血是最簡便的。檢測末梢血中的CTC的存在是判斷癌的 病狀發展的有用的手段。
[0114] 在檢測細胞分散液中的CTC的存在的有無的情況下，向癌細胞捕捉設備的導入流 路301導入細胞分散液，使其穿過癌細胞捕捉用金屬過濾部件10后，從排出流路302排出。 由此，將含有CTC的細胞濃縮到癌細胞捕捉用金屬過濾器1上，只要確認在濃縮后的細胞中 是否存在CTC就可W。在向導入流路301的細胞分散液的導入中，可W例示通過加壓或減 壓的方法、使用蠕動粟的方法等。此外，癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的捕捉區域的面積 (過濾部21的面積）例如在從1血的血液將CTC濃縮的情況下，25mm 2?IOOOmm2較為適 合。
[0115] 在用上述方法將CTC濃縮的情況下，不僅是CTC，白血球等的血球細胞也同時被濃 縮。因此，需要確認在回收的細胞中是否包含來源于癌原發巢的上皮細胞。例如，可W在用 上述方法將CTC濃縮后，用對于英光標記出的上皮細胞標志的抗體進行染色，來確認是上 皮細胞。作為對于上皮細胞標志的抗體，可W例示抗切tokeratin抗體等。
[0116] 濃縮后的細胞的染色及觀察例如可W如W下該樣進行。從將細胞濃縮后的癌 細胞捕捉設備3的導入流路301導入福爾馬林溶液，將癌細胞捕捉過濾器1上的細胞的 狀態保護固定，進行清洗處理后，用非離子界面活性劑使染色液滲入到細胞內后，將抗 切tokeratin抗體溶液向內部導入并靜置規定時間。接著，向癌細胞捕捉設備的導入流路 301導入清洗用的緩沖劑，將未反應的抗體清洗除去。接著，將癌細胞捕捉設備3直接固定 到顯微鏡的臺座上，進行英光顯微鏡觀察。也可W在向癌細胞捕捉設備3導入抗體溶液前， 導入用于抑制抗體的非特異性反應的阻擋用緩沖劑。
[0117] 此外，也可W將用上述方法濃縮的細胞回收，通過對基因進行解析來確認是CTC。 細胞的回收例如可W通過從癌細胞捕捉設備的排出流路側導入緩沖劑、從導入流路側回收 來進行。例如，可W對p53、K - RAS、H - RAS、N - RAS、BRAF、APC等的基因的變異進行解 析，來確認是CTC。此外，該些基因解析的結果還可W用在之后的患者的治療方針的決定等 中。或者，也可W通過測量用上述方法濃縮的細胞的端粒酶活性等，來確認是CTC。
[0118] 也可W在細胞分散液中的CTC的存在的有無的檢測結束后，通過從癌細胞捕捉設 備的排出流路302側導入緩沖劑、從導入流路301側排出，來將捕捉在癌細胞捕捉用金屬過 濾器1上的細胞清洗除去，將癌細胞捕捉設備3再利用。
[0119] (癌細胞捕捉用金屬過濾器的制造方法）
[0120] 接著，使用圖11及圖12對上述癌細胞捕捉用金屬過濾器1的制造方法進行說明。 有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾器1的制造方法包括：在金屬鉛上層壓光致抗 蝕劑的工序；在光致抗蝕劑層之上重疊具有波形的透光部的光掩模并進行曝光的工序；進 行顯影而將光致抗蝕劑層的未曝光部除去、形成光致抗蝕劑圖案的工序；對光致抗蝕劑圖 案間鍛金屬、形成比光致抗蝕劑圖案的高度低的鍛金屬圖案的工序；將金屬鉛通過化學溶 解除去、得到由鍛金屬圖案和光致抗蝕劑圖案構成的構造物的工序；和從構造物將光致抗 蝕劑圖案除去、得到鍛金屬圖案的工序。W下，對各工序進行說明。
