移動機構、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置制造方法
【專利摘要】本發明提供移動機構、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置。移動機構具備：支承體；移動體，配置為能夠相面對于支承體沿規定的移動方向移動；第一槽，設置于支承體并形成為與移動方向平行；第二槽，設置于移動體，形成為與移動方向平行，并形成于與第一槽對置的位置；以及振動體，其配置于支承體并被施力而能夠對移動體進行按壓、或者配置于移動體并被施力而能夠對支承體進行按壓，第一槽和第二槽對置的方向與支承體和移動體對置的方向相交叉，振動體所被施力的施力方向與第一槽和第二槽對置的方向以及支承體和移動體對置的方向相交叉。由此，能夠抑制移動體相面對于支承體的晃動。
【專利說明】移動機構、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及移動機構、機器人手、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置、供液泵、打印裝置、投影裝置、輸送裝置。
【背景技術】
[0002]公知有多種搭載了使工作臺等移動體支承體沿規定方向移動的移動機構的機器。例如，在專利文獻I的機器人中，在與移動方向平行地設置的軌道和從兩側夾著軌道供軌道嵌合的軌道座之間插入有多個滾動體(滾珠)，從而形成兩列與移動方向平行的滾珠引導件。這樣在利用兩列滾珠引導件支承移動體的移動機構中，通過滾珠滾動，能夠使移動體順暢地移動。
[0003]另外，近年來，作為移動機構的驅動部，公知有采用了壓電馬達的驅動部(例如，專利文獻2)。對于壓電馬達而言，若對含有壓電材料的振動體施加電壓，則振動體產生伸縮方向的振動和彎曲方向的振動。因此，若成為振動體的伸縮方向的端部被朝移動體施力的狀態，則能夠通過彎曲方向的振動來摩擦驅動移動體。
[0004]專利文獻1:日本實開平5-16172號公報
[0005]專利文獻2:日本特開平11-271480號公報
[0006]但是，若如專利文獻I那樣在利用兩列滾珠引導件支承移動體的移動機構中采用專利文獻2的結構，成為振動體被朝移動體施力的狀態，則存在在移動體產生晃動的問題。
【發明內容】
[0007]本發明是為了解決現有技術所具有的上述的課題的至少一部分而完成的，其目的在于提供一種能夠抑制使用振動體驅動的移動體的晃動的移動機構。
[0008]為了解決上述的課題的至少一部分，本發明的第一移動機構采用如下結構。S卩，本發明的第一移動機構的特征在于，具備:
[0009]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0010]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0011]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0012]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0013]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0014]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0015]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0016]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，[0017]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0018]上述振動體所被施力的施力方向包含上述兩列移動軸的移動面傾斜。
[0019]此處，所謂“移動面傾斜的方向”不包含與移動面平行的方向以及與移動面垂直的方向。
[0020]在上述的本發明的第一移動機構中，若將振動體支承于支承體側，則移動體承受振動體的作用力，若將振動體支承于移動體側，則移動體承受與振動體的施力方向相反的方向的反作用力。另外，由于振動體的施力方向移動面傾斜，所以在移動體所承受的作用力或者反作用力中包含有與移動面平行的分量和與移動面垂直的分量。移動體承受與移動面平行的力，從而在兩列移動軸中的一列移動軸中，第一槽與第二槽的間隔在與移動面平行的方向上堵塞，且滾動體被第一槽與第二槽夾持。另外，在另一列移動軸中，雖然第一槽與第二槽之間的間隔較寬廣，但是移動體承受與移動面垂直的力，從而產生以一列移動軸為旋轉軸使移動體旋轉的力矩，因此滾動體在與移動面垂直的方向上被第一槽與第二槽夾持。其結果，能夠抑制移動體的晃動。
[0021]另外，本發明的第一移動機構也能夠通過以下的方式充分理解。即，作為其他實施方式的本發明的第一移動機構的特征在于，具備:
[0022]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0023]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0024]第一槽，其設置于上述支承體側，并形成為圓環狀；
[0025]第二槽，其設置于上述移動體側，并以與上述第一槽相面對的方式形成為圓環狀；
[0026]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0027]圓環狀的移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體；以及
[0028]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0029]上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圓環位于一方的圓環的內側，并且上述第一槽和上述第二槽相面對的方向與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，
[0030]上述振動體所被施力的施力方向包含上述圓環狀的移動軸的移動面傾斜。
[0031 ] 在上述的移動機構中，移動體承受與移動面平行的力，從而在圓環狀的移動軸的中心對稱的兩個位置中的一個位置，第一槽與第二槽的間隔在與移動面平行的方向上堵塞，滾動體被第一槽與第二槽夾持。另外，在另一個位置，雖然第一槽與第二槽之間的間隔較寬廣，但是移動體承受與移動面垂直的力，從而產生以一個位置為軸使移動體旋轉的力矩，從而滾動體在與移動面垂直的方向上被第一槽與第二槽夾持。其結果，能夠抑制移動體的晃動。
[0032]另外，為了解決上述的課題的至少一部分，本發明的第二移動機構采用如下的結構。即，本發明的第二移動機構的特征在于，具備:[0033]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0034]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0035]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0036]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0037]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0038]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0039]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0040]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0041]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0042]上述振動體在與包含上述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0043]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0044]在上述的本發明的第二移動機構中，若將振動體支承于支承體側，則移動體承受振動體的作用力，若將振動體支承于移動體側，則移動體承受與振動體的施力方向相反的方向的反作用力。且通過與移動面平行地對振動體施力，在兩列移動軸中的一列移動軸中，第一槽與第二槽之間的間隔在與移動面平行的方向上堵塞，滾動體被第一槽與第二槽夾持。另外，在另一列移動軸中，雖然第一槽與第二槽之間的間隔較寬廣，但是移動體在與移動面分離的位置承受與移動面平行的力，從而產生以一列移動軸為旋轉軸使移動體旋轉的力矩，因此滾動體在與移動面垂直的方向上被第一槽與第二槽夾持。其結果，能夠抑制移動體的晃動。
[0045]另外，本發明的第二移動機構也能夠通過如下的方式充分理解。即，作為其他方式的本發明的第二移動機構的特征在于，具備:
[0046]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0047]移動體,其上述支承體旋轉移動；
[0048]第一槽，其設置于上述支承體側，并形成為圓環狀；
[0049]第二槽，其設置于上述移動體側，并以與上述第一槽相面對的方式形成為圓環狀；
[0050]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0051]圓環狀的移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體；以及
[0052]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，[0053]上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圓環位于一方的圓環的內側，并且上述第一槽和上述第二槽相面對的方向與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，
[0054]上述振動體在與包含上述圓環狀的移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體的任一方施力，
[0055]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0056]在上述的移動機構中，通過與移動面平行地對振動體施力，在圓環狀的移動軸的中心對稱的兩個位置中的一個位置，第一槽與第二槽之間的間隔在與移動面平行的方向上堵塞，滾動體被第一槽與第二槽夾持。另外，在另一個位置，雖然第一槽與第二槽之間的間隔較寬廣，但是移動體在從移動面分離的位置承受與移動面平行的力，從而產生以一個位置為軸使移動體旋轉的力矩，滾動體在與移動面垂直的方向上被第一槽與第二槽夾持。其結果，能夠抑制移動體的晃動。
[0057]另外，在上述的本發明的移動機構中，也可以將形成為大致長方體形狀的受壓體以振動體所被施力的面與施力方向垂直的姿勢埋入支承體或者移動體中的任意一方的振動體所被施力的部分。
[0058]這樣一來，即使振動體被支承體或者移動體傾斜地施力，也不會因作用力而使受壓體退避(受壓體的位置朝與移動面平行的方向偏移)，從而能夠將振動體的驅動力適當地傳遞至受壓體而使移動體支承體高精度地移動。
[0059]另外，在上述的本發明的移動機構中，也可以利用硬度高于支承體或者移動體中的埋入有受壓體一側的材料形成受壓體。
[0060]這樣一來，能夠抑制因在振動體與受壓體之間作用的摩擦力而導致受壓體磨損。其結果，即使長時間使用也能夠抑制移動體的移動精度降低。
[0061]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為機器人手充分理解，其特征在于，具備:
[0062]多個指部；
[0063]基體，上述指部以能夠移動的方式立設于該基體；以及
[0064]移動機構，其使上述指部上述基體移動，
[0065]上述移動機構具備:
[0066]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0067]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0068]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0069]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0070]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0071]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0072]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0073]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，[0074]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0075]上述振動體所被施力的施力方向包含上述兩列移動軸的移動面傾斜。
