光譜儀的制作方法

光譜儀的制作方法
【專利摘要】一種光譜儀(102)包括一個可調節的采樣空間(104)，該采樣空間具有兩個總體上相對的、可相對移動的側壁(106，108)，這里這些側壁實質上由光學半透明材料形成并且在這些側壁之間在使用時填充一種用于分析的樣品，以及一個致動器(116)被機械地聯接(這里經由蝸桿傳動件(118))到這些相對側壁(108)的一者或兩者并且響應一個施加到其上的命令信號可運行以進行它們的相對運動。該光譜儀(102)進一步包括一個光學位置傳感器(110，112，114)，該光學位置傳感器被適配為用于檢測由多次遍歷在這些側壁(106，108)之間的距離的光能所產生的干涉條紋，并且用于依賴于它產生命令信號，并且優選地還被適配為用于產生一個輸出，該輸出將強度針對波長的指示進行標示，該波長可用于在該采樣空間(104)內的樣品材料的光譜分析。
【專利說明】光譜儀
[0001]本發明涉及一種光譜儀，具體地涉及一種具有一個可調節采樣空間的光譜儀，并且涉及控制這樣一種光譜儀來調節該可調節采樣空間的方法。
[0002]樣品材料的光譜學分析，尤其紅外分析，是眾所周知的并且在樣品的成分特性測量以及用于工藝監測和控制中被廣泛采用。它是非破壞性的、微創的并且很多材料、尤其有機材料表現高度依賴特征波長的吸收特性，尤其在電磁波譜的紅外波段中。因此典型地通過使用透射、反射或透反射的分析配置來測量一種樣品中依賴波長的吸收，尤其紅外吸收，可以確定關于一種樣品的物理結構和/或組成的信息。紅外光譜學已經成功地在多種多樣的產品分析中使用，這些產品包括牛奶、谷粒、油、藥物以及生物燃料。雖然經常使用紅外輻射，但眾所周知的是在電磁波譜的其他部分中(來自紫外光和可見光區)的吸收還可以用于表征材料的組成特性。貫穿此文件的其余部分，“光能”將被用于描述來自電磁波譜的紫外光到紅外光部分之內的能量,并且當上下文要求時指代特定的部分,例如“中紅外光能”。
[0003]在工業工藝中通常越來越多地要求對一條生產線或一個反應容器的內容物的測量和監測。可能重要的是，當一條生產線的內容物穿過該處理系統時，在沒有傳導其內容物穿過一個帶有泵、閥門以及沖洗安排的復雜的支路管道系統的情況下，能夠在工藝罐中跟蹤反應或監測生產線的內容物。這樣的監測提供了實時工藝控制的可能性。此外，在藥物或食品制備工業中，可能重要的是最小化這些內容物與外部設備的交互，這可能增加污染的風險，這樣使得優選的是原位分析。
[0004]從共同 申請人:的WO 2011069549中已知，其內容通過引用結合在此，提供用于在一種工藝環境下執行在線光譜分析的一種光譜儀。該光譜儀包括一種具有一個可調節采樣空間的探頭，該探頭旨在插入在該生產線中流動的材料中。該采樣空間由兩個總體上相對的(可相對移動的)側壁組成，這些側壁之間在使用時填充有用于分析的樣品并且在這些側壁的至少一個中形成一個窗口，該窗口對于由一個光學能量源發出的光能是半透明的。一種致動器被聯接到這些相對側壁的一者或兩者并且響應一個命令信號可運行以進行它們的相對運動。還提供了一個檢測器，該檢測器用于依賴于在與該樣品相互作用后穿過該至少一個窗口的入射光能的強度產生一個信號，另外提供了一個信號分析器，該信號分析器用于分析一個如此產生的信號的波長依賴性以便確定來自那里的該樣品的特性。使用中運行該致動器以初始地增加這兩個相對的側壁之間的距離，這允許該采樣空間被來自該生產線的新材料填充。然后移動這些相對的側壁以減少它們之間的距離，在這樣的位置上完成該光譜分析。
[0005]為了提供來自一個光譜儀的可重現的分析結果，這兩個相對側壁的間隔(這進而確定與該光能相互作用的樣品的量)在每次測量中應該是相同的或至少是已知的。已知光譜儀的一個問題在于這兩個總體上相對的側壁的相對取向僅通過監測該致動器的運動來間接測量。雖然這可以提供與這些側壁的相對運動有關的精確信息，但難以確定這兩個側壁的絕對取向。此外，這些側壁的絕對取向和間隔將傾向于隨對該光譜儀的機械變化而變化，如機械磨損或溫度和/或壓力引發的機械變化。