[0121] 圖11 (A)表示對載體層401層疊了金屬鉛402的狀態。在圖11做所示的層疊工 序中，在金屬鉛402上形成由感光性樹脂組成物構成的光致抗蝕劑403。接著，在圖Il(C) 所示的曝光工序中，經由光掩模404對光致抗蝕劑403照射活性光線扣V光），使被曝光的 部分光硬化，形成光致抗蝕劑的硬化物。接著，在圖Il(D)所示的顯影工序中，將硬化物W 外的光致抗蝕劑403除去，形成光致抗蝕劑圖案403a (圖11 (D)的403b是未硬化的光致抗 蝕劑被除去的部分，是在之后的工序中形成鍛層的部分）。接著，在圖11巧）所示的鍛層工 序中，在形成了由硬化物構成的光致抗蝕劑圖案403a的金屬鉛402上形成鍛層405。接著， 如圖11(巧所示，將金屬鉛402和載體層401剝離。接著，在圖Il(G)所示的溶解工序中， 將金屬鉛402通過化學溶解除去。結果，留下由光致抗蝕劑的硬化物構成的光致抗蝕劑圖 案403a及鍛層405。接著，在圖Il(H)所示的剝離工序中，將由光致抗蝕劑的硬化物構成的 光致抗蝕劑圖案403a除去，回收由鍛層405構成的金屬過濾器。在金屬過濾器上形成有連 結貫通孔406。
[0122] 圖12(A)?圖12(G)是說明癌細胞捕捉用金屬過濾器1的其他制造方法的工序 圖。圖12所示的制造方法與圖11所示的制造方法相比，代替金屬鉛402而使用金屬制的 基板402'該一點不同。在此情況下，除了不存在圖11(巧中所示的將金屬鉛402和載體層 401剝離的工序該一點W外，能夠通過與圖11所示的制造方法同樣的方法制造癌細胞捕捉 用金屬過濾器1。但是，由于基板402'比金屬鉛402厚，所W在溶解工序中，在將基板402' 通過化學溶解除去的工序中使用的化學溶解劑和時間比將金屬鉛402除去的情況增加。
[0123] W下，對各工序詳細地說明。
[0124] (層壓工序）
[0125] 首先，表示對載體層401層疊了金屬鉛402的狀態。作為金屬鉛402,可W使用能 夠通過蝕刻除去的金屬鉛，具體而言，使用銅、媒、媒鉛合金等的鉛，但銅鉛是優選的。銅鉛 能夠通過化學蝕刻容易地除去，在與光致抗蝕劑的密接力方面也比其他材料好。如果使用 對于由覆銅層疊板構成的載體層401 W在后面的工序中能夠剝離的程度粘貼了金屬鉛402 的結構，則癌細胞捕捉用金屬過濾器制造工序中途的作業性及處理性較好，所W是優選的。 作為上述那樣的結構，具體而言，可W使用可剝離銅鉛（日立化成工業（株）社制）。所謂 可剝離銅鉛，是由極薄銅鉛和載體層的至少兩層構成的銅鉛。
[0126] 圖11炬）是表示在金屬鉛402之上形成了由感光性樹脂組成物構成的光致抗蝕劑 403的狀態的圖。作為光致抗蝕劑403,負型及正型的哪種都能夠使用，但優選的是負型光 致抗蝕劑。負型光致抗蝕劑優選至少含有粘合劑樹脂、具有不飽和結合的光聚合性化合物、 光聚合開始劑。另外，在使用正型的光致抗蝕劑的情況下，由于光致抗蝕劑層中的通過活性 光線的照射被曝光的部分對于顯影液的溶解性增大，所W在顯影工序中，被曝光的部分被 除去。W下，對使用負型光致抗蝕劑的情況進行說明。
[0127] 最終得到的癌細胞捕捉用金屬過濾器1的厚度為光致抗蝕劑圖案的厚度W下。因 此，需要形成適合于作為目的的金屬過濾器的厚度的膜厚的光致抗蝕劑層。例如，在制造小 于15 U m的厚度的金屬過濾器的情況下，優選的是使用膜厚15 U m的光致抗蝕劑。此外，在 制造超過15 y m且小于25 y m的厚度的金屬過濾器的情況下，優選的是使用膜厚25 y m的 光致抗蝕劑。此外，連結貫通孔的孔徑越小，優選使用膜厚越薄的光致抗蝕劑。
[0128] 光致抗蝕劑403向金屬鉛402上的層疊，例如通過將由支承膜、光致抗蝕劑及保護 膜構成的片狀的感光性元件的保護膜除去后，一邊對光致抗蝕劑403加熱一邊壓接到金屬 鉛402上來進行。由此，得到由金屬鉛402、光致抗蝕劑403和支承膜構成、它們被依次層疊 的層疊體。
[0129] 該層疊作業從密接性及追隨性的觀點來看，優選的是在減壓的氛圍下進行。另一 方面，在壓接時的對光致抗蝕劑403及/或金屬鉛402的加熱溫度、壓力等的條件方面沒有 特別限制，但優選的是在70?130°C的溫度下進行，優選的是W 100?IOOOkPa左右的壓 力壓接。另外，在光致抗蝕劑的壓接中，也可W為了提高層疊性而對金屬鉛進行預熱處理。 另外，也可W使支承膜具有光掩模的功能，在此情況下，也可W直接向下個工序轉移而作為 光掩模使用，但在不是該樣的情況下，在下個工序中重疊光掩模之前將支承膜剝離。
