專利名稱：外觀檢查裝置及外觀檢查方法
技術領域：
本發明涉及用于檢查在基板形成的圖案的缺陷的技術。
背景技術：
以往，在檢測在半導體晶片等基板上形成的電路圖案的缺陷的情況下，取得電路圖案的圖像，并根據與作為基準的參照圖像的比較，來進行提取出缺陷部分的外觀檢查。最近，為了高速地進行檢查處理，所提出的方案是已具有多個處理機部件的并行數據處理型的外觀檢查裝置(例如，專利文獻I)。
具體而言，在專利文獻I中所記載的外觀檢查裝置中，當對利用線性傳感器掃描拍攝得到的圖像進行分割時，整體控制用計算機設定用于對多個處理機部件分別分配所分割的圖像的條件。然后，圖像分配處理部根據分配條件分割上述圖像，并分別向處理機部件傳輸上述圖像。然后，各個處理機部件進行所規定的檢查處理，提取出電路圖案的缺陷。
并且，在專利文獻I中所記載的外觀檢查裝置中，根據處理機部件的處理能力或對應各個檢查算法的計算負荷，來調整要切割的圖像的范圍。因此，通過對各個處理機部件施加均等的負荷，來有效地運用處理機部件的處理能力。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本特開2011 - 028410號公報發明內容
近年，雖然對形成有功率器件、有機EL或LED等微小的管芯(die)(芯片)的基板進行檢查的要求越來越大，但是在專利文獻I中所記載的外觀檢查裝置中，在對形成有這種微小的管芯的基板進行了檢查的情況下，存在所分割的圖像的大小變得非常小的情況。這種情況下，在以往的外觀檢查裝置中，由于圖像傳輸次數龐大，在進行圖像數據的傳輸處理時發生的通信等開銷時間相對大于圖像數據本身的傳輸時間。因此，在上述開銷的影響下，存在傳輸效率大幅下降的危險。若傳輸效率下降，最終導致檢查時間延長，因而很難有效地進行檢查。
本發明的第一目的是，提供一種抑制圖像的傳輸效率的下降來有效地進行缺陷檢查的技術。
并且，在專利文獻I中所記載的外觀檢查裝置中，需要預先進行試驗性檢查，來調整對于各個處理機部件的負荷比率，以均衡地對多個處理機部件施加計算處理的負荷。并且，在增加處理機部件以縮短檢查時間的情況下，需要再次調整對于處理機部件的負荷比率，作業非常繁雜。
并且，在專利文獻I中所記載的外觀檢查裝置中，在開始檢查之前，所切割的圖像與用于處理圖像的處理機部件將結合。因此，根據所切割的圖像中包含的缺陷的大小或數量，還會存在處理時間發生變化的情況，導致施加于多個處理機部件的負荷失衡的可能性變高。
本發明的第二目的在于，提供不需要繁雜的作業也能夠有效地進行圖案的缺陷檢查的技術。
為了解決上述問題，在第一方案中，提供一種外觀檢查裝置，該外觀檢查裝置根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查裝置包括:圖像傳輸部，其用于將由拍攝部拍攝基板上的檢查對象區域而得到并保存在圖像保持存儲器的圖像數據，傳輸至多個圖像處理用存儲器；多個圖像處理部，在通過上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸的傳輸完畢的圖像數據中，對與各個處理對象區域相對應的圖像數據執行用于檢測缺陷的檢查處理；圖像處理控制部，其與上述圖像傳輸部的圖像傳輸動作相獨立地取得用于規定檢查內容的檢查任務，并且按照該檢查任務對多個上述圖像處理部進行控制。
并且，在第二方案中，在涉及第一方案的外觀檢查裝置中，上述圖像處理控制部判定在向上述圖像保持存儲器傳輸的上述傳輸完畢的圖像數據中是否含有上述圖像處理部要檢查的上述圖像數據，在不含有的情況下，使上述圖像處理部處于待機狀態，直到向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像處理部要檢查的圖像數據為止。
并且，在第三方案中，在涉及第一方案或第二方案的外觀檢查裝置中，在預先設定的數據量的上述圖像數據保存在上述圖像保持存儲器的情況下，上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像數據。
并且，在第四方案中，在涉及第三方案的外觀檢查裝置中，上述拍攝部包括線性傳感器；在通過上述拍攝部取得預先設定的線數的圖像數據并保存在上述圖像保持存儲器的情況下，上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像數據。
并且，在第五方案中，在涉及第一方案至第四方案中任一方案的外觀檢查裝置中，上述圖像處理部包括圖形處理單兀(Graphics Processing Unit, GPU)。
并且，在第六方案中，提供一種外觀檢查裝置，該外觀檢查裝置根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查裝置包括:檢查任務保持部，其用于保存用于規定檢查內容的多個檢查任務，多個圖像處理部，用于執行與缺陷檢測相關的圖像處理，圖像處理控制部，其按照上述檢查任務，分別控制多個上述圖像處理部；上述圖像處理控制部使多個上述圖像處理部按結束基于上述檢查任務的圖像處理的順序，依次按照保存在上述檢查任務保持部的下一個上述檢查任務來執行新的圖像處理。
并且，在第七方案中，在涉及第六方案的外觀檢查裝置中，還包括:圖像數據保持部，其用于保存由上述拍攝部拍攝得到的圖像數據，圖像處理用存儲器，其用于保存既是上述圖像處理部要執行圖像處理的圖像數據又是將上述拍攝部所拍攝的區域分割而成的分割區域的圖像數據的數據；上述圖像處理控制部判定在保存于上述圖像數據保持部的圖像數據中是否含有上述圖像處理部要處理的上述分割區域的圖像數據，在含有的情況下，向上述圖像處理用存儲器傳輸上述分割區域的圖像數據。
