用于確定多相流體流的相組分的方法和裝置制造方法

            文檔序號:6185498閱讀:222來源:國知局
            用于確定多相流體流的相組分的方法和裝置制造方法
            【專利摘要】本發明涉及一種用于確定多相流體流的相組分的方法和裝置。具體而言,本發明公開了一種確定流體管路中的多相流體流的相組分的方法,所述方法包括:使用振動傳感器22來獲取來自流體流的振動信號,所述振動傳感器22包括設置于所述流體流中的靶,所述靶響應于流體管路中的流體流而振動。分析所述振動信號以確定在第一頻帶內的與所述振動信號的能量相關的第一能量參數和在第二頻帶內的與所述振動信號的能量相關的第二能量參數;并且使用所述第一和第二能量參數來確定與所述流體流的相組分相關的相組分參數(例如干度參數)。本發明還公開了一種用于確定流體管路中的多相流體流的相組分的裝置。
            【專利說明】用于確定多相流體流的相組分的方法和裝置
            【技術領域】
            [0001]本發明涉及用于確定多相流體流的相組分的方法和裝置,具體來說,但不排他地,涉及用于確定濕蒸汽(steam)的干度(dryness)的方法和裝置。
            【背景技術】
            [0002]在工業過程中使用蒸汽作為加熱媒介是非常普遍的。大多數過程與加熱蒸汽系統使用飽和的濕蒸汽,該濕蒸汽是包含蒸汽作為第一相和冷凝物作為第二相的兩相流體。
            [0003]通常有必要知道濕蒸汽的干度或品質(quality)。蒸汽品質是流體即蒸氣(vapour)的質量百分比,因此飽和蒸汽具有100%的蒸汽品質,而飽和液體具有O %的蒸汽品質。
            [0004]一些工業過程對蒸汽品質有著特定的要求。例如,在消毒系統中蒸汽品質必須在95%-100%之間。在標準BS EN285中陳述了這一點,該標準規定了主要用于衛生保健的大型蒸汽消毒器的要求和相關測試。目前,蒸汽品質一般使用節流量熱法來測量。GB190612615中公開了使用節流量熱計來測量蒸汽品質的裝置和方法的示例。盡管節流量熱法可用來成功地確定蒸汽品質,但過程耗時并且裝置相對復雜。
            [0005]因此期望能提供用于確定多相流體流的相組分的改進的方法和裝置。

            【發明內容】

            [0006]本發明限定在所附獨立權利要求中,現在對其進行參照。進一步地,可在其從屬權利要求中找到優選的特征。
            [0007]在寬泛的方面中,本發明涉及根據從流體流獲取的一個或多個振動信號的特性來確定多相流體流(例如濕蒸汽)的相組分(其可以是干度)的方法和裝置。
            [0008]根據本發明的一方而,提供了一種確定流體管路中多相流體流的相組分(其可以是干度)的方法,該方法包括:使用振動傳感器來獲取來自流體流的振動信號,振動傳感器包括設置于流體流中的靶(target),靶響應于流體管路中的流體流而振動;分析振動信號以確定在第一頻帶內與振動信號的能量相關的第一能量參數和在第二頻帶內與振動信號的能量相關的第二能量參數;以及使用第一和第二能量參數來確定與流體流的相組分(其可以是干度)相關的相組分參數(其可以是干度參數)。可根據第一和第二能量參數來經驗性地確定該相組分參數。
            [0009]靶可以是膜片(diaphragm)。振動傳感器可進一步包括用于將靶的振動轉換為振動信號的電氣轉換器。該電氣轉換器可包括壓電換能器。第一和/或第二頻帶可以是單個頻率或一組頻率(a range of frequencies)。第一和/或第二能量參數可以是根據振動信號而導出或確定的任何適合的參數并且其可聯系在一起以得出流體流的相組分/干度。
            [0010]在一些實施例中,但不必在全部實施例中,靶可以響應于流體流對靶的沖擊而振動。靶可被配置為在一個或多個共振頻率處共振。可分析振動信號以確定第一和/或第二能量參數,該第一和/或第二能量參數是振動信號的一個或多個共振頻率的幅度。[0011]可以在振動傳感器的上游對流體流進行攪拌(mix)。這可以有助于確保管路中流動的流體是基本均勻的。
            [0012]振動傳感器可在時域中測量振動信號。分析振動信號可包括將振動信號從時域變換至頻域。可使用快速傅里葉變換(FFT)將振動信號從時域變換至頻域。