[0076]在上述的本發明的機器人手中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高利用指部把持對象物的精度。
[0077]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠通過機器人手充分理解，其特征在于，具備：
[0078]多個指部；
[0079]基體，上述指部以能夠移動的方式立設于該基體；以及
[0080]移動機構，其使上述指部上述基體移動，
[0081]上述移動機構具備：
[0082]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0083]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0084]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0085]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0086]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0087]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0088]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0089]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0090]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0091]上述振動體在與包含上述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0092]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0093]在上述的本發明的機器人手中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高利用指部把持對象物的精度。
[0094]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為電子部件輸送裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0095]把持部，其把持電子部件；以及
[0096]移動機構，其使把持了上述電子部件的上述把持部移動，
[0097]上述移動機構具備：
[0098]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0099]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；[0100]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0101]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0102]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0103]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0104]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0105]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0106]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0107]上述振動體所被施力的施力方向包含上述兩列移動軸的移動面傾斜。
[0108]在上述的本發明的電子部件輸送裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高輸送電子部件的精度。
[0109]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為電子部件輸送裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0110]把持部，其把持電子部件；以及
[0111]移動機構，其使把持了上述電子部件的上述把持部移動，
[0112]上述移動機構具備：
[0113]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0114]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0115]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0116]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0117]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0118]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0119]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0120]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0121]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0122]上述振動體在與包含上述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0123]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。[0124]在上述的本發明的電子部件輸送裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高輸送電子部件的精度。
[0125]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為電子部件檢查裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0126]把持部，其把持電子部件；
[0127]移動機構，其使把持了上述電子部件的上述把持部移動；以及
[0128]檢查部，其對上述電子部件進行檢查，
[0129]上述移動機構具備：
[0130]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0131]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0132]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0133]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0134]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0135]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0136]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0137]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0138]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0139]上述振動體所被施力的施力方向包含上述兩列移動軸的移動面傾斜。
[0140]在上述的本發明的電子部件檢查裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高檢查電子部件的精度。
[0141]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為電子部件檢查裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0142]把持部，其把持電子部件；
[0143]移動機構，其使把持了上述電子部件的上述把持部移動；以及
[0144]檢查部，其對上述電子部件進行檢查，
[0145]上述移動機構具備：
[0146]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0147]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0148]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0149]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0150]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0151]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0152]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0153]上述移動軸在于上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0154]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0155]上述振動體在與包含上述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0156]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0157]在上述的本發明的電子部件檢查裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高檢查電子部件的精度。
[0158]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為供液泵充分理解，其特征在于，具備：
[0159]管，其能夠供液體流動；
[0160]閉塞部，其與上述管抵接而對上述管進行閉塞；以及
[0161]移動機構，其使上述閉塞部移動，
[0162]上述移動機構具備：
[0163]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0164]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0165]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0166]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0167]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0168]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0169]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動，在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0170]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0171]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0172]上述振動體所被施力的施力方向包含上述兩列移動軸的移動面傾斜。
[0173]在上述的本發明的供液泵中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高對管內的液體進行輸液的精度。
[0174]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為供液泵充分理解，其特征在于，具備：[0175]管，其能夠供液體流動；
[0176]閉塞部，其與上述管抵接而對上述管進行閉塞；以及
[0177]移動機構，其使上述閉塞部移動，
[0178]上述移動機構具備：
