專利名稱：一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種測試儀，尤其是涉及一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀。
背景技術：
半導體薄片材料中的少子擴散長度、少子壽命及表面復合速度是表征半導體材料性能的一些重要參數，在器件制造過程中可以通過測試這些參數作為器件工藝監控的一種手段。其中非平衡少數載流子壽命是最基本的參數之一，它與材料的完整性、某些雜質的含量以及樣品的表面狀態有極密切的關系，直接影響雙極性器件的直流放大倍數、開關時間、MOS動態存貯器的刷新時間、PN結漏電流及CCD器件的轉換效率等性能，在材料工藝和器件的研究中占有重要的位置。如太陽能電池基區的少數載流子壽命是影響電池轉換效率的最重要參數之一，在電池制造過程中可以通過測試少數載流子壽命作為器件工藝控制的一種手段。目前，也有少量有關半導體材料少子壽命測量裝置的報道，如中國專利CN86101518A公開了一種用介質波導測量半導體材料少子壽命的裝置，該裝置是利用光照前后微波透過半導體樣品傳輸信號的變化測量少子壽命。中國專利ZL95243479. 2提供了一種測試少子壽命的裝置。中國專利ZL200310108310. 7提供了一種太陽電池少數截流子壽命分析儀，這兩種裝置(儀器)都是通過測量光照前后微波輻射半導體樣品后反射信號的變化測量少子壽命，而實現微波輻射分別采用喇叭天線和微帶面天線。這三種裝置(儀器)的共同特點是用脈沖光源激發引起半導體材料少子濃度的躍變，再從撤去激發光后光電導的衰退曲線測量少子壽命。這幾種裝置(儀器)都需要采用較高功率的脈沖激發源，及對光電導衰退曲線的寬帶放大等較復雜的信號調理電路。
發明內容本實用新型的目的是提供靈敏度較高、結構簡潔、操作方便的可實現對半導體材料少數載流子壽命的無接觸無破壞測量的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀。本實用新型設有微波系統、固體激光器、信號發生器和相移檢測電路；所述微波系統設有壓控振蕩器、衰減器、諧振腔和檢波器，壓控振蕩器輸出端接衰減器輸入端，衰減器輸出端接諧振腔輸入端，在諧振腔端蓋上設有對稱的LC諧振式孔縫，諧振腔用于被測樣品的安置，諧振腔輸出端接檢波器輸入端，檢波器信號輸出端接相移檢測電路；所述固體激光器設于所述諧振腔下方，固體激光器的激光光路對準所述LC諧振式孔縫；信號發生器的信號輸出端分別接固體激光器調制信號輸入端和相移檢測電路的信號輸入端；所述相移檢測電路設有調制信號檢測電路、光電導信號檢測電路、矩形波生成電路、脈寬檢測電路和微處理器；[0009]所述調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路通過信號選擇開關分別連接，調制信號檢測電路設有依次連接的微分電路、過零方波轉換電路、相移電路和分頻電路；光電導信號檢測電路設有依次連接的放大電路、微分電路、過零方波轉換電路、相移電路和分頻電路；放大電路的輸入端通過信號選擇開關分別與調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路連接；調制信號檢測電路的分頻電路輸出端接入矩形波生成電路輸入端，光電導信號檢測電路的分頻電路的輸出端也接入矩形波生成電路輸入端，矩形波生成電路輸出端接脈寬檢測電路輸入端，脈寬檢測電路輸出端接微處理器讀取信號輸入端，微處理器控制信號輸出端分別接所述調制信號檢測電路中的相移電路和分頻電路的控制信號輸入端，同時，微處理器控制信號輸出端也分別接所述光電導信號檢測電路中的放大電路、相移電路和分頻電路的控制信號輸入端。所述檢波器可采用晶體二極管檢波器。 所述信號發生器可采用通用信號發生器。所述脈寬檢測電路可直接采用單片機中的定時器電路。