顆粒監測裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種顆粒監測裝置，包括底座、旋轉部件、伸縮連桿、連接部件、主采樣管和采樣頭，其中，底座與旋轉部件連接，伸縮連桿的一端固定于旋轉部件上，其另一端與連接部件活動連接，連接部件另一端面與主采樣管固定連接，采樣頭與主采樣管固定連接；從而克服了現有技術中的顆粒監測裝置受到外力撞擊極易折斷的問題，也克服了現有技術中由于半導體設備的維修，需要取消該點的顆粒監測，而導致的生產隱患較大的問題，進而保證了顆粒監測的正常進行，且節約潔凈室的空間，保證了產品的良率。
【專利說明】顆粒監測裝置【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體監測裝置領域，尤其涉及一種顆粒監測裝置。
【背景技術】
[0002]科學技術的發展，數碼產品已經遍布人們生活的各個方面，在數碼產品中會運用到各種芯片，而芯片的制成是在半導體工廠內進行，所以，半導體工廠內的潔凈度對芯片的性能有著至關重要的影響。
[0003]現有半導體工廠內，為了在潔凈室中控制產品所接觸空氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境中生產、制造，顆粒監測是非常重要的一項日常工作。目前常用的顆粒監測的采樣裝置是將黑色的采樣軟管穿過不銹鋼底座和鋼管而后與探頭連接，如圖1所示，圖1是現有的顆粒監測裝置結構示意圖，不銹鋼鋼管02和底座01之間通過螺紋連接，利用螺絲釘將底座01通過設置在底座上的三個螺紋通孔04固定在地板上；底座連接部分03的高度為2cm，直徑為2cm，管壁厚度為1.5mm，采樣管安裝高度為1.2m。
[0004]通常，采樣點安裝的位置在兩臺半導體設備之間，在現有的顆粒監測裝置受到外力的撞擊時，由于其底座高度和采樣管高度的原因，極易折斷；而當半導體設備需要進行維修操作時，維修人員通常會將該半導體設備周圍的顆粒監測裝置的采樣管拆下，暫時取消對該點的潔凈度監測，如此，會造成無法及時獲取該區域的顆粒狀況的問題。當該區域的潔凈度嚴重超標時，由于沒有顆粒監測裝置及時進行潔凈度的監測，將會導致潔凈室內更多區域的污染，從而會降 低產品的良率，且影響生產進度。
實用新型內容
[0005]針對上述存在的問題，本實用新型提供一種顆粒監測裝置，以克服現有技術中的顆粒監測裝置受到外力撞擊極易折斷的問題，也克服現有技術中由于半導體設備的維修，需要取消該點的顆粒監測，而導致的生產隱患較大的問題，從而保證了顆粒監測的正常進行，且節約潔凈室的空間，保證了產品的良率。
[0006]為了實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為:
[0007]—種顆粒監測裝置，包括底座、主采樣管和采樣頭，所述采樣頭與所述主采樣管的一端固定連接，其中，還包括:旋轉部件、伸縮連桿和連接部件；
[0008]所述底座與所述旋轉部件連接，所述伸縮連桿的一端固定連接于所述旋轉部件的側壁上，所述伸縮連桿的另一端與所述連接部件活動連接，所述主采樣管的另一端與所述連接部件固定連接。
[0009]上述的顆粒監測裝置，其中，所述底座與所述旋轉部件活動連接。
[0010]上述的顆粒監測裝置，其中，所述旋轉部件包括一倒置內筒和一外管，所述外管套設于所述倒置內筒上；
[0011]其中，所述倒置內筒與所述底座活動連接，以使所述底座與所述旋轉部件活動連接。[0012]上述的顆粒監測裝置，其中，所述外管的長度小于所述倒置內筒的長度，且所述外管的頂部與所述倒置內筒的頂部持平。
[0013]上述的顆粒監測裝置，其中，所述倒置內筒和所述外管的側壁上均開設一開口，通過所述開口以使所述伸縮連桿的一端固定連接于所述旋轉部件的側壁上。
[0014]上述的顆粒監測裝置，其中，所述底座與所述旋轉部件固定連接。
[0015]上述的顆粒監測裝置，其中，所述旋轉部件包括一內管和一倒置外筒，所述倒置外筒活動套設于所述內管上；
