星型探針安裝角度檢測系統及方法
【專利摘要】一種星型探針安裝角度檢測系統及方法，應用于影像量測設備中，該影像量測設備包括星型探針、滑軌支架、水平工作平臺以及顯示設備。該方法包括步驟：將星型探針固定在垂直于水平工作平臺的滑軌支架上；在水平工作平臺上放置并固定一個標準球；控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第一根探針在標準球的表面量測出第一根探針對應的第一量測點；控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第二根探針在標準球的表面量測出第二至第五根探針對應的量測點；根據每一個量測點的坐標值計算出第一根探針與每一根探針的安裝角度偏差。實施本發明，能夠自動計算出星型探針的每一根探針的安裝角度偏差，以及找出每一根探針精確的實際安裝位置。
【專利說明】星型探針安裝角度檢測系統及方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種影像量測設備檢測系統及方法，特別是關于一種影像量測設備的星型探針安裝角度檢測系統及方法。
【背景技術】
[0002]星型探針系統有星型延長桿，通過選擇該星型延長桿可連接用戶選定的探針組(I?5根)，以豎直方向為第一根探針，從上而下方向向右的為第二根探針，按照逆時針方向分別為第三、四、五根探針，其它四根針分別和第一根的安裝角度都是垂直的。
[0003]為保證星型探針系統中的每一探針垂直，在安裝滑軌裝置時必須垂直于工作平面。檢查探針是否裝正，只需以第一根針為中心，第二根針必須保證與第一根針垂直，第三根針必須保證與第一根針垂直，其它幾根針依次類推。由于人工安裝探針時會存在一定的誤差，然而，硬件工程師在安裝星型探針系統時，用肉眼是無法識別探針裝置是否垂直于工作平面。
【發明內容】
[0004]鑒于以上內容，有必要提供一種星型探針安裝角度檢測系統及方法，能夠自動計算出星型探針的每一根探針的安裝角度偏差，以及找出每一根探針精確的實際安裝位置。
[0005]所述的星型探針安裝角度檢測系統，安裝并運行于影像量測設備中，該影像量測設備包括星型探針、滑軌支架、水平工作平臺以及顯示設備。所述的星型探針安裝角度檢測系統包括:探針定位模塊，用于將星型探針固定在垂直于水平工作平臺的滑軌支架上，以及在水平工作平臺上放置并固定一個標準球；探針量測模塊，用于控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第一根探針在標準球的上頂端表面量測出第一根探針對應的第一量測點，以及控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第二根探針在標準球的左頂端表面量測出第二根探針對應的第二量測點；角度計算模塊，用于以第一量測點為原點在水平面上建立XY坐標系，并將第二量測點投影到XY坐標系上，根據第二量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第二根探針的第一安裝角度偏差，以及判斷第一安裝角度偏差是否為零；信息顯示模塊，用于當第一安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第二根探針之間的安裝角度準確，當第一安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第二根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第一安裝角度偏差。
[0006]所述的星型探針安裝角度檢測方法，應用于影像量測設備中，該影像量測設備包括星型探針、滑軌支架、水平工作平臺以及顯示設備。該方法包括步驟:將星型探針固定在垂直于水平工作平臺的滑軌支架上；在水平工作平臺上放置并固定一個標準球；控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第一根探針在標準球的上頂端表面量測出第一根探針對應的第一量測點；控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第二根探針在標準球的左頂端表面量測出第二根探針對應的第二量測點；以第一量測點為原點在水平面上建立XY坐標系，并將第二量測點投影到XY坐標系上；根據第二量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第二根探針的第一安裝角度偏差；判斷第一安裝角度偏差是否為零；當第一安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第二根探針之間的安裝角度準確；當第一安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第二根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第一安裝角度偏差。
[0007]相較于現有技術，本發明所述的星型探針安裝角度檢測系統及方法，能夠能夠自動計算出星型探針的每一根星型探針的安裝角度偏差，以及找出每一根探針精確的實際安裝位置，而且精度高、速度快，從而保證了使用星型探針測量時的準確性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0008]圖1是本發明星型探針安裝角度檢測系統較佳實施例的架構圖。