[0006]本發明的一個目的是至少減輕這個問題。因此，本發明提供一種包括一個可調節采樣空間的光譜儀，該可調節采樣空間具有兩個總體上相對的(可相對運動的)側壁，這些側壁之間在使用時填入用于分析的樣品并且在其中至少一個上形成一個對由光學能量源發射出的光能是半透明的窗口 ；以及一個聯接到這些相對側壁的一者或兩者的致動器，該致動器響應于施加其上的一個命令信號可運行以進行它們的相對運動。另外提供了一個光學位置傳感器作為該光譜儀的一個元件，該傳感器被適配為用于通過檢測干涉條紋(所謂的法布里-珀羅(Fabry-Pe1t)干涉條紋)的強度來監測這些側壁的相對位置，該干涉條紋由已經在這些側壁之間來回遍歷多次后已經穿過該至少一個窗口的入射光能產生。依賴于檢測到的干涉條紋所產生的命令信號導致該致動器使這兩個側壁進入一個預定的相對角度取向，在該預定的相對角度取向下干涉條紋的形成減弱。
[0007]因此，這兩個相對側壁的一種絕對的間隔和/或角度取向可以通過用該位置傳感器的直接光學測量來獲得。然后可以使用這個位置來提供一個已知參考位置，從該已知參考位置可操作該致動器以進行這些側壁到一個用于完成樣品測量的分析位置的相對運動。此分析位置優選地是一個這些側壁相對地傾斜以形成楔形的位置，這樣使得用于該光能穿過該采樣空間的相鄰的路徑是不同的。光干涉的效果由此減弱。然后通過監測該致動器相對于該參考位置的運動可以監測向此分析位置的運動。當完成一個絕對測量時，那么可以這種方式有利地補償這些致動器部件和該窗口材料本身兩者的機械變化。
[0008]有用的是該光學位置傳感器還被適配為用于產生依賴波長的強度信號，這些依賴波長的強度信號用于在一個在樣品測量過程中確定填充于該采樣空間中的一種樣品的特征(典型地是組成特征)。
[0009]在一個實施例中，當該可調節采樣空間填充有一種已知折射率的材料(優選地用于樣品分析測量之間的清洗例程的材料(譬如水))時，可以完成這些條紋的測量。該半透明材料以及光輻射穿過其中透射的材料的折射率的知識允許以一種眾所周知的方式相對簡單地計算壁間隔。
[0010]從與以下附圖的圖形相結合的示例性實施方式的以下說明的考慮中，本發明的這些以及其他優勢將變得明顯，其中:圖1總體上展示了根據本發明的光譜儀的一個實施例；圖2展示了配置為在線監測的根據本實施例的光譜儀的一個實施例；圖3展示了一種可用在圖2的實施例中的探測器；圖4展示了圖3的探測器的頭部部分；
[0011]現在考慮一種在圖1中展示的根據本發明的光譜儀102的一個實例。該光譜儀102包括一個可調節的采樣空間104，該采樣空間可以例如是一種臺式儀器的一個小池(cuvette)的部件或者一種在線分析器的一個樣品室的部件。該可調節采樣空間104在此包括兩個總體上平面的、相對的并且可相對運動的側壁106、108，這些側壁中的至少一者(這里二者都)形成為至少部分地帶有一個光學接口，該光學接口由在一個感興趣輻射區域是半透明的材料制成。該光譜儀102進一步包括一個光譜器件110，該光譜器件具有一個光學聯接到其上的檢測器112、一個用于處理由該檢測器112輸出的信號的信號處理器114 (根據本發明這三個部件110、112以及114 一起形成一個光學位置傳感器)以及一個致動器116，該致動器經由一個可調節機械聯接件118連接到一個或兩個(這里為一個108)可相對運動的側壁區段106、108以進行該區段的運動以便取決于來自該信號處理器114的一個命令信號產生一個壁相對于另一個壁的相對角運動(通過壁108的分解結構展示)并且還以便產生相對平移運動(如雙箭頭展示的)。在圖1中展示的本發明的該實施方式的一個實例中，該機械聯接件可包括多個(這里為2個)獨立可控的蝸桿傳動安排118a、118b。每個蝸桿傳動件118a、118b使其相關聯的蝸桿119a、119b與該可移動壁部分108機械連接。這里該致動器116被配置為用來控制每個蝸桿119a、119b的運動(分別地依賴于來自該信號處理器114的控制信號)以便進行該相對角運動和/或平移運動。
[0012]該光譜儀器110可以是任何已知類型的，如一種單色儀或干涉儀，該光譜儀運行產生一個輸出。