[0016]其中，所述內管底部與所述底座固定連接，以使所述底座與所述旋轉部件固定連接。
[0017]上述的顆粒監測裝置，其中，所述倒置外筒上開設一開口，通過所述開口以使所述伸縮連桿的一端固定連接于所述旋轉部件的側壁上。
[0018]上述的顆粒監測裝置，其中，所述內管的長度小于所述倒置外筒的長度，且所述內管的長度不大于所述開口底部到所述倒置外筒底部的距離。
[0019]上述的顆粒監測裝置，其中，所述倒置外筒的底部高于所述內管的底部。
[0020]上述的顆粒監測裝置，其中，所述伸縮連桿的一端為長度固定的管狀結構，所述伸縮連桿的另一端為可伸縮的套接管狀結構。
[0021]上述的顆粒監測裝置，其中，所述連接部件包括外連接結構和內連接結構；
[0022]通過所述外連接結構使所述連接部件與所述伸縮連桿的另一端活動連接；
[0023]通過所述內連接結構使所述連接部件與所述主采樣管的另一端固定連接。
[0024]上述技術方案具有如下優點或者有益效果:
[0025]本實用新型提供的顆粒監測裝置，包括底座、旋轉部件、伸縮連桿、連接部件、主采樣管和采樣頭，其中，底座與旋轉部件連接，伸縮連桿的一端固定于旋轉部件上，其另一端與連接部件活動連接，連接部件另一端面與主采樣管固定連接，采樣頭與主采樣管固定連接；從而克服了現有技術中的顆粒監測裝置受到外力撞擊極易折斷的問題，也克服了現有技術中由于半導體設備的維修，需要取消該點的顆粒監測，而導致的生產隱患較大的問題，進而保證了顆粒監測的正常進行，且節約潔凈室的空間，保證了產品的良率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0026]通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型及其特征、外形和優點將會變得更加明顯。在全部附圖中相同的標記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。
[0027]圖1是現有的顆粒監測裝置結構示意圖；
[0028]圖2是本實用新型實施例1提供的顆粒監測裝置的結構示意圖；
[0029]圖3是本實用新型實施例2提供的顆粒監測裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0030]下面結合附圖和具體的實施例對本實用新型作進一步的說明，但是不作為本實用新型的限定。
[0031]實施例1:[0032]圖2是本實用新型實施例1提供的顆粒監測裝置的結構示意圖；如圖所示，該顆粒監測裝置，包括底座101、主采樣管106、采樣頭107，旋轉部件、伸縮連桿104和連接部件105 ;并且采樣頭107與主采樣管106的一端固定連接，底座101與旋轉部件活動連接，伸縮連桿104的一端固定連接于旋轉部件的側壁上，伸縮連桿104的另一端與連接部件105活動連接，主采樣管106的另一端與連接部件105固定連接，并且伸縮連桿104通過該連接部件105與主采樣管106呈90°垂直連接。
[0033]其中，在本實用新型實施例1中，底座101上分布有三個螺旋孔108，用以將該顆粒監測裝置固定在底板上(只需保證顆粒監測裝置能夠固定在地板上并保持平衡即可)，且底座101為圓形，其直徑因為連接口的增高而減小至8cm，現有技術中的底座的直徑為12cm，這是由于，在本實用新型實施例中，旋轉裝置作為連接口使用，連接口的增高(對比圖1中的部件03)能夠保證顆粒監測裝置的平衡性，從而使得底座的直徑可以設計的更小，進而減小了顆粒監測裝置的占用空間，增加了防斷裂的能力。