[0009]圖2是本發明星型探針之第一根探針與第二根探針的安裝角度檢測方法較佳實施例的流程圖。
[0010]圖3是本發明星型探針之第一根探針與第三根探針的安裝角度檢測方法較佳實施例的流程圖。
[0011]圖4是本發明星型探針之第一根探針與第四根探針的安裝角度檢測方法較佳實施例的流程圖。
[0012]圖5是本發明星型探針之第一根探針與第五根探針的安裝角度檢測方法較佳實施例的流程圖。
[0013]圖6是利用星型探針的五根探針在標準球表面量測出對應量測點的示意圖。
[0014]圖7是每一根探針對應的量測點在XY坐標系上的坐標示意圖。
[0015]主要元件符號說明
[0016]影像量測設備I
[0017]星型探針安裝角度檢測系統10
[0018]探針定位模塊101
[0019]探針量測模塊102
[0020]角度計算模塊103
[0021]信息顯示模塊104
[0022]星型探針11
[0023]滑軌支架12
[0024]水平工作平臺13
[0025]存儲設備14
[0026]處理器15
[0027]顯示設備16
[0028]標準球20
【具體實施方式】
[0029]如圖1所示，是本發明星型探針安裝角度檢測系統10較佳實施例的架構圖。在本實施例中，所述的星型探針安裝角度檢測系統10安裝并運行于影像量測設備I中，用于自動計算出星型探針11的每一根探針的安裝角度偏差，并根據角度偏差找出每一根探針精確的實際安裝位置。所述的影像量測設備I包括星型探針11、滑軌支架12、水平工作平臺13、存儲設備14、處理器15以及顯示設備16。
[0030]所述的星型探針11包括一個由五根探針組成的探針組，通過星型延長桿連接每一根探針。參考圖6所示，星型探針11包括:豎直方向的為第一根探針，從左而右方向且向右的為第二根探針，按照逆時針方向分別為第三、四、五根探針。當星型探針11的每一根都安裝正常時，第二至五根探針分別和第一根探針的角度都是垂直的。
[0031]所述的滑軌支架12用于使星型探針11垂直固定在水平工作平臺13的水平上，該水平工作平臺13還用于放置一個作為校準星型探針11的標準球20。星型探針11可以在滑軌支架12上沿任意方向滑動，從而使每一根探針均能接觸待測物體(例如標準球20)的表面便于量測。
[0032]在本實施例中，所述的星型探針安裝角度檢測系統10包括探針定位模塊101、探針量測模塊102、角度計算模塊103以及信息顯示模塊104。本發明所稱的功能模塊是指一種能夠被影像量測設備I的處理器15所執行并且能夠完成固定功能的一系列程序指令段，其存儲在影像量測設備11的存儲設備14中。關于各功能模塊101-104將于下圖2-5的流程圖中作具體描述。
[0033]參考圖2所示，是本發明星型探針之第一根探針與第二根探針的安裝角度檢測方法較佳實施例的流程圖。在本實施例中，該方法能夠自動計算出星型探針11的第一根探針與第二根探針的安裝角度偏差，并根據角度偏差找出第二根探針探針精確的實際安裝位置。
[0034]步驟S21，探針定位模塊101將星型探針11固定在垂直于水平工作平臺13的滑軌支架12上。參考圖6所示，星型探針11包括一個由五根探針(第一根探針至第五根探針)組成的探針組，滑軌支架12垂直固定在水平工作平臺13上，星型探針11固定在滑軌支架12上，從而使星型探針11的第一根探針垂直于水平面。
[0035]步驟S22，探針定位模塊101在水平工作平臺13上放置一個標準球20。參考圖6所示，使用者將標準球20放置并固定在水平工作平臺13上，以便利用該標準球20來計算出星型探針11的每一根探針的安裝角度偏差。
[0036]步驟S23，探針量測模塊102控制星型探針11在滑軌支架12上移動使第一根探針在標準球20的上頂端表面量測出第一根探針對應的第一量測點P1。參考圖6所示，使用者可以多次移動星型探針11使第一根探針的在標準球20的上頂端表面精確地量測出第一量測點P1。
[0037]步驟S24，探針量測模塊102控制星型探針11在滑軌支架12上移動使第二根探針在標準球的左頂端表面量測出第二根探針對應的第二量測點P2。參考圖6所示，使用者可以多次移動星型探針11使第二根探針的在標準球20的左頂端表面精確地量測出第二量測點P2。
[0038]步驟S25，角度計算模塊103以第一量測點Pl為原點在水平面上建立XY坐標系，并將第二量測點P2投影到XY坐標系上。參考圖7所示，XY坐標系的原點為第一量測點Pl(O，O )，水平方向為X軸，豎直方向為Y軸，第二量測點P2在XY坐標系中的坐標為P2 (X2，Y2)。[0039]步驟S26，角度計算模塊103根據第二量測點P2在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第二根探針的第一安裝角度偏差。參考圖7所示，線段P1P2與X軸之間的角度a=arctan ((Y2-Y1)/ (X2-X1 ))，角度計算模塊103以該角度α作為第一根探針與第二根探針的第一安裝角度偏差，例如a =-0.0224。
[0040]步驟S27，角度計算模塊103判斷第一安裝角度偏差是否為零。在本實施例中，假如第一根探針與第二根探針是安裝準確的，則第一根探針與第二根探針是相互垂直的，也就是說，第一根探針與第二根探針之間的安裝角度為O度。若第一安裝角度偏差為零，則流程執行步驟S28 ;若第一安裝角度偏差不為零，則流程執行步驟S29。
[0041]步驟S28，信息顯示模塊104在顯示設備16上顯示星型探針11的第一根探針與第二根探針之間的安裝角度準確。步驟S29，信息顯示模塊104在顯示設備16上顯示星型探針11的第一根探針與第二根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備16上顯示第一安裝角度偏差。