[0013]將強度針對輸入到該儀器110的光能的波長的一種指示進行標示。在本實施例中，輸入到該儀器110的光能為由一個光源120發出并且已經穿過在該可調節采樣空間104內部且受該總體上相對的側壁區段106、108限制的樣品體積122的能量。這是所謂該光譜儀的“后分光(post dispersive)”配置。在根據本發明的一種光譜儀的其他的所謂“前分光”配置中，來自該源120的光能可首先被輸入到該光譜器件110中并且其輸出被光學耦合到該樣品體積122中。
[0014]放置該檢測器112以從該源120接收穿過該樣品體積122后并且從該光譜器件110輸出后的光能。該檢測器112被配置為用以將輸出信號提供到該信號處理器114，具有一個特征值，該特征值依賴于它所接收的光能的強度。
[0015]該信號處理器114包括計算裝置，這些計算裝置被適配為通過適當編程來處理來自該檢測器112的依賴波長的信號用于識別其中任何成分，這些成分源自于由來自該源120的光能產生的、在被入射到該檢測器112上之前已遍歷在這些側壁106、108之間的距離多次的干涉條紋(法布里-珀羅干涉紋)所獲得的在該檢測器上的強度變化。如以下更詳細的討論，該信號處理器114的計算裝置進一步被適配為用于依賴于所識別的法布里-珀羅干涉條紋為該致動器116產生命令信號。
[0016]同一個信號處理器114還可以本領域中熟知的方式進行配置來處理來自該檢測器112的信號以便確定關于填充在該樣品體積122中的一種樣品的物理結構和/或組成的信息。以這種方式，根據本發明的光譜儀102的光學位置傳感器110、112、114可以有利地包括那些用于分析樣品的部件。
[0017]現在考慮根據本發明的一種光譜儀202的另一個實施例，在圖2中展示為放置在一個工藝管路204中，從那個管路204的剖開部分206可以更容易地看到該實施例。該光譜儀202包含一個探測器208，該探測器將參照圖3和圖4的附圖在以下更詳細地說明。簡略地說，該探測器208包含一個致動器部分1，該致動器部分主要位于該工藝線204外側，以及一個頭部部分2，該頭部部分主要位于該工藝線204之內。該頭部部分2由一個開槽的樣品空間11形成，在使用時，流動在該管路204中的材料的樣品可以通過該開槽的樣品空間。可相對移動的光學接口 12、14在該樣品空間11中總體上彼此相反地定位以形成本發明的一個可調節采樣空間。該光譜儀202額外地包含一個光學聯接到該探測器208內的光譜器件210，這里是通過一個光纖17、一個光學檢測器212以及一個信號處理器214。以一種與關于圖1的元件110、112以及114所描述的相似的方式協同運作的這些元件210、212以及214作為根據本發明的光學位置傳感器起作用。
[0018]在本實施例中的探測器208(參考圖3和圖4)可以被認為包含兩個主要部分:一個致動器I和一個頭部2。該致動器I包含三個獨立可控的步進電機3 (其中兩個在圖3中展示)，每個步進電機機械地固定到一個關聯的細螺紋適配器4。該適配器4安裝在一個滾珠軸承7里，該滾珠軸承通過偏置裝置(未示出)和一個隔離件8被保持為抵靠該關聯的電機3并且連接到一個推桿5。因此，當該步進電機3移動而該適配器4轉動時，它驅動該推桿5來回移動。這些電機3安裝在一個連接到該頭部2的塊件6上并且在本實施例中以1200幾何形狀放置。
[0019]該頭部2(參照圖4)包含被該樣品空間11分開的一個第一內腔9和一個第二內腔10。對由能源13發射的光能是半透明的一個平面光學接口 12密封該第一腔9以防止來自該樣品空間11的材料進入。該光學能量源13 (此處為一個中紅外輻射源)包含在該第一腔9中并且來自此處的光通過一個反射鏡15引導穿過該光學接口 12、該樣品空間11以及一個第二平面光學接口 14，該第二平面光學接口對由源13發射的光能也是半透明的。該光被一個透鏡16收集并且發射進入到一個光纖17中。經由穿過在該探測器頭部2和致動器I中的導管的電連接器從一個外部源(未示出)為該光學能源13提供電力。第二腔10通過與一個柔性波紋隔板18協作的第二光學接口 14從該樣品空間11密封。