            [0013]第一能量參數可取決于流速。這可以表示第一能量參數可以響應于流速的變化而變化。第二能量參數可取決于流速和流體流的相組分。換句話說,第二能量參數可以響應于流速的變化或流體流的相組分的變化而變化。
            [0014]第一能量參數可以是在第一頻帶內的振動信號的總能量,而第二能量參數可以是在第二頻帶內的振動信號的總能量。總能量可通過累加具有特定頻帶的所有頻率的幅度而確定。第一能量參數可以是在第一頻帶內的峰值頻率的幅度,而第二能量參數可以是在第二頻帶內的峰值頻率的幅度。在其他實施例中,第一和/或第二能量參數可以是在特定頻帶內的所有頻率的平均幅度,或者可以是能夠表征特定頻帶內振動信號能量的任何其他適合的值。
            [0015]對于特定的裝置,第一頻帶和/或第二頻帶可以是預先確定的或固定的。分析振動信號可以包括限定第一峰值頻率附近的第一頻帶和/或限定第二峰值頻率附近的第二頻帶。該方法可包括對第一和/或第二峰值頻率進行檢測第一頻帶可包含第一峰值頻率和/或第二頻帶可包含第二峰值頻率。第一頻帶可比第二頻帶處于更低的頻率。
            [0016]該方法可進一步包括確定與流體流溫度相關的溫度參數。可通過使用第一能量參數、第二能量參數和溫度參數來確定相組分和/或干度參數。該溫度參數可以是實際的溫度,或者可以是與溫度相關的某些其他參數,例如壓力。
            [0017]確定相組分和/或干度參數可包括訪問一數據庫,該數據庫包含將第一能量參數和第二能量參數與相組分參數相關聯的數據。如果多相流體是濕蒸汽,則干度參數可表示為百分比形式,100%是飽和蒸氣,0%是飽和液體。干度參數可被稱為“蒸汽品質”。
            [0018]該方法可進一步包括輸出相組分和/或干度參數。輸出相組分和/或干度參數可包括顯示和/或發送相組分和/或干度參數。相組分和/或干度參數可被無線地發送。
            [0019]流體流可以是蒸汽流,例如濕蒸汽。干度參數可被稱為“蒸氣品質”。
            [0020]根據本發明的另一方面,提供了一種用于確定流體管路中流動的多相流體流的相組分(其可以是干度)的裝置,該裝置包括:振動傳感器,其包括被布置為設置在流體流中的靶,該靶響應于流體管路中的流體流而振動,以獲取來自流體流的振動信號;振動信號分析單元,其用于分析振動信號以確定在第一頻帶內與振動信號的能量有關的第一能量參數和在第二頻帶內與振動信號的能量有關的第二能量參數;以及相組分確定單元(其可以是干度確定單元),其用于使用第一和第二能量參數來確定與流體流的相組分(其可以是干度)相關的相組分參數(其可以是干度參數)。
            [0021]該裝置可進一步包括用于攪拌振動傳感器上游的流體流的流體攪拌器。
            [0022]振動傳感器可被布置成在時域中測量振動信號。振動信號分析單元可被布置成將振動信號從時域變換至頻域。振動信號分析單元可被布置成使用快速傅里葉變換將振動信號從時域變換至頻域。
            [0023]第一能量參數可取決于流速。第二能量參數可取決于流速和流體流的相組分。第一能量參數可以是在第一頻帶內的振動信號的總能量,而第二能量參數可以是在第二頻帶內的振動信號的總能量。第一能量參數可以是第一頻帶內峰值頻率的幅度,而第二能量參數可以是第二頻帶內峰值頻率的幅度。第一頻帶可以是預先確定的,且第二頻帶可以是預先確定的。振動信號分析單元可被布置成限定第一峰值頻率附近的第一頻帶,且振動信號分析單元可被布置成限定第二峰值頻率附近的第二頻帶。第一頻帶可包含第一峰值頻率且第二頻帶可包含第二峰值頻率。第一頻帶可比第二頻帶處于更低的頻率。
            [0024]該裝置可進一步包括一數據庫,該數據庫包含將第一能量參數和第二能量參數與相組分參數相關聯的數據。相組分利/或干度確定單元可被布置成訪問該數據庫,以便確定與流體流的相組分和/或干度相關的相組分和/或干度參數。
            [0025]該裝置可進一步包括用于輸出相組分和/或干度參數的輸出單元。輸出單元可包括用于顯示相組分和/或干度參數的顯示器以及/或者用于發送相組分和/或干度參數的發送器。
            [0026]該裝置可被布置成確定蒸汽流的相組分和/或干度。