所述相移檢測電路最好設有單獨的殼體，相移檢測電路安裝于殼體中，殼體的前面板設有電源開關、數字顯示屏、調制信號輸入接頭(BNC接頭)、光電導信號輸入接頭(BNC接頭)及鍵盤；所述調制信號輸入接頭通過信號線接與所述信號發生器的信號輸出端連接，該信號發生器的信號輸出端輸出調制信號；所述光電導信號輸入接頭與所述檢波器的信號輸出端連接，該檢波器的信號輸出端輸出光電導信號；所述鍵盤包含復位、功能選擇及數字輸入等按鍵。本實用新型的工作原理如下信號發生器(通用信號發生器)產生正弦信號，固體激光器產生激光的光強受到單頻的正弦信號調制，調制激光對準LC諧振式孔縫，準確地照射到被測樣品的測量點，引起被測樣品材料光電導率變化，因為被測樣品從諧振腔中耦合的微波能量與被測樣品的光電導率成正比，所以微波系統后端的檢波器可檢測出通過微波系統能量的變化，即可檢測出與調制信號同頻率不同相位的正弦的光電導信號，比較光電導信號與加在固體激光器上的調制信號的相位差，由于該信號是單一頻率，只需簡單放大后與調制信號比較相位差就可計算得到少子壽命。本實用新型為了更好地檢測相移信號，結合單片機設計了一套測量相移的相移檢測電路，該相移檢測電路可對加在固體激光器上的調制信號及由晶體二極管檢波器檢測出的光電導信號分別進行放大、微分，可方便地檢測出它們各自峰點的相對位置，并得到一個寬度反映相位差的矩形波信號，而且可利用微處理器(單片機)中的定時器測量該寬度；同時還可利用微處理器(單片機)對放大電路、相移電路和分頻電路進行控制。本實用新型控制參數也可按需要選擇性顯示。由此可見，與現有技術比較，本實用新型具有如下突出優點本實用新型檢測傳感器采用工作于高Q值低損耗模的諧振腔，具有無接觸、高靈敏度和易調諧的優點。除采用高Q值諧振腔作為傳感器外，本實用新型方法的另一優點是單頻正弦波形式的激發信號和光電導信號更容易通過微處理器實現無失真放大調理，測試計算得到的半導體載流子壽命可實時顯示，測試儀便攜性高，可實現高效自動化測量。此外結構簡潔、操作方便。
圖1為本實用新型實施例的結構組成示意框圖。圖2為本實用新型實施例中的相移檢測電路框圖。圖3為本實用新型實施例的檢波器的信號輸出端輸出的光電導信號接入相移檢測電路后的放大及濾波電路原理圖。圖4為本實用新型實施例的相移檢測電路中的微分電路和過零方波轉換電路方框圖。圖5為圖4所示的本實用新型實施例的相移檢測電路中各節點的電壓波形示意圖。圖6為本實用新型實施例的相移電路方框圖。圖7為本實用新型實施例的相移檢測電路中的分頻電路方框圖。圖8為本實用新型實施例的相移檢測電路中的脈寬檢測電路原理(即單片機定時器脈寬檢測電路)示意圖。圖9為本實用新型實施例的用于安裝相移檢測電路的殼體的前面板示意圖。
具體實施方式
參見圖1和2，本實用新型實施例設有微波系統、固體激光器2、通用信號發生器3和相移檢測電路4。微波系統設有壓控振蕩器11、衰減器12、諧振腔13和晶體二極管檢波器14。壓控振蕩器11輸出端接衰減器12輸入端，衰減器12輸出端接諧振腔13輸入端，在諧振腔13的端蓋上設有對稱的LC諧振式孔縫，諧振腔13用于被測樣品的安置，諧振腔13輸出端接晶體二極管檢波器14輸入端，晶體二極管檢波器14信號輸出端接相移檢測電路4。固體激光器2設于所述諧振腔13下方，固體激光器2的激光光路對準所述LC諧振式孔縫；通用信號發生器3的信號輸出端分別接固體激光器2的調制信號輸入端和相移檢測電路4的信號輸入端。相移檢測電路4設有調制信號檢測電路、光電導信號檢測電路、矩形波生成電路411、脈寬檢測電路和單片機412 (脈寬檢測電路可直接采用單片機412中的定時器電路)。調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路2條電路通過信號選擇開關41分別連接。調制信號檢測電路設有依次連接的微分電路42、過零方波轉換電路43、相移電路44和分頻電路45 ;光電導信號檢測電路設有依次連接的放大電路47、微分電路48、過零方波轉換電路49、相移電路44和分頻電路410。