[0020]該第一光學接口 12固定在該探測器頭部I上，而該第二光學接口 14的位置可以既相對于從該第一光學接口 12距離又相對于該第二光學接口 14的曲面法線相對第一光學接口 12的曲面法線的取向(即，相對成角度地)變化。當該第二光學接口 14被安裝在一個運動適配器單元19中時，實現了該運動。通過三個推桿20移動該運動適配器單元19，這三個推桿進而各自經由一個關聯的連接器板21機械地聯接到該致動器I的這些推桿5中的一個單獨的推桿。
[0021]即使當該光學接口 14被移動時，該波紋管隔板18確保該環境密封。
[0022]重要的是為了避免一個樣品光譜中的法布里-珀羅型干擾，當正在收集該樣品光譜時這些相對側壁是不平行的。根據WO 2011069549，這可以通過如下方式實現:安排該致動器以圍繞一個鉸鏈的弧形運動移動這些壁的一者或兩者以確保這兩個相對的側壁是絕不平行的。
[0023]以下是一個示例性自動對準方法的說明，當應用到根據本發明的光譜儀，如分別地根據圖1或2的那些光譜儀102、202時，該示例性自動對準方法確保在沒有使這些壁相互接觸或者在樣品光譜中產生法布里-珀羅型干擾的情況下可以執行測量。為易于理解，該方法將相對于光譜儀202進行說明，該光譜儀已經參照圖2到圖4的附圖在以上例示。
[0024]為了精確地確定該命令信號的控制參數，該命令將導致該致動器I將這兩個平面光學接口 12、14相互平行地對準，使用以下的一般程序:
?運行該致動器I來控制這些電機3以在沒有改變這兩個接口之間的平均距離的情況下，將一個接口(此處為該第二接口 14)相對于另一個接口進行移動。實際地，這意味著，當為使能夠傾斜而采取該可移動接口 14的一個邊緣位置時，用其他邊緣位置的運動對其進行補償以使這兩個接口 12、14之間的平均距離保持恒定。
按此方法，有可能以良好受控的方式在一個角度空間中改變該可移動接口 14的位置。?將此動作重復多次，每次提供命令信號使該致動器I運行以實現這些接口 12、14的不同的相對角度取向。
?對每個取向，使用該光學位置傳感器，這里包含該協同的光譜器件210和檢測器212的安排，記錄一個依賴波長的強度的測量值。
?該位置傳感器的信號處理器214訪問這些記錄的測量值并且比較它們來計算它們的差別，這些差別對于這些平行的實現方式而言主要是法布里-珀羅干涉紋的增加。
?這些光學接口 12、14的最平行位置(它們的法向量是基本上平行的)是通過計算該致動器I的這些電機3的將產生最大條紋帶幅值的位置然后在該信號處理器214中確定。這被用作一個參考位置。
[0025]然后在具有如下控制參數的該信號處理器214中構建該命令信號，當應用于該致動器I時，這些控制參數將導致電機3的運動以進行這些接口 12、14的相對傾斜這樣使得它們的法向量之間的角度足夠遠離此參考位置以避免(或至少最小化)這些法布里-珀羅干涉紋的形成。
[0026]另外地，這兩個接口 12、14之間的距離可以從對在該信號處理器214中的干涉條紋周期的分析來計算，并且還從此計算中構建該命令信號的這些參數以確保維持所希望的平均距離。
[0027]這些接口 12、14如此取向以避免(或至少最小化)條紋的形成并且優選地還實現希期的平均間隔，因此對填充在這兩接口 12、14之間的材料可以使用該光譜器件210和該位置傳感器的協同的檢測器212來記錄樣品光譜。同樣的信號處理器214還可以本領域中熟知的方式進行配置來處理來自該檢測器210的信號以便確定關于該樣品的物理結構和/或組成的信息。
[0028]作為以上方法的應用的一個具體實例，將考慮在牛奶(折射率約1.338)處理的在線監測中使用根據圖2到圖4的光譜儀202，其中一種傅立葉變換干涉儀(運行于中紅外光譜區中)作為該光譜器件210使用并且這些光學接口 12、14是金剛石窗口(折射率約2.147)。以上是相當一般情況下的實現方式的說明。實驗中已經發現當這兩個金剛石的法向量之間的角度相差0.07度時，這些條紋消失。對于典型地具有8mm的直徑并且希望具有1ym平均間隔的金剛石窗口，這兩個金剛石窗口 12、14將會以0.21度接觸。這指定了角度范圍，窗口 12、14必須被控制在該角度范圍內。