并且，在第八方案中，在涉及第六方案或第七方案的外觀檢查裝置中，上述拍攝部包括線性傳感器；在通過上述拍攝部取得預先設定的線數的圖像數據并保存在上述圖像保持存儲器的情況下，上述圖像處理控制部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像數據。
并且，在第九方案中，在涉及第六方案至第八方案中任一方案的外觀檢查裝置中，上述圖像處理部包括圖形處理單元(Graphics Processing Unit)。
并且，在第十方案中，提供一種外觀檢查方法，在該外觀檢查方法中，根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查方法包括:步驟a-Ι，將由拍攝部拍攝基板上的檢查對象區域而得到并保存在圖像保持存儲器的圖像數據，傳輸至多個圖像處理用存儲器，步驟b-Ι，在上述步驟a-Ι中向上述圖像處理用存儲器傳輸的傳輸完畢的圖像數據中，對與各個處理對象區域相對應的圖像數據執行用于檢測缺陷的檢查處理，步驟c-1，與上述步驟a-Ι相獨立地取得用于規定檢查內容的檢查任務；按照在步驟c-Ι取得的檢查任務執行上述步驟b-1。
并且，在第^^一方案中，提供一種外觀檢查方法，在該外觀檢查方法中，根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查方法包括:步驟a-2，用于保存用于規定檢查內容的多個檢查任務，步驟b-2，按照在上述步驟a-2保存的上述檢查任務，分別使多個圖像處理部分別執行與缺陷檢測相關的圖像處理；上述步驟b-2中，使上述多個圖像處理部按結束基于上述檢查任務的圖像處理的順序，依次按照保存在上述檢查任務保持部的下一個上述檢查任務來執行新的圖像處理。
根據涉及第一方案的外觀檢查裝置，由于單獨地進行由拍攝部拍攝而得到的圖像數據的傳輸及圖像處理部的檢查處理，因而能夠以高的傳輸效率從圖像保持存儲器向圖像處理用存儲器傳輸圖像數據。因此，能夠抑制伴隨圖像傳輸的開銷導致傳輸效率下降，能夠實現檢查的效率化。
根據涉及第二方案的外觀檢查裝置，可使圖像處理部處于待機狀態，直到傳輸圖像處理部要檢查的圖像數據為止。因此，能夠使準確地執行圖像處理部要檢查的圖像數據的檢查處理。
根據涉及第三方案的外觀檢查裝置，由于一次能夠傳輸比較大的數據量的圖像數據，能夠抑制傳輸效率下降。
根據 涉及第四方案的外觀檢查裝置，能夠基于線性傳感器所檢測出的次數(線數)來進行圖像數據的傳輸。
根據涉及第五方案的外觀檢查裝置，利用圖形處理單元作為圖像處理部，從而能夠高速地進行與缺陷檢測相關的圖像處理計算。在此，由于圖像處理的計算速度越快，越要求圖像傳輸的效率化，因而期待的是，盡可能減少傳輸時圖像的開銷的影響。即，與對圖像處理部適用CPU的情況相比，在適用圖像處理高速的圖形處理單元的情況下，抑制檢查延遲的效果更大。
根據涉及第六方案的外觀檢查裝置，由于使圖像處理部按結束圖像處理的順序，執行下一個新的圖像處理，因而能夠使各個圖像處理部始終處于運轉狀態。因此，能夠有效運用多個圖像處理部的處理能力，而不會造成浪費。并且，即使根據缺陷的程度，各個圖像處理時間發生變動，也能夠均衡地對所有圖像處理部施加負荷。因此，檢查之前不需要進行繁雜的準備，能夠容易地提高檢查效率。
根據涉及第七方案的外觀檢查裝置，能夠在圖像處理部要執行圖像處理的分割區域的拍攝結束的情況下，向圖像處理用存儲器傳輸圖像數據。因此，能夠執行圖像處理。
根據涉及第八方案的外觀檢查裝置，能夠基于線性傳感器所檢測出的次數(線數)來進行圖像數據的傳輸。
根據涉及第九方案的外觀檢查裝置，利用圖形處理單元作為圖像處理部，從而能夠高速地進行與缺陷檢測相關的圖像處理計算。
圖1是涉及第一實施方式的外觀檢查裝置的簡要結構圖。
圖2是涉及第一實施方式的外觀檢查裝置的功能塊圖。
圖3表不基板的一個例子的簡要俯視圖。
圖4是圖3中所示的一個管芯的簡要俯視圖。
圖5是表示生成檢查任務時的拍攝區域的分割例子的說明圖。
圖6是表示從緩沖存儲器向具有圖像處理單元的圖像處理用存儲器傳輸了數據量不同的圖像數據時的傳輸率的圖。
圖7是表示多個圖像處理單元的工作順序的圖。
圖8是涉及第二實施方式的外觀檢查裝置的功能塊圖。
圖9表示遍及多個管芯執行了掃描拍攝的狀態的圖。
圖10表示多個圖形處理單元的工作順序的圖。
圖11是表示涉及第一實施方式的外觀檢查裝置的動作的流程圖。
圖12是表示涉及第二實施方式的外觀檢查裝置的動作的流程圖。
具體實施方式
下面，將參照附圖對實施方式進行詳細的說明。只是，在這些實施方式中所記載的結構僅僅是例示性的，本發明的范圍并不局限于此。
1.第一實施方式
1.1.外觀檢查裝置I的結構
圖1是涉及第一實施方式的外觀檢查裝置I的簡要結構圖。并且，圖2是涉及第一實施方式的外觀檢查裝置I的功能塊圖。此外，在圖1及之后的各個圖中，根據需要放大或簡化了各個部件的尺寸或數量，以便于理解。并且，在圖1及之后的各個圖中，適當地添加了將Z軸方向設為垂直方向、并XY平面設為水平面的左手坐標系，以便于理解各個位置關系。
外觀檢查裝置I基于通過拍攝部3拍攝的圖像對作為被檢查物的形成于半導體基板9 (下面，簡稱為“基板9”)的圖案(電路圖案等)的缺陷進行檢查。外觀檢查裝置I包括:工作臺(基板保持部)2，其用于保存基板9 ;工作臺移動機構21，其用于使工作臺2沿著水平方向(X軸方向及Y軸方向)移動；拍攝部3，其用于拍攝基板9的垂直方向上側(+Z側)的主面(下面，稱為“上表面”)；控制部4，其用于對工作臺2等外觀檢查裝置I的各個結構的工作進行控制；檢查部5，其基于通過拍攝部3拍攝的圖像，來對圖案的缺陷進行檢測；以及缺陷數據處理部6，其用于對通過檢查部5取得的缺陷數據進行處理。