[0179]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0180]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0181]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0182]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0183]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0184]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0185]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動，在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0186]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0187]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0188]上述振動體在與包含上述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0189]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0190]在上述的本發明的供液泵中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高對管內的液體進行輸液的精度。
[0191]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為打印裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0192]打印頭，其向介質打印圖像；以及
[0193]移動機構，其使上述打印頭移動，
[0194]上述移動機構具備：
[0195]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0196]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0197]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0198]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0199]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0200]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0201]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，[0202]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0203]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0204]上述振動體所被施力的施力方向包含上述兩列移動軸的移動面傾斜。
[0205]在上述的本發明的打印裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高打印圖像的精度。
[0206]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為打印裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0207]打印頭，其向介質打印圖像；以及
[0208]移動機構，其使上述打印頭移動，
[0209]上述移動機構具備：
[0210]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0211]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0212]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0213]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0214]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0215]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0216]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0217]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0218]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0219]上述振動體在與包含上述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0220]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0221]在上述的本發明的打印裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高打印圖像的精度。
[0222]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為投影裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0223]光源，其產生光；
[0224]投影部，其包含光學透鏡，并投影上述光；以及
[0225]移動機構，其使上述光學透鏡移動，
[0226]上述移動機構具備：[0227]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0228]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0229]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0230]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0231]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0232]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0233]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0234]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0235]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0236]上述振動體所被施力的施力方向包含上述兩列移動軸的移動面傾斜。
[0237]在上述的本發明的投影裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高對基于光學透鏡的光的投影狀態進行調整的精度。
[0238]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為投影裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0239]光源，其產生光；
[0240]投影部，其包含光學透鏡，并投影上述光；以及
[0241]移動機構,其使上述光學透鏡移動，
[0242]上述移動機構具備：
[0243]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述移動機構；
[0244]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0245]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0246]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0247]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0248]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0249]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0250]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0251]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，[0252]上述振動體在與包含上述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0253]上述振動體所被施力的的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0254]在上述的本發明的投影裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高對基于光學透鏡光的投影狀態進行調整的精度。
[0255]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為輸送裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0256]支承體，其設置于規定的位置，并支承輸送裝置；
[0257]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0258]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0259]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0260]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0261]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0262]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0263]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，
[0264]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0265]上述振動體所被施力的施力方向包含上述兩列移動軸的移動面傾斜。
[0266]在上述的本發明的輸送裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高輸送對象物的精度。
[0267]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為輸送裝置充分理解，其特征在于，具備：
[0268]支承體，其設置于規定的位置，并支承輸送裝置；
[0269]移動體，其上述支承體沿規定的移動方向移動；
[0270]第一槽，其在上述支承體側設置有一對，并形成為與上述移動方向平行；
[0271]第二槽，其在上述移動體側設置有一對，并形成為與上述第一槽相面對；
[0272]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0273]移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體，并與上述移動方向平行；以及
[0274]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0275]上述移動軸在與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列，[0276]上述第一槽和上述第二槽相面對的方向，與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置關系在上述兩列移動軸的一方和另一方相反，
[0277]上述振動體在與包含上述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0278]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0279]在上述的本發明的輸送裝置中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高輸送對象物的精度。
[0280]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為機器人充分理解，其特征在于，具備：