            [0027]該裝置可進一步包括一段在兩端都具有連接器的管道,其中,靶設置在該管道內。流體攪拌器設置在該管道內靶的前方。連接器之間的距離可以是預定標準內的距離。
            [0028]靶可以是膜片。在一些實施例中,靶可被布置成響應于流體流的沖擊而共振。振動傳感器可進一步包括用于將靶的振動轉換為振動信號的電氣轉換器。該振動轉換器可包括壓電換能器。
            [0029]本發明還涉及包括依照任何本文中陳述的裝置的蒸汽系統。
            [0030]除了互相排斥的這些特征的組合以外,本發明可以包括本文提及的特征和/或限制的任意組合。
            【專利附圖】

            【附圖說明】
            [0031]現在將參考附圖且通過示例的方式對本發明的實施例進行描述,其中:
            [0032]圖1示意性地示出用于確定蒸汽管路中流動的濕蒸汽的干度的裝置:
            [0033]圖2示意性地示出圖1的振動傳感器;
            [0034]圖3示意性地示出由振動傳感器獲取的時域中的振動信號;以及
            [0035]圖4示意性地示出由振動傳感器獲取的頻域中的三個振動信號。
            【具體實施方式】
            [0036]圖1總體地示出了用于確定在蒸汽管路中流動的濕蒸汽的相組分的裝置10。在該特定的實施例中,裝置10被布置成確定濕蒸汽的干度。裝置10包括一段在兩端具有連接法蘭14和16的管道12。裝置10進一步包括用于獲取來自蒸汽流的振動信號的振動傳感器22和位于上游的用于攪拌蒸汽流的流體攪拌器20。
            [0037]振動傳感器22設置在管道12內、沿著管道12的縱向的攪拌器20的下游并且在圖2中更詳細地示出。振動傳感器22包括延伸到管道內的空心桿34和安裝到桿34的末端的頭部(head) 36并且頭部36與管道的軸線對齊。頭部36包括主體37和基本上平面的、采用膜片形式的靶38。靶38面向蒸汽流并且位于垂直于蒸汽流方向的平面中。靶38被布置成響應于管道中的流體流而振動。壓電換能器40安裝在主體37內并且耦合至靶38,以便將靶38沿著軸線方向的振動轉換為電氣振動信號。信號線(未示出)連接到壓電換能器40并且向下穿過空心桿34以延伸至管道12的外部。桿34和頭部36由不銹鋼制成,并且膜片靶38是薄的金屬板。
            [0038]在該實施例中,裝置10是集成的單元,其可容易地安裝于新的蒸汽裝置中或可用于改造現有的蒸汽裝置,通過將法蘭14和16連接至蒸汽管路的相應連接法蘭使得管道12形成為蒸汽管路12的部分。然而,應當理解,在其他實施例中所述裝置可被提供為一組必須獨立安裝且接線在一起的單獨部件。
            [0039]在使用中,蒸汽管路內的流體流導致靶38在軸線方向上振動。如果流體是濕蒸汽,則流體流包含水滴和蒸氣兩者。通過實驗已發現由靶38產生的電氣振動信號包含主要與流速相關的特性利與蒸汽的干度和流速的組合相關的特性。因此,通過使用這些特性,裝置10可用來確定蒸汽的干度。為了確保流體流在管道12的橫截面積上基本上是均勻的,流體攪拌器20設置于管道12中、振動傳感器22的上游。流體攪拌器20有助于確保沒有冷凝物段塞(slug)在振動傳感器22之下經過,不然這會導致裝置確定高于實際值的蒸汽干度值。
            [0040]振動傳感器22輸出時域中的電氣振動信號且這樣的信號的圖形表示在圖3中示出。該振動信號輸出至振動信號分析單元42。該分析單元42使用快速傅里葉變換(FFT)算法將振動信號從時域變換至頻域。三個不同的振動信號在頻域中的圖形表示在圖4中示出。所述三個不同的振動信號對應于具有不同蒸汽干度值的三個不同的蒸汽流。
            [0041]從圖4可以看出,靶38以第一峰值頻率和第二峰值頻率振動,所述第一峰值頻率和所述第二峰值頻率對所有三個干度值來說實質上是相同的。然而,振動信號的能量(即,第一和第二峰值頻率的幅度)依賴于蒸汽干度值而變化。