工作臺移動機構21包括:Y方向移動機構22，其用于使工作臺2沿著Y軸方向移動；Χ方向移動機構23，其用于使工作臺2沿著X方向移動；以及工作臺升降機構24，其用于使工作臺2沿著Z軸方向移動，來調整焦點。Y方向移動機構22包括:滾珠絲杠(未圖示)，其與馬達221相連接；螺母部件(未圖示)，其與固定在X方向移動機構23的滾珠絲杠螺紋結合。隨著馬達221旋轉，X方向移動機構23沿著導軌222沿Y軸方向移動。X方向移動機構23也具有與Y方向移動機構22相同的結構，通過借助馬達231使未圖示的滾珠絲杠旋轉，來使工作臺2沿著導軌232沿X方向移動。此外，在工作臺移動機構21中，除了利用如本實施方式的滾珠絲杠之外，也可以考慮利用線性馬達等直線運動機構。
基板9在檢查中吸附并固定于工作臺2的上表面。因此，通過借助工作臺移動機構21使工作臺2沿著X方向或Y方向移動，能夠使基板9相對于拍攝部3相對地移動。在外觀檢查裝置I中，使基板9沿著X軸方向或Y軸方向移動，來從省略圖示的鹵素燈及LED等照射部以面狀照射或線狀照射方式向基板9照射可見光。然后，在基板9反射的反射光由拍攝部3所具有的檢測器(這里是指線性傳感器31)檢測出。此外，也可以照射紫外線、紅外線來代替可見光。并且，也可以利用電子束或激光作為光源來射出。
此外，在本實施方式中，通過借助工作臺移動機構21使工作臺2移動，來使基板9相對于拍攝部3在XY平面內相對地移動。但是，也可以固定工作臺2，使拍攝部3移動。當然，也可以使工作臺2及拍攝部3個別地移動。即，如果針對拍攝部3能夠使基板9相對地移動，那么外觀檢查裝置I無論怎樣構成也無妨。
拍攝部3具有線性傳感器31。線性傳感器3由用于檢測向基板9照射的電子束或激光等的多個檢測元件排成一列而構成。通過線性傳感器31檢測的檢測信號通過未圖示的模數轉換器適當地被數字數據化，并經過校正處理等預定的處理之后，依次發送給作為圖像信號的檢查部的緩沖存儲器53。緩沖存儲器53是圖像保持存儲器的一個例子。此夕卜，也可以考慮適用CXD (電荷耦合元件)等面傳感器來替代線性傳感器31。
控制部4 由具有 CPlXCentral Processing Unit,中央處理單兀器)和 RAM(RandomAccess Memory,隨機存取存儲器)的一般的計算機構成。圖2表示的檢查說明制定部41、檢查任務生成部43及工作臺控制部45為隨著CPU按照程序工作而軟件性地實現的功能塊。此外，也可以通過專用電路等使這些功能的一部分或全部硬件性地實現。
檢查說明制定部41提供用于制定檢查說明的GUI，以使操作員決定要在外觀檢查裝置I中執行的檢查內容。檢查說明是在檢查之前由操作員賦予的檢查條件。操作員經由操作部49設定檢查條件(例如，檢查范圍、檢查方法、用于檢查的參數等)。作為檢查參數，例如，包括用于除去圖像上的噪聲的濾波器的設定值或作為用于判斷圖案缺陷的閾值的設定值(例如，像素的濃度值)等。
檢查任務生成部43基于通過檢查說明制定部41制定的檢查說明來生成檢查任務。檢查任務是后面要說明的圖像處理單元59要執行的檢查處理的單位。檢查任務中包括例如后面要說明的各個圖像處理單元59要進行檢查處理的部分坐標信息、檢查類型(后面要說明的管芯比較檢查或信元比較檢查等)或適用于各個檢查處理的檢查參數等。
工作臺控制部45通過控制馬達221、231的驅動，來控制工作臺2在X軸方向或Y軸方向上的移動量、移動速度等。工作臺控制部45控制工作臺2的移動，以拍攝通過檢查說明指定的基板9上的特定區域。
在控制部4連接有顯示部47和操作部49，其中，顯示部47由用于顯示各種信息的液晶顯示器等構成，操作部49由用于使進行操作并對控制部4輸入各種信息的鼠標或鍵盤等構成。此外，可以考慮由觸控面板構成顯示部47，來使顯示部47兼備操作部49的功能的一部分或全部。基于在顯示部47顯示的信息，能夠經由操作部49對控制部4進行各種指示輸入。
與控制部4相同，檢查部5由具有CPU和RAM等的一般的計算機構成，用于進行與圖案缺陷檢測相關的各種計算處理。檢查部5具有檢查任務保持部51、緩沖存儲器53、圖像傳輸部55。并且，檢查部5具有多個圖形處理單元控制部57和由多個圖形處理單元控制部57分別控制工作的多個圖像處理單元59。圖像傳輸部55及圖形處理單元控制部57為隨著CPU按照未圖示的程序進行工作而軟件性地實現的功能塊。此外，控制部4及檢查部5由LAN (局域網)等通信線路連接的兩臺計算機構成，但也可以考慮由一臺計算機來構成。
檢查任務保持部51由用于保存檢查任務生成部43所生成的檢查任務的記憶部(也包括用于暫時記憶信息的RAM等)構成，具有將最初輸入的最初取出來的數據結構。通過多個圖形處理單元控制部57非同步且互斥地針對針對檢查任務保持部51進行訪問，來依次取得多個檢查任務中的一個。
如上所述，緩沖存儲器53是基于線性傳感器31依次檢測的檢測信號來逐次保存圖像信號(圖像數據)的記憶部。蓄積在緩沖存儲器53的圖像信號成為與線性傳感器31所檢測的次數(即，線數)相對應的數據量的圖像數據。緩沖存儲器53是圖像數據保持部的一個例子。
圖像傳輸部55將保存在緩沖存儲器53的圖像數據分別傳輸至各個圖像處理單元59。若保存在緩沖存儲器53的圖像數據的容量達到預先設定的數據量，圖像傳輸部55則自動地執行傳輸。
作為具體的例子，例如，線性傳感器31具有8192個檢測元件，將分別與各個檢測元件相對應的每I像素的信息量設為I字節(=8比特或256灰度)，進一步，設定為每當線性傳感器31進行1024線的掃描時，圖像傳輸部55進行圖像傳輸。于是，圖像傳輸部55通過一次傳輸處理傳輸數據量約為8兆字節(=8192X1024)的圖像數據。通過利用這種比較大的單位來傳輸圖像數據，能夠相對地減少處理傳輸時發生的間接或附加性處理(開銷)的時間。因此，能夠控制傳輸效率的下降，能夠提高檢查效率。