[0281]臂部，其設置有能夠轉動的關節部；
[0282]手部，其設置于上述臂部；
[0283]主體部，其設置有上述臂部；以及
[0284]轉動機構，其設置于上述關節部，并使上述關節部轉動，
[0285]上述轉動機構具備：
[0286]支承體，其設于規定的位置，并支承上述轉動機構；
[0287]移動體,其上述支承體旋轉移動；
[0288]第一槽，其設置于上述支承體側，并形成為圓環狀；
[0289]第二槽，其設置于上述移動體側，并以與上述第一槽相面對的方式形成為圓環狀；
[0290]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0291]圓環狀的移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體；以及
[0292]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0293]上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圓環位于一方的圓環的內側，并且上述第一槽和上述第二槽相面對的方向與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，
[0294]上述振動體所被施力的施力方向包含上述圓環狀的移動軸的移動面傾斜。
[0295]在上述的本發明的機器人中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高機器人的動作精度。其中，能夠將手部設為例如進行把持對象物的動作、進行螺紋緊固等的螺紋緊固動作、涂裝動作、焊接動作等的手部。
[0296]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為機器人充分理解，其特征在于，具備：
[0297]臂部，其設置有能夠轉動的關節部；
[0298]手部，其設置于上述臂部；
[0299]主體部，其設置有上述臂部；以及
[0300]轉動機構，其設置于上述關節部，并使上述關節部轉動，
[0301]上述轉動機構具備：[0302]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述轉動機構；
[0303]移動體，其上述支承體旋轉移動；
[0304]第一槽，其設置于上述支承體側，并形成為圓環狀；
[0305]第二槽，其設置于上述移動體側，并以與上述第一槽相面對的方式形成為圓環狀；
[0306]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0307]圓環狀的移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體；以及
[0308]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0309]上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圓環位于一方的圓環的內側，并且上述第一槽和上述第二槽相面對的方向與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，
[0310]上述振動體在與包含上述圓環狀的移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體任意一方施力，
[0311 ] 上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0312]在上述的本發明的機器人中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高機器人的動作精度。其中，能夠將手部設為例如進行把持對象物的動作、進行螺紋緊固等的螺紋緊固動作、涂裝動作、焊接動作等的手部。
[0313]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為電子表充分理解，其特征在于，具備：
[0314]旋轉圓板，其同軸地設置有齒輪，并能夠轉動；
[0315]齒輪系，其構成為包含多個齒輪；
[0316]指針，其與上述齒輪系連接，并指示時刻；以及
[0317]轉動機構，其使上述旋轉圓板轉動，
[0318]上述轉動機構具備：
[0319]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述轉動機構；
[0320]移動體,其上述支承體旋轉移動；
[0321]第一槽，其設置于上述支承體側，并形成為圓環狀；
[0322]第二槽，其設置于上述移動體側，并以與上述第一槽相面對的方式形成為圓環狀；
[0323]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0324]圓環狀的移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體；以及
[0325]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0326]上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圓環位于一方的圓環的內側，并且上述第一槽和上述第二槽相面對的方向與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，[0327]上述振動體所被施力的施力方向包含上述圓環狀的移動軸的移動面傾斜。
[0328]在上述的本發明的電子表中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高電子表的動作精度。
[0329]另外，本發明也能夠通過如下的方式充分理解。即，也能夠作為電子表充分理解，其特征在于，具備：
[0330]旋轉圓板，其同軸地設置有齒輪，并能夠轉動；
[0331]齒輪系,其構成為包含多個齒輪；
[0332]指針，其與上述齒輪系連接，并指示時刻；以及
[0333]轉動機構，其使上述旋轉圓板轉動，
[0334]上述轉動機構具備：
[0335]支承體，其設置于規定的位置，并支承上述轉動機構；
[0336]移動體，其上述支承體旋轉移動；
[0337]第一槽，其設置于上述支承體側，并形成為圓環狀；
[0338]第二槽，其設置于上述移動體側，并以與上述第一槽相面對的方式形成為圓環狀；
[0339]多個滾動體，上述多個滾動體設置于上述第一槽與上述第二槽之間，并伴隨著上述移動體的移動而滾動；
[0340]圓環狀的移動軸，其包含在上述第一槽與上述第二槽之間滾動的上述滾動體；以及
[0341]振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，
[0342]上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圓環位于一方的圓環的內側，并且上述第一槽和上述第二槽相面對的方向與上述支承體和上述移動體相面對的方向相交叉，
[0343]上述振動體在與包含上述圓環狀的移動軸的移動面分離的位置被朝上述支承體或者上述移動體中的任意一方施力，
[0344]上述振動體所被施力的施力方向與上述移動面平行且與上述移動方向相交叉。
[0345]在上述的本發明的電子表中，因為能夠抑制移動體的晃動，所以能夠提高電子表的動作精度。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0346]圖I是示出本實施例的移動機構的結構的立體圖。
[0347]圖2是示出壓電馬達的內部構造的剖視圖。
[0348]圖3是示出壓電馬達的動作原理的說明圖。
[0349]圖4是以與移動方向垂直的平面進行剖切而得到的本實施例的移動機構的剖視圖。
[0350]圖5是示意性地示出利用本實施例的移動機構抑制工作臺的晃動的說明圖。
[0351]圖6是示出第一變形例的移動機構的結構的剖視圖。
[0352]圖7是示出第二變形例的移動機構的結構的剖視圖。
[0353]圖8是示出第三變形例的移動機構的結構的剖視圖。[0354]圖9是示出第四變形例的移動機構的結構的剖視圖。
[0355]圖10是示出第五變形例的移動機構的結構的說明圖。
[0356]圖11是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構的機器人手的說明圖。
[0357]圖12是例示了具備機器人手的單臂機器人的說明圖。
[0358]圖13是例示了具備機器人手的多臂機器人的說明圖。
[0359]圖14是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構而構成的電子部件檢查裝置的立體圖。
[0360]圖15是對內置于把持裝置的微調機構進行說明的說明圖。
[0361]圖16是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構的供液泵的說明圖。
[0362]圖17是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構的打印裝置的立體圖。
[0363]圖18是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構的電子表的說明圖。
[0364]圖19是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構的投影裝置的立體圖。
[0365]圖20是示出設置兩組導軌以及軌道座的例子的說明圖。
【具體實施方式】
[0366]圖I是示出本實施例的移動機構10的結構的立體圖。圖I (a)示出了本實施例的移動機構10的整體圖，圖1(b)示出了分解圖。如圖1(a)所示的那樣，本實施例的移動機構10由支承體20、相面對于支承體20沿規定的移動方向移動的工作臺30、驅動工作臺30的壓電馬達100等構成。在本實施例中，在支承體20的上方設置有工作臺30，在工作臺30側安裝有壓電馬達100。另外，圖中的粗線箭頭表示工作臺30的移動方向，工作臺30能夠從圖中的近前側朝向里側，或者是從里側朝向近前側移動。另外，本實施例的工作臺30相當于本發明的“移動體”。
[0367]如圖1(b)所示，工作臺30為大致矩形的平板形狀，并從其下表面（與支承體20相面對的面）垂設有導軌40。導軌40設置為與移動方向平行，并在該導軌40的兩側面形成有截面為V字型的內槽42。另外，本實施例的內槽42相當于本發明的“第二槽”。
[0368]支承體20形成為大致矩形的平板形狀，并在其上表面（與工作臺30相面對的面）立設有一對軌道座46，該對軌道座46從兩側夾著導軌40。在軌道座46的內壁面形成有與導軌40的內槽42相面對的截面為V字型的外槽48。另外，在支承體20的上表面與軌道座46平行地埋入有大致長方體形狀的受壓體50。另外，本實施例的外槽48相當于本發明的“第一槽”。
[0369]在導軌40的內槽42與軌道座46的外槽48之間插入有多個滾珠44。這些多個滾珠44在支承體20與工作臺30之間形成兩列滾珠引導件，滾珠44沿內槽42以及外槽48滾動，從而工作臺30相面對于支承體20順暢地移動。另外，本實施例的滾珠44相當于本發明的“滾動體”。
[0370]在壓電馬達100內置有包含壓電材料而形成的振動體110。振動體110形成為立方體形狀，并在長邊方向的端面設置有圓柱形狀的凸部112。
[0371]圖2是示出壓電馬達100的內部構造的剖視圖。如圖所示，振動體110以使凸部112突出的狀態保持于振動體殼體102內，該振動體殼體102以能夠朝向凸部112突出的方向（X方向）移動的方式收納于收納殼體104。在振動體殼體102的側面（朝向與X方向正交的方向（Y方向）的面）的一側與收納殼體104之間設置有向Y方向對振動體殼體102進行施力的側壓彈簧106。另外，在振動體殼體102的側面的另一側（與設置有側壓彈簧106的一側相反的一側）與收納殼體104之間設置有沿X方向滾動的滾子108。因此，振動體殼體102能夠一邊被限制朝向Y方向的移動，一邊沿X方向順暢地移動。且在與設置有滾子108的一側相同的一側設置有施力彈簧120，該施力彈簧120將振動體殼體102朝X方向（設置有凸部112的一側）施力。而且，如圖I所示的那樣，在將移動機構10組裝起來的狀態下，振動體110的凸部112被朝支承體20的受壓體50施力，通過對壓電馬達100的振動體110施加電壓,能夠驅動工作臺30。
[0372]圖3是示出壓電馬達100的動作原理的說明圖。如圖3(a)所示的那樣，在內置于壓電馬達I00的振動體Il0的表面側的側面，以將其側面縱橫兩分割（合計四分割）的方式形成有四個矩形形狀的表面電極114a?114d。另外,在不需要區別四個表面電極114a?114d的情況下,有時僅將上述表面電極114a?114d稱為表面電極114。另外,雖省略圖不，但在振動體110的背面側的側面，以遍及該側面的幾乎整個面的方式形成有背面電極。在以恒定周期對振動體110的表面電極114施加電壓時，振動體110的凸部112做橢圓運動，從而壓電馬達100進行動作。振動體110的凸部112做橢圓運動依據以下的理由。