[0042]參考圖3所示，是本發明星型探針之第一根探針與第三根探針的安裝角度檢測方法較佳實施例的流程圖。在本實施例中，該方法能夠自動計算出星型探針11的第一根探針與第三根探針的安裝角度偏差，并根據該安裝角度偏差找出第三根探針精確的實際安裝位置。
[0043]步驟S34，探針量測模塊102控制星型探針11在滑軌支架12上移動使第三根探針在標準球的前頂端表面測出第三根探針對應的第三量測點P3。參考圖6所示，使用者可以多次移動星型探針11使第三根探針的在標準球20的左頂端表面量量精確地量測出第三量測點P3。
[0044]步驟S35，角度計算模塊103以第一量測點Pl為原點在水平面上建立XY坐標系，并將第三量測點P3投影到XY坐標系上。參考圖7所示，XY坐標系的原點為第一量測點Pl(0，0)，第三量測點P3在XY坐標系中的坐標為P3 (X3，Y3)。
[0045]步驟S36，角度計算模塊103根據第三量測點P2在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第三根探針的第二安裝角度偏差。參考圖7所示，線段P1P3與X軸之間的角度i3=arctan ((Y3-Y1)/ (X3-X1 ))，角度計算模塊103以該角度β作為第一根探針與第三根探針的第二安裝角度偏差，例如β=0.2528。
[0046]步驟S37，角度計算模塊103判斷第二安裝角度偏差是否為零。在本實施例中，假如第一根探針與第三根探針是安裝準確的，則第一根探針與第三根探針是相互垂直的，也就是說，第一根探針與第三根探針之間的安裝角度為O度。若第二安裝角度偏差為零，則流程執行步驟S38 ;若第二安裝角度偏差不為零，則流程執行步驟S39。
[0047]步驟S38，信息顯示模塊104在顯示設備16上顯示星型探針11的第一根探針與第三根探針之間的安裝角度準確。步驟S39，信息顯示模塊104在顯示設備16上顯示星型探針11的第一根探針與第三根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備16上顯示第二安裝角度偏差。
[0048]參考圖4所示，是本發明星型探針之第一根探針與第四根探針的安裝角度檢測方法較佳實施例的流程圖。在本實施例中，該方法能夠自動計算出星型探針11的第一根探針與第四根探針的安裝角度偏差，并根據角度偏差找出第四根探針探針精確的實際安裝位置。[0049]步驟S44，探針量測模塊102控制星型探針11在滑軌支架12上移動使第四根探針在標準球的右頂端表面測出第四根探針對應的第四量測點P4。參考圖6所示，使用者可以多次移動星型探針11使第三根探針的在標準球20的左頂端表面量量精確地量測出第四量測點P4。
[0050]步驟S45，角度計算模塊103將第四量測點P3投影到XY坐標系上。參考圖7所示，XY坐標系的原點為第一量測點Pl (0，0)，第四量測點P4在XY坐標系中的坐標為P4 (X4，Y4)。
[0051]步驟S46，角度計算模塊103根據第四量測點P4在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第四根探針的第三安裝角度偏差。參考圖7所示，線段P1P4與X軸之間的角度S=arctan ((Y4-Y1)/ (X4-X1 ))，角度計算模塊103以該角度δ作為第一根探針與第四根探針的第三安裝角度偏差，例如δ =0.0326。
[0052]步驟S47，角度計算模塊103判斷第三安裝角度偏差是否為零。在本實施例中，若第一根探針與第四根探針是安裝準確的，則第一根探針與第四根探針是相互垂直的，也就是說，第一根探針與第四根探針之間的安裝角度為O度。若第三安裝角度偏差為零，則流程執行步驟S48 ;若第三安裝角度偏差不為零，則流程執行步驟S49。
[0053]步驟S48，信息顯示模塊104在顯示設備16上顯示星型探針11的第一根探針與第四根探針之間的安裝角度準確。步驟S49，信息顯示模塊104在顯示設備16上顯示星型探針11的第一根探針與第四根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備16上顯示第三安裝角度偏差。
[0054]參考圖5所示，是本發明星型探針之第一根探針與第五根探針的安裝角度檢測方法較佳實施例的流程圖。在本實施例中，該方法能夠自動計算出星型探針11的第一根探針與第五根探針的安裝角度偏差，并根據角度偏差找出第五根探針探針精確的實際安裝位置。
[0055]步驟S54，探針量測模塊102控制星型探針11在滑軌支架12上移動使第五根探針在標準球的后頂端表面測出第五根探針對應的第五量測點Ρ5。參考圖6所示，使用者可以多次移動星型探針11使第五根探針的在標準球20的左頂端表面量量精確地量測出第五量測點Ρ5。
[0056]步驟S55，角度計算模塊103以第一量測點Pl為原點在水平面上建立XY坐標系，并將第五量測點Ρ3投影到XY坐標系上。參考圖7所示，XY坐標系的原點為第一量測點Pl(0,0),第五量測點Ρ5在XY坐標系中的坐標為Ρ5 (Χ5，Υ5)。
[0057]步驟S56，角度計算模塊103根據第五量測點Ρ5在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第五根探針的第四安裝角度偏差。參考圖7所示，線段Ρ1Ρ5與X軸之間的角度V=arctan ((Y5-Y1)/ (X5-X1 ))，角度計算模塊103以該角度Ψ作為第一根探針與第五根探針的第四安裝角度偏差，例如Ψ=_0.0305。
