具有埋設型電極的傳感器及其制造方法
【專利摘要】本發明公開一種具有埋設型電極的傳感器，該傳感器可減少制造費用并有廣泛的應用前景。所述傳感器包括：感測堆，由第一導電層和第二導電層隔著分離層而被層疊埋設而構成；電極端子，分別電連接于所述第一導電層和第二導電層而設置于所述感測堆的側面，其中，在除了設置有所述電極端子的側面以外的至少一個側面上露出所述第一導電層及第二導電層而形成感測面。
【專利說明】具有埋設型電極的傳感器及其制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種具有埋設型電極的傳感器及其制造方法，具體而言，涉及一種可減少制造費用并能夠廣泛應用的具有埋設型電極的傳感器及其制造方法。
【背景技術】
[0002]針對用于感測氣體、包含紅外線的光、生物材料等的傳感器的結構及制造方法的研發持續至今。
[0003]這種傳感器大部分是在基板上形成一對感測電極圖案，并形成將感應物質涂覆于一對感測電極圖案上的感測膜，從而構成傳感器。
[0004]這種傳感器在有氣體或光接觸于感測膜時發生感測膜的電導率(或者電阻值)的變化，通過測定電導率的變化而實現感測。
[0005]這種傳感器大部分通過利用了硅基板的薄膜形成工序等半導體工序制造，或者通過利用了氧化招基板等的厚I旲形成工序制造，因此有制造成本聞且工序復雜的缺點，并有因感測電極的短路、斷路或脫落而出現的不良情況較多的問題。
【發明內容】
[0006]技術問題
[0007]因此，本發明的目的在于提供一種能夠克服上述現有技術中的問題的具有埋設型電極的傳感器。
[0008]本發明的另一目的在于提供一種制造成本低廉的具有埋設型電極的傳感器。
[0009]本發明的又一目的在于提供一種制造工序簡單的具有埋設型電極的傳感器。
[0010]本發明的又一目的在于提供一種能夠用少量的成本形成微細圖案的具有埋設型電極的傳感器。
[0011]本發明的又一目的在于提供一種可實現精確感測的具有埋設型電極的傳感器。
[0012]本發明的又一目的在于提供一種提高了可靠性的具有埋設型電極的傳感器。
[0013]本發明的又一目的在于提供一種可自由調節感測電極的長度、寬度或尺寸等的具有埋設型電極的傳感器。
[0014]本發明的又一目的在于提供一種制造所述傳感器的方法。
[0015]技術方案
[0016]為了達到上述目的，本發明提供一種具有埋設型電極的傳感器，包括:感測堆，由第一導電層和第二導電層隔著分離層而被層疊埋設而構成；電極端子，分別電連接于所述第一導電層和第二導電層而設置于所述感測堆的側面，其中，在除了設置有所述電極端子的側面以外的至少一個側面露出所述第一導電層及第二導電層而形成感測面。
[0017]優選地，在所述感測面上貫穿整個層疊方向而形成一個以上的狹縫。
[0018]優選地，設置有所述電極端子的側面和所述感測面被上下切割或研磨而達到平難
iF.0[0019]而且，優選地，所述第一導電層和第二導電層既可以相互重疊而層疊，也可以使埋設的端部分開而層疊為不重疊。
[0020]優選地，可通過使所述第一導電層和第二導電層的長度各不相同，從而使一部分導電層相重疊而其余導電層不重疊。
[0021]優選地，所述電極端子可按各導電層分別電分離為多個子電極端子而構成多個獨立的傳感器模塊，且所述子電極端子上可以電連接不同個數的導電層。
[0022]優選地，所述電極端子向所述感測面的相反側面延伸，而所述第一導電層和第二導電層分別在所述電極端子的延伸部分電連接于所述電極端子。
[0023]為了達到上述目的，本發明提供一種具有埋設型電極的傳感器的制造方法，包括如下步驟:通過夾設分離層而層疊第一導電層和第二導電層，從而形成感測堆；形成第一電極端子，該第一電極端子上電連接有暴露于所述感測堆的一側面的所述第一導電層，并形成第二電極端子，該第二電極端子上電連接有暴露于所述感測堆的另一側面的所述第二導電層；使除了所述感測堆的一側面和另一側面之外的其余側面中的至少一個側面上露出所述第一導電層和第二導電層，從而成為感測面，并在所述感測面上涂覆感應物質而形成傳感器。