[0373]首先，如公知的那樣，包含壓電材料的振動體110具有若施加正電壓則伸長的性質。因此，如圖3(a)所示，若反復進行在對四個表面電極114全部施加正電壓后解除施加電壓的操作，則振動體110反復進行沿長邊方向伸縮的動作。將這樣振動體110反復沿長邊方向伸縮的動作稱為“伸縮振動”。以下，將振動體110伸縮的方向（圖中的±X方向）稱為“伸縮方向”。另外，若使施加正電壓的頻率變化，則在成為某一特定的頻率時伸縮量急劇增大，從而產生一種共振現象。通過伸縮振動產生共振的頻率（共振頻率）由振動體110的物性、振動體110的尺寸（寬度W、長度L、厚度T)來決定。
[0374]另外，如圖3(b)或者是圖3(c)所示，將相互位于對角線的位置的兩個表面電極114設為一組（表面電極114a以及表面電極114d為一組,或者是表面電極114b以及表面電極114c為一組），并以恒定周期對其施加正電壓。于是，振動體110的長邊方向的前端部(設置有凸部112的部分）反復進行朝在附圖上為左右方向搖頭的動作。例如，如圖3(b)所示的那樣，若對表面電極114a以及表面電極114d這一組以恒定周期施加正電壓，則振動體110的長邊方向的前端部反復進行朝右方向移動的動作。另外，如圖3(c)所示的那樣，若對表面電極114b以及表面電極114c這一組以恒定周期施加正電壓，則振動體110的長邊方向的前端部反復進行朝左方向移動的動作。將這樣的振動體110的動作稱為“彎曲振動”。以下，將振動體110彎曲振動的方向（圖中的土Y方向）稱為“彎曲方向”。對于這樣的彎曲振動而言，也存在由振動體110的物性與振動體110的尺寸（寬度W、長度L、厚度T)決定的共振頻率。因此，若對相互位于對角線的位置的兩個表面電極114以上述的共振頻率施加正電壓，則振動體110朝彎曲方向大幅度地搖頭而進行振動。
[0375]此處，圖3(a)所示的伸縮振動的共振頻率、圖3 (b)或者是圖3(c)所示的彎曲振動的共振頻率均由振動體110的物性、振動體110的尺寸（寬度W、長度L、厚度T)決定。因此，若適當地選擇振動體110的尺寸（寬度W、長度L、厚度T)，則能夠使兩個共振頻率一致。而且，若對上述的振動體110以共振頻率施加圖3(b)或者是圖3(c)所示的彎曲振動的形態的電壓，則產生圖3(b)或者是圖3(c)所示的彎曲振動的同時，也因共振而引起圖3(a)的伸縮振動。其結果，在以圖3(b)所示的方式對表面電極114a以及表面電極114d這一組施加電壓的情況下，振動體110的前端部（設置有凸部112的部分）進行如在附圖上繞順時針方向描繪橢圓的動作（橢圓運動）。另外，在以圖3(c)所示的方式對表面電極114b以及表面電極114c這一組施加電壓的情況下，振動體110的前端部進行如在附圖上繞逆時針方向的橢圓運動。另外，在以上的說明中，說明了對振動體110施加正電壓的情況。但是，如公知的那樣，壓電材料也因施加負電壓而變形。因此，可以通過對振動體110施加負電壓來產生彎曲振動（以及伸縮振動），也可以通過施加使正電壓與負電壓交替的交變電壓來產生彎曲振動（以及伸縮振動）。另外，在上述的說明中，對施加共振頻率的電壓進行了說明。但是，只要施加包含了共振頻率的波形的電壓就足夠，例如也可以是脈沖狀的電壓。
[0376]壓電馬達100利用上述的橢圓運動來驅動工作臺30。S卩，如圖I所示的那樣，壓電馬達100以使振動體110的短邊方向（彎曲方向）與移動方向一致的方式固定于工作臺30偵彳，并在將振動體110的凸部112朝支承體20的受壓體50施力的狀態下產生橢圓運動。于是，凸部112反復進行在振動體110伸長時以朝受壓體50施力的狀態朝向彎曲方向中的任意一方移動，并在振動體110收縮時以從與受壓體50分離的狀態返回至原來的位置的動作。其結果，工作臺30通過在受壓體50與凸部112之間作用的摩擦力而相面對于支承體20朝向彎曲方向（移動方向）的任意另一方移動。
[0377]如從以上說明的壓電馬達100的動作原理明確的那樣，固定于工作臺30側的壓電馬達100需要預先成為將振動體110的凸部112朝支承體20側（受壓體50)施力的狀態。因此，工作臺30承受凸部112施力于受壓體50的力（作用力）的反作用力，存在承受上述的反作用力而在工作臺30產生晃動的情況。因此，在本實施例的移動機構10中，如以下那樣通過對振動體110的凸部112進行施力，來抑制工作臺30的晃動。
[0378]圖4是示出以與移動方向垂直的平面進行剖切而得到的本實施例的移動機構10的剖視圖。如上所述，在形成于工作臺30側的導軌40的內槽42與形成于支承體20側的軌道座46的外槽48之間插入有多個滾珠44，通過這些多個滾珠44，在支承體20與工作臺30之間形成有兩列與移動方向平行的滾珠引導件。多個滾珠44沿著兩列滾珠引導件滾動，從而工作臺30相面對于支承體20順暢地移動。以下，將包含兩列滾珠引導件的平面稱為“移動面”。另外，為了使滾珠44順暢地滾動，在滾珠44與內槽42、外槽48之間設置有少許游隙（間隙）。
[0379]另外，安裝于工作臺30的側面的壓電馬達100以使內置的振動體110的短邊方向(彎曲方向）與移動方向一致，并且使上端側（與設置有凸部112的一側相反的一側）向工作臺30側傾斜的方式進行固定。且振動體110被施力彈簧120朝長邊方向（伸縮方向）施力，并成為將凸部112朝支承體20的受壓體50施力的狀態。因此，將振動體110的凸部112朝受壓體50施力的方向（施力方向）與移動方向正交，且相面對于移動面以規定的角度（在圖示的例子中為75度）傾斜。
[0380]另外，本實施例的受壓體50形成為大致長方體形狀，并以上表面（供振動體110的凸部112抵接的面）與施力方向正交的狀態埋入支承體20。由此，受壓體50的位置不會偏移，且能夠在凸部112與受壓體50之間高效地產生摩擦力。此外，在本實施例的移動機構10中，支承體20由塑料材料形成，與此相面對，受壓體50由陶瓷材料、金屬材料等的硬度高于塑料材料的材料形成。因此，能夠抑制因在凸部112與受壓體50之間作用的摩擦力而導致受壓體50磨損。
[0381]此處，振動體110的凸部112被朝受壓體50施力，從而工作臺30承受與施力方向相反方向的反作用力。在該反作用力中包含有與移動面平行的圖中左方向的分量和與移動面垂直的圖中上方向的分量。而且，工作臺30承受與移動面平行的反作用力，從而在兩列滾珠引導件中的、距壓電馬達100較遠的一側（圖中左側）的滾珠引導件中，滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙（間隙）堵塞，成為由內槽42以及外槽48夾持滾珠44的狀態。
[0382]另一方面，在距壓電馬達100較近的一側（圖中右側）的滾珠引導件中，雖然內槽42與外槽48之間的間隔寬廣，但是工作臺30承受與移動面垂直的反作用力，從而產生以圖中左側的游隙堵塞的滾珠引導件為軸使工作臺30朝向上方旋轉的力矩，成為由內槽42的下端側與外槽48的上端側夾持滾珠44的狀態。
[0383]如以上那樣，在本實施例的移動機構10中，通過將振動體110的凸部112相面對于移動面傾斜地施力，能夠將兩列滾珠引導件中的一方的滾珠引導件的滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙堵塞，并且以該一方的滾珠引導件為軸產生旋轉力矩，從而即便在另一方的滾珠引導件中也能夠由內槽42與外槽48夾持滾珠44。其結果，能夠抑制工作臺30的晃動。
[0384]另外，在本實施例的移動機構10中，工作臺30承受反作用力的位置為與成為旋轉的軸的圖中左側的滾珠引導件（滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙堵塞的一側的滾珠引導件）相比距圖中右側的滾珠引導件（內槽42與外槽48之間的間隔擴大的一側的滾珠引導件）遠的位置，從而產生較大的旋轉力矩。因此，即使對工作臺30施加重量等外力，工作臺30也難以產生晃動。
[0385]圖5是示意性地示出利用本實施例的移動機構10抑制工作臺30的晃動的說明圖。首先，使工作臺30相面對于支承體20移動，并以在規定位置（距起點200 μ m的位置）將工作臺30定位的方式對壓電馬達100進行控制。此時，在工作臺30通過了規定位置的情況下，使工作臺30朝相反方向移動，對到與規定位置之間的誤差在規定范圍（±3μπι)內所需的移動時間進行測量。反復進行上述的工作臺30的移動動作，在圖5的圖表中示出將移動時間和需要該移動時間的移動次數（頻率）的關系。圖中的實線表示由本實施例的移動機構10進行了移動動作的情況，圖中的點劃線作為比較例，表示由施力方向（將振動體110的凸部112朝受壓體50施力的方向）與移動面垂直的移動機構10進行了移動動作的情況。在施力方向相面對于移動面傾斜的本實施例的移動機構10中，通過抑制工作臺30的晃動，工作臺30的定位所需的移動時間的差異（偏差）與比較例相比變小。
[0386]以下，對上述的本實施例的移動機構10的變形例進行說明。此外，在對變形例進行說明時，對與上述的實施例相同的構成部分標注與之前說明的實施例相同的附圖標記，并省略對其詳細的說明。
[0387]圖6是示出第一變形例的移動機構10的結構的剖視圖。在第一變形例的移動機構10中，從支承體20的上表面（與工作臺30相面對的面）立設有導軌40，并從工作臺30的下表面（與支承體20相面對的面）垂設有從兩側夾著導軌40的一對軌道座46。而且，在形成于導軌40的兩側面的內槽42與形成于軌道座46的內壁面的外槽48之間插入有多個滾珠44，從而形成兩列滾珠引導件。此外，第一變形例的內槽42相當于本發明的“第一槽”，第一變形例的外槽48相當于本發明的“第二槽”。
[0388]另外，安裝于工作臺30的側面的壓電馬達100以使上端側（與設置有凸部112 —側相反的一側）朝與工作臺30相反的一側傾斜的方式進行固定，從而將振動體110的凸部112朝受壓體50施力的方向（施力方向）相面對于包含兩列滾珠引導件的移動面傾斜。此夕卜，受壓體50以上表面與施力方向正交的方式埋入支承體20。
[0389]工作臺30承受與振動體110的凸部112的施力方向相反方向的反作用力，在該反作用力中包含有與移動面平行的圖中右方向的分量和與移動面垂直的圖中上方向的分量。而且，通過與移動面平行的反作用力，兩列滾珠引導件中的、距壓電馬達100較遠的一側（圖中左側）的滾珠引導件的滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙堵塞，并且通過與移動面垂直的反作用力，產生以圖中左側的滾珠引導件為軸使工作臺30朝向上方旋轉的力矩，從而即便在距壓電馬達100較近的一側（圖中右側）的滾珠引導件中也由內槽42的上端側與外槽48的下端側夾持滾珠44。其結果，能夠抑制工作臺30的晃動。
[0390]另外，第一變形例的工作臺30的上表面（與和支承體20相面對的面相反的一側的面）以在工作臺30通過旋轉力矩旋轉后的狀態下與支承體20成為平行的方式，使工作臺30的上表面相面對于工作臺30的下表面傾斜其所旋轉的量。由此，能夠保持載置于工作臺30的上表面的載置物的水平。
[0391]圖7是示出第二變形例的移動機構10的結構的剖視圖。在前述的實施例中，將壓電馬達100固定于工作臺30側，并將振動體110的凸部112朝支承體20側施力，與此相面對，在第二變形例的移動機構10中，構成為將壓電馬達100固定于支承體20側，并將振動體110的凸部112朝工作臺30側施力。
[0392]如圖7所示，第二變形例的壓電馬達100安裝于從支承體20的上表面（與工作臺30相面對的面）立設的支柱22，并將上端側（與設置有凸部112的一側相反的一側）傾斜地固定于與工作臺30相反的一側。而且，內置于壓電馬達100的振動體110通過施力彈簧120的作用力，而將凸部112朝工作臺30的上表面（與和支承體20相面對的面相反的一側的面）施力，該施力的方向（施力方向）相面對于移動面傾斜。此外，在工作臺30的上表面的凸部112所被施力的位置形成有與施力方向正交的受壓面32。
[0393]這樣，第二變形例的工作臺30直接承受振動體110的凸部112的作用力。在該作用力中包含有與移動面平行的圖中左方向的分量和與移動面垂直的圖中下方向的分量。而且，通過與移動面平行的力，兩列滾珠引導件中的、距壓電馬達100較遠的一側（圖中左側）的滾珠弓I導件的滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙堵塞，通過與移動面垂直的力產生以圖中左側的滾珠引導件為軸使工作臺30向下方旋轉的力矩，即便在距壓電馬達100較近的一側（圖中右側）的滾珠引導件中，也由內槽42與外槽48夾持滾珠44。其結果，能夠抑制工作臺30的晃動。
[0394]圖8是示出第三變形例的移動機構10的結構的剖視圖。在前述的實施例中，在支承體20的上方設置工作臺30，與此相面對，在第三變形例的移動機構10中，構成為在支承體20的下方設置工作臺30。
[0395]圖8 (a)中示出了使實施例的移動機構10 (參照圖4)的上下反轉，并將工作臺30吊掛于支承體20的狀態。安裝于工作臺30的側面的壓電馬達100以使下端側（與設置有凸部112 —側相反的一側）朝工作臺30側傾斜的方式進行固定，從而將振動體110的凸部112朝受壓體50施力的方向（施力方向）相面對于包含兩列滾珠引導件的移動面傾斜。工作臺30承受與振動體110的凸部112的施力方向相反方向的反作用力，在該反作用力中包含有與移動面平行的圖中左方向的分量和與移動面垂直的圖中下方向的分量。而且，通過與移動面平行的力，兩列滾珠引導件中的、距壓電馬達100較遠的一側（圖中左側）的滾珠引導件的滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙堵塞，并且通過與移動面垂直的力產生以圖中左側的滾珠引導件為軸使工作臺30朝向下方旋轉的力矩，即便在距壓電馬達100較近的一側（圖中右側）的滾珠引導件中，也由內槽42與外槽48夾持滾珠44。其結果，能夠抑制工作臺30的晃動。