[0058]步驟S57，角度計算模塊103判斷第四安裝角度偏差是否為零。在本實施例中，若第一根探針與第五根探針是安裝準確的，則第一根探針與第五根探針是相互垂直的，也就是說，第一根探針與第五根探針之間的安裝角度為O度。若第四安裝角度偏差為零，則流程執行步驟S58 ;若第四安裝角度偏差不為零，則流程執行步驟S59。
[0059]步驟S58，信息顯示模塊104在顯示設備16上顯示星型探針11的第一根探針與第五根探針之間的安裝角度準確。步驟S59，信息顯示模塊104在顯示設備16上顯示星型探針11的第一根探針與第五根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備16上顯示第四安裝角度偏差。
[0060]以上實施例僅用以說明本發明的技術方案而非限制，盡管參照以上較佳實施例對本發明進行了詳細說明，本領域的普通技術人員應當理解，可以對本發明的技術方案進行修改或者等同替換都不應脫離本發明技術方案的精神和范圍。
【權利要求】
1.一種星型探針安裝角度檢測系統，安裝并運行于影像量測設備中，該影像量測設備包括星型探針、滑軌支架、水平工作平臺以及顯示設備，其特征在于，所述的星型探針安裝角度檢測系統包括: 探針定位模塊，用于將星型探針固定在垂直于水平工作平臺的滑軌支架上，以及在水平工作平臺上放置并固定一個標準球； 探針量測模塊，用于控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第一根探針在標準球的上頂端表面量測出第一根探針對應的第一量測點，以及控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第二根探針在標準球的左頂端表面量測出第二根探針對應的第二量測占.角度計算模塊，用于以第一量測點為原點在水平面上建立XY坐標系，并將第二量測點投影到XY坐標系上，根據第二量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第二根探針的第一安裝角度偏差，以及判斷第一安裝角度偏差是否為零；以及 信息顯示模塊，用于當第一安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第二根探針之間的安裝角度準確，當第一安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第二根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第一安裝角度偏差。
2.如權利要求1所述的星型探針安裝角度檢測系統，其特征在于: 所述的探針量測模塊還用于控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第三根探針在標準球的前頂端表面量測出第三根探針對應的第三量測點； 所述的角度計算模塊還用于將第三量測點投影到XY坐標系上，根據第三量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第三根探針的安裝角度偏差，以及判斷第二安裝角度偏差是否為零；以及 所述的信息顯示模塊還用于當第二安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第三根探針之間的安裝角度準確，當第二安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第三根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第二安裝角度偏差。
3.如權利要求1所述的星型探針安裝角度檢測系統，其特征在于: 所述的探針量測模塊還用于控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第四根探針在標準球的右頂端表面量測出第四根探針對應的第四量測點； 所述的角度計算模塊還用于將第四量測點投影到XY坐標系上，根據第四量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第四根探針的安裝角度偏差，以及判斷第三安裝角度偏差是否為零；以及 所述的信息顯示模塊還用于當第三安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第四根探針之間的安裝角度準確，當第三安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第四根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第三安裝角度偏差。
4.如權利要求1所述的星型探針安裝角度檢測系統，其特征在于: 所述的探針量測模塊還用于控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第五根探針在標準球的后頂端表面量測出第五根探針對應的第五量測點； 所述的角度計算模塊還用于將第五量測點投影到XY坐標系上，根據第五量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第四根探針的安裝角度偏差，以及判斷第四安裝角度偏差是否為零；以及 所述的信息顯示模塊還用于當第四安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第五根探針之間的安裝角度準確，當第四安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第五根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第四安裝角度偏差。