放大電路47的輸入端通過信號選擇開關41分別與調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路連接。調制信號檢測電路的分頻電路45輸出端接入矩形波生成電路411輸入端，光電導信號檢測電路的分頻電路45的輸出端也接入矩形波生成電路411輸入端。矩形波生成電路411輸出端接脈寬檢測電路(即單片機412中的定時器電路)輸入端，脈寬檢測電路(即單片機412中的定時器電路)輸出端接單片機412的讀取信號輸入端，單片機412控制信號輸出端分別接所述調制信號檢測電路中的相移電路44和分頻電路45的控制信號輸入端，同時，單片機412控制信號輸出端也分別接所述光電導信號檢測電路中的放大電路47、相移電路44和分頻電路410的控制信號輸入端。在圖2中，符號Inl表不調制信號；In2表不光電導信號。參見圖3，所述放大電路和濾波電路將一般只有幾毫伏到幾十毫伏的光電導檢測輸出信號放大到標準幅度(O 5V)后再進行處理。圖中A1，A2組成同相并聯差動放大器，A3是起減去作用的差動放大器。多路開關⑶4051由程序控制選通Rl R8，實現由程序控制放大倍數。為削弱A1、A2不對稱引起的共模干擾接A4作為電壓跟隨器。A5組成二階帶通濾波電路，頻率寬度為 IKHz 20KHz。在圖 3 中，RO = R9 = 100k,Rl=30,R2=100,R3=330,R4=lk, R5=3. 3k, R6=10k, R7=46k, R8=120K, RlO=Rl1=R15=R17=R19=20K, R12=R14=10K,R13=15K, R16=4. 7K, R18=6. 3K, Cl=IOpF, C2=4. 7pF, C3=65pF。參見圖4，所述為相移檢測電路，通過將峰點微分轉換成零點進行比較來實現。由LM393組成施密特電壓比較器，用 于檢測微分后信號的零點，將正弦波信號轉換為矩形波信號，且前上升沿對應于微分信號過零點時刻。由⑶4013雙D觸發器組成鑒相電路對兩路輸入信號的上升沿進行鑒相，得到脈寬正比例于調制信號和檢測信號之間相位差的脈沖序列。在圖 4 中，Rl = R2 = R3 = R4 = 100k, R5 = R6 = 20k。參見圖5，圖5為圖4所示的相移檢測電路中各節點的電壓波形示意圖。參見圖6，移相電路用以抵消檢測信號經過放大、微分后帶來的附加相移。將輸入的參考信號送入CC4046鎖相環,鎖相環的輸出為360倍于輸入信號頻率上，B⑶碼計數器4518級連成除90分頻器，因此觸發器C的輸出頻率是4倍于輸入頻率，4013D型觸發器A，B級連成除4方式工作，同時產生四個90°移相輸出。相移角度輸入的數字信號為DO D7，它用二一十進制數來選擇所需求的相位，由二片4585四位數字量值比較器與計數器的計數值相比較，相等時“A = B”端輸出為“I”電平，這個信號作為D型觸發器D的時鐘輸入。四個90°移相對應的哪一個象限輸出由4066四雙向模擬開關控制，所以對應于第一至第四象限在相移輸出端得到的相移角度為相角輸入的度數加上0、90°、180°和270°。在圖6 中，Rl = 315，R2 = 2K, R3 = 3K, Cl = 470nF, C2 = IOOpFo參見圖7，所述為分頻電路，將高頻檢測信號的頻率降下來，用以匹配較低的單片機的工作頻率6M。采用4522減法計數器組成可編程分頻器，電路中Dl D4為預置數輸入端，一旦預置了分頻系數，計數器就對輸入脈沖進行減法計數并再重新置數，實現對輸入脈沖分頻。參見圖8，采用8031CPU，其內部計數器對正脈沖Tx測量脈寬。當和CPU引腳ΠΓ=(>時，其計數器處于內部計數狀態。此時，若設定TRO = I和GATE = 1，則TO是否計數將由INTO的信號決定當INTO由O變化到I時，則TO計數；當INTO由I變化到O時停止計數，通過計數值可方便地求出脈寬。