[0396]另外，如圖8(a)那樣，在將工作臺30吊掛于支承體20的結構中，因為將工作臺30的負載附加于旋轉力矩，并作用于由內槽42與外槽48強力夾持滾珠44的方向，所以在抑制工作臺30的晃動的方面優選。
[0397]圖8(b)示出了作為圖8(a)的其他例，將壓電馬達100固定于支承體2(H則，并將振動體110的凸部112朝工作臺30側施力的結構。安裝于支承體20的側面的壓電馬達100以使上端側（與設置有凸部112的一側相反的一側）朝向與支承體20相反的一側傾斜的方式進行固定，從而振動體110的凸部朝埋入工作臺30的上表面（與支承體20相面對的面)的受壓體50施力的方向（施力方向)相面對于移動面傾斜。工作臺30承受振動體110的凸部112的作用力，在該作用力中包含有與移動面平行的圖中左方向的分量和與移動面垂直的圖中下方向的分量。而且，通過與移動面平行的力，兩列滾珠引導件中的、距壓電馬達100較遠的一側（圖中左側)的滾珠引導件的滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙堵塞，并且通過與移動面垂直的力產生以圖中左側的滾珠引導件為軸使工作臺30向下方旋轉的力矩，即便在距壓電馬達100較近的一側（圖中右側）的滾珠引導件中，也由內槽42與外槽48夾持滾珠44。其結果，能夠抑制工作臺30的晃動。
[0398]圖9是示出第四變形例的移動機構10的結構的剖視圖。在前述的實施例中，將振動體110的凸部112相面對于移動面傾斜地施力，與此相面對，在第四變形例的移動機構10中，構成為將振動體110的凸部112與移動面平行地對該移動面施力。
[0399]圖9(a)示出了將壓電馬達100固定于支承體2(H則，并將振動體110的凸部112朝工作臺30側施力的結構。壓電馬達100安裝于從支承體20的上表面（與工作臺30相面對的面）立設的支柱22，并以使振動體110的長邊方向（伸縮方向）與移動面平行的方式進行固定。振動體110通過施力彈簧120的作用力而凸部112被朝工作臺30的側面施力，該施力的方向（施力方向）與移動面平行。
[0400]工作臺30直接承受振動體110的凸部112的作用力，該作用力不包含與移動面垂直的分量，僅為與移動面平行的圖中左方向的分量。工作臺30承受與移動面平行的作用力，從而兩列滾珠引導件中的、距壓電馬達100較近的一側（圖中右側）的滾珠引導件中，滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙堵塞。另外，工作臺30雖然不承受與移動面垂直的作用力，但是在與移動面分離的上方的位置承受與移動面平行的作用力，從而產生以圖中右側的滾珠引導件為軸使工作臺30向下方旋轉的力矩，從而即便在距壓電馬達100較遠的一側（圖中左側）的滾珠引導件中，也由內槽42與外槽48夾持滾珠44。其結果，能夠抑制工作臺30的晃動。
[0401]圖9(b)示出了作為圖9(a)的其他例，在將工作臺30吊掛于支承體20的狀態下，將壓電馬達100固定于工作臺30側，并將振動體110的凸部112朝支承體20側施力的結構。壓電馬達100安裝于工作臺30的下表面（與和支承體20相面對的面相反的一側的面）。另外，從支承體20的下表面（與工作臺30相面對的面）垂設有縱壁24，振動體110通過施力彈簧120的作用力而凸部112被朝縱壁24施力。工作臺30在與移動面分離的下方的位置，承受與移動面平行的圖中左方向的反作用力。由此，兩列滾珠引導件中的、距壓電馬達100較近的一側（圖中右側）的滾珠引導件的滾珠44與內槽42以及外槽48之間的游隙堵塞，并且產生以圖中右側的滾珠引導件為軸使工作臺30向上方旋轉的力矩，從而即便在距壓電馬達100較遠的一側（圖中左側）的滾珠引導件中，也由內槽42與外槽48夾持滾珠44。其結果，能夠抑制工作臺30的晃動。
[0402]圖10是示出第五變形例的移動機構10的結構的說明圖。圖10(a)利用立體圖示出了外觀形狀，圖10(b)利用剖視圖示出了內部構造。在前述的實施例中，使工作臺30相面對于支承體20直線移動（移動方向為直線方向），與此相面對，在第五變形例的移動機構10中，構成為使工作臺30相面對于支承體20旋轉移動。
[0403]如圖10(a)所示那樣，第五變形例的工作臺30形成為圓板形狀，并設置于支承體20的上方。另外，壓電馬達100安裝于從支承體20的上表面（與工作臺30相面對的面）立設的支柱22，內置于壓電馬達100的振動體110通過施力彈簧120的作用力而凸部112被朝工作臺30的上表面（與和支承體20相面對的面相反的一側的面)施力。
[0404]如圖10 (b)所示那樣，從工作臺30的下表面（與支承體20相面對的面）垂設有圓柱形狀的導軸60，在導軸60的外周面形成有截面為V字型的內槽62 (第二槽）。另一方面，在支承體20的上表面（與工作臺30相面對的面）立設有供導軸60插通的圓筒形狀的軸承66，在軸承66的內周面形成有與導軸60的內槽62相面對的截面為V字型的外槽68(第一槽）。在導軸60的內槽62與軸承66的外槽68之間插入有多個滾珠44，這些多個滾珠44在支承體20與工作臺30之間形成環狀的滾珠引導件。滾珠44沿內槽62以及外槽68滾動，從而工作臺30相面對于支承體20順暢地旋轉移動。
[0405]安裝于支承體20側的支柱22的壓電馬達100以使上端側（與設定有凸部112 —側相反的一側）朝與工作臺30相反的一側傾斜的方式進行固定，從而將振動體110的凸部112朝工作臺30的上表面施力的方向（施力方向）相面對于包含環狀的滾珠引導件的移動面傾斜。此外，在工作臺30的上表面的凸部112所被施力的位置形成有與施力方向正交的受壓面34。
[0406]工作臺30直接承受振動體110的凸部112的作用力，在該作用力中包含有與移動面平行的圖中右方向的分量和與移動面垂直的圖中下方向的分量。在環狀的滾珠弓I導件中的、距壓電馬達100較遠的一側（圖中右側）的部分中，通過與移動面平行的力，滾珠44與內槽62以及外槽68之間的游隙堵塞。另外，在環狀的滾珠引導件中的距壓電馬達100較近的一側（圖中左側）的部分中，雖然內槽62與外槽68之間的間隔寬廣，但是通過與移動面垂直的力，產生以滾珠引導件的圖中右側的部分為軸使工作臺30向下方旋轉的力矩，由內槽62的上端側與外槽68的下端側夾持滾珠44。其結果，能夠抑制工作臺30的晃動。
[0407]上述的本實施例的移動機構10或者變形例的移動機構10，因為能夠抑制工作臺30的晃動并使工作臺30高精度地移動，所以能夠作為以下那樣的裝置的移動機構而適當地組入。[0408]圖11是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構10的機器人手200的說明圖。圖示的機器人手200從基體202立設有多個指部203，并經由手腕204與手臂210連接。此處，指部203的根部的部分在基體202內能夠移動，并在該指部203的根部的部分以固定工作臺30的狀態搭載有直線式的移動機構10。因此，通過使移動機構10動作（使工作臺30移動），能夠使指部203移動來把持對象物。另外，在手腕204的部分搭載有第五變形例的旋轉式的移動機構。因此，通過使移動機構10動作，能夠使基體202整體旋轉。
[0409]圖12是例示了具備機器人手200 (手部）的單臂機器人250的說明圖。如圖所示，機器人250具有手臂210 (臂部），該手臂210 (臂部）具備多個連桿部212 (連桿部件）和以能夠在上述連桿部212之間彎曲的狀態連接的關節部220。另外，機器人手200與手臂210的前端連接。而且，在關節部220內置有第五變形例的旋轉式的移動機構10。因此，通過使移動機構10動作，能夠使各自的關節部220彎曲（轉動）任意的角度。
[0410]圖13是例示了具備機器人手200的多臂機器人260的說明圖。如圖所示，機器人260具有多個（在圖示的例中為兩個）手臂210，該手臂210具備多個連桿部212和以能夠在上述連桿部212之間彎曲的狀態連接的關節部220。在手臂210的前端連接有機器人手200、工具201 (手部）。另外，在頭部262搭載有多臺照相機263，在主體部264的內部搭載有對整體的動作進行控制的控制部266。且能夠通過設置于主體部264的底面的腳輪268進行輸送。對于該機器人260而言，也在關節部220內置有第五變形例的旋轉式的移動機構10。因此，通過使移動機構10動作，能夠使各自的關節部220彎曲（轉動）任意的角度。
[0411]圖14是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構10而構成的電子部件檢查裝置300的立體圖。圖示的電子部件檢查裝置300大致具備基體310和立設于基體310的側面的支承體330。在基體310的上表面設置有載置并輸送檢查對象的電子部件I的上游側載臺312u和載置并輸送檢查完畢的電子部件I的下游側載臺312d。另外，在上游側載臺312u與下游側載臺312d之間設置有用于確認電子部件I的姿勢的攝像裝置314和為了檢查電氣特性而供電子部件I放置的檢查體316 (檢查部）。另外，作為電子部件I的代表性部件，能夠例舉有“半導體”、“半導體晶片”、“CLD、OLED(Organic Light-EmittingDiode :有機發光二極管）等顯示元件”、“水晶元件”、“各種傳感器”、“噴墨頭”、“各種MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems :微機電系統）兀件”等。
[0412]另外，在支承體330以能夠沿與基體310的上游側載臺312u以及下游側載臺312d平行的方向（Y方向）移動的方式設置有Y載臺332，從Y載臺332沿朝向基體310的方向(X方向）延伸配置有臂部334。另外，在臂部334的側面以能夠沿X方向移動的方式設置有X載臺336。而且，在X載臺336設置有攝像照相機338、和內置了能夠沿上下方向（Z方向）移動的Z載臺的把持裝置350。另外，在把持裝置350的前端設置有把持電子部件I的把持部352。且在基體310的前面側也設置有對電子部件檢查裝置300的整體的動作進行控制的控制裝置318。另外，在本實施例中，設置于支承體330的Y載臺332、臂部334、X載臺336、把持裝置350與本發明的“電子部件輸送裝置”對應。
[0413]具有以上那樣的結構的電子部件檢查裝置300以如下方式對電子部件I進行檢查。首先，將作為檢查對象的電子部件I載置于上游側載臺312u，并使上游側載臺312u移動至檢查體316的附近。接下來，使Y載臺332以及X載臺336移動，使把持裝置350移動至載置于上游側載臺312u的電子部件I的正上方的位置。此時，能夠使用攝像照相機338確認電子部件I的位置。然后，若使用內置于把持裝置350內的Z載臺使把持裝置350下降，并利用把持部352把持電子部件I，則使把持裝置350保持原樣地移動至拍攝裝置314的上方，使用拍攝裝置314確認電子部件I的姿勢。接著，使用內置于把持裝置350的微調機構調整電子部件I的姿勢。然后，在使把持裝置350移動至檢查體316的上方后，使內置于把持裝置350的Z載臺移動從而將電子部件I放置在檢查體316的上方。因為使用把持裝置350內的微調機構來調整電子部件I的姿勢，所以能夠將電子部件I放置在檢查體316的正確的位置。然后，若使用檢查體316對電子部件I的電氣特性的檢查結束，則再次在這次從檢查體316提起電子部件I后，使Y載臺332以及X載臺336移動，并使把持裝置350移動至下游側載臺312d的上方，從而將電子部件I載置于下游側載臺312d。然后，使下游側載臺312d移動，將檢查結束的電子部件I輸送至規定位置。
[0414]圖15是對內置于把持裝置350的微調機構進行說明的說明圖。如圖所示，在把持裝置350內設置有與把持部352連接的旋轉軸354、供旋轉軸354以能夠旋轉的方式進行安裝的微調板356等。另外，微調板356能夠一邊由未圖示的引導機構引導一邊沿X方向以及Y方向移動。
[0415]此處，如圖15中帶斜線所示的那樣，在旋轉軸354搭載有第五變形例的旋轉式的移動機構10 Θ。因此，通過使移動機構10 Θ動作，能夠使旋轉軸354 (以及把持部352)朝Θ方向高精度地旋轉任意的角度。另外，在微調板356設置有X方向用的直線式的移動機構IOx和Y方向用的直線式的移動機構10y，并將各自的工作臺30固定于微調板356的表面。因此，通過使移動機構IOx動作，能夠使微調板356 (以及把持部352)沿X方向高精度地移動任意的距離，同樣地，通過使移動機構IOy動作，能夠使微調板356(以及把持部352)沿Y方向高精度地移動任意的距離。因此，圖14的電子部件檢查裝置300通過使移動機構
10Θ、移動機構10x、移動機構IOy動作，能夠對利用把持部352把持的電子部件I的姿勢進行微調。