[0024]優選地，所述感測堆的一側面、另一側面和所述感測面可在上下方向上被切割或研磨。
[0025]優選地，所述第一導電層和第二導電層既可以相互重疊而層疊，也可以使埋設的端部分開而沒有重疊。
[0026]優選地，可通過使所述第一導電層和第二導電層的長度各不相同，從而可以層疊為使所述第一導電層及第二導電層中的一部分相重疊而其余的不重疊。
[0027]優選地，還包括在所述感測面上貫穿整個層疊方向而形成狹縫的步驟。
[0028]優選地，可通過在所述感測面上形成凹槽或狹縫而使所述第一導電層及第二導電層均露出。
[0029]優選地，對露出的所述第一導電層和第二導電層的剖面進行鍍覆而實現金屬生長，并將所述感應物質涂覆于經所述金屬生長的所述第一導電層和第二導電層各自的端部之間并進行平整化。
[0030]為了達到上述目的，本發明提供一種具有埋設型電極的傳感器，包括:絕緣感測堆，在內部埋設第一導電層和第二導電層而構成；電極端子，分別電連接于所述第一導電層及第二導電層而設置于所述感測堆的側面，而且，通過在除了設置有所述電極端子的側面之外的至少一個側面上露出所述第一導電層及第二導電層而形成感測面。
[0031]為了達到上述目的，本發明提供一種具有埋設型電極的傳感器，包括:感測堆，由第一導電層和第二導電層隔著分離層而被層疊埋設而構成；電極端子，分別電連接于所述第一導電層及第二導電層而設置于所述感測堆的側面，而且，在除了設置有所述電極端子的側面之外的至少一個側面上，形成一個以上具有預定寬度的凹槽，從而形成感測面，且在所述凹槽的底面上或者在所述凹槽的底面和側壁上露出所述第一導電層和第二導電層。
[0032]有益效果
[0033]根據上述結構，容易調節導電層的寬度和長度，并容易調節分離層的厚度，其結果容易調節由導電層和電極端子構成的感測電極的寬度、長度及其間距。[0034]并且，由于具有構成感測電極的導電層埋設于感測堆內部的結構，因此不會發生電極的短路或斷路，從而可以提高傳感器的可靠性和感測靈敏度。
[0035]而且，通過在感測面上形成狹縫，從而能夠簡單而精確地增減感測面。
[0036]并且，由于可自由調節導電層的個數，因此可以調節感測靈敏度，且不用像現有技術似地通過并聯或串聯多個傳感器而提高感測靈敏度，而是可以利用一個感測堆實現。
[0037]而且，由于采用陶瓷工藝，因此制造工序簡單而制造成本降低。
[0038]并且，根據本發明的傳感器可被廣泛應用為用于感測氣體、包含紅外線的光、生物材料等的傳感器，并可通過將電極端子貼裝于電路基板并將感測面利用為接收信號的接收面而將傳感器使用為天線，而且還可以通過將某一電極端子作為接地端子并利用被絕緣分離層所絕緣分離的導電層而將傳感器使用為放電用避雷器。
【專利附圖】
【附圖說明】[0039]圖1表不根據本發明第一實施例的傳感器。[0040]圖2為沿著圖1的A-A剖切的圖，表示在感測面上涂覆感應物質的一例。[0041]圖3為用于說明制造根據一實施例的傳感器的方法的制造工序圖。[0042]圖4表示制造的感測堆。[0043]圖5表示根據本發明另一實施例的傳感器。[0044]圖6表不根據本發明又一實施例的傳感器。[0045]圖7表不根據本發明又一實施例的傳感器。[0046]圖8表不根據本發明又一實施例的傳感器。[0047]圖9表不根據本發明又一實施例的傳感器。【具體實施方式】[0048]以下參照附圖對本發明的優選實施例進行詳細說明，其目的僅僅是為本發明所屬【技術領域】中具有普通知識的人員徹底理解本發明提供方便，而沒有其他任何目的。[0049]第一實施例[0050]圖1表不根據本發明第一實施例的傳感器100。[0051]傳感器100包括:感測堆(Sensing stack),通過在導電層120和導電層122之間
夾設分離層Iio并層疊埋設而構成；電極端子130、132，分別電連接于導電層120、122而設置于感測堆102的側面，而且，在除了設置有電極端子130、132的側面以外的至少一個側面上有導電層120、122露出而形成感測面104。
[0052]導電層120只在一邊側面上露出而電連接于電極端子130，從而構成傳感器100的一個感測電極，而導電層122只在相反側面露出而電連接于電極端子132，從而構成傳感器100的另一個感測電極。