            [0042]在將振動信號變換至頻域后,分析單元42確定在分別包含第一和第二峰值頻率的兩個預先限定的頻帶BI和B2內的振動信號的能量。通過實驗已發現在第一頻帶BI內的振動信號僅是流速的特性,然而第二頻帶B2 (其處于更高頻率)內的振動信號是相組分和流速的特性。在第一頻帶BI和第二頻帶B2內的振動信號的能量是通過累加特定頻帶B1、B2內的所有個體頻率的個體幅度而計算的。在該特定的實施例中,第一頻帶BI為0-4KHz,而第二頻帶B2為26-46KHZ。然而,應當理解,可使用其他頻率,因為頻帶可以取決于振動傳感器的特定構造和作為總體的蒸汽裝置的特定構造。第一頻帶BI內的振動信號的能量稱為“第一能量參數E1”,而第二頻帶B2內的振動信號的能量稱為“第二能量參數E2”。第一能量參數El取決于蒸汽流的流速,而第二能量參數E2取決于蒸汽流的相組分或蒸汽干度值與蒸汽流的流速兩者。
            [0043]在該實施例中,第一頻帶BI和第二頻帶B2被限定為一組頻率,但在其他的實施例中所述頻帶中的一個或兩者可以是單個頻率。然而,如果使用FFT來將振動信號從時域變換至頻域,若頻帶中的一個或多個被限定為單個頻率,則其將事實上對應于由FFT的分辨率限定的一組頻率。對于特定的裝置,頻帶中的一個或兩者可以是固定的,因為峰值頻率基本上與流速和干度無關。然而,如果裝置改變則可能有必要改變頻帶中的一個或兩者。在其他實施例中,分析單元42可識別第一峰值頻率和/或第二峰值頻率,并且限定第一峰值頻率附近的第一頻特BI和/或第二峰值頻率附近的第二頻帶B2。
            [0044]盡管已說明了第一能量參數El和第二能量參數E2分別是在第一頻帶BI和第二頻帶B2內的振動信號的能量,第一和/或第二能量參數可以是與振動信號相關且彼此相關的任何適合的參數,以便獲取表示蒸汽干度的值。在某些實施例中,第一和第二能量參數可使用不同方法進行計算。例如,第一能量參數可以是第一峰值頻率的幅度,而第二能量參數可以是第二頻帶內的頻率的平均幅度。當然,可使用任何其他適合的值。
            [0045]由振動信號分析單元42確定的第一能量參數El和第二能量參數E2被輸出至干度確定單元44。干度確定單元44取得兩個能量參數El和E2并訪問數據庫46以便經驗性地確定蒸汽的干度。數據庫46包含一查找表,該查找表包含將一組第一能量參數El和第二能量參數E2與蒸汽干度值相關聯的參考或校準數據。所述參考或校準數據是通過實驗而獲得的數據。確定單元44根據查找表的數據確定蒸汽的干度值并在本地顯示器48上顯示該干度值。除此之外,使用無線發送器50經由無線連接將干度值發送至控制室。這使得可以遠程地對蒸汽的干度進行監控。在一些實施例中,第一能量參數El可轉換為實際的流速且也輸出在顯示器上。可以根據第一能量參數El而經驗性地確定或計算流速。應當理解,查詢表可以包含將一組流速和第二能量參數E2與蒸汽干度值相關聯的數據。與確定和輸出干度參數相反,可以確定并輸出表示多相流的相組分的其他參數。
            [0046]干度確定單元44還被配置為基于蒸汽干度值和流速來計算蒸汽流的質量流率,可根據第一能量參數El來確定蒸汽干度值和流速。質量流率也可顯示在顯示器48上且可使用發送器50進行發送。
            [0047]數據庫46內包含的查找表是經驗性地創建的。對于每個裝置10可能有必要創建新的查找表。然而,有可能產生適合所有裝置的通用查找表。為了創建查找表,一系列預定體積的水以一組流速被注入蒸汽管路中且針對每一個水體積/流速的組合記錄下第一能量參數El和第二能量參數E2。蒸汽品質(或干度)可根據已知的水體積而計算,并且因此可以通過該校準方法而創建提供各個第一能量參數El和第二能量參數E2之間的相關性的查找表。
            [0048]盡管靶38的峰值頻率保持基本恒定而不管蒸汽干度如何,但如果例如水膜堆積在靶38的面上則峰值頻率會發生細微的變化。進一步地,靶38的溫度變化會引起其機械屬性改變,這也會導致峰值頻率的漂移。有可能根據一個或多個峰值頻率中的一個或其組合來確定蒸汽的溫度。
            [0049]在一些布置中第一能量參數El和第二能量E2有可能是溫度的函數,也可能是流速以及干度和流速的函數。如果是這種情況的話,可提供溫度傳感器以測量蒸汽的溫度。在這樣的布置中,數據庫46會包含將第一能量參數El (或流速)、第二能量參數E2以及溫度與干度參數相關聯的“三維”查找表。作為使用溫度傳感器的替代,可使用壓力傳感器并根據其來計算(或估計)溫度,或者可以根據峰值頻率來確定溫度(或壓力)。
            [0050]盡管已描述了可用于測量蒸汽干度的方法和裝置,應當理解,所述方法和裝置也適用于測量任何其他多相流體流的干度。
            【權利要求】