[0130] (曝光工序）
[0131] 接著，對曝光工序進行說明。在金屬鉛402上的光致抗蝕劑403之上重疊具有波 形的透光部的光掩模404后，照射活性光線，使曝光后的部分光硬化，形成光致抗蝕劑的硬 化物403a。
[0132] 光掩模具有波形的透光部。上述透光部將長方形或圓角長方形在端部成規定的角 度地連結多個而形成波形的形狀，或半圓相互面對并在端部連結而形成波形的形狀。該形 狀為癌細胞捕捉用金屬過濾器1的貫通孔的形狀。
[0133] 作為曝光方法，可W舉出通過稱作布線圖（artwork)的負或正掩模圖案對圖像上 照射活性光線的方法（掩模曝光法）。此外，也可W采用通過LDI (Laser Direct Imaging) 曝光法或DLP值igital Li曲t Processing)曝光法等的直接描繪曝光法將活性光線W圖像 狀照射的方法。
[0134] 作為活性光線的光源，可W使用周知的光源，例如使用碳弧燈、水銀蒸氣電弧燈、 高壓水銀燈、気燈、氮激光器等的氣體激光器、YAG激光器等的固體激光器、半導體激光器等 的有效地放射紫外線、可視光等的光源。
[013引作為活性光線的波長（曝光波長），優選的是350?410nm的范圍內，更優選的是 390?410nm的范圍內。曝光優選的是在SOOmmHg W下的真空下進行。曝光量優選的是在 0. Ol?lOJ/cm2的范圍內進行，更優選的是在0. Ol?5J/cm2的范圍內進行。
[0136] 另外，如圖Il(C)所示，由于從光掩模404的上方照射活性光線，所W上面側光致 抗蝕劑403容易受到活性光線的影響而硬化，下面的金屬鉛402側的光致抗蝕劑403相比 上面側不易硬化。結果，硬化物403a W上方的頂部較大、隨著朝向下方的底部而變小那樣 的形狀得到。
[0137] (光致抗蝕劑圖案形成工序）
[0138] 通過將光致抗蝕劑403中的光致抗蝕劑的硬化物W外的部分從金屬鉛402上除 去，在金屬鉛402上形成由光致抗蝕劑的硬化物構成的光致抗蝕劑圖案403a。在光致抗蝕 劑上存在支承膜或光掩模的情況下，將支承膜或光掩模除去后，進行上述光致抗蝕劑的硬 化物W外的部分的除去（顯影）。在顯影方法中，有濕式顯影和干式顯影，但濕式顯影被廣 泛使用。
[0139] 在濕式顯影的情況下，使用與光致抗蝕劑對應的顯影液，通過周知的顯影方法進 行顯影。作為顯影方法，可W舉出使用浸潰（dip)方式、攬拌（paddle)方式、噴射（spray) 方式、刷涂化rushing)、拍打（slapping)、刮涂（scrapping)、搖動浸潰等的方法，從分辨率 提高的觀點來看，高壓噴射方式最適合。也可W將該些顯影方法中的兩種W上的方法組合 來進行顯影。
[0140] 作為顯影液，可W舉出堿性水溶液、水類顯影液、有機溶劑類顯影液等。在使用堿 性水溶液作為顯影液的情況下，安全且穩定，操作性良好。作為堿性水溶液的堿，使用裡、軸 或鐘的氨氧化物等的堿金屬氨氧化物；裡、軸、鐘或饋的碳酸鹽或重碳酸鹽；磯酸鐘，磯酸 軸等的堿金屬磯酸鹽；焦磯酸軸、焦磯酸鐘等的堿金屬焦磯酸鹽等。
[0141] 作為堿性水溶液，優選的是0. 1?5質量％碳酸軸的稀薄溶液、0. 1?5質量％碳 酸鐘的稀薄溶液、0. 1?5質量％氨氧化軸的稀薄溶液、0. 1?5質量％四測酸軸的稀薄溶 液等。堿性水溶液的抑優選的是9?11的范圍，其溫度匹配于光致抗蝕劑的堿顯影性而 得W調節。在堿性水溶液中，也可W混入表面活性劑、消泡劑、用于促進顯影的少量的有機 溶劑等。
[0142] 另外，也可W在將光致抗蝕劑403的硬化物W外的部分通過顯影除去，在金屬鉛 402上形成由光致抗蝕劑的硬化物構成的光致抗蝕劑圖案403a后，通過根據需要進行60? 25CTC左右的加熱或0. 2?lOJ/cm2左右的曝光，將光致抗蝕劑圖案進一步硬化。