[0053]根據這種結構，容易調節導電層120、122的寬度和長度，并容易調節分離層110的厚度，其結果容易調節由導電層120、122與電極端子130、132構成的感測電極的寬度、長度及其間距。
[0054]并且，由于采用陶瓷工藝，因此制造工序簡單且能夠減少制造成本。
[0055]而且，由于具有構成感測電極的導電層120、122被埋設于感測堆102內部的結構，因此不會發生電極的短路或斷路，從而可以提高傳感器的可靠性并提高感測靈敏度。
[0056]并且，由于可以自由調節導電層120、122的個數，因此能夠調節感測靈敏度，且不用像現有技術似地通過并聯或串聯多個傳感器而提高感測靈敏度，而是可以利用一個感測堆來實現。
[0057]根據本發明的傳感器100可以廣泛地應用為用于感測氣體、包含紅外線的光、生物材料等的傳感器。
[0058]而且，可通過將電極端子130、132貼裝于電路基板并將感測面104利用為接收信號的接收面而將所述傳感器100使用為天線。尤其，可通過調節分離層110的透磁率而控制感測靈敏度。
[0059]并且，也可以將某一電極端子作為接地端子并利用通過絕緣分離層110而被絕緣分離的導電層120和導電層122而將所述傳感器100使用為放電避雷器。
[0060]圖2為沿著圖1的A-A剖切的圖，其表示在感測面104上涂覆有感應物質的一例。
[0061]為使傳感器發揮其作用，感測面104上涂覆有對應于所要感測的物質的多種感應物質，且在必要時可以進一步形成加熱器(加熱圖案)而構成傳感器。
[0062]如圖1所示，通常是將分離層110和導電層120、122形成為同一高度并在其上面涂覆感應物質，然而根據需要可以使導電層120、122的高度更高。
[0063]作為一例，對于將傳感器100使用為氫感應傳感器的情況而言，感測面104上需要涂覆氫感應物質(例如為鉬催化劑)，此時將存在鉬難以與構成感測堆102的陶瓷相接合的問題。
[0064]參照圖2，為了涂覆作為氫感應物質的鉬，可以先形成易于實現鉬的接合的氧化鋅膜160之后在其上面涂覆鉬，然而由于此時要使導電層120、122向外部露出，因此需要使導電層120、122具有不小于氧化鋅膜160厚度的厚度。
[0065]為此，對導電層120、122的剖面進行鍍覆而通過金屬生長來增加導電層120、122的端部高度，然后在前面形成氧化鋅膜160并通過研磨而實現平整化之后涂覆鉬催化劑。
[0066]這種結構并不局限于鉬感應物質，而是適用于在感測堆102上涂覆不易接合的感應物質的任何情況。
[0067]另外，除了在導電層120、122的剖面上利用鍍覆而通過金屬生長來增加高度的方法之外，通過對分離層Iio進行蝕刻而使導電層120、122的高度相對更高的方法也可以使用。
[0068]以下，對根據一個實施例的傳感器100的制造方法進行說明。
[0069]圖3為用于說明根據一個實施例的傳感器100制造方法的制造工序圖，圖4為表示制造的感測堆102的圖。
[0070]如圖3a所示，首先形成分離層110。分離層110的材料因構成的傳感器的功能或感測對象而不同，可以采用陶瓷或樹脂等絕緣材料、壓電材料、半導體材料等。
[0071]然后，在分離層110上形成導電層120。導電層120被構成為在一邊側面(比如在圖中為左側面)上露出而在相反側面(比如在圖中為右側面)上不會露出。
[0072]此時，導電層120在除了一邊側面和相反側面之外的其他側面上既可以露出也可以不露出。即，除了一邊側面和相反側面之外的其他側面當中至少有一個側面被使用為感測面104，而在使用為感測面104的側面上即使沒有導電層120露出，也可以在后續的工序中通過切割、研磨或者形成槽而形成感測面104。
[0073]關于導電層120的材料，只要導電性良好便可以采用包括鉬、銀、金及其合金等在內的任何材料。兩種導電層120、122既可以由同一種材料構成也可以由不同材料構成，例如，導電層120可以由鎳材料構成而導電層122可以由鉬材料構成。