圖形處理單元控制部57具有對圖像處理單元59所具有的圖形處理單元591進行控制的功能。圖形處理單元控制部57訪問檢查任務保持部51取得檢查任務，并按照該檢查任務中所記載的指示，使圖形處理單元591進行工作。如上所述，在檢查任務中記載有與處理對象區域的坐標位置、檢查類型(管芯比較檢查或信元比較檢查等)、檢查參數等相關的信息，因此，圖形處理單元控制部57解讀該檢查信息并按照其內容使圖形處理單元591執行圖像處理。
圖像處理單元59具有圖形處理單元591和圖像處理用存儲器593。圖像處理單元59例如由顯卡(顯示接口卡)構成，經由PCI Express規格的串行總線等，圖像處理單元59以能夠進行通信的方式與圖像傳輸部55或圖形處理單元控制部57相連接。
圖形處理單元591例如可利用美國英偉達(nVIDA)公司等提供的GPGPU (GeneralPurpose Computing on Graphics Processing unit,通用計算圖形處理單兀)等。圖形處理單兀591具有多個程序藍色渲染器(program blue shader)(作為以在3D圖形中定義的3D模型或光源的信息為基礎來計算其視覺效果的程序的代碼(軟件)及執行程序的代碼的硬件，可將處理內容程序化)，該程序藍色渲染器按照預定的程序工作，進行與圖案缺陷檢測相關的并行性高的計算處理。用于使程序渲染器進行工作的程序開發中，例如，可利用由美國英偉達(nVIDA)公司提供的 CUDA (Compute Unified Device Architecture,統一計算設備架構)、OpenCL (開放計算語言)等多種開發環境。圖形處理單元591是圖像處理部的一個例子。
圖像處理用存儲器593是提供用于圖形處理單元591進行作業的區域的記憶部。例如使用在一般的顯卡搭載的、適合圖形處理的⑶DR (Graphics Double Data Rate,圖形雙倍數據速率)規格的存儲器作為圖像處理用存儲器593。此外，在本實施方式中，如上所述，不僅是用于圖形處理單元591的處理的圖像數據，由拍攝部3拍攝而得的所有圖像數據也都通過圖像傳輸部55傳輸至圖像處理用存儲器593。因此，期望的是，圖像處理用存儲器593為數百兆字節 數千兆字節程度的比較大容量的存儲器。此外，近年市場銷售的顯卡大多數都搭載了數千兆字節的圖象存儲器，作為圖像處理用存儲器593具有充分的容量。
圖1中所示的缺陷數據處理部6收集在各個圖像處理單元59中所檢測的缺陷信息，并將檢查結果保存在未圖示的記憶部(也包括用于暫時記憶信息的RAM等)中。具體而言，，缺陷信息中包含檢測出了圖案缺陷的位置的坐標信息、缺陷部分的面積信息或缺陷像素的濃度值等。當然，缺陷信息并不局限于此。此外，缺陷數據處理部6也可以由具有CPU及RAM的一臺計算機構成，但也可以考慮使控制部4或檢查部5兼備缺陷數據處理部6的功能。
1.2.圖案缺陷的檢查處理
在外觀檢查裝置I中開始檢查處理的情況下，首先，基于操作員的操作輸入，通過檢查說明制定部41生成檢查說明。在制定該檢查方說明時，操作員指定檢查范圍、要適用的檢查方法等各種檢查條件。檢查任務生成部43基于所制定的檢查說明，來制定檢查任務。所制定的檢查任務保存在檢查任務保持部51中。并且，外觀檢查裝置I通過工作臺控制部45，按照檢查說明使工作臺2移動，并通過拍攝部3拍攝檢查范圍。
圖3是表示基板9的一個例子的簡要俯視圖。圖3中所示的基板9為圓狀的半導體晶片，在基板9的表面形成有多個管芯91。圖3中所示的拍攝區域300表示線性傳感器31沿著Y軸方向掃描拍攝的區域。
圖4是圖3中所示的一個管芯91的簡要俯視圖。圖4中所示的管芯91中，混雜有相同區域內電路圖案的重復性低的區域(下面，稱為非重復圖案區域93)和像存儲器信元等一樣在相同區域內存在電路圖案的重復性的區域(下面，稱為重復圖案區域95)。
圖5是表示生成檢查任務時的拍攝區域300的分割例的說明圖。此外，圖5中示出的例子是，對于特定的管芯91，拍攝區域300遍及非重復圖案區域93及重復圖案區域95。
如圖5所示，當檢查任務生成部43生成檢查任務時，將拍攝區域300分割成多個部分區域(這里是分割區域70a 70d)。具體而言，首先，檢查任務生成部43將拍攝區域300分割成與非重復圖案區域93相對應的區域(這里是分割區域70a、70b、70c)及與重復圖案區域95相對應的區域(這里是分割區域70d)。然后，檢查任務生成部43進而將所分割而成的區域分別分割成矩形狀的區域。由此，將矩形狀的分割區域70a 70d設定為個別的檢查對象區域。只是，分割拍攝區域300的方法并不局限于上述的方法，可以考慮多種方法。例如，也可以考慮檢查任務生成部43將拍攝區域300分割成任意的形狀、同等大小，來將這些設定為分割區域。
將關于利用上述的方法分割而成的各個分割區域70a 70d的坐標信息登記在檢查任務中。并且，針對各個分割區域70a 70d，還將與要適用的缺陷處理的檢查類型相關的信息登記在檢查任務中。
例如，對應對分割區域70a 70c的是非重復圖案區域93，因此，適用所謂的管芯比較檢查。管芯比較檢查是指，通過對在與線性傳感器30的長度平行的方向上相鄰的兩個管芯91、91進行比較，來檢測圖案缺陷的檢查方法。
并且，對應分割區域70d的是重復圖案區域95，在該分割區域70d內也重復出現相同的電路圖案。因此，對分割區域70d適用所謂的信元比較檢查。信元比較檢查是指，對相鄰的重復相同圖案進行比較，來檢測圖案缺陷的檢查方法。
像這樣，根據分割而成的分割區域70a 70d對應于非重復圖案區域93與重復圖案區域95中的哪一方，來決定檢查類型并登記在檢查任務中。