參見圖9，所述相移檢測電路設有單獨殼體(未畫出)，相移檢測電路安裝于殼體中，殼體的前面板設有電源開關71、數字顯示屏72、調制信號輸入接頭73 (BNC接頭)、光電導信號輸入接頭74 (BNC接頭)及鍵盤75。調制信號輸入接頭74通過信號線接與所述通用信號發生器的信號輸出端連接，該通用信號發生器的信號輸出端輸出調制信號；所述光電導信號輸入接頭74與所述晶體二極管檢波器的信號輸出端連接，該晶體二極管檢波器的信號輸出端輸出光電導信號；所述鍵盤75包含復位、功能選擇及數字輸入等按鍵。下面對本實用新型實施例的工作原理作進一步說明壓控振蕩器11的輸出端經衰減器12后接諧振腔13，樣品設于諧振腔13上，激光調制系統中固體激光器2設于諧振腔13下方，晶體二極管檢波器14的輸入端接諧振腔13，晶體二極管檢波器14的輸出端接相移檢測電路4，調制固體激光器2的信號是由通用信號發生器3產生的正弦信號，其分壓后也接相移檢測電路4，用于與晶體二極管檢波器14輸出的光電導信號比較相位。為了更好地檢測相移信號，結合單片機設計了一套測量相移的電路。電路設計的基本思路是分別對調制信號和檢波二極管檢測出的信號放大、微分，以便檢測它們各自峰點的相對位置，得到寬度反映相位差的矩形波信號，利用單片機中的定時器測量其寬度，同時還利用單片機對放大電路、相移電路和分頻電路進行控制。通用信號發生器3產生的正弦信號除了調制固體激光器2外，還需送入相移檢測電路4中與晶體二極管檢波器14檢測的光電導信號比較相位差，在相移檢測電路4中，調制信號Inl分別經過微分電路42、過零方波轉換電路43、相移電路44和分頻電路45后送入矩形波生成電路411。晶體二極管檢波器14檢測的光電導信號In2在相移檢測電路4中經過放大電路47、微分電路48、過零方波轉換電路49和分頻電路410后送入矩形波生成電路411。矩形波生成電路411生成寬度反映調制信號3與光電導信號相位差的矩形波信號，利用單片機中的定時器測量其寬度。選擇開關41用來選擇相移檢測電路是輸入光電導信號還是調制信號，以便用于測量調制信號和光電導信號相位差時對經過兩條不同電路帶來的附加相移進行校準。光電導檢測輸出信號一般只有幾毫伏到幾十毫伏，要將信號放大到標準幅度(O 5V)后才能進行再處理。圖3為放大電路和濾波電路，Ui是輸入信號，UO是輸出信號。圖中Al, A2組成同相并聯差動放大器，A3是起減去作用的差動放大器。Rl R8通過多路開關和RO相連，它們的阻值可以根據不同放大倍數的要求按公式K = I + 2Ri/R0取計。單片機8031控制的8255芯片PA 口輸出到多路開關⑶4051的A、B、C通路選擇控制端，由程序控制選通Rl R8中哪一個電阻和RO接通，實現由程序控制放大器的放大倍數。在Al，A2完全對稱的情況下，放大電路的共模抑制比由A3的共模抑制比決定，所以A3應選用抑制比高的運算放大器，如AD8221。A4做為電壓跟隨器，削弱A1、A2不對稱引起的共模干擾。A5組成濾波電路，濾波電路是二階帶通濾波器，由低通濾波器和高通濾波器組合而成，頻率寬度為IKHz 20KHz。A1、A2、A4、A5可選擇0P07運算放大器。調制信號和檢測信號的相位差是通過檢測兩種信號峰點之間相對位置得到的。在電路上通過將峰點微分轉換成零點進行比較來實現的。如圖4所示，由LM393組成施密特電壓比較器，用于檢測微分后信號的零點，當輸入信號大于O時，LM393輸出高電平；當輸入信號U1〈-(R1/R2) XVcc時，輸出低電平。這樣正弦波信號轉換為矩形波信號，且前上升沿對應于微分信號過零點時刻，下降沿對應于-(R1/R2) XVcc時刻，當輸入信號輻度變化時，下降沿時刻跟著變化，上升沿時刻總保持不變。如圖4和5所示，由⑶4013雙D觸發器組成鑒相電路，該電路簡單、線性度好。⑶4013是上升沿觸發雙D觸發器，由它組成的鑒相器對兩路輸入信號的上升沿進行鑒相，與輸入信號的下降沿無關，因此鑒相輸出的脈沖信號不受輸入信號輻度的影響。