專利名稱:一種測試探針的制作方法
技術領域:
一種測試探針技術領域[0001]本實用新型涉及一種測試探針,尤其是涉及一種用于測試布置在晶片上的多個芯片的測試探針。
背景技術:
[0002]每一片晶片有成千上萬顆芯片,一顆芯片稱之為Die,一顆芯片又有若干腳位即若干個Pad點,芯片的生產需要經過晶圓切割,綁定,封裝等工藝步驟才能得到成品,而每一顆芯片在生產之前都要進行測試,挑出不良的產品并打點標記,以保證產品的功能正常、從而進一步降低成本。[0003]現有技術通常是提供一種測試設備,用于布置在晶片上的多個芯片提供電子信號、接收從芯片傳輸的電子信號并確定芯片的電子性能。現有技術除此之外,還提供一種與上述測試設備相連接并在測試設備和芯片之間傳輸電子信號的探針板。探針板的各個探針直接與晶片上芯片焊盤的焊點接觸,該芯片的電功能特性測試結果在測試設備上的顯示器或示波器等顯示出來,以便檢查者確認芯片是否合格。[0004]因此,在芯片測試過程中測試探針與焊點的良好接觸是測試的關鍵,測試探針的結構對測試的可靠性起著重要的作用,現有的探針普遍存在著結構復雜、清洗不易、測試不穩定等缺點。實用新型內容[0005]本實用新型的目的是提供一種測試探針,尤其是涉及一種用于測試布置在晶片上多個芯片的結構簡單、測試穩定的測試探針,本實用新型的目的通過下述技術方案來實現:[0006]一種測試探針,包括一圓柱形的探針爪底座,還包括三個與探針爪底座一體形成的、位于所述探針爪底座端部的探針爪,各所述探針爪為結構相同的、尺寸相同的倒錐形,各所述探針爪分別具有一頂點,三個所述探針爪的倒錐形底部拼接成與所述探針爪底座端部貼合的平面圓,相鄰的所述探針爪之間形成夾角為97° 102°的V型槽。[0007]本實用新型進一步地,各所述探針爪的所述頂點均勻分布在所述平面圓中心的周圍,所述頂點之間的連線形成一等邊三角形。[0008]本實用新型進一步地,各所述探針爪的所述頂點在一平面上,所述平面平行于所述平面圓。[0009]本實用新型進一步地,`所述平面圓平行于所述圓柱形的探針爪底座的任何一個橫截面。[0010]本實用新型進一步地,所述探針爪垂直于所述平面圓的正投影不超過所述平面圓。[0011]本實用新型進一步地,所述平面圓的直徑與所述探針爪底座橫截面圓的直徑相坐寸O[0012]本實用新型的應用施行使其顯著技術效果主要體現在:通過在所述探針爪底座的端部設置三個探針爪,并使相鄰兩個探針爪之間形成夾角為97° 102°的V型槽,比現有測試探針的測試能力增強、測試的可靠性增加,從而使芯片生產效率提高,且該測試探針還具有結構簡單、清洗方便,使用壽命較長的特點。以下便結合附圖,對本實用新型的具體實施方式
作進一步的詳述,以使本實用新型技術方案更易于理解、掌握。
圖1是本實用新型一種測試探針較佳實施例的立體圖;圖2是本實用新型一種測試探針較佳實施例的另一角度立體圖;圖3是本實用新型一種測試探針較佳實施例的主視圖。
具體實施方式
以下結合附圖與具體實施例對本實用新型進行說明,所舉的實施例僅是對本實用新型作概括性例示,有助于更好地理解本實用新型,但并不會限制本實用新型范圍。請參閱圖1和圖2,本實用新型的測試探針包括一圓柱形的探針爪底座I,還包括三個與探針爪底座I 一體形成的、位于所述探針爪底座I端部的探針爪2。各探針爪2為結構相同的、尺寸相同的倒錐形,且各所述探針爪2分別具有一頂點,該頂點為測試過程中與芯片焊盤焊點接觸的部分。相鄰的所述探針爪2之間形成夾角為97° 102°的V型槽,可使上述頂點與芯片焊盤焊點良好的接觸。