[0143] 光致抗蝕劑圖案中，光致抗蝕劑圖案的高度與其短邊的長度的縱橫比（高度/短 邊的長度）優選的是1 W上且10 W下，更優選的是2 W上且7 W下，特別優選的是3 W上 且5 W下。如果縱橫比超過10,則形狀變得不穩定，所W光致抗蝕劑圖案容易倒伏，癌細胞 捕捉用金屬過濾器制造的成品率下降。另一方面，如果縱橫比小于1，則有作為癌細胞捕捉 用金屬過濾器的CTC的有效率的捕捉變困難、或者作為癌細胞捕捉用金屬過濾器的處理 性變困難的情況。該樣長方形或圓角長方形在端部連結的波形狀的光致抗蝕劑圖案或半圓 相互面對而在端部連結而成的波形狀的光致抗蝕劑圖案在顯影時圖案不易倒伏，生產性良 好。
[0144] 該里，對形成長方形或圓角長方形在端部連結而成的波形狀的光致抗蝕劑圖案的 情況下的其優選的形狀進一步說明。在光掩模404中，當設波形狀的透光部的延伸方向為 長邊方向時，在沿著相對于透光部的長邊方向正交的短邊方向將多個透光部接近排列的情 況下，有時所形成的光致抗蝕劑圖案中的交叉部（作為波形狀的頂點的部分）相比光掩模 404的透光部的設計，角部形成得較圓。該是因為，在顯影時顯影液不能充分滲透在光致抗 蝕劑的硬化部之間。因而，通過將作為波形狀的頂點的部分處的光致抗蝕劑圖案的交叉角 度設為90°?150°，關于顯影液的滲透也能夠充分地進行。另外，光致抗蝕劑圖案的交叉 角度通過與金屬過濾器的連結貫通孔的連結部的交叉角度同樣的方法計算。目P，是指形成 波狀的圖案的頂點的兩個長方形狀圖案的長邊方向的中也線所成的角度中的、比180°小 的角度（參照圖2炬)）。
[0145] 通過該樣作出的由硬化物形成的光致抗蝕劑圖案403a中，頂部形成得比底部寬 度寬。該是因為，與頂部相比，在底部沒有被充分曝光。
[0146] (鍛金屬圖案形成工序）
[0147] 在顯影工序后，在金屬鉛402上進行鍛金屬，形成鍛金屬圖案405。作為鍛層的方 法，例如可W舉出鍛焊料、鍛媒、鍛金。該鍛層最終成為金屬過濾器，在后面的工序中被除去 光致抗蝕劑圖案而成為金屬過濾器的連結貫通孔，所W比光致抗蝕劑圖案的高度低地進行 鍛層、W便不將光致抗蝕劑圖案堵塞是重要的。
[014引作為鍛金屬的金屬種類，可W例示金、銀等的貴金屬，鉛、鶴、媒、鉛等的賤金屬，及 該些金屬的合金，但并不限定于該些。金屬既可W W單體使用，也可W為了賦予功能性而作 為與其他金屬的合金或金屬的氧化物使用。在它們之中，因為防止腐蝕等的發生，在加工 性、成本方面也良好，所W優選的是使用媒及W媒為主成分的金屬。該里所謂主成分，是指 材料中占有最多的比例的成分。
[0149] 該里形成的鍛金屬圖案405中，底部比頂部形成得寬度稍寬。該是因為，如上述 那樣，光致抗蝕劑圖案403a具有底部比頂部寬度稍寬的形狀。
[0150] (得到由鍛金屬圖案和光致抗蝕劑圖案構成的構造物的工序）
[0151] 在形成鍛金屬圖案405后，將金屬鉛402進行化學溶解而除去。由此，能夠不通 過人手作業（手剝）而將由作為金屬過濾器的鍛金屬圖案405和光致抗蝕劑圖案403a構 成的構造物回收。因此，能夠不發生權皺、折疊、傷痕、卷曲等的損傷、或微細的連結貫通孔 的變形，而制造金屬過濾器。作為將金屬鉛溶解的化學溶解劑，可W使用MEC Bri曲t SF-5420B (商品名，MEC株式會社制）、銅選擇蝕刻液一CSS (日本化學產業株式會社）等。
[0152] (將光致抗蝕劑圖案除去的工序）
[0153] 接著，將抗蝕劑圖案403a通過堿性例如比在顯影中使用的堿性水溶液更強的水 溶液除去。作為該強堿性的水溶液，優選的是使用例如1?10質量％氨氧化軸水溶液或氨 氧化鐘水溶液，更優選的是使用1?5質量％氨氧化軸水溶液或氨氧化鐘水溶液。通過將 抗蝕劑圖案（光致抗蝕劑的硬化物）除去，能夠僅將鍛金屬圖案405回收。該鍛金屬圖案 405成為金屬過濾器。作為抗蝕劑圖案的除去方式，可W舉出浸潰方式、噴射方式、使用超聲 波的方式等，它們既可W單獨使用也可W并用。