[0029]在根據本發明的方法的示例性實施方式中，控制使該金剛石窗口 14轉向的電機3以實現這些窗口 12、14的二十八個相對位置并且因此對這組二十八個光譜進行數據分析。在本實施例中，分析數據的方式是通過已知的多元分析技術，優選地主成分分析(PCA)，其中這些光譜被重表達為一系列共同特征的乘數(multiples)。通過移除這些緩慢振蕩的共同特征，余下的都是法布里-珀羅干涉紋。然后的問題就是對產生的法布里-珀羅干涉紋進行傅里葉變換，這得到這些條紋的周期性和幅值，該周期性和幅值可以分別直接地與這兩個金剛石窗口 12、14之間的距離以及這兩個的金剛石窗口 12、14的平行性相關。
[0030]可以額外地或者替代地在根據本發明的光譜儀(譬如202)中執行這些光學接口(例如12、14)的對準的連續監測。根據此操作方法，僅使用了這兩個接口 12、14的兩個相對位置:
1.第一個是一個光譜的測量，其中這些探測器窗口之一(譬如14)以一個固定的量傾斜，以某一約0.07度的量表征，這樣使得在該光譜中無條紋出現。
2.第二個測量是在最后發現的平行取向上而且在與上述步驟I中進行的測量相同的平均距離上。使用前面說明過的自動對準程序發現該平行位置。
[0031]現在可能的是以和該自動對準程序中的相同方式在該信號處理器214中比較最后N個光譜測量值(以上步驟I)與一個單個的平行測量值(以上步驟2)，并且以這樣的方式提取法布里-珀羅干涉紋。通過以這樣的方式對每N個光譜測量值測量一個平行測量值，如果這些法布里-珀羅干涉紋的幅值或周期在所假定的平行位置開始漂移，那么監測是可能的。如果該幅值跌落到一個預定水平，譬如在自動對準程序之后立刻(或非常短時間以后)所獲得的初始幅值的一半，那么可以啟動一個新的自動對準程序并且以這樣的方式確保這兩個光學接口 12、14保持在相同的相對位置(間隔和/或角度取向)并且由此可以補償在該光譜儀中的機械變化，如熱機械變化、依賴壓力的機械變化或機械部件磨損。附加地或可選地，可以發出一個靈敏的警告，典型地當該調節程度超過一個指示過度機械變化的預定閾值時，這樣使得可以執行該儀器的維修。
[0032]僅通過舉例，在采集這些樣品光譜之間的間歇中可以使用根據本發明的一種儀器和一種方法執行這些干涉條紋的測量，在這些間歇中該樣品空間被一種已知折射率的流體,例如水(折射率約1.330)，填充。有用地，此流體還可以被用作一種清洗或沖洗流體。
【權利要求】
1.一種光譜儀(102 ;202)，包括:一個可調節采樣空間(104 ;11)，該可調節采樣空間具有兩個總體上相對的、可相對運動的側壁(106，108 ;18)，這些側壁之間在使用時填充有一種用于分析的樣品并且在這些側壁的至少一者上形成一個對由一個光學能量源(120 ；13)發出的光能是半透明的光學接口 (106,108 ；12,14);以及一個致動器(116 ;1)，該致動器機械地聯接到這些相對的側壁中的一者或兩者(108 ；18)并且響應一個施加到該致動器的命令信號以進行這些側壁的相對運動；其特征在于該光譜儀(102 ；202)進一步包括一個光學位置傳感器(110,112,114 ；210, 212, 214),該光學位置傳感器被適配為用于檢測由已經穿過該至少一個光學接口(108; 14)、多次遍歷在這些側壁(106，108;18)之間的距離的光能產生的干涉條紋并且用于依賴于該干涉條紋產生該命令信號。
2.如權利要求1所述的光譜儀(102;202)，其特征在于該位置傳感器(110，112，114 ；210.212.214)被適配為用于產生該命令信號以控制該致動器(116;1)使這些側壁(106，108 ；18)進入一個預定的相對角度取向，在該預定的相對角度取向處該干涉條紋的形成減尋層。