如圖3所示,三個所述探針爪2的倒錐形底部拼接成與探針爪底座I端部貼合的平面圓。各所述探針爪2的所述頂點均勻分布在所述平面圓中心的周圍,所述頂點之間的連線形成一等邊三角形。本實 用新型較佳實施例之一的各所述探針爪2的所述頂點在一平面上,該所述平面平行于所述平面圓,即平行于三個所述探針爪2的倒錐形底部拼接成的與探針爪底座I端部貼合的平面圓;并且,上述平面圓平行于所述圓柱形的探針爪底座I的任何一個橫截面;其中,所述探針爪2垂直于所述平面圓的正投影不超過所述平面圓,使所述探針爪2的所述頂點在垂直于所述平面圓的正投影既可以落在所述平面圓的邊緣,也可以落在平面圓的內部;具體地,所述平面圓的直徑與所述探針爪底座I橫截面圓的直徑相等,有利于探針爪2在探針爪底座I上的穩定。本實用新型通過在所述探針爪底座的端部設置三個探針爪,并使相鄰兩個探針爪之間形成夾角為97° 102°的V型槽,比現有測試探針的測試能力增強、測試的可靠性增力口,從而使芯片生產效率提高,且該測試探針還具有結構簡單、清洗方便,使用壽命較長的特點。以上所述僅是本實用新型的優選實施方式,應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型技術原理的前提下,還可以作出若干改進和變型,這些改進和變型也應該視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種測試探針,包括一圓柱形的探針爪底座(I),其特征在于: 還包括三個與探針爪底座(I) 一體形成的、位于所述探針爪底座(I)端部的探針爪(2),各所述探針爪(2)為結構相同的、尺寸相同的倒錐形,各所述探針爪(2)分別具有一頂點,三個所述探針爪(2)的倒錐形底部拼接成與所述探針爪底座(I)端部貼合的平面圓,相鄰的所述探針爪(2)之間形成夾角為97° 102°的V型槽。
2.根據權利要求1所述的一種測試探針,其特征在于:各所述探針爪(2)的所述頂點均勻分布在所述平面圓中心的周圍,使所述頂點之間的連線形成一等邊三角形。
3.根據權利要求1所述的一種測試探針,其特征在于:各所述探針爪(2)的所述頂點在一平面上,所述平面平行于所述平面圓。
4.根據權利要求1所述的一種測試探針,其特征在于:所述平面圓平行于所述圓柱形的探針爪底座(I)的任何一個橫截面。
5.根據權利要求1所述的一種測試探針,其特征在于:所述探針爪(2)垂直于所述平面圓的正投影不超過所述平面圓。
6.根據權利要求1所述的一種測試探針,其特征在于:所述平面圓的直徑與所述探針爪底座(I)橫截面圓的直·徑相等。
專利摘要本實用新型揭示了一種測試探針,包括一圓柱形的探針爪底座,還包括三個與探針爪底座一體形成的、位于所述探針爪底座端部的探針爪,各所述探針爪為結構相同的、尺寸相同的倒錐形,各所述探針爪分別具有一頂點,三個所述探針爪的倒錐形底部拼接成與所述探針爪底座端部貼合的平面圓,相鄰的所述探針爪之間形成夾角為97°~102°的V型槽。本實用新型通過在所述探針爪底座的端部設置三個探針爪,并使相鄰兩個探針爪之間形成夾角為97°~102°的V型槽,比現有測試探針的測試能力增強、測試的可靠性增加,從而使芯片生產效率提高,且該測試探針還具有結構簡單、清洗方便,使用壽命較長的特點。
文檔編號G01R1/067GK203117235SQ20132001354
公開日2013年8月7日 申請日期2013年1月9日 優先權日2013年1月9日
發明者劉祥緣, 徐大雷, 檀懷宗, 陳連軍 申請人:矽品科技(蘇州)有限公司