[0154] 通過經過W上的工序，能夠得到有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾器。在 經過上述工序得到的癌細胞捕捉用金屬過濾器中，對應于硬化物403a的傾斜，如圖Il(H) 等所示，上側的面中的連結貫通孔的短邊的長度相對于下側的面中的連結貫通孔的短邊的 長度變大。此時，下側的面中的連結貫通孔的短邊的長度與上側的面中的連結貫通孔的短 邊的長度之差優選的是0. Iy m?2. 5 ym，更優選的是0. Iy m?2. Oy m，更加優選的是 0. 1 U m ?1. 5 U m。
[0155] (癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法）
[0156] 接著，對有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法進行說明。
[0157] 本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法包括：在金屬鉛上層壓光致抗 蝕劑的工序；在光致抗蝕劑之上重疊具有多塊呈波形狀的透光部的光掩模并曝光的工序； 進行顯影、將光致抗蝕劑的未硬化部除去而形成光致抗蝕劑圖案的工序；對光致抗蝕劑圖 案間鍛金屬、形成比光致抗蝕劑圖案的高度低的鍛金屬圖案的工序；將金屬鉛通過化學溶 解除去、得到由鍛金屬圖案和光致抗蝕劑圖案構成的構造物的工序；從構造物將光致抗蝕 劑圖案除去、得到具有鍛金屬圖案的工序。上述癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法與癌 細胞捕捉用金屬過濾器的制造方法不同的點是W下的點。目P，由于癌細胞捕捉用金屬過濾 片的制造方法是將多個癌細胞捕捉用金屬過濾器用連接部連接的片的制造方法，所W光掩 模的形狀為對應于片的形狀；設有與設置在連接部上的定位孔對應的抗蝕劑圖案。因而，在 癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造時優選地使用的材料及制造條件等與癌細胞捕捉用金屬 過濾器是同樣的。另外，癌細胞捕捉用金屬過濾片的大小根據一次制造的癌細胞捕捉用金 屬過濾器的片數決定，所W可適當變更。
[015引另外，在將癌細胞捕捉用金屬過濾片的一部分作為癌細胞捕捉用金屬過濾器使用 的情況下，通過將作為癌細胞捕捉用金屬過濾片的連接部的區域裁斷而將過濾部切離為個 片來使用。
[0159] (癌細胞捕捉設備的制造方法）
[0160] 接著，對有關本實施方式的癌細胞捕捉設備的制造方法進行說明。癌細胞捕捉設 備3通過在具有導入流路301的蓋部件31與具有排出流路302的收納部件32之間夾入并 固定癌細胞捕捉用金屬過濾部件10而形成。此時，癌細胞捕捉用金屬過濾部件10 W連結 貫通孔的孔徑較小側的面成為蓋部件31側（上游側）的方式安裝到蓋部件31與收納部件 32之間。
[0161] 蓋部件31和收納部件32通過超聲波烙接被烙接。此時，烙接機的焊頭化orn)優 選的是能夠將蓋部件的上面的外周部均勻地加壓的形狀。通過使用該樣的形狀的焊頭，能 夠將蓋部件31與收納部件32相接的面均勻地烙接，能夠做成被檢液不泄漏的構造。另外， 在超聲波烙接中，可W使用日本即TURE( b二一于^ 7 )(株）社制W5040 - 20等的烙接 機，在10?30曲z、0. I?0. 5MPa、0. 05?I. 5砂的條件下進行。
[0162] 優選的是癌細胞捕捉設備的過濾器的連結貫通孔的蓋部件側的短邊的長度比收 納部件側的短邊的長度短的構造。通過采用該樣的構造，能夠使得不易發生由血球成分造 成的網眼堵塞。