            1.一種確定流體管路中的多相流體流的相組分的方法,包括: 使用振動傳感器來獲取來自所述流體流的振動信號,所述振動傳感器包括設置于所述流體流中的靶,所述靶響應于所述流體管路中的流體流而振動; 分析所述振動信號以確定在第一頻帶內的與所述振動信號的能量相關的第一能量參數和在第二頻帶內的與所述振動信號的能量相關的第二能量參數;以及 使用所述第一能量參數和所述第二能量參數來確定與所述流體流的相組分相關的相組分參數。
            2.根據權利要求1所述的方法,其中,所述相組分參數是與所述流體流的干度相關的干度參數。
            3.根據權利要求1或2所述的方法,進一步包括攪拌所述振動傳感器上游的流體流。
            4.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,所述振動傳感器測量時域中的所述振動信號。
            5.根據權利要求4所述的方法,其中,分析所述振動信號包括將所述振動信號從時域變換至頻域。
            6.根據權利要求5所述的方法,其中,使用快速傅里葉變換(FFT)來將所述振動信號從時域變換至頻域。
            7.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,所述第一能量參數取決于流速。
            8.根據前述權利要求 中的任一項所述的方法,其中,所述第二能量參數取決于所述流體流的相組分和所述流速。
            9.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,所述第一能量參數是在所述第一頻帶內的所述振動信號的總能量,和/或其中,所述第二能量參數是在所述第二頻帶內的所述振動信號的總能量。
            10.根據權利要求1至8中的任一項所述的方法,其中,所述第一能量參數是在所述第一頻帶內的峰值頻率的幅度,和/或其中,所述第二能量參數是在所述第二頻帶內的峰值頻率的幅度。
            11.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,所述第一頻帶和/或所述第二頻帶是預先確定的。
            12.根據權利要求1至10中的任一項所述的方法,其中,分析所述振動信號包括限定第一峰值頻率附近的所述第一頻帶和/或限定第二峰值頻率附近的所述第二頻帶。
            13.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,所述第一頻帶包含第一峰值頻率,和/或其中,所述第二頻帶包含第二峰值頻率。
            14.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,所述第一頻帶處于比所述第二頻帶低的頻率。
            15.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,確定相組分參數包括訪問數據庫,所述數據庫包含將第一能量參數和第二能量參數與相組分參數相關聯的數據。
            16.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,進一步包括輸出所述相組分參數。
            17.根據權利要求16所述的方法,其中,輸出所述相組分參數包括顯示和/或發送所述相組分參數。
            18.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,所述流體流是蒸汽流。
            19.一種根據權利要求1并且基本上如本文中所述的方法。
            20.一種用于確定流體管路中流動的多相流體流的相組分的裝置,包括: 振動傳感器,其包括被布置為設置在所述流體流中的靶,所述靶響應于所述流體管路中的流體流而振動,以獲取來自所述流體流的振動信號; 振動信號分析單元,其用于分析所述振動信號以確定在第一頻帶內的與所述振動信號的能量有關的第一能量參數和在第二頻帶內的與所述振動信號的能量有關的第二能量參數;以及 相組分確定單元,其用于使用所述第一能量參數和所述第二能量參數來確定與所述流體流的相組分相關的相組分參數。
