一種5n高純二氧化碳中氣體的分析裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型的目的在于公開一種5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，它包括定體積量管、混合填充柱和熱導檢測器，載氣鋼瓶與所述定體積量管的輸入端連接，所述定體積量管的輸出端依次連接混合填充柱和熱導檢測器，所述定體積量管上設置有樣品氣進出口，所述混合填充柱中設置有用于吸附高純二氧化碳氣體的吸附填充物；與現有技術相比，在沒有切割流程以及DID氣相色譜儀的情況下，通過混合填充柱中的吸附填充物將進入的二氧化碳全部吸收，同時優化氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷的分離，這樣即消除了二氧化碳主峰信號對微量氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷的影響，也保證待測組分分離情況理想，峰型較好，降低成本，簡化操作，實現本實用新型的目的。
【專利說明】一種5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種氣體分析裝置，特別涉及一種在5N高純二氧化碳中分析氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷的分析裝置。
【背景技術】
[0002]在現有技術中，二氧化碳由于其性質穩定，作為清洗劑大量應用于半導體行業，隨著需求的增加，越來越多的企業單位都在進行液體二氧化碳生產工藝的改進和二氧化碳純化技術的研發，逐步進入高純度二氧化碳的生產和檢測領域，這就要求我們在生產高純二氧化碳能力的同時，具備簡單、快速和有效高純度二氧化碳的分析檢測裝置。
[0003]5N 二氧化碳中氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷通常采用帶切割流程的DID氣相色譜儀進行檢測，DID氣相色譜儀的價格昂貴，一臺儀器目前價格在30-40萬，這對中小型企業負擔較重，所以普及程度較低，并且儀器氣路復雜，維護成本高，同時對操作人員的技術要求也較高。
[0004]因此，特別需要一種5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，以解決上述現有存在的問題。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的在于提供一種5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，針對現有技術的不足，在不使用復雜的切割流程以及DID氣相色譜儀的條件下，分析5N高純二氧化碳中的氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷，大大降低了成本，且簡化了操作。
[0006]本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現:
[0007]—種5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，其特征在于，它包括定體積量管、混合填充柱和熱導檢測器，載氣鋼瓶與所述定體積量管的輸入端連接，所述定體積量管的輸出端依次連接混合填充柱和熱導檢測器，所述定體積量管上設置有樣品氣進出口，所述混合填充柱中設置有用于吸附高純二氧化碳氣體的吸附填充物。
[0008]在本實用新型的一個實施例中，所述載氣鋼瓶通過一載氣純化器與所述定體積量管的輸入端相連接。
[0009]在本實用新型的一個實施例中，在所述載氣鋼瓶的輸出端設置有壓力調節器。
[0010]在本實用新型的一個實施例中，在所述定體積量管的輸入端連接有穩流調節閥。
[0011]在本實用新型的一個實施例中，所述熱導檢測器還連接有一流量計。
[0012]本實用新型的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，與現有技術相比，在沒有切割流程以及DID氣相色譜儀的情況下，通過混合填充柱中的吸附填充物將進入的二氧化碳全部吸收，同時優化氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷的分離，這樣即消除了二氧化碳主峰信號對微量氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷的影響，也保證待測組分分離情況理想，峰型較好，降低成本，簡化操作，實現本實用新型的目的。
[0013]本實用新型的特點可參閱本案圖式及以下較好實施方式的詳細說明而獲得清楚地了解。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0015]為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。
實施例
[0016]如圖1和圖2所示，本實用新型的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，它包括定體積量管100、混合填充柱200和熱導檢測器300，載氣鋼瓶400與所述定體積量管100的輸入端連接，所述定體積量管100的輸出端依次連接混合填充柱200和熱導檢測器300，所述定體積量管100上設置有樣品氣進出口 110，所述混合填充柱200中設置有用于吸附高純二氧化碳氣體的吸附填充物。
[0017]在本實施例中，所述載氣鋼瓶400通過一載氣純化器500與所述定體積量管100的輸入端相連接。
[0018]在本實施例中，在所述載氣鋼瓶400的輸出端設置有壓力調節器600。
[0019]在本實施例中，在所述定體積量管100的輸入端連接有穩流調節閥700。
[0020]在本實施例中，所述熱導檢測器300還連接有一流量計800。
[0021]本實用新型的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置在沒有切割流程的情況下，依靠混合填充柱200中的吸附填充物，調節混合填充柱200的吸附及分離能力，進行二氧化碳中氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷的測定。
[0022]混合填充柱200中的吸附填充物為多種分子篩類的吸附劑的混合物，分別是13X分子篩、5A分子篩和Noy分子篩以3:1:1重量比例的混合物；混合填充柱200的外徑為3mm，長為2m。
[0023]混合填充柱200可保證將進入的二氧化碳全部被吸收，并保持6-8小時不脫附，同時優化氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷的分離；這樣即消除了二氧化碳主峰信號對微量氧氣、氮氣、一氧化碳和甲烷的影響，也保證待測組分分離情況理想，峰型較好。
[0024]本實用新型的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置大幅度降低了高純二氧化碳分析檢測的成本，提高了檢測效率，只有DID氣相色譜儀價格的十分之一左右，同時維護成本也較低，對操作人員的要求也比較低，可廣泛應用普及。
[0025]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內，本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【權利要求】
1.一種5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，其特征在于，它包括定體積量管、混合填充柱和熱導檢測器，載氣鋼瓶與所述定體積量管的輸入端連接，所述定體積量管的輸出端依次連接混合填充柱和熱導檢測器，所述定體積量管上設置有樣品氣進出口，所述混合填充柱中設置有用于吸附高純二氧化碳氣體的吸附填充物。
2.如權利要求1所述的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，其特征在于，所述載氣鋼瓶通過一載氣純化器與所述定體積量管的輸入端相連接。
3.如權利要求1所述的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，其特征在于，在所述載氣鋼瓶的輸出端設置有壓力調節器。
4.如權利要求1所述的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，其特征在于，在所述定體積量管的輸入端連接有穩流調節閥。
5.如權利要求1所述的5N高純二氧化碳中氣體的分析裝置，其特征在于，所述熱導檢測器還連接有一流量計。
【文檔編號】G01N30/02GK203422358SQ201320436017
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年7月22日 優先權日:2013年7月22日
【發明者】劉煒煒, 張揚 申請人:上海浦江特種氣體有限公司