各點的波形見圖5，從圖5中可以看出，鑒相輸出的脈沖序列脈寬正比例于調制信號和檢測信號之間的相位差。光電導檢測信號經過放大電路、微分電路之后，不可避免地由于這些電路的頻率特性引起相移，如果未加校正進行檢測信號的相位差，必將帶來錯誤，所以調制信號一路在信號進入鑒相器之前加入一移相電路，在測量時進行調整，以抵消因檢測信號經過放大、微分后帶來的附加相移。即在檢測相移差之前，調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路同時輸入調制信號，這樣不可避免產生附加相移，為消除此附加相移，在相移電路中設定補償相移，使調制信號檢測電路與光電導信號檢測電路的輸出信號的相位差為零。然后將信號選擇開關41撥向光電導信號，此時測得的相移差為真實的。相移電路如圖6所示。相移電路的工作過程簡述如下，將輸入的參考信號送入CC4046鎖相環，鎖相環的輸出被鎖定在360倍于輸入信號頻率上，圖中的BCD碼計數器4518級連成除90分頻器，因而在第90個輸入脈沖的下降沿能把計數器復位為零。此時觸發器C的輸出頻率是4倍于輸入頻率，即4fin，而4013D型觸發器A，B級連成除4方式工作，同時產生四個90°移相輸出，因此在鎖相環的相位比較器輸入③得到和輸入信號fin每一循環相一致的同相信號，鎖相信號還和計數器復位信號同相。控制相移角度改變的數字控制信號為DO D7，它用二一十進制數來選擇所需求的相位，DO D7送入由二片級聯的4585四位數字量比較器的比較輸入端，與計數器的計數值相比較，當計數器計時到和相移角度選擇輸入的數值相等時，數字量比較器的輸出“A = B”為“I”電平，這個信號作為D型觸發器D的時鐘輸入。由于鎖相環的輸出頻率是360倍于輸入頻率fin,計數工作的每一循環為除90，因而輸入信號fin每一循環時，數字量值比較器輸出“A = B”輸出“I”的電平狀態為4次，這時四個象限中哪一個象限輸出由4066四雙向模擬開關控制。因為在計數器中每隔頻率為360倍fin的90個脈沖，象限變化一個，這樣每個象限上可供選擇的相移為O 90°。雖然檢測信號和調制信號的相位差不會超過90°，但是電路調整時需要更換象限，所以對應于第一至第四象限在相移輸出端得到的相移角度為相角輸入的度數加上O、90°、180°和270°。另外，CC4046的10腳指示其參考信號與輸入信號是否鎖定，當鎖定時，輸出為“1”，失鎖時，輸出 為“O”。單片機的工作頻率6M，定時器工作是四個機器周期作為一個計數單位，所以定時器的工作頻率為1. 5M，用這樣的頻率測量20KHz的信號顯然不夠，因為對20KHz的信號，相位差所占的時間約為O. 14μ S，所以需要將高頻檢測信號的頻率降下來。另外相移電路的工作頻率也不可能太高，所以有必要在相移電路之前加上分頻電路，我們用減法計數器組成可編程分頻器，電路如圖7所示。4522是內含減法計數器，RS觸發器的可預置BCD碼的六計數器，電路中Dl D4為預置數輸入端，一旦預置了分頻系數N，計數器就對輸入脈沖進行減法計數到O狀態，第一級計數器的CO端變為高電平，又重新置數，電路如此對輸入脈沖進行N分頻。如圖8所示，采用8031CPU，具有兩個計數器/定時器，可以方便地進行內部定時和外部計數，若其引腳c/F=0時，則8031處于內部計數狀態。此時，若設定TRO= I和GATE =1，則TO是否計數將由INTO的信號決定當INTO由O變化到I時，則TO計數；當INTO由I變化到O時停止計數。這樣，將正信號接在INTO上，就可方便地求出正的脈寬Tx。圖9是這種測試儀前面板圖，開關71控制儀器的電源，數顯72顯示載流子壽命及控制功能信息，BNC接頭73是調制信號輸入接頭，BNC接頭74是光電導信號輸入接頭，鍵盤75包含復位、功能選擇及數字輸入等按鍵。