            21.根據權利要求20所述的裝置,其中,所述相組分確定單元是用于確定與所述流體流的干度有關的干度參數的干度確定單元。
            22.根據權利要求20或21所述的裝置,進一步包括用于攪拌所述振動傳感器上游的流體流的流體攪拌器。
            23.根據權利要求20至22中的任一項所述的裝置,其中,所述振動傳感器被布置成測量時域中的所述振動信號。
            24.根據權利要求23所述的裝置,其中,所述振動信號分析單元被布置成將所述振動信號從時域變換至頻域。
            25.根據權利要求24 所述的裝置,其中,所述振動信號分析單元被布置成使用快速傅里葉變換(FFT)將所述振動信號從時域變換至頻域。
            26.根據權利要求20至25中的任一項所述的裝置,其中,所述第一能量參數取決于流速。
            27.根據權利要求20至26中的任一項所述的裝置,其中,所述第二能量參數取決于所述流體流的相組分和所述流速。
            28.根據權利要求20至27中的任一項所述的裝置,其中,所述第一能量參數是在所述第一頻帶內的所述振動信號的總能量,和/或其中,所述第二能量參數是在所述第二頻帶內的所述振動信號的總能量。
            29.根據權利要求20至28中的任一項所述的裝置,其中,所述第一能量參數是在所述第一頻帶內的峰值頻率的幅度,和/或其中,所述第二能量參數是在所述第二頻帶內的峰值頻率的幅度。
            30.根據權利要求20至29中的任一項所述的裝置,其中,所述第一頻帶是預先確定的,和/或其中,所述第二頻帶是預先確定的。
            31.根據權利要求20至29中的任一項所述的裝置,其中,所述振動信號分析單元被布置成限定第一峰值頻率附近的所述第一頻帶,和/或其中,所述振動信號分析單元被布置成限定第二峰值頻率附近的所述第二頻帶。
            32.根據權利要求20至31中的任一項所述的裝置,其中,所述第一頻帶包含第一峰值頻率,和/或其中,所述第二頻帶包含第二峰值頻率。
            33.根據權利要求20至32中的任一項所述的裝置,其中,所述第一頻帶處于比所述第二頻帶低的頻率。
            34.根據權利要求20至33中的任一項所述的裝置,進一步包括數據庫,所述數據庫包含將第一能量參數和第二能量參數與相組分參數相關聯的數據;并且 其中,所述相組分確定單元被布置成訪問所述數據庫,以便確定與所述流體流的相組分相關的相組分參數。
            35.根據權利要求20至34中的任一項所述的裝置,進一步包括用于輸出所述相組分參數的輸出單元。
            36.根據權利要求20至35中的任一項所述的裝置,其中,所述輸出單元包括用于顯示所述相組分參數的顯示器和/或用于發送所述相組分參數的發送器。
            37.根據權利要求20至36中的任一項所述的裝置,其中,所述裝置被布置成確定蒸汽流的相組分。
            38.根據權利要求20至37中的任一項所述的裝置,進一步包括一段兩端都具有連接器的管道,其中,所述靶設置在所述管道內。
            39.根據權利要求38在從屬于權利要求22時所述的裝置,其中,所述攪拌器設置在所述靶的前方。
            40.根據權利要求38或39所述的裝置,其中,所述連接器之間的距離是預定標準內的 距離。
            41.根據權利要求20至40中的任一項所述的裝置,其中,所述振動傳感器進一步包括用于將所述靶的振動轉換為振動信號的電氣轉換器。
            42.根據權利要求41所述的裝置,其中,所述電氣轉換器包括壓電換能器。
            43.一種蒸汽系統,包括根據權利要求20至42中的任一項所述的裝置。
            【文檔編號】G01N19/10GK103884642SQ201310618423
            【公開日】2014年6月25日 申請日期:2013年9月13日 優先權日:2012年9月13日
            【發明者】B·弗里斯比, N·伊斯拉姆, P·亞瑟, M·凱恩 申請人:斯普瑞斯-薩克有限公司
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