[0034]同時，在本實用新型實施例1中，旋轉部件包括一倒置內筒103和一外管102，外管102套設于倒置內筒103上，具體的，倒置內筒103上設置有多個卡槽，外管102上設置有與倒置內筒103上的多個卡槽相對應的多個卡接頭,通過卡接頭與卡槽結合，并可以使外管102固定緊緊套設于倒置內筒103上；另外，外管102的長度小于倒置內筒103的長度，該外管102的頂部與倒置內筒103的頂部持平，由于倒置內筒103與底座101活動連接，從而使得底座101與旋轉部件活動連接；同時，倒置內筒103和外管102的側壁上均開設一開口，該開口根據伸縮連桿104的一端的形狀進行開設，以使該伸縮連桿104能夠套設于旋轉部件的側壁上，通過該開口能夠使伸縮連桿104的一端固定連接于旋轉部件的側壁上；該旋轉部件通過倒置內筒103的旋轉進行旋轉，可以按照需求對各個位置的區域進行顆粒監測，其旋轉范圍為360°。
[0035]另外，伸縮連桿104的一端為長度固定的管狀結構(圖2中伸縮連桿104與旋轉部件連接的那段管狀結構)，并且伸縮連桿104的另一端為可伸縮的套接管狀結構；在本實用新型中，該伸縮連桿亦可為其他可伸縮的形狀結構，只需保證該伸縮連桿的直徑大于采樣軟管的直徑即可，同時，該伸縮連桿的最大延伸為10cm，從而能夠使得顆粒監測的范圍更廣。
[0036]在本實用新型實施例1中，由于連接部件105與伸縮連桿104是活動連接的，該活動連接方式可以為連接部件105部分套設于伸縮連桿104的另一端最尾端的套接管狀結構上，通過調節連接部件105與伸縮連桿104之間適當的摩擦力，便可以保證連接部件105能夠旋轉，該活動連接方式亦可為其他連接方式，只需保證連接部件105在外部用力的情況下能夠旋轉并穩定；另外，還由于主采樣管106的另一端與連接部件105固定連接，該固定連接方式為:連接部件105上開設一開口，通過該開口套設主采樣管106，且緊密結合，以使主采樣管106的另一端固定連接于連接部件105，該固定連接方式亦可為其他任何連接方式，只需保證主采樣管106與連接部件105固定連接即可；所以，在半導體設備進行維修時，無需拆卸該顆粒監測裝置，只需通過連接部件105將主采樣管106放平，便不會影響到設備的維修，同時，能夠一定程度的繼續進行顆粒監測，從而保證了時時顆粒監測的進行，減少了生產的隱患。
[0037]尤為重要的是，由于底座101、主采樣管106、采樣頭107、內筒103、外管102、伸縮連桿104和連接部件105采用的材料均為不銹鋼材質，所以該顆粒監測裝置的成本較低，降低了半導體工廠內的裝置使用成本。
[0038]所以，本實用新型實施例1提供的顆粒監測裝置，包括底座、旋轉部件、伸縮連桿、連接部件、主采樣管和采樣頭，其中，底座與旋轉部件活動連接，伸縮連桿的一端固定于旋轉部件上，其另一端與連接部件活動連接，連接部件另一端面與主采樣管固定連接，采樣頭與主采樣管固定連接；從而克服了現有技術中的顆粒監測裝置受到外力撞擊極易折斷的問題，也克服了現有技術中由于半導體設備的維修，需要取消該點的顆粒監測，而導致的生產隱患較大的問題，更適用于空間狹小的區域中安裝，進而保證了顆粒監測的正常進行，且節約潔凈室的空間，保證了產品的良率。
[0039]實施例2:
[0040]圖3是本實用新型實施例2提供的顆粒監測裝置的結構示意圖；如圖所示，該顆粒監測裝置，包括底座201、主采樣管206、采樣頭207，旋轉部件、伸縮連桿204和連接部件205 ;并且采樣頭207與主采樣管206的一端固定連接，底座201與旋轉部件固定連接，伸縮連桿204的一端固定連接于旋轉部件的側壁上，伸縮連桿204的另一端與連接部件205活動連接，主采樣管206的另一端與連接部件205固定連接，并且伸縮連桿204通過該連接部件205與主采樣管206呈90°垂直連接。
[0041 ] 其中，在本實用新型實施例2中，底座201上分布有三個螺旋孔208，用以將該顆粒監測裝置固定在底板上(只需保證顆粒監測裝置能夠固定在地板上并保持平衡即可)，且底座201為圓形，其直徑因為連接口的增高而減小至8cm，現有技術中的底座的直徑為12cm，這是由于，在本實用新型實施例2中，旋轉裝置作為連接口使用，連接口的增高(對比圖1中的部件03)能夠保證顆粒監測裝置的平衡性，從而使得底座的直徑可以設計的更小，進而減小了顆粒監測裝置的占用空間，增加了防斷裂的能力。