然后，檢查任務生成部43與拍攝部3的掃描方向相對應地將所生成的多個檢查任務更換排列后保存在檢查任務保持部51中。即，對多個檢查任務進行執行權分配(排隊)，使先被拍攝部3掃描拍攝的區域優先通過圖像處理單元59進行處理。因此，能夠有效地對拍攝部3所掃描的拍攝區域300進行檢查處理。
拍攝部3將通過拍攝所取得的圖像數據保存在緩沖存儲器53中。如果預先設定的圖像數據保存在緩沖存儲器53中，圖像傳輸部55就會對多個圖像處理單元59所具有的圖像處理用存儲器593傳輸保存在緩沖存儲器53的圖像數據。并且，多個圖形處理單元控制部57與圖像傳輸部55的圖像傳輸動作非同步地(相獨立地)訪問檢查任務保持部51并取得一個檢查任務。
各個圖形處理單元控制部57以所取得的檢查任務為基礎，首先，判定在向圖形處理單元控制部57本身要控制的圖像處理單元59的圖像處理用存儲器593傳輸完畢的圖像數據(這里是指傳輸完畢的線數)中是否含有圖像處理單元59要檢查的區域(分割區域)的圖像數據(傳輸完畢輸的數據的判定)。在判定為傳輸完畢的圖像數據中含有圖像處理單元59要檢查的分割區域的圖像數據的情況下，圖形處理單元控制部57對圖形處理單元591傳輸檢查參數，并使圖形處理單元591對登記在檢查任務的檢查類型執行檢查。另一方面，在判定為傳輸完畢的圖像數據中不含有圖像處理單元59要檢查的分割區域的圖像數據的情況下，圖形處理單元控制部57使圖形處理單元591處于待機狀態，直到傳輸檢查對象區域的圖像數據為止。
為了判定上述傳輸完畢的圖像數據，也可以每當圖像傳輸部55向各個圖像處理單元59傳輸圖像數據時，向圖形處理單元控制部57通知與向各個圖像處理單元59傳輸的圖像數據相關的信息。或者，在判定上述傳輸完畢的圖像數據時，也可以使圖形處理單元控制部57分別向圖像傳輸部55詢問與傳輸完畢的圖像數據相關的信息。此外，在后者情況下，容易管理與傳輸完畢的圖像數據相關的信息。因此，通過追加圖像處理單元59，也容易應對增加圖形處理單元控制部57的數量的情況。
圖形處理單元591若從圖形處理單元控制部57接收到檢查處理的指示，則訪問圖像處理用存儲器593，并取出要檢查的分割區域的圖像數據和參照區域的圖像數據。然后，圖形處理單元591對要檢查的分割區域和參照區域的圖像數據執行預定的圖像處理，如除去噪聲或調整對比度等，之后進行用于圖案缺陷檢測的比較處理。該比較處理并沒有特別的限制。例如，也可以用閾值將像素比較的濃度值之差二值化，來判定是否存在缺陷。并且，也可以根據通過二值化單色化后的圖像之間的像素比較，提取出不同部分(圖案缺陷)。并且，也可以對各個圖像進行邊緣提取，根據所提取出的邊緣的形狀比較，來提取出不同部分。圖形處理單元591將通過這種處理取得的缺陷信息的結果適當地寫入圖像處理用存儲器 593。
如果圖形處理單元591的檢查處理動作結束，圖形處理單元控制部57就向缺陷數據處理部6傳輸保存在圖像處理用存儲器593的缺陷信息。然后，圖形處理單元控制部57再次訪問檢查任務保持部57，取得其他檢查任務。像這樣，檢查部5通過多個圖像處理單元59并行執行保存在檢查任務保持部51的所有檢查任務。
缺陷數據處理部6收集多個圖像處理單元59所提取出的圖案缺陷的坐標信息、缺陷部分的面積信息或缺陷像素的濃度值等的缺陷信息，并保存在存儲部中。此時，也可以對缺陷的類型(例如，由于異物的附著而產生的圖案異常或電路缺損等的圖案形成自身的異常)進行分類。并且，在一個圖案缺陷跨在多個掃描圖像而存在的情況下，也可以由缺陷數據處理部6進行如下處理(合并處理):將這些多個掃描圖像相互連接起來，生成包含整個缺陷部分的一個圖像。
1.3.效果
根據涉及本實施方式的外觀檢查裝置1，圖像傳輸部55將由拍攝部3拍攝檢查對象區域而得到并保存在緩沖存儲器53的圖像數據依次傳輸至多個圖像處理單元59。另一方面，圖形處理單元控制部57與圖像傳輸部55的圖像數據傳輸動作相獨立地取得檢查任務，并且使圖像處理單元59根據所取得的檢查任務執行檢查處理。由此，能夠將圖像傳輸部55—次性傳輸的圖像數據的數據量設定為比較大。因此，能夠相對減少用于數據傳輸時發生的通信的開銷時間，能夠實現檢查的效率化。
圖6是表示從緩沖存儲器53向圖像處理單元59傳輸了數據量不同的圖像數據時的傳輸率的圖。在圖6中，橫軸表示圖像傳輸部55在一次數據傳輸中傳輸的數據的容量，縱軸表示傳輸率。在圖6所示的例子中，在一次數據傳輸中的數據容量為I兆字節以上的情況下，很難導致傳輸率的下降，但是，如果小于I兆字節，傳輸率就會明顯地下降。因此，通過使圖像傳輸部55—次數據傳輸中傳輸的數據量大于I兆字節(S卩，引起傳輸率的下降的數據量)，能夠實現高效率的數據傳輸。
圖7是表示多個圖像處理單元59的工作順序的圖。在圖7中，在最上端示出的多個塊81表示拍攝部3進行掃描的時間。此外，塊81中所記入的01 16的數字分別相當于在一個檢查任務中所規定的分割區域。即，在圖示的例子中，多個塊81表示對于16個分割區域的掃描拍攝時間。并且，PEOO PE03分別對應于4個圖像處理單元59。
并且，在圖7中、用斜線加影線的塊83相當于通過圖像傳輸部55進行一次數據傳輸時發生的開銷的時間，空白的塊85相當于一次數據傳輸時圖像數據本身的傳輸時間。并且，用點加影線的塊87相當于與圖形處理單元591執行在一個檢查任務中所規定的檢查處理相關的時間。此外，塊81中所記入的數字01 16與塊85、87中所記入的數字相對應。