3.如權利要求2所述的種光譜儀(102;202)，其特征在于該位置傳感器(110，112，114 ;210，212，214)被適配為用于處理這些檢測到的干涉條紋以從其中確定該致動器(116,1)的一個參考位置，在該參考位置處這兩個側壁(106，108;18)將是平行的，并且用于此后產生該命令信號以進行該致動器(116，I)相對于該參考位置的運動以便實現這些側壁(106，108 ；18)的一個預定的不平行程度。
4.如權利要求3所述的光譜儀(102;202)，其特征在于該位置傳感器(110，112，114 ；210，212，214)被適配為用于測量這些檢測到的干涉條紋的幅值，該幅值作為這些側壁的平行程度的指示用于確定該參考位置。
5.如權利要求3所述的光譜儀(102;202)，其特征在于該位置傳感器(110，112，114;210，212，214)被適配為用于測量這些檢測到的干涉條紋的周期性，該周期性作為這些側壁之間的間隔的指示用于確定該參考位置。
6.如權利要求3所述的光譜儀(102;202)，其特征在于該位置傳感器(110，112，114;210，212，214)被適配為用于產生多個命令信號，每一個命令信號用于造成這些側壁(106，108 ；18)的一種不同的預定的相對運動；用于記錄在每個相對運動后這些產生的干涉條紋并且在多次相對運動后比較這些記錄的信號來從其中確定作為一個如下位置的該參考位置:在該位置處源自這些干涉條紋的分量的幅值將被最大化。
7.如以上權利要求中任一項所述的光譜儀，其特征在于該位置傳感器(110，112，114;210.212.214)包含一個光譜器件(110)，該光譜器件被適配為用于產生一個輸出，該輸出將輸入光能的強度針對其波長的指示進行標示。
8.—種控制根據權利要求1所述的光譜儀(102;202)中的可調節采樣空間的調節的方法，該方法包括以下步驟:通過一個光學位置傳感器檢測由已經在這些相對側壁之間遍歷該采樣空間多次的光能形成的干涉條紋；依賴于這些檢測到的干涉條紋產生一個命令信號以控制該致動器的運行以便使這兩個側壁進入一種用于樣品分析的預定的相對取向，在該預定相對取向處干涉條紋的形成減弱；并且將該命令信號施加到該致動器以進行該采樣空間的一個依賴型調節。
9.如權利要求8所述的方法，其特征在于產生一個命令信號的步驟包括:分析這些所檢測到的干涉條紋以確定該致動器的一個參考位置，在該參考位置處這些側壁將是平行的；并且產生該命令信號以進行該致動器相對于該參考位置的運動以便實現這些側壁的一個預定的不平行程度。
10.如權利要求9所述的方法，其特征在于進一步提供以下步驟:產生多個命令信號，每個命令信號用于造成這些側壁的一個不同的相對取向；在每個相對取向處記錄由該位置控制器檢測到的這些干涉條紋；以及電子地對比這些記錄的信號以確定該參考位置。
11.如權利要求8所述的方法，其特征在于提供了在檢測這些干涉條紋前用一種折射率固定的材料填充該采樣空間的步驟。
12.如權利要求11所述的方法，其特征在于該材料具有一個已知的折射率，該折射率的值還被用于該控制器中以確定該參考位置。
13.如權利要求11所述的方法，其特征在于該材料是水。
14.如權利要求8所述的方法，其特征在于該方法進一步包括，當這些側壁被設置在用于樣品分析的預定的取向時，在該發射的光能與填充在該采樣空間中的一種樣品相互作用后，測量該發射的光能的一種依賴于波長的強度變化。
15.如權利要求10所述的方法，其特征在于在每個相對取向處進行記錄的步驟包括:對于每個相對取向記錄一個干涉圖并且使用在該光學位置傳感器內的多元分析、優選地主成分分析，來處理該記錄的干涉圖以移除與這些干涉條紋無關的光譜分量；并且電子地對比的步驟包括:使這些經處理的干涉圖的每個經受傅里葉變換以產生一個相關的信號，該相關的信號的周期性和幅值分別地指示這些側壁的間隔和平行性。
【文檔編號】G01N21/03GK104321637SQ201280073284
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2012年5月25日 優先權日:2012年5月25日
【發明者】邁茲·安德森, 托馬斯·尼古拉吉森, 莫根斯·維爾辛, 比亞內·莫爾斯泰德 申請人:福斯分析股份公司