[0042]同時，在本實用新型實施例2中，旋轉部件包括一倒置外筒203和一內管202，倒置外筒203活動套設于內管202上，內管202底部與底座201固定連接，從而使得底座201與旋轉部件固定連接，且倒置外筒203上開設一開口，通過該開口能夠使伸縮連桿204的一端固定連接于旋轉部件的側壁上，內管202的長度小于倒置外筒203的長度，同時內管202的長度不大于開口底部到倒置外筒203底部的距離，且倒置外筒203的底部高于內管202的底部，另外，該開口的形狀根據伸縮連桿204的一端的形狀進行開設，以使該伸縮連桿204能夠套設于旋轉部件的側壁上，通過該開口能夠使伸縮連桿204的一端固定連接于旋轉部件的側壁上；該旋轉部件通過倒置外筒203的旋轉而進行旋轉，可以按照需求對各個位置的區域進行顆粒監測，其旋轉范圍為360°。
[0043]另外，伸縮連桿204的一端為長度固定的管狀結構(圖3中伸縮連桿204與旋轉部件連接的那段管狀結構)，并且伸縮連桿204的另一端為可伸縮的套接管狀結構；在本實用新型中，該伸縮連桿亦可為其他可伸縮的形狀結構，只需保證該伸縮連桿的直徑大于采樣軟管的直徑即可，同時，該伸縮連桿的最大延伸為10cm，從而能夠使得顆粒監測的范圍更廣。
[0044]在本實用新型實施例2中，由于連接部件205與伸縮連桿204是活動連接的，該活動連接方式可以為連接部件205部分套設于伸縮連桿204的另一端最尾端的套接管狀結構上，通過調節連接部件205與伸縮連桿204之間適當的摩擦力，便可以保證連接部件205能夠旋轉，該活動連接方式亦可為其他連接方式，只需保證連接部件205在外部用力的情況下能夠旋轉并穩定；另外，還由于主采樣管206的另一端與連接部件205固定連接，該固定連接方式為:連接部件205上開設一開口，通過該開口套設主采樣管206，且緊密結合，以使主采樣管206的另一端固定連接于連接部件205，該固定連接方式亦可為其他任何連接方式，只需保證主采樣管206與連接部件205固定連接即可；所以，在半導體設備進行維修時，無需拆卸該顆粒監測裝置，只需通過連接部件205將主采樣管206放平，便不會影響到設備的維修，同時，能夠一定程度的繼續進行顆粒監測，從而保證了時時顆粒監測的進行，減少了生產的隱患。
[0045]尤為重要的是，由于底座201、主采樣管206、采樣頭207、外筒203、內管202、伸縮連桿204和連接部件205采用的材料均為不銹鋼材質，所以該顆粒監測裝置的成本較低，降低了半導體工廠內的裝置使用成本。
[0046]所以，本實用新型實施例2提供的顆粒監測裝置，包括底座、旋轉部件、伸縮連桿、連接部件、主采樣管和采樣頭，其中，底座與旋轉部件固定連接，伸縮連桿的一端固定于旋轉部件上，其另一端與連接部件活動連接，連接部件另一端面與主采樣管固定連接，采樣頭與主采樣管固定連接；從而克服了現有技術中的顆粒監測裝置受到外力撞擊極易折斷的問題，也克服了現有技術中由于半導體設備的維修，需要取消該點的顆粒監測，而導致的生產隱患較大的問題，更適用于空間狹小的區域中安裝，進而保證了顆粒監測的正常進行，且節約潔凈室的空間，保證了產品的良率。
[0047]綜上所述，本實用新型提供的顆粒監測裝置，包括底座、旋轉部件、伸縮連桿、連接部件、主采樣管和采樣頭，其中，底座與旋轉部件連接，伸縮連桿的一端固定于旋轉部件上，其另一端與連接部件活動連接，連接部件另一端面與主采樣管固定連接，采樣頭與主采樣管固定連接；從而克服了現有技術中的顆粒監測裝置受到外力撞擊極易折斷的問題，也克服了現有技術中由于半導體設備的維修，需要取消該點的顆粒監測，而導致的生產隱患較大的問題，進而保證了顆粒監測的正常進行，且節約潔凈室的空間，保證了產品的良率。
[0048]本領域技術人員應該理解，本領域技術人員結合現有技術以及上述實施例可以實現所述變化例，在此不予贅述。這樣的變化例并不影響本實用新型的實質內容，在此不予贅述。