[0074]參照圖3b，在形成有導電層120的結構上又層疊了分離層110和導電層122。由于形成于導電層120上的分離層110是由與圖3a中形成的分離層110相同的材料形成，因此用相同的符號和名稱來表不。
[0075]導電層122除了在相反側面上露出而在一邊側面上沒有露出的一點之外，其材料及形成方法與導電層120相同。同理，導電層122在除了一邊側面和相反側面的其他側面上也是既可以露出也可以不露出。
[0076]在以下說明中，為了方便而將分別有導電層120、122露出的側面即一邊側面和相反側面稱為電極端子設置面。
[0077]參照圖3c，通過反復執行圖3a和3b的過程而按照分離層110、導電層120、分離層110、導電層122的順序重復排列層疊結構而形成感測堆102，因此可根據需要調節夾設分離層110而層疊的導電層120、122的個數。
[0078]另外，感測堆102的最上部由分離層110覆蓋，且將如上所述地制造的感測堆102的立體圖表不于圖4。
[0079]參照圖4，感測堆102具有通過夾設各分離層110而使導電層120、122交替層疊排列，且最下部和最上部被分離層110覆蓋的結構。
[0080]所有導電層120只在感測堆102的一邊側面上露出，而所有導電層122只在感測堆102的相反側面上露出，而一邊側面和相反側面上設置用于在后續工序中實現外部連接的電極端子130、132。
[0081]如圖3d所示，在分離層110由相同材料形成的情況下，上述結構的感測堆102可表現為具有在一個分離層110的內部分別被埋設而層疊導電層120、122的布置結構，或者可表現為具有導電層120、122被埋設而層疊于感測堆102內部的布置結構。在這種結構中，埋設而層疊于感測堆102內部的導電層120、122的個數是可以通過增加層疊次數或層疊個數而增加的。
[0082]然后，可根據需要而通過上下方向上切割感測堆102的切削工序或進行研磨的研磨工序而對側面進行加工，然而切削工序或研磨工序可以只在必要的情況下進行。
[0083]如果要在電極端子設置面上形成電極端子130、132，則由于各導電層120、122向側面突出的程度可能不同，因此為了使其平齊，可能需要切削工序和研磨工序。同理，導電層120、122在選定為感測面104的側面上的突出程度也可能不同，因此為了使其平齊，也可能需要切削工序和研磨工序。
[0084]如果進行切削工序或研磨工序，則由于可能在切削面或研磨面上殘留切削或研磨的副產物，因此為了除去這種副產物，可對切削面或研磨面進行蝕刻工序、清洗工序、或熱處理工序。如果進行蝕刻工序或清洗工序，則有時遇到露出的導電層120、122向分離層110里側凹進的情形，而如果進行熱處理工序，則有時遇到露出的導電層120、122稍微突出的情形。
[0085]參照圖4，在感測堆102具有六面體形狀的情況下，在Y軸方向上相向的兩個側面可被使用為電極端子設置面，而在X軸方向上相向的兩個側面可被使用為感測面104。當然，作為感測面也可以僅僅使用兩個側面中的某一側面。
[0086]在圖4中將除了電極端子設置面以外的兩個側面中的至少一個側面使用為感測面，然而除了這些側面以外，也可以將上下方向上切割感測堆102而新出現的剖切面使用為感測面。其結果，如果在圖4中沿著X軸在上下方向上將感測堆102切割為多個即可制造出將各剖切面作為感測面的多個傳感器。
[0087]如圖3e所示，在感測堆102的電極端子設置面上分別設置電極端子130和電極端子132。電極端子130、132為用于實現傳感器100外部連接的端子，電極端子130上電連接所有導電層120，而電極端子132上電連接所有導電層122。
[0088]另外，在上述實施例中是以形成電極端子130、132之前進行用于形成感測面的切削工序和研磨工序的情形為例進行了說明，然而不必局限于此，切削工序及研磨工序也可以在形成電極端子130、132之后進行而形成感測面104，或者也可以如圖4所示地制造各自具有感測面的多個傳感器。
[0089]第二實施例
[0090]圖5表不根據本發明另一實施例的傳感器200。