[0163] 此外，癌細胞捕捉設備3優選的是W下構造；在蓋部件或收納部件的至少一方上 具有用于將過濾器固定的突起部，在處于過濾器的形成有連結貫通孔的區域的外側的定 位孔中插入突起部而將過濾器固定到盒的蓋部件與收納部件之間。通過具有該樣的構造， 設備組裝時的過濾器的設置變容易，生產效率提高。
[0164] 關于癌細胞捕捉用金屬過濾部件10的連結貫通孔12,由于出口側（下游側）的孔 徑比入口側（上游側）大，所W-旦穿過了連結貫通孔12的血球等的過濾物不易滯留在孔 內。因此，能夠減少作為過濾器的網眼堵塞的發生，由于不發生壓力損失，所W結果能夠使 殘留在過濾器上的血球、特別是白血球數減少，實現過濾器的分離精度的提高。
[0165] 如W上該樣，根據有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬過濾器1、癌細胞捕捉用金 屬過濾片2、W及使用癌細胞捕捉用金屬過濾器（在本實施方式中，是具有作為癌細胞捕捉 用金屬過濾器發揮功能的過濾部21的癌細胞捕捉用金屬過濾部件10)的癌細胞捕捉設備 3,通過使連結貫通孔的開口為波形狀，能夠利用其短邊側的孔徑（短邊的長度）從其他成 分中提取CTC，并且通過具有波形狀，能夠維持著CTC的捕捉能力而使上述連結貫通孔彼此 更接近。因而，能夠進一步提高癌細胞捕捉用金屬過濾器的開口率，作為癌細胞捕捉設備3 也能夠提高其CTC的捕捉能力。
[0166] 此外，根據上述癌細胞捕捉用金屬過濾器及癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方 法，由于能夠降低用于形成波形狀的連結貫通孔的光致抗蝕劑圖案在制造時倒伏或剝離的 概率，所W不僅能夠得到具有較高的開口率的癌細胞捕捉用金屬過濾器或癌細胞捕捉用金 屬過濾片，還起到能夠提高成品率的效果。
[0167] W上，對本發明的實施方式進行了說明，但有關本實施方式的癌細胞捕捉用金屬 過濾器、癌細胞捕捉用金屬過濾片、癌細胞捕捉設備并不限定于上述實施方式，可W進行各 種變更。
[016引例如，有關本發明的癌細胞捕捉用金屬過濾器可W適用于具有CTC、特別是具有被 播種及微轉移的CTC的細胞含有體液的全部。具體而言，有淋己液、尿、姨、腹水、滲出液、羊 膜液、吸引液、內臟的洗液、還有腸道清洗液、肺清洗液、支氣管清洗液、膀脫清洗液、大便、 W及特別是骨髓及血液。也可W將該樣的細胞含有體液直接過濾，將細胞濃縮，但最初可 W將細胞含有體液作為準備工序而用密度梯度離也分離法等將不包含細胞的成分預先除 去。
[0169] 實施例
[0170] W下，基于實施例更詳細地說明本發明，但本發明并不限定于下述的實施例。
[0171] 首先，在說明W下的實施例的評價方法后，說明有關實施例及比較例的癌細胞捕 捉用金屬過濾器的制造方法，同時記載根據上述評價方法評價的結果。
[0172] <評價方法〉
[0173] (交叉角度的測量方法）
[0174] 關于交叉角度，將癌細胞捕捉用金屬過濾器或癌細胞捕捉用金屬過濾片的連結貫 通孔的端部的連結部用3D real Surface View顯微鏡（（株）KEYENCE社制，VE- 8800)觀 察，拍攝照片，測量各自的連結貫通孔的長邊方向的中也線交叉形成的角度的比180°小的 角度而求出。
[0175] (開口率的測量方法）
[0176] 關于開口率，使用雙束分光光度計（20 - 10型，株式會社日立制作所制商品名）， 將具有與作為過濾器發揮功能的區域的面積相當的開口的掩膜設置到發光部與受光部之 間，求出400?SOOnm的可視光的吸光度的平均值，接著將癌細胞捕捉用金屬過濾器設置到 發光部與受光部之間，求出400?SOOnm的可視光的吸光度的平均值，求出癌細胞捕捉用金 屬過濾器的吸光度相對于作為過濾器發揮功能的區域的面積的吸光度的比率（％)作為開 口率。