[0416]圖16是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構10而構成的供液泵400的說明圖。圖16 (a)示出了俯視觀察供液泵400的俯視圖，圖16 (b)示出了側視觀察供液泵400的剖視圖。如圖所示，供液泵400在矩形形狀的殼體402內以能夠旋轉的方式設置有圓板形狀的轉子404，在殼體402與轉子404之間夾持有供藥液等液體在內部流通的管406。另外，管406的一部分被設置于轉子404的滾珠408(閉塞部）壓扁而成為閉塞的狀態。因此若轉子404旋轉，則因為滾珠408壓扁管406的位置移動，所以輸送管406的液體。而且，若在轉子404以同軸固定工作臺30的狀態設置第五變形例的旋轉式的移動機構10，則通過使移動機構10動作，能夠使轉子404旋轉。這樣一來，能夠高精度地輸送極少的量的液體。
[0417]圖17是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構10的打印裝置500的立體圖。圖示的打印裝置500是向打印介質2的表面噴射墨水來打印圖像的所謂的噴墨打印機。另外，打印裝置500所打印的“圖像”包含文字、圖形、繪畫、花樣、照片映像等。打印裝置500為大致箱形的外觀形狀，并在前表面的大致中央設置有排紙托盤501、排出口 502、多個操作按鈕505。另外，在背面側設置有供給托盤503。若將打印介質2放置在供給托盤503并操作操作按鈕505，則打印介質2被從供給托盤503吸入，在打印裝置500的內部向打印介質2的表面打印圖像后，被從排出口 502排出。
[0418]在打印裝置500的內部設置有在打印介質2上沿主掃描方向往復移動的打印頭520、和對打印頭520朝主掃描方向的移動進行引導的導軌510。另外，圖示的打印頭520由向打印介質2上噴射墨水的印字部522、用于使打印頭520沿主掃描方向掃描的掃描部524等構成。在印字部522的底面側（朝向打印介質2的一側）設置有多個噴射噴嘴，從而能夠從噴射噴嘴向打印介質2噴射墨水。另外，在掃描部524搭載有直線式的移動機構10m、IOs0因此，通過使移動機構IOm動作，能夠使打印頭520沿主掃描方向移動。另外，通過使移動機構IOs動作，能夠使印字部522的底面側靠近打印介質2或者遠離打印介質2。另夕卜，在打印裝置500也搭載有用于切斷卷紙504的切斷機構530。切斷機構530具備在前端搭載了用紙刀具536的刀具支架534，和貫通刀具支架534并沿主掃描方向延伸配置的導軸532。在刀具支架534內搭載有直線式的移動機構10c，若使移動機構IOc動作則刀具支架534沿導軸532在主掃描方向上移動，從而用紙刀具536切斷卷紙504。另外，為了輸送打印介質2，也能夠使用移動機構10。
[0419]圖18是例示了組入本實施例的移動機構10的電子表600的內部構造的說明圖。圖18不出了從電子表600的與時刻顯不側相反的一側（里蓋側）觀察電子表600的俯視圖。在圖18例示的電子表600的內部具備：圓板形狀的旋轉圓板602 ;將旋轉圓板602的旋轉傳遞至顯示時刻的指針（省略圖示）的齒輪系604;使旋轉圓板602旋轉移動的移動機構10 ;電力供給部606 ;水晶芯片608 ;以及IC (集成電路）610。另外，電力供給部606、水晶芯片608、IC610搭載于未圖示的電路基板。齒輪系604由多個包含未圖示的棘爪的齒輪構成，并排列為使鄰接的齒輪彼此的齒嚙合，從而依次傳遞旋轉。另外，為了避免圖示變得繁瑣，在圖18中，利用細點劃線示出連結齒輪的齒頂的線，利用粗實線示出連結齒輪的齒根的線。因此，粗實線以及細點劃線的雙重的圓形表示齒輪。另外，表示齒頂的細點劃線部未顯示整周，而僅顯示與其他的齒輪嚙合的部分的周邊。
[0420]在旋轉圓板602同軸地設置有較小的齒輪602g，該齒輪602g與齒輪系604嚙合。因此旋轉圓板602的旋轉以規定的比率被減速并且傳遞至齒輪系604。而且，該齒輪的旋轉傳遞至顯示時刻的指針而顯示時刻。而且，若在旋轉圓板602以同軸固定工作臺30的狀態設置第五變形例的旋轉式的移動機構10，則通過使移動機構10動作，能夠使旋轉圓板602旋轉。
[0421]圖19是例示了組入本實施例或者是變形例的移動機構10的投影裝置700的說明圖。如圖所示，投影裝置700具備包含光學透鏡的投影部702，通過投影來自內置的光源(省略圖示）的光來顯示圖像。而且，也可以在用于使投影部702所包含的光學透鏡的焦點一致的調整機構704使用本實施例或者是變形例的移動機構10。因為移動機構10的定位的分辨率高，所以能夠使光學透鏡移動來進行微細的對焦。另外，在不投影來自光源的光的期間，通過利用透鏡罩706覆蓋投影部702的光學透鏡，能夠防止損傷光學透鏡。為了對該透鏡罩706進行開閉也能夠使用本實施例或者是變形例的移動機構10。
[0422]以上，雖對本發明的移動機構、搭載了移動機構的各種裝置進行了說明，但是本發明并不限定于上述的實施例、變形例、應用例，在不脫離其主旨的范圍內能夠以各種的方式進行實施。
[0423]例如，在前述的實施例中，內槽42以及外槽48的剖面形狀形成為V字型。但是，內槽42以及外槽48的剖面形狀并不限定于此，只要是以能夠滾動的方式夾持有滾珠44等滾動體的形狀即可。例如，也可以為半圓形狀。在使用相同大小的滾珠44的情況下，若是半圓形狀的槽，則與V字型的槽相比槽的深度可以很淺，因此能夠抑制形成槽的加工成本，另外，即便在形成的槽的深度有制約的情況下（例如，在難以確保導軌40的厚度的情況下），也能夠形成承接滾珠44的槽。
[0424]另外，在前述的實施例中，在內槽42外槽48之間插入有多個滾珠44作為滾動體。但是，只要是能夠在內槽42與外槽48之間滾動而使工作臺30順暢地移動的滾動體即可，并不限定于滾珠44。例如，也可以為沿內槽42以及外槽48使圓筒形的滾子交替地正交排列的相交叉輥。相交叉輥的滾子與槽線接觸，從而與使用滾珠44 (與槽點接觸）的情況相t匕，能夠承受高負載，因此若使用相交叉輥，則能夠提高移動機構10的剛性。
[0425]另外，在前述的實施例以及變形例中，支承體20與工作臺30的配置關系成為上下方向（鉛垂方向），但是并不限定于此，例如，也可以是左右方向（水平方向）。這樣，通過改變支承體20與工作臺30的配置關系，移動機構10的布局的自由度增加，因此即便在移動機構10的配置空間有制約的情況下、組合多個移動機構10的情況下也容易應對。
[0426]另外，在前述的實施例中，在支承體20與工作臺30之間設置有一組導軌40以及軌道座46，如圖20所示那樣，也可以設置兩組以上的導軌40以及軌道座46。在圖20所示的例中，在工作臺30的下表面（與支承體20相面對的面)與移動方向平行地設置有兩個導軌40，輸送兩個導軌40以在與移動方向正交的方向上分離的方式進行配置。另外，在支承體20的上表面（與工作臺30相面對的面）與移動方向平行地設置有兩個軌道座46，上述兩個軌道座46與工作臺30側的兩個引導軌道40對應。通過如上設置多組導軌40以及軌道座46，能夠減少施加于各組的負載，并且能夠提高移動機構10的剛性。
[0427]附圖標記說明：
[0428]I...電子部件；2. .打印介質；10...移動機構；20...支承體；22...支柱；24...縱壁；30...工作臺；32...受壓面；34...受壓面；40...導軌；42...內槽；44. · ·滾珠；46. · ·軌道座；48. · ·外槽；50. · ·受壓體；60. · ·導軸；62. --內槽；66. · ·軸承；68...外槽；100...壓電馬達；110...振動體；112...凸部；114...表面電極；120. · ·施力彈簧；200. · ·機器人手；201. · ·工具；202. · ·基體；203. · ·指部；204. · ·手腕；210...手臂；212·..連桿部；220·..關節部；250·..機器人；260·..機器人；262·..頭部；263. · ·照相機；264. · ·主體部；266. · ·控制部；268. · ·腳輪；300. · ·電子部件檢查裝置；310·..基體；312d...下游側載臺；312u...上游側載臺；314·..攝像裝置；316·..檢查體；318. · ·控制裝置；330. · ·支承體；334. · ·臂部；338. · ·攝像照相機；350. · ·把持裝置；352. · ·把持部；354. · ·旋轉軸；356. · ·微調板；400. · ·供液泵；402. · ·殼體；404. · ·轉子；406. · ·管；408. · ·滾珠；500. · ·打印裝置；501. · ·排紙托盤；502. · ·排出口 ；503. · ·供給托盤；505...操作按鈕；510...導軌；520...打印頭；522...印字部；524...掃描部；600. · ·電子表；602. · ·旋轉圓板；602g. · ·齒輪；604. · ·齒輪系；606. · ·電池；608. · ·水晶芯片；610. · · IC ；700. · ·投影裝置；702. · ·投影部；704. · ·調整機構；706. · ·透鏡罩。
【權利要求】
1.一種移動機構，其特征在于， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體所被施力的施力方向包含所述兩列移動軸的移動面傾斜。
2.一種移動機構，其特征在于， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體在與包含所述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力， 所述振動體所被施力的施力方向與所述移動面平行且與所述移動方向相交叉。
3.根據權利要求1或2所述的移動機構，其特征在于， 在所述支承體或者所述移動體中的任意一方的所述振動體所被施力的部分，以供所述振動體抵接的面與所述施力方向垂直的姿勢埋入有形成為大致長方體形狀的受壓體。
4.根據權利要求3所述的移動機構，其特征在于， 所述受壓體由硬度高于所述支承體或者所述移動體中的埋入有所述受壓體一側的材料形成。
5.一種機器人手，其特征在于， 所述機器人手具備: 多個指部; 基體，所述指部以能夠移動的方式立設于該基體；以及 移動機構，其使所述指部所述基體移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動，在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體所被施力的施力方向包含所述兩列移動軸的移動面傾斜。
6.一種機器人手，其特征在于， 所述機器人手具備: 多個指部; 基體，所述指部以能夠移動的方式立設于該基體；以及 移動機構，其使所述指部所述基體移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動 ； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體在與包含所述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力， 所述振動體所被施力的施力方向與所述移動面平行且與所述移動方向相交叉。
7.一種電子部件輸送裝置，其特征在于， 所述電子部件輸送裝置具備: 把持部，其把持電子部件；以及 移動機構，其使把持了所述電子部件的所述把持部移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設 置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體所被施力的施力方向包含所述兩列移動軸的移動面傾斜。
8.一種電子部件輸送裝置，其特征在于， 所述電子部件輸送裝置具備: 把持部，其把持電子部件；以及 移動機構，其使把持了所述電子部件的所述把持部移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動；移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體在與包含所述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力， 所述振動體所被施力的施力方向與所述移動面平行且與所述移動方向相交叉。
9.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 所述電子部件檢查裝置具備: 把持部，其把持電子部件； 移動機構，其使把持了所述電子部件的所述把持部移動；以及 檢查部，其對所述電子部件進行檢查， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的 位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體所被施力的施力方向包含所述兩列移動軸的移動面傾斜。
10.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 所述電子部件檢查裝置具備: 把持部，其把持電子部件； 移動機構，其使把持了所述電子部件的所述把持部移動；以及 檢查部，其對所述電子部件進行檢查， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構；移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在于所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體在與包含所述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力， 所述振動體所被施力的施力方向與所述移動面平行且與所述移動方向相交叉。