[0091]一個感測堆202的內部有多個導電層220、222被分離層210所分離而埋設，而各電極端子設置面上設置有多個子電極端子230、240、250及232、242、252，從而構成獨立的傳感器 200a、200b、200c。
[0092]設置于一邊側面上的子電極端子230、240、250和設置于相反側面上的子電極端子232、242、252分別電分離，而在這一實施例中，電連接有不同個數的導電層220、222。例如，在子電極端子230、232上分別連接一個導電層，在子電極端子240、242上分別連接兩個導電層，而在子電極端子250、252上分別連接三個導電層。
[0093]當然，各子電極端子230、232和240、242以及250、252上也可以連接相同個數的
導電層。
[0094]如上所述構成的結果可以使一個感測堆202上實質上形成獨立的三個傳感器200a、200b、200c，并可以通過在各傳感器的感測面上涂覆不同感應物質而實現在特定場所感測出多種物質。當然，當涂覆相同的感應物質時只能檢測出一種物質。
[0095]這一實施例與圖4中將感測堆102本身切割為多個而構成多個傳感器的情形不同，是在保持一個感測堆202不變的情況下實現了作為多個傳感器200a、200b、200c而發揮作用。
[0096]第三實施例
[0097]圖6表不根據本發明又一實施例的傳感器300。
[0098]在一個感測堆302的內部有多個導電層320、322隔著分離層310交替排列而被埋設，導電層320的端部只在一邊側面上露出而電連接于設置在該側面的電極端子330上，而導電層322的端部只在相反側面上露出而電連接于設置在該側面的電極端子332上。
[0099]多個導電層320、322的一側邊緣均暴露于感測堆302中設置有電極端子330、332的側面以外的一個側面而形成感測面304，且在感測面304上貫穿整個導電層320、322的層疊方向而形成狹縫340。
[0100]在這一實施例中只形成有一個狹縫340，然而也可以并排形成多個狹縫340。狹縫340的剖面形狀、個數、尺寸或深度可以因需要而改變，因此可以形成具有多種形態和結構的狹縫。
[0101]根據這種結構，可自由調節暴露于感測面304的導電層320、322長度，結果可調節感測電極的長度，并可以自由調節感測面304的尺寸。例如可以通過控制狹縫340的寬度或長度而調節感測電極的長度或感測面304的尺寸。
[0102]狹縫340的內面可以不平整而形成為凹凸不平，且可以將涂覆于感測面304的感應物質沿著狹縫340的內面以預定厚度涂覆，或者涂覆而填滿狹縫340以使整個感測面304平整。
[0103]第四實施例
[0104]圖7表不根據本發明另一實施例的傳感器400。
[0105]在一個感測堆402的內部有多個導電層420、422隔著分離層410交替排列而被埋設，導電層420的端部只在一邊側面上露出而電連接于設置在該側面的電極端子430上，而導電層422的端部只在相反側面上露出而電連接于設置在該側面的電極端子432上。
[0106]感測堆402中的設置有電極端子430、432的側面以外的一個側面上形成有凹槽440，并在凹槽440的底部有電極端子430、432的一側邊緣均露出而形成感測面404。換言之，通過由凹槽440決定的窗口(window)而構成感測面404。
[0107]如果使凹槽440的深度比電極端子430、432最初出露的深度更深，則由于凹槽440的內側面也可被利用為感測面404，因此可以增加感測面404的大小。
[0108]雖然在這一實施例中只形成一個凹槽440,然而也可以使多個凹槽440相隔而并排形成。由于可根據需要改變凹槽440的個數或尺寸，因此能夠形成具有多種形態和結構的凹槽。例如,可通過確定凹槽440的尺寸而使埋設于感測堆402中的導電層420、422的端部露出或不露出，并可以通過調整凹槽440的深度而使導電層420、422暴露于凹槽440的底部和側壁(參照圖9)。
[0109]并且，可將涂覆于感測面404的感應物質涂覆成在凹槽440的底部形成預定厚度或者填滿凹槽440，且凹槽440的內面不用平整而可以凹凸不平。而且，如圖7b所示，可形成兩側邊緣在層疊方向上開放的凹槽450，在此情況下，與圖7a相比具有容易形成凹槽450的優點。