權利要求1.一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于設有微波系統、固體激光器、信號發生器和相移檢測電路；微波系統設有壓控振蕩器、衰減器、諧振腔和檢波器，壓控振蕩器輸出端接衰減器輸入端，衰減器輸出端接諧振腔輸入端，在諧振腔端蓋上設有對稱的LC諧振式孔縫，諧振腔輸出端接檢波器輸入端，檢波器信號輸出端接相移檢測電路；固體激光器設于所述諧振腔下方，固體激光器的激光光路對準所述LC諧振式孔縫； 信號發生器的信號輸出端分別接固體激光器調制信號輸入端和相移檢測電路的信號輸入端;相移檢測電路設有調制信號檢測電路、光電導信號檢測電路、矩形波生成電路、脈寬檢測電路和微處理器；調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路通過信號選擇開關分別連接，調制信號檢測電路設有依次連接的微分電路、過零方波轉換電路、相移電路和分頻電路；光電導信號檢測電路設有依次連接的放大電路、微分電路、過零方波轉換電路、相移電路和分頻電路；放大電路的輸入端通過信號選擇開關分別與調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路連接；調制信號檢測電路的分頻電路輸出端接入矩形波生成電路輸入端，光電導信號檢測電路的分頻電路的輸出端也接入矩形波生成電路輸入端，矩形波生成電路輸出端接脈寬檢測電路輸入端，脈寬檢測電路輸出端接微處理器讀取信號輸入端，微處理器控制信號輸出端分別接所述調制信號檢測電路中的相移電路和分頻電路的控制信號輸入端，微處理器控制信號輸出端分別接所述光電導信號檢測電路中的放大電路、相移電路和分頻電路的控制信號輸入端。
2.如權利要求1所述的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于所述檢波器采用晶體二極管檢波器。
3.如權利要求1所述的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于所述信號發生器采用通用信號發生器。
4.如權利要求1所述的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于所述脈寬檢測電路直接采用單片機中的定時器電路。
5.如權利要求1所述的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，其特征在于所述相移檢測電路設有單獨的殼體，相移檢測電路安裝于殼體中，殼體的前面板設有電源開關、數字顯示屏、調制信號輸入接頭、光電導信號輸入接頭及鍵盤；所述調制信號輸入接頭通過信號線接與所述信號發生器的信號輸出端連接，該信號發生器的信號輸出端輸出調制信號；所述光電導信號輸入接頭與所述檢波器的信號輸出端連接，該檢波器的信號輸出端輸出光電導信號；所述鍵盤包含復位、功能選擇及數字輸入按鍵。
專利摘要一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀，涉及一種測試儀。提供一種靈敏度較高、結構簡潔、操作方便的可實現對半導體材料少數載流子壽命的無接觸無破壞測量的一種半導體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀。設有微波系統、固體激光器、信號發生器和相移檢測電路；所述微波系統設有壓控振蕩器、衰減器、諧振腔和檢波器；所述固體激光器設于所述諧振腔下方；所述相移檢測電路設有調制信號檢測電路、光電導信號檢測電路、矩形波生成電路、脈寬檢測電路和微處理器；所述調制信號檢測電路和光電導信號檢測電路通過信號選擇開關分別連接，采用工作于高Q值低損耗模的諧振腔，具有無接觸、高靈敏度和易調諧的優點。結構簡單、操作方便。
文檔編號G01N21/17GK202886265SQ20122062056
公開日2013年4月17日 申請日期2012年11月21日 優先權日2012年11月21日
發明者倪祖榮 申請人:廈門大學