11. 一種供液泵，其特征在于， 所述供液泵具備: 管，其能夠供液體流動； 閉塞部，其與所述管抵接而對所述管進行閉塞；以及 移動機構，其使所述閉塞部移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體所被施力的施力方向包含所述兩列移動軸的移動面傾斜。
12.—種供液泵，其特征在于， 所述供液泵具備:管，其能夠供液體流動； 閉塞部，其與所述管抵接而對所述管進行閉塞；以及 移動機構，其使所述閉塞部移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體在與包含所述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力， 所述振動體所被施力的施力方向與所述移動面平行且與所述移動方向相交叉。
13.一種打印裝置，其特征在于， 所述打印裝置具備: 打印頭，其向介質打印圖像；以及 移動機構，其使所述打印頭移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行； 以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反， 所述振動體所被施力的施力方向包含所述兩列移動軸的移動面傾斜。
14.一種打印裝置，其特征在于， 所述打印裝置具備: 打印頭，其向介質打印圖像；以及 移動機構，其使所述打印頭移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承，` 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體在與包含所述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力， 所述振動體所被施力的施力方向與所述移動面平行且與所述移動方向相交叉。
15.一種投影裝置，其特征在于， 所述投影裝置具備: 光源，其產生光； 投影部，其包含光學透鏡，并投影所述光；以及 移動機構，其使所述光學透鏡移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體所被施力的施力方向包含所述兩列移動軸的移動面傾斜。
16.一種投影裝置，其特征在于， 所述投影裝置具備: 光源，其產生光； 投影部，其包含光學透鏡，并投影所述光；以及 移動機構，其使所述光學透鏡移動， 所述移動機構具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承所述移動機構； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體在與包含所述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力， 所述振動體所被施力的的施力方向與所述移動面平行且與所述移動方向相交叉。
17.—種輸送裝置，其特征在于， 所述輸送裝置具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承輸送裝置； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體所被施力的施力方向包含所述兩列移動軸的移動面傾斜。
18.—種輸送裝置，其特征在于， 所述輸送裝置具備: 支承體，其設置于規定的位置，并支承輸送裝置； 移動體，其所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其在所述支承體側設置有一對，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其在所述移動體側設置有一對，并形成為與所述第一槽相面對； 多個滾動體，所述多個滾動體設置于所述第一槽與所述第二槽之間，并伴隨著所述移動體的移動而滾動； 移動軸，其包含在所述第一槽與所述第二槽之間滾動的所述滾動體，并與所述移動方向平行；以及 振動體,其包含壓電材料而能夠產生振動,在向所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力的狀態下，被任意另一方支承， 所述移動軸在與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉的方向上以分離的方式設置有兩列， 所述第一槽和所述第二槽相面對的方向，與所述支承體和所述移動體相面對的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置關系在所述兩列移動軸的一方和另一方相反，所述振動體在與包含所述兩列移動軸的移動面分離的位置被朝所述支承體或者所述移動體中的任意一方施力， 所述振動體所被施力的施力方向與所述移動面平行且與所述移動方向相交叉。
19.一種移動機構，其特征在于， 所述移動機構具備: 支承體，其支承能夠移動的機構； 移動體，其配置為能夠所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其設置于所述支承體，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其設置于所述移動體，形成為與所述移動方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置；以及 振動體，其配置于所述支承體并被施力而能夠對所述移動體進行按壓，或者配置于所述移動體并被施力而能夠對所述支承體進行按壓， 所述第一槽和所述第二槽對置的方向與所述支承體和所述移動體對置的方向相交叉，所述振動體所被施力的施力方向與所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動體對置的方向相交叉。
20.一種移動機構，其特征在于，所述移動機構具備: 支承體，其支承能夠移動的機構； 移動體，其配置為能夠所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其設置于所述支承體，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其設置于所述移動體，形成為與所述移動方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置；以及 振動體，其配置于所述支承體并被施力而能夠對所述移動體進行按壓，或者配置于所述移動體并被施力而能夠對所述支承體進行按壓， 所述振動體所被施力的施力方向與包含所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動體對置的方向的面平行， 所述振動體的對所述支承體或者所述移動體進行所述按壓的部分與所述面分離。
21.一種機器人手，其特征在于， 所述機器人手具備: 指部; 基體，所述指部以能夠移動的方式立設于該基體， 支承體，其支承能夠移動的機構； 移動體，其具備所述基體，并配置為能夠所述支承體沿規定的移動方向移動， 第一槽，其設置于所述支承體，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其設置于所述移動體，形成為與所述移動方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置；以及 振動體，其配置于所述支承體并被施力而能夠對所述移動體進行按壓，或者配置于所述移動體并被施力而能夠對所述支承體進行按壓， 所述第一槽和所述第二槽對置的方向與所述支承體和所述移動體對置的方向相交叉，所述振動體所被施力的施力方向與所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動體對置的方向相交叉。
22.一種機器人手，其特征在于， 所述機器人手具備: 指部; 基體，所述指部以能夠移動的方式立設于該基體； 支承體，其支承能夠移動的機構； 移動體，其具備所述基體，并配置為能夠所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其設置于所述支承體，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其設置于所述移動體，形成為與所述移動方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置；以及 振動體，其配置于所述支承體并被施力而能夠對所述移動體進行按壓，或者配置于所述移動體并被施力而能夠對所述支承體進行按壓， 所述振動體所被施力的施力方向與包含所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動體對置的方向的面平行， 所述振動體的對所述支承體或者所 述移動體進行所述按壓的部分與所述面分離。
23.一種電子部件輸送裝置，其特征在于， 所述電子部件輸送裝置具備: 把持部， 其把持電子部件； 支承體，其支承能夠移動的機構； 移動體，其具備所述把持部，并配置為能夠所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其設置于所述支承體，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其設置于所述移動體，形成為與所述移動方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置；以及 振動體，其配置于所述支承體并被施力能夠對所述移動體進行按壓，或者配置于所述移動體并被施力而能夠對所述支承體進行按壓， 所述第一槽和所述第二槽對置的方向與所述支承體和所述移動體對置的方向相交叉，所述振動體所被施力的施力方向與所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動體對置的方向相交叉。
24.一種電子部件輸送裝置，其特征在于， 所述電子部件輸送裝置具備: 把持部，其把持電子部件； 支承體，其支承能夠移動的機構； 移動體，其具備所述把持部，并配置為能夠所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其設置于所述支承體，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其設置于所述移動體，形成為與所述移動方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置；以及 振動體，其配置于所述支承體并被施力而能夠對所述移動體進行按壓，或者配置于所述移動體并被施力而能夠對所述支承體進行按壓， 所述振動體所被施力的施力方向與包含所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動體對置的方向的面平行， 所述振動體的對所述支承體或者所述移動體進行所述按壓的部分與所述面分離。
25.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 所述電子部件檢查裝置具備: 把持部，其把持電子部件； 檢查部，其對所述電子部件進行檢查； 支承體，其支承能夠移動的機構； 移動體，其具備所述把持部，并配置為能夠所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其設置于所述支承體，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其設置于所述移動體，形成為與所述移動方向平行，并形成于在與所述第一槽對置的位置；以及 振動體，其配置于所述支承體并被施力而能夠對所述移動體進行按壓，或者配置于所述移動體并被施力而能夠對所述支承體進行按壓， 所述第一槽和所述第二槽對置的方向與所述支承體和所述移動體對置的方向相交叉， 所述振動體所被施力的施力方向與所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動體對置的方向相交叉。
26.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 所述電子部件檢查裝置具備: 把持部，其把持電子部件； 檢查部，其對所述電子部件進行檢查； 支承體，其支承能夠移動的機構； 移動體，其具備所述把持部，并配置為能夠所述支承體沿規定的移動方向移動； 第一槽，其設置于所述支承體，并形成為與所述移動方向平行； 第二槽，其設置于所述移動體，形成為與所述移動方向平行，并形成于與所述第一槽對置的位置；以及 振動體，其配置于所述支承體并被施力而能夠對所述移動體進行按壓，或者配置于所述移動體并被施力而能夠對所述支承體進行按壓，所述振動體所被施力的施力方向與包含所述第一槽和所述第二槽對置的方向以及所述支承體和所述移動體對置的方向的面平行， 所述振動體的對所述支承體或者所述移動體進行所述按壓的部分與所述面分離。
【文檔編號】G01R31/00GK103490663SQ201310232864
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年6月13日 優先權日:2012年6月12日
【發明者】宮澤修 申請人:精工愛普生株式會社