[0110]根據這一實施例，可通過調節凹槽440、450的個數、寬度或深度而調節感測面404的大小。
[0111]另外，在圖6和圖7的實施例中，在形成狹縫340和凹槽440、450之后可根據清理感測面304、404的需要而進行蝕刻工序、清洗工序或熱處理工序。
[0112]第五實施例
[0113]圖8表不根據本發明又一實施例的傳感器500、600。
[0114]根據圖8a，埋設于感測堆502并分別電連接于電極端子530的導電層520和電連接于電極端子530的導電層522在感測堆502內部沒有重疊。
[0115]而且，如圖Sb所示，可通過改變埋設于感測堆602并分別電連接于電極端子630、632的導電層的長度而達到使導電層在感測堆502內部相重疊或不重疊的目的。參照圖Sb，比導電層621、622更長的導電層620、623相互重疊，而較短的導電層621、622卻不重疊。
[0116]正如這樣，如果具備只有各導電層的一端露出而電連接于電極端子，且各導電層中至少有一側邊緣均露出而構成感測面的條件，則導電層具有任何排列結構或布置結構均可。此外，還可以采用包括本領域所屬【技術領域】中具有普通知識的人員所公知的布置結構在內的多種布置結構。
[0117]在上述實施例中是以導電層只在互為相反的側面上露出而使電極端子相向的情形為例進行了說明，然而也可以通過改變導電層的圖案而使電極端子分別設置于相鄰側面或同一側面上。
[0118]圖9表不根據本發明又一實施例的傳感器700。
[0119]根據這一實施例，設置于相反側面上的電極端子730、732分別向感測堆702的下面延伸，而導電層720、722的一端形成為向感測堆702的下面彎曲的圖案，從而電接觸于導電層 720、722。
[0120]根據這種構成，具有可利用形成于感測堆702下面的電極端子730、732而輕易地貼裝于電路基板等的優點。
[0121]只在凹槽或狹縫740內填充感應物質而覆蓋通過凹槽或狹縫740的底面和側壁露出的導電層720、722，感應物質的涂覆量可以取預定量。
[0122]通過上述實施例可知，本發明具有多種優點。
[0123]首先，可廣泛地應用為用于感測氣體、包含紅外線的光、生物材料等的傳感器。
[0124]并且，可通過調節導電層之間的分離層厚度而使感測電極之間的間距變得微細，并使得用于感測的感測電極的寬度或長度的調節變得容易，且可以簡化制造工序并降低制造成本。
[0125]另外，由于具有感測電極埋設于感測堆內部的結構，因此不會發生電極的短路或斷路，從而可以提高傳感器的可靠性和感測靈敏度。
[0126]而且，由于可自由調節導電層的個數，因此可以調節感測靈敏度，且不需要現有技術中將多個傳感器并聯或串聯而提高感測靈敏度的復用器方式的傳感器，而可以用一個傳感器或多個傳感器應對。
[0127]上述實施例只是為了有助于更為徹底地理解本發明而參照附圖舉例說明的，不能理解為用于限定本發明。而且，對本發明所屬【技術領域】中具有普通知識的人員而言，在不脫離本發明基本原理的范圍內可以進行多種修改和變更乃是不言而喻的。
【權利要求】
1.一種具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，包括:感測堆，由第一導電層和第二導電層隔著分離層而被層疊埋設而構成；電極端子，分別電連接于所述第一導電層和第二導電層而設置于所述感測堆的側面，其中，在除了設置有所述電極端子的側面以外的至少一個側面上露出所述第一導電層及第二導電層而形成感測面。
2.如權利要求1所述的具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，在所述感測面上貫穿整個層疊方向而形成一個以上的狹縫或凹槽。
3.如權利要求1所述的具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，設置有所述電極端子的側面和所述感測面被上下切割或研磨而達到平整。