[0177] 另外，使用連結貫通孔的孔徑較小側的面，進行開口率的測量。
[0178] <實施例及比較例的制造方法及評價結果〉
[0179] (實施例1)
[0180] 將光致抗蝕劑（P冊TEC畑一1225 ;厚度25 U m，日立化成工業（株）社制）層壓 至IJ 250mm邊長的基板（M化一E679F ;在M化的表面上貼合有可剝離銅鉛的基板，日立化成工 業（株）社制）的單面上。在層壓條件為親溫度9(TC、壓力0. 3MPa、輸送機速度2. Om/分 下進行。
[0181] 接著，準備W下的結構的玻璃掩模。！個波形狀的透光部由短邊為IOy m、長邊為 30 U m的圓角長方形狀的兩個透光部在端部相鄰而連結，沿著與波形狀的透光部所延伸的 長邊方向（圖1的X軸方向）正交的短邊方向（圖1的Y軸方向）W相同朝向排列100個 透光部，該透光部的列在長邊方向上排列100列。兩個圓角長方形狀的透光部的交叉角度 是90°，與相鄰的透光部的最短距離，在與透光部所延伸的長邊方向正交的短邊方向（圖 1的Y軸方向）上是IOy m，在透光部所延伸的長邊方向（圖1的X軸方向）上是IOy m。 5000個透光部成為之后形成的1個過濾部。將該樣的過濾部縱橫排列各10個。此時在相 鄰的過濾部之間設置連接部，使該連接部的寬度分別為10mm。將該玻璃掩模靜置在基板的 光致抗蝕劑層壓面上。此時，使玻璃掩模的設有透光部的面側朝向光致抗蝕劑層壓面。
[0182] 接著，在SOOmmHg W下的真空下，從玻璃掩模上部通過紫外線照射裝置照射曝光 量50mJ/cm2的紫外線。
[0183] 接著，通過1. 0%碳酸軸水溶液進行顯影，在基板上形成圓角長方形的光致抗蝕劑 垂直地豎立的光致抗蝕劑圖案。對帶有該光致抗蝕劑圖案的基板的銅露出部分利用pH被 調制為4. 5的鍛媒液進行鍛媒（液中溫度55C，處理時間20分鐘）。在表1中表示鍛媒液 的組成。
[0184] [表 1]
[0185]

【權利要求】
1. 一種癌細胞捕捉用金屬過濾器，在主成分為金屬的金屬片的厚度方向上形成有貫通 孔， 所述貫通孔的開口為波形狀。
2. 如權利要求1所述的癌細胞捕捉用金屬過濾器， 所述貫通孔排列有多個。
3. 如權利要求1或2所述的癌細胞捕捉用金屬過濾器， 所述開口的開口率為10?50%。
4. 如權利要求1?3中任一項所述的癌細胞捕捉用金屬過濾器， 所述金屬片的表面被鍍金。
5. -種癌細胞捕捉用金屬過濾片，具備： 多個過濾部，在主成分為金屬的金屬片的厚度方向上形成有貫通孔；以及 連接部，設置在所述多個過濾部所包含的相互相鄰的兩個過濾部之間； 在所述過濾部設有多個所述貫通孔，所述貫通孔的開口為波形狀。
6. 如權利要求5所述的癌細胞捕捉用金屬過濾片， 在所述過濾部中，開口的開口率為10?50%。
7. 如權利要求5或6所述的癌細胞捕捉用金屬過濾片， 在所述連接部中具有定位孔。
8. 如權利要求5?7中任一項所述的癌細胞捕捉用金屬過濾片， 所述金屬片的表面被鍍金。
9. 一種癌細胞捕捉設備，具備： 框體，由具有透光性的樹脂材料構成，具有蓋部件和收納部件，所述蓋部件具有用于將 被檢液向內部導入的導入流路，所述收納部件具有用于將所述被檢液向外部排出的排出流 路；以及 權利要求1?4中任一項所述的癌細胞捕捉用金屬過濾器，設置在所述導入流路與所 述排出流路之間的所述框體的內部的流路上，使得所述被檢液穿過貫通孔。
10. 如權利要求9所述的癌細胞捕捉設備， 所述貫通孔在上游側的主面上的孔徑小于位于所述主面的背面側的孔徑。
11. 如權利要求9或10所述的癌細胞捕捉設備， 具備取代所述癌細胞捕捉用金屬過濾器的癌細胞捕捉用金屬過濾部件，該癌細胞捕捉 用金屬過濾部件具有： 過濾部，在主成分為金屬的金屬片的厚度方向上形成有貫通孔；以及 連接部，設置在所述過濾部的周圍，具備定位孔； 所述蓋部件和所述收納部件的至少一方在安裝了所述癌細胞捕捉用金屬過濾部件時 與所述定位孔對應的位置上具備向所述定位孔插入的突起部。