在外觀檢查裝置I中，如塊85 (例如，記入了 “01 04”的塊85)中所示，在相同時機向所有圖像處理單元59 (ΡΕ00 PE04)傳輸蓄積在緩沖存儲器53的圖像數據(例如為01 04，與分割區域相對應的圖像數據)。然后，如塊87所示，在各個圖像處理單元59(PEOO PE04)中，同時執行不同分割區域的檢查處理。由此，在外觀檢查裝置I中，單獨地進行檢查處理及圖像數據的傳輸處理，因而檢查處理及傳輸處理的執行時間可以重疊。因此，在已傳輸完圖像處理單元59要檢查的圖像數據的情況下，圖像處理單元59可立即執行檢查處理，因而能夠有效地進行檢查。
2.第二實施方式
接著，將對涉及第二實施方式的外觀檢查裝置IA進行說明。圖8是涉及第二實施方式的外觀檢查裝置IA的功能塊圖。
涉及本實施方式的檢查部5包括檢查任務保持部51、緩沖存儲器53及圖像處理控制部55A。圖像處理控制部55A包括多個圖形處理單元控制部57。并且，檢查部5具有由多個圖形處理單元控制部57分別控制工作的多個圖像處理單元59。通過CPU按照未圖示的程序工作，來軟件性地實現圖像處理控制部55A。
在本實施方式中，圖像處理控制部55A訪問檢查任務保持部51 (具體而言，多個圖形處理單元控制部57非同步且互斥地訪問)。然后，在檢查任務保持部51中，從按預定的順序排列的多個檢查任務中提取一個適當的檢查任務。
圖像處理控制部55A使多個圖像處理單元59按結束基于檢查任務的圖像處理的順序，依次按照保存在檢查任務保持部51的下一個新的檢查任務來執行新的圖像處理。因此，接連不斷地指示結束圖像處理的圖像處理部59按照新的檢查任務進行圖像處理。像這樣，在外觀檢查裝置IA中，沒有預先設定由哪一個圖像處理部59執行多個檢查任務等。由此，在外觀檢查裝置IA中，實際開始檢查以后，才依次決定用于執行多個檢查任務中的一個檢查任務的圖像處理單元59。
并且，在本實施方式中，圖像處理單元59經由PCI Express規格的串行總線等以能夠通信的方式與緩沖存儲器53或圖形處理單元控制部57相連接。
2.2.圖案缺陷的檢查處理
涉及本實施方式的外觀檢查裝置IA以與涉及第一實施方式的外觀檢查裝置I相同的方式生成檢查說明。具體而言,如圖5所示，當檢查任務生成部43生成檢查任務時，將拍攝區域300分割成多個部分區域(這里是分割區域70a 70d)。然后，根據分割而成的分割區域70a 70d對應于非重復圖案區域93和重復圖案區域95中的哪一方，來決定檢查類型并登記在檢查任務中。
然后，檢查任務生成部43與拍攝部3的掃描方向相對應地將所生成的多個檢查任務更換排列后保存在檢查任務保持部51中。即，對多個檢查任務進行執行權分配(queuing:排隊),使先被拍攝部3掃描拍攝的區域優先通過圖像處理單元59進行處理。圖像處理控制部55A (具體而言，多個圖形處理單元控制部57)按排隊的順序取得檢查任務。為此，作為檢查對象的各個分割區域按拍攝結束的順序通過各個圖形處理單元591進行圖像處理。由此，檢查部5能夠有效地對拍攝部3所掃描的拍攝區域300進行檢查處理。
拍攝部3將通過借助線性傳感器31拍攝而取得的圖像數據依次保存在緩沖存儲器53中。另一方面，圖像處理控制部55A所具有的多個圖形處理單元控制部57分別為了使對應的圖像處理單元59執行與缺陷檢查相關的圖像處理，而非同步且互斥地訪問檢查任務保持部51，并一個一個取得檢查任務。
各個圖形處理單元控制部57首先以所取得的檢查任務為基礎，判定緩沖存儲器53中的作為在檢查任務中所規定的檢查對象的分割區域(例如，圖5中示出的分割區域70a、70b、70c或70d)的圖像數據是否已拍攝完畢(與拍攝完畢的圖像數據相關的判定)。具體而言，對在緩沖存儲器53獲取完畢的線數與對應于分割區域的線數進行比較。然后，在獲取完畢的線數更大的情況(即，在拍攝完畢的圖像數據中含有分割區域的圖像數據的情況)下，圖形處理單元控制部57將該分割區域的圖像數據傳輸給對應的圖像處理用存儲器593。然后，圖形處理單元控制部57向圖形處理單元591傳輸檢查參數，并與登記在檢查任務中的檢查類型相關的檢查執行圖像處理。
另一方面，在獲取完畢的線數比對應于分割區域的線數小的情況(B卩，在拍攝完畢的圖像數據中不含有分割區域的圖像數據的情況)下，圖形處理單元控制部57使圖形處理單元591處于待機狀態，直到拍攝檢查對象的分割區域為止，。
為了進行上述拍攝完畢的圖像數據相關判定，也可以將與拍攝部3在緩沖存儲器53中獲取的線數相關的信息保存在緩沖存儲器53中，并使各個圖形處理單元控制部57適當地參照上述信息。并且，也可以考慮將與拍攝部3在緩沖存儲器53中獲取的線數相關的信息通知給適當的圖像處理控制部55A。
圖形處理單元591如果從圖形處理單元控制部57接收到表示開始檢查處理的指示，就訪問圖像處理用存儲器593，提取出要檢查的分割區域的圖像數據和參照區域的圖像數據，并進行用于圖案缺陷檢測的比較處理。該比較處理如上所述。圖形處理單元591將通過這種處理所取得的缺陷信息的結果適當地寫入圖像處理用存儲器593中。
2.3.効果
圖9表示遍及多個管芯911 915執行了掃描拍攝的狀態的圖。在圖6中，管芯911 915是與圖3中所示的管芯91相同的芯片，具有非重復圖案區域93及重復圖案區域95。并且，在圖示的例子中，拍攝區域300分別分割成分割區域71a 71d、72a 72d、73a 73d、74a 74d、75a 75d。針對這些分割區域，個別地設定檢查任務。
圖10是表示多個圖形處理單元591的工作順序的圖。在圖7中，圖形處理單元00、圖形處理單元01、圖形處理單元02分別對應于三個圖形處理單元591。并且，各個塊81A對應于圖9中所示的各個分割區域圖像數據，各個圖形處理單元00 圖形處理單元02分別對應于圖像處理，各個塊81A的橫寬相當于進行各個圖像處理所需的處理時間的大小。并且，各個塊81A中所記入的文字分別對應于圖9中所示的分割區域71a 71d、72a 72d、73a 73d,74a 74d、75a 75d。例如，記入了“71a”的塊81A對應于分割區域71a的圖像處理。