4.如權利要求1所述的具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，所述第一導電層和第二導電層或者相互重疊，或者因埋設的端部分開而沒有重疊。
5.如權利要求1所述的具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，通過使所述第一導電層和第二導電層的長度各不相同，從而使一部分導電層相重疊而其余導電層不重疊。
6.如權利要求1所述的具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，所述電極端子按各導電層分別電分離為多個子電極端子而構成多個獨立的傳感器模塊。
7.如權利要求6所述的具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，所述子電極端子上電連接有不同個數的導電層。
8.如權利要求1所述的具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，所述電極端子向所述感測面的相反側面延伸，而所述第一導電層和第二導電層分別在所述電極端子的延伸部分電連接于所述電極端子 。
9.一種具有埋設型電極的傳感器的制造方法，其特征在于，包括如下步驟:通過夾設分離層而層疊第一導電層和第二導電層，從而形成感測堆；形成第一電極端子，該第一電極端子上電連接有暴露于所述感測堆的一側面的所述第一導電層，并形成第二電極端子，該第二電極端子上電連接有暴露于所述感測堆的另一側面的所述第二導電層；使除了所述感測堆的一側面和另一側面之外的其余側面中的至少一個側面上露出所述第一導電層和第二導電層，從而成為感測面，并在所述感測面上涂覆感應物質而形成傳感器。
10.如權利要求9所述的具有埋設型電極的傳感器的制造方法，其特征在于，所述感測堆的一側面、另一側面和所述感測面在上下方向上被切割或研磨。
11.如權利要求9所述的具有埋設型電極的傳感器的制造方法，其特征在于，所述第一導電層和第二導電層相互重疊而層疊，或者使埋設的端部分開而層疊為不重疊。
12.如權利要求9所述的具有埋設型電極的傳感器的制造方法，其特征在于，通過使所述第一導電層和第二導電層的長度各不相同，從而使所述第一導電層及第二導電層中的一部分相重疊而其余的不重疊。
13.如權利要求9所述的具有埋設型電極的傳感器的制造方法，其特征在于，還包括在所述感測面上貫穿整個層疊方向而形成狹縫的步驟。
14.如權利要求9所述的具有埋設型電極的傳感器的制造方法，其特征在于，通過在所述感測面上形成凹槽或狹縫而使所述第一導電層及第二導電層均露出。
15.如權利要求9所述的具有埋設型電極的傳感器的制造方法，其特征在于，還包括對露出的所述第一導電層和第二導電層的剖面進行鍍覆而實現金屬生長，并將所述感應物質涂覆于經所述金屬生長的所述第一導電層和第二導電層各自的端部之間并進行平整化的步驟。
16.一種具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，包括:感測堆，在內部埋設第一導電層和第二導電層而構成；電極端子，分別電連接于所述第一導電層及第二導電層并設置于所述感測堆的側面，而且，通過在除了設置有所述電極端子的側面之外的至少一個側面上露出所述第一導電層及第二導電層而形成感測面。
17.一種具有埋設型電極的傳感器，其特征在于，包括:感測堆，由第一導電層和第二導電層隔著分離層而被層疊埋設而構成；電極端子，分別電連接于所述第一導電層及第二導電層并設置于所述感測堆的側面，而且，在除了設置有所述電極端子的側面之外的至少一個側面上形成一個以上具有預定寬度的凹槽或狹縫，從而形成感測面，且在所述凹槽或狹縫的底面上或者在所述凹槽或狹縫的底面和側壁上露出所 述第一導電層和第二導電層。
【文檔編號】G01N27/02GK103443619SQ201280014918
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2012年3月23日 優先權日:2011年3月24日
【發明者】金善基, 金星列, 鄭鉉學, 金正錫 申請人:卓英社有限公司, 大范科技有限公司