[0049]以上對本實用新型的較佳實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細描述的設備和結構應該理解為用本領域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術內容對本實用新型方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本實用新型的實質內容。因此，凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術方案保護的范圍內。
【權利要求】
1.一種顆粒監測裝置，包括底座、主采樣管和采樣頭，所述采樣頭與所述主采樣管的一端固定連接，其特征在于，還包括:旋轉部件、伸縮連桿和連接部件； 所述底座與所述旋轉部件連接，所述伸縮連桿的一端固定連接于所述旋轉部件的側壁上，所述伸縮連桿的另一端與所述連接部件活動連接，所述主采樣管的另一端與所述連接部件固定連接。
2.如權利要求1所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述底座與所述旋轉部件活動連接。
3.如權利要求2所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述旋轉部件包括一倒置內筒和一外管，所述外管套設于所述倒置內筒上； 其中，所述倒置內筒與所述底座活動連接，以使所述底座與所述旋轉部件活動連接。
4.如權利要求3所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述外管的長度小于所述倒置內筒的長度，且所述外管的頂部與所述倒置內筒的頂部持平。
5.如權利要求3所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述倒置內筒和所述外管的側壁上均開設一開口，通過所述開口以使所述伸縮連桿的一端固定連接于所述旋轉部件的側壁上。
6.如權利要求1所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述底座與所述旋轉部件固定連接。
7.如權利要求6所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述旋轉部件包括一內管和一倒置外筒，所述倒置外筒活動套設于所述內管上； 其中，所述內管底部與所述底座固定連接，以使所述底座與所述旋轉部件固定連接。
8.如權利要求7所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述倒置外筒上開設一開口，通過所述開口以使所述伸縮連桿的一端固定連接于所述旋轉部件的側壁上。
9.如權利要求8所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述內管的長度小于所述倒置外筒的長度，且所述內管的長度不大于所述開口底部到所述倒置外筒底部的距離。
10.如權利要求7所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述倒置外筒的底部高于所述內管的底部。
11.如權利要求1所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述伸縮連桿的一端為長度固定的管狀結構，所述伸縮連桿的另一端為可伸縮的套接管狀結構。
12.如權利要求1所述的顆粒監測裝置，其特征在于，所述伸縮連桿通過所述連接部件與所述主采樣管呈90°連接。
【文檔編號】G01N15/00GK203572741SQ201320657893
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年10月23日 優先權日:2013年10月23日
【發明者】潘軍花, 王祺 申請人:上海華力微電子有限公司