如圖10所示，各個圖形處理單元控制部57在所對應的各個圖形處理單元591 (圖形處理單元00 圖形處理單元02中的任意一個)結束一個圖像處理的情況下，從檢查任務保持部51取得下一個檢查任務，使所對應的圖形處理單元591執行該檢查處理。為此，直到來自檢查任務保持部51的檢查任務沒有為止，所有圖形處理單元591都不會停止，而是始終繼續執行檢查處理。
在此，例如，假設一個檢查處理的處理時間比平時延長的情況。作為具體例子，有關與分割區域73c相關的圖像處理，由于在該區域發生多個缺陷等，而假設像在圖10中用加影線表示那樣圖像處理的處理時間比平時延長。
如專利文獻I中所記載的外觀檢查裝置，在預先決定由各個圖像處理部(對應于本實施方式的圖形處理單元591)分別執行的檢查處理的情況下，各圖形處理單元591僅執行預先被分配到的檢查任務。因此，有一個圖形處理單元591延長了處理時間的情況下，分配給該圖形處理單元591的所有檢查處理的結束時間也會相應延遲。由于所有檢查任務結束的時間成為所有圖形處理單元591結束被各自分配到的處理的時間，因而延長一個圖形處理單元591的處理時間將導致所有處理結束時間也延長。
對此，涉及本實施方式的外觀檢查裝置IA中，即使有一個圖形處理單元591延長了處理時間，其他的圖形處理單元591也會按照順序執行下一個檢查任務。即，能夠通過其他圖形處理單元591的工作來彌補一個圖形處理單元591的延遲。結果，施加于所有圖形處理單元591的負荷能夠很好地維持均衡狀態，能夠縮短結束所有檢查任務的時間。
并且，涉及本實施方式的外觀檢查裝置IA不像專利文獻I中所記載的外觀檢查裝置那樣需要在檢查之前進行繁雜的準備，例如對各圖形處理單元591分別檢查任務。并且，在增加圖形處理單元591的數量(B卩，增加并行處理的線程的數量)的情況下，也能夠容易應對。
如上所述，根據涉及本實施方式的外觀檢查裝置1A，使各個圖形處理單元591按結束圖像處理的順序依次執行下一個新的圖像處理，因而各個圖形處理單元591始終處于運轉狀態。因此，能夠最大限度地利用多個圖形處理單元591的處理能力，而不會造成浪費。并且，根據缺陷的程度，即使各個圖像處理時間有所變動，也能夠對所有圖形處理單元591施加均勻的負荷。即，即使每個檢查任務所需的處理時間増大時，也能夠靈活應對，因而能夠實現檢查效率的提高。
圖11是表示涉及第一實施方式的外觀檢查裝置I的動作的流程圖。因說明重復，省略詳細說明，如圖11所示，若拍攝部3開始拍攝(步驟S11)，就分別獨立地執行與圖像數據的傳輸相關的處理(步驟S12、步驟S13)以及與各個圖像處理單元59的檢查動作相關的處理(步驟S14、步驟S15)。
與圖像數據的傳輸相關的處理包括從緩沖存儲器53向各個圖像處理用存儲器593傳輸圖像數據的步驟(步驟S12)和判定是否傳輸完所有圖像數據的步驟(步驟S13)。并且，與各個圖像處理單元59的檢查動作相關的處理包括取得檢查任務的步驟(步驟S14)、由圖形處理單元591進行圖像處理的步驟(步驟S15)以及判定是否全部檢查完畢的步驟(S16)。
圖12是表示涉及第二實施方式的外觀檢查裝置IA的動作的流程圖。因說明重復，省略詳細說明，如圖12所示，在檢查任務保持部51保存檢查任務(步驟S21)。然后，若拍攝部3開始拍攝(步驟S22)，就在各個圖像處理單元59分別并行執行與檢查相關的處理(步驟S23、步驟S24及步驟S25)。此外，在圖12中只示出了一個圖像處理單元59的檢查處理(步驟S23 步驟S25)流程。
具體而言，與圖像處理單元59的檢查動作相關的處理包括從檢查任務保持部51取得檢查任務的步驟(步驟S23)、由圖形處理單元591進行圖像處理的步驟(步驟S24)以及判定是否全部檢查完畢的步驟(S25)。
3.變形例
以上，對實施方式執行了說明，但是，本發明不局限于上述內容，能夠變形為各式各樣的實施方式。
例如，在上述實施方式中，利用多個圖形處理單元591同時進行檢查處理，但是，例如，也可以考慮用多個CPU替代。在該情況下，例如，優選地，準備具有CPU及RAM的多臺計算機，并用CPU來替代圖形處理單元591或用RAM來替代圖像處理用存儲器593。也可以考慮用在一臺計算機用搭載多個CPU的所謂的多功能CPU來替代。只是，一般來講，與利用圖形處理單元591的情況相比，利用CPU時更能夠高速地進行與缺陷檢測相關的圖像處理計算。在此，圖像處理的計算速度越是高速，越要求圖像傳輸的效率化，因而優選的是，盡可能減少圖像傳輸時開銷的影響。即，與將CPU適用于圖像處理單元59的情況相比，適用圖像處理速度為高速的圖形處理單元591的情況，抑制延遲檢查的效果變大。
并且，在上述實施方式中，圖像處理單元59中的任意一個具有圖像處理用存儲器593，但是，也可以考慮使多個圖形處理單元591訪問相同的圖像處理用存儲器593。
并且，在上述實施方式中，基板9為半導體基板，但是，在對用于進行光掩模用玻璃基板、顯示裝置用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、印刷基板或太陽電池用基板等各種基板進行外觀檢查的情況下，本發明也有效。
并且，上述實施方式及變形例中所示的各個結構在不發生矛盾的情況下，當然可以互相組合或省略。
權利要求
1.一種外觀檢查裝置，根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查裝置的特征在于， 包括: 圖像傳輸部，其用于將由拍攝部拍攝基板上的檢查對象區域而得到并保存在圖像保持存儲器的圖像數據，傳輸至多個圖像處理用存儲器； 多個圖像處理部，在通過上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸的傳輸完畢的圖像數據中，對與各個處理對象區域相對應的圖像數據執行用于檢測缺陷的檢查處理； 圖像處理控制部，其與上述圖像傳輸部的圖像傳輸動作相獨立地取得用于規定檢查內容的檢查任務，并且按照該檢查任務對多個上述圖像處理部進行控制。