12. 如權利要求9?11中任一項所述的癌細胞捕捉設備， 所述蓋部件和所述收納部件被熔接。
13. -種癌細胞捕捉用金屬過濾器的制造方法，包括以下工序： 在金屬箔上層壓光致抗蝕劑的工序； 在所述光致抗蝕劑之上重疊具有呈波形狀的透光部的光掩模并進行曝光的工序； 進行顯影，將所述光致抗蝕劑的未硬化部除去而形成光致抗蝕劑圖案的工序； 對所述光致抗蝕劑圖案之間鍍金屬而形成比所述光致抗蝕劑圖案的高度低的鍍金屬 圖案的工序； 通過化學溶解除去所述金屬箔，得到由所述鍍金屬圖案和所述光致抗蝕劑圖案構成的 構造物的工序；以及 從所述構造物除去所述光致抗蝕劑圖案，得到具有與所述透光部對應的貫通孔的所述 鍍金屬圖案的工序。
14. 如權利要求13所述的癌細胞捕捉用金屬過濾器的制造方法， 所述金屬箔粘貼于載體層； 在形成所述鍍金屬圖案的工序之后，還具有將所述載體層剝離的工序。
15. 如權利要求13或14所述的癌細胞捕捉用金屬過濾器的制造方法， 所述開口的開口率為10?50%。
16. 如權利要求11?15中任一項所述的癌細胞捕捉用金屬過濾器的制造方法， 在得到所述鍍金屬圖案的工序之后，包括對鍍金屬圖案的表面鍍金的工序。
17. -種癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法，包括以下工序： 在金屬箔上層壓光致抗蝕劑的工序； 在所述光致抗蝕劑之上重疊具有多塊呈波形狀的透光部的光掩模并進行曝光的工 序； 進行顯影，將所述光致抗蝕劑的未硬化部除去而形成光致抗蝕劑圖案的工序； 對所述光致抗蝕劑圖案之間鍍金屬，形成比所述光致抗蝕劑圖案的高度低的鍍金屬圖 案的工序； 通過化學溶解除去所述金屬箔，得到由所述鍍金屬圖案和所述光致抗蝕劑圖案構成的 構造物的工序；以及 從所述構造物除去所述光致抗蝕劑圖案，得到具有與所述透光部對應的貫通孔的所述 鍍金屬圖案的工序。
18. 如權利要求17所述的癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法， 所述金屬箔粘貼于載體層； 在形成所述鍍金屬圖案的工序之后，還具有將所述載體層剝離的工序。
19. 如權利要求17或18所述的癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法， 在將所述光掩模重疊到所述光致抗蝕劑之上并進行曝光的工序中，使用在所述波形狀 的透光部的塊的周圍具有與所述透光部不同的第2透光部的光掩模。
20. 如權利要求17?19中任一項所述的癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法， 所述開口的開口率為10?50%。
21. 如權利要求17?20中任一項所述的癌細胞捕捉用金屬過濾片的制造方法， 在得到所述鍍金屬圖案的工序之后，包括對鍍金屬圖案的表面鍍金的工序。
22. -種癌細胞捕捉設備的制造方法， 在下述框體的導入流路與排出流路之間的所述框體的內部的流路上，將權利要求1? 4中任一項所述的癌細胞捕捉用金屬過濾器以所述貫通孔在上游側的主面上的孔徑小于位 于所述主面的背面側的孔徑的方式進行設置， 所述框體由具有透光性的樹脂材料構成，具有蓋部件和收納部件，所述蓋部件具有用 于將被檢液向內部導入的所述導入流路，所述收納部件具有用于將所述被檢液向外部排出 的所述排出流路。
23.如權利要求22所述的癌細胞捕捉設備的制造方法， 將所述蓋部件與所述收納部件熔接。
【文檔編號】G01N33/49GK104302755SQ201380024989
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年5月10日 優先權日:2012年5月14日
【發明者】上原壽茂, 菊原得仁, 鈴木崇裕 申請人:日立化成株式會社