5.如權利要求1所述的星型探針安裝角度檢測系統，其特征在于，所述的星型探針由第一根探針至第五根探針組成的探針組，每一根探針通過星型延長桿相互連接，其中，以豎直方向的為第一根探針，從左而右方向且向右的為第二根探針，按照逆時針方向分別為第三、四、五根探針。
6.一種星型探針安裝角度檢測方法，應用于影像量測設備中，該影像量測設備包括星型探針、滑軌支架、水平工作平臺以及顯示設備，其特征在于，該方法包括步驟: 將星型探針固定在垂直于水平工作平臺的滑軌支架上； 在水平工作平臺上放置并固定一個標準球； 控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第一根探針在標準球的上頂端表面量測出第一根探針對應的第一量測點； 控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第二根探針在標準球的左頂端表面量測出第二根探針對應 的第二量測點； 以第一量測點為原點在水平面上建立XY坐標系，并將第二量測點投影到XY坐標系上； 根據第二量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第二根探針的第一安裝角度偏差； 判斷第一安裝角度偏差是否為零； 當第一安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第二根探針之間的安裝角度準確；以及 當第一安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第二根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第一安裝角度偏差。
7.如權利要求6所述的星型探針安裝角度檢測方法，其特征在于，該方法還包括步驟: 控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第三根探針在標準球的前頂端表面量測出第三根探針對應的第三量測點； 將第三量測點投影到XY坐標系上； 根據第三量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第三根探針的安裝角度偏差; 判斷第二安裝角度偏差是否為零； 當第二安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第三根探針之間的安裝角度準確；以及 當第二安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第三根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第二安裝角度偏差。
8.如權利要求6所述的星型探針安裝角度檢測方法，其特征在于，該方法還包括步驟:控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第四根探針在標準球的右頂端表面量測出第四根探針對應的第四量測點； 將第四量測點投影到XY坐標系上； 根據第四量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第四根探針的安裝角度偏差; 判斷第三安裝角度偏差是否為零； 當第三安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第四根探針之間的安裝角度準確；以及 當第三安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第四根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第三安裝角度偏差。
9.如權利要求6所述的星型探針安裝角度檢測方法，其特征在于，該方法還包括步驟: 控制星型探針在滑軌支架上移動使星型探針的第五根探針在標準球的后頂端表面量測出第五根探針對應的第五量測點； 將第五量測點投影到XY坐標系上； 根據第五量測點在XY坐標系上的坐標值計算出第一根探針與第四根探針的安裝角度偏差; 判斷第四安裝角度偏差是否為零； 當第四安裝角度偏差為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第五根探針之間的安裝角度準確；以及 當第四安裝角度偏差不為零時，在顯示設備上顯示第一根探針與第五根探針的實際安裝角度有誤差，并在顯示設備上顯示第四安裝角度偏差。
10.如權利要求6所述的星型探針安裝角度檢測方法，其特征在于，所述的星型探針由第一根探針至第五根探針組成的探針組，每一根探針通過星型延長桿相互連接，其中，以豎直方向的為第一根探針，從左而右方向且向右的為第二根探針，按照逆時針方向分別為第三、四、五根探針。
【文檔編號】G01B21/22GK104034300SQ201310072406
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2013年3月7日 優先權日:2013年3月7日
【發明者】張旨光, 袁忠奎, 徐玉華, 薛曉光, 劉東升, 余娜 申請人:鴻富錦精密工業（深圳）有限公司, 鴻海精密工業股份有限公司