2.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述圖像處理控制部判定在向上述圖像保持存儲器傳輸的上述傳輸完畢的圖像數據中是否含有上述圖像處理部要檢查的上述圖像數據，在不含有的情況下，使上述圖像處理部處于待機狀態，直到向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像處理部要檢查的圖像數據為止。
3.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，在預先設定的數據量的上述圖像數據保存在上述圖像保持存儲器的情況下，上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像數據。
4.根據權利要求3所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 上述拍攝部包括線性傳感器； 在通過上述拍攝部取得預先設定的線數的圖像數據并保存在上述圖像保持存儲器的情況下，上述圖像傳輸部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像數據。
5.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述圖像處理部包括圖形處理單元。
6.一種外觀檢查裝置，根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查裝置的特征在于， 包括: 檢查任務保持部，其用于保存用于規定檢查內容的多個檢查任務， 多個圖像處理部，用于執行與缺陷檢測相關的圖像處理， 圖像處理控制部，其按照上述檢查任務，分別控制多個上述圖像處理部； 上述圖像處理控制部使多個上述圖像處理部按結束基于上述檢查任務的圖像處理的順序，依次按照保存在上述檢查任務保持部的下一個上述檢查任務來執行新的圖像處理。
7.根據權利要求6所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 還包括: 圖像數據保持部，其用于保存由上述拍攝部拍攝得到的圖像數據， 圖像處理用存儲器，其用于保存既是上述圖像處理部要執行圖像處理的圖像數據又是將上述拍攝部所拍攝的區域分割而成的分割區域的圖像數據的數據； 上述圖像處理控制部判定在保存于上述圖像數據保持部的圖像數據中是否含有上述圖像處理部要處理的上述 分割區域的圖像數據，在含有的情況下，向上述圖像處理用存儲器傳輸上述分割區域的圖像數據。
8.根據權利要求6所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述拍攝部包括線性傳感器； 在通過上述拍攝部取得預先設定的線數的圖像數據并保存在上述圖像保持存儲器的情況下，上述圖像處理控制部向上述圖像處理用存儲器傳輸上述圖像數據。
9.根據權利要求6至8中任一項所述的外觀檢查裝置，其特征在于，上述圖像處理部包括圖形處理單元。
10.一種外觀檢查方法，根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查方法的特征在于， 包括: 步驟(a-Ι)，將由拍攝部拍攝基板上的檢查對象區域而得到并保存在圖像保持存儲器的圖像數據，傳輸至多個圖像處理用存儲器， 步驟(b-Ι)，在上述步驟(a-Ι)中向上述圖像處理用存儲器傳輸的傳輸完畢的圖像數據中，對與各個處理對象區域相對應的圖像數據執行用于檢測缺陷的檢查處理， 步驟(c-Ι)，與上述步驟(a-Ι)相獨立地取得用于規定檢查內容的檢查任務； 按照在步驟(c-Ι)取得的檢查任務執行上述步驟(b-Ι)。
11.一種外觀檢查方法，根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像，來檢測上述圖案的缺陷，上述外觀檢查方法的特征在于， 包括: 步驟(a-2 )，用于保存用于規定檢查內容的多個檢查任務， 步驟(b-2)，按照在上述步驟(a-2)保存的上述檢查任務，使多個圖像處理部中的每一個圖像處理部執行與缺陷檢測相關的圖像處理； 上述步驟(b-2)中，使上述多個圖像處理部按結束基于上述檢查任務的圖像處理的順序，依次按照保存在上述檢查任務保持部的下一個上述檢查任務來執行新的圖像處理。
全文摘要
提供能夠抑制圖像傳輸效率下降并有效進行缺陷檢查的外觀檢查裝置及外觀檢查方法。外觀檢查裝置具有根據拍攝部拍攝形成有圖案的基板表面而得到的圖像來檢測圖案的缺陷的檢查部。檢查部包括圖像傳輸部，其用于將由拍攝部拍攝基板上的檢查對象區域而得到并保存在圖像保持存儲器的圖像數據，傳輸至多個圖像處理用存儲器；多個圖形處理單元，在通過圖像傳輸部向圖像處理用存儲器傳輸的圖像數據中，對與各個處理對象區域相對應的圖像數據執行用于檢測缺陷的檢查處理。檢查部具有圖像處理控制部，圖像處理控制部與圖像傳輸部的圖像傳輸動作相獨立地從檢查任務保持部取得用于規定檢查內容的檢查任務，并且按照該檢查任務對多個圖形處理單元進行控制。
文檔編號G01N21/956GK103207187SQ201310017618
公開日2013年7月17日 申請日期2013年1月17日 優先權日2012年1月17日
發明者疋田雄一郎, 猿渡健 申請人:大日本網屏制造株式會社