專利名稱：基板托架及基板檢測裝置的制作方法
技術領域：
基板托架及基板檢測裝置技術領域[0001]本實用新型涉及機械領域，尤其涉及一種基板托架及基板檢測裝置。
背景技術：
[0002]通常，在基板制成后，需要利用宏觀微觀檢測儀等基板檢測裝置對基板進行宏觀 結構和微觀結構的檢測，以判斷該基板是否為合格產品。在利用基板檢測裝置對基板進行 檢測之前，需要將基板放置于基板檢測裝置上的所預定的恰當位置上，一般無法將基板直 接放置在該位置上，此時需要借助基板檢測裝置上的對位校正裝置的幫助，通過對位校正 裝置對基板的位置進行調整，使得基板位于所預定的恰當位置上。[0003]發明人在實現本發明的過程中發現，基板檢測裝置上設置有多個基板托架，基板 直接放置在各基板托架上，若放置基板時，基板未能夠被某一基板托架所支撐，此時基板未 被支撐的部分可能會發生向下形變，則對位校正裝置對基板的位置進行調整時，會將基板 向該未支撐基板的基板托架一側推，則基板發生向下形變的部分可能會受到基板托架的頂 阻而損壞。實用新型內容[0004]本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種基板托架及基板檢測裝置，可保證 基板被每一個基板托架所支撐，可減小基板由于對位校正裝置的調整而損壞的可能性，間 接地增大對位校正裝置的修正能力。[0005]為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案[0006]一種基板托架，包括[0007]托架本體，所述托架本體包括均為平板狀結構的固定部、連接部和延伸部，所述固 定部具有第一通孔，通過所述第一通孔及螺釘將所述托架本體固定于基板檢測裝置上，所 述固定部位于所述連接部的一側，與所述連接部垂直；所述延伸部位于所述連接部的另一 側，向與所述固定部所在之處相反的方向延伸，與所述連接部垂直，并且所述延伸部具有腰 形通孔；[0008]滑動部件，所述滑動部件為平板狀結構，所述滑動部件具有第二通孔，所述滑動部 件與所述托架本體的延伸部通過依次穿過所述第二通孔、所述托架本體的延伸部的腰形通 孔的螺釘相配合，以使得所述滑動部件可相對于所述托架本體移動。[0009]所述基板托架還包括[0010]用于支撐基板的支撐部件，所述支撐部件設置于所述滑動部件上。[0011]所述支撐部件具有螺紋，所述滑動部件具有第一螺孔，所述支撐部件的螺紋與所 述滑動部件的第一螺孔相配合。[0012]所述滑動部件具有用于與具有螺紋的固定裝置配合緊固所述支撐部件的第二螺 孔。[0013]所述支撐部件設置于所述滑動部件上，所述支撐部件內設置有部分突出的滾珠，所述滾珠的突出部分與基板接觸。[0014]所述第一通孔為腰形通孔。[0015]一種基板檢測裝置，包括上述基板托架。[0016]在本實用新型實施例的技術方案中，提供了一種基板托架，該基板托架具有托架本體和滑動部件，托架本體具有向基板檢測裝置中心延伸的延伸部，使得基板可以盡可能的通過一次放置就可放置在每一個托架本體的延伸部上，降低了對位校正裝置調節基板位置時損壞基板的可能性。進一步的，滑動部件可相對于托架本體移動，當托架本體的延伸部的長度不夠時，可通過調節滑動部件與所述延伸部的相對位置調節托架本體向基板檢測裝置中心延伸的長度，保證了基板可放置在每一個托架本體上，進一步降低了對位校正裝置調節基板位置時損壞基板的可能性，間接地增大對位校正裝置的修正能力。
[0017]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。[0018]圖1為本實用新型實施例中的基板托架的結構示意圖一；[0019]圖2為本實用新型實施例中的基板托架的結構示意圖二 ；[0020]圖3為本實用新型實施例中的基板托架的結構示意圖三。[0021]附圖標記說明[0022]I一托架主體； 11—固定部； 111一第一通孔；[0023]12—連接部；13—延伸部；131—腰形通孔；[0024] 2—滑動部件；21—第二通孔； 22—第一螺孔[0025]23—第二螺孔； 3—支撐部件；31—滾珠。
具體實施方式
[0026]實施例一[0027]本實用新型實施例提供一種基板托架 ，如圖1所示，該基板托架包括[0028]托架本體1，所述托架本體I包括均為平板狀結構的固定部11、連接部12和延伸部13，所述固定部11具有第一通孔111，通過所述第一通孔111及螺釘將所述托架本體I固定于基板檢測裝置上，所述固定部11位于所述連接部12的一側，與所述連接部12垂直；所述延伸部13位于所述連接部12的另一側，向與所述固定部11所在之處相反的方向延伸， 與所述連接部13垂直，并且所述延伸部13具有腰形通孔131 ；[0029]所述托架本體I的延伸部13向與所述固定部11所在之處相反的方向延伸，即延伸部13向基板檢測裝置的中心延伸，使得基板可以盡可能的通過一次放置就可放置在每一個托架本體I的延伸部13上，降低了對位校正裝置調節基板位置時損壞基板的可能性。[0030]進一步的，由于通常檢測基板是利用各種光學原理進行檢測，故而，為了防止用于支撐基板的延伸部13遮擋太多的光線，延伸部13的寬度較小，通常僅為幾個毫米，減小了所遮擋的區域，進而減少了對基板檢測結果的干擾。[0031]更進一步的,所述托架本體I的固定部11與連接部12垂直、連接部12與延伸部 13垂直，該結構有利于托架本體I的安裝、調整。[0032]雖然，所述托架本體I具有向基板檢測裝置的中心延伸的延伸部13，但當放置基 板時將基板的位置放得過于偏斜，使得某一托架本體I的延伸部13的長度不足以支撐甚至 接觸到基板，為了減小這一情況出現的可能性，如圖1所示，所述基板托架還包括[0033]滑動部件2，所述滑動部件2為平板狀結構，所述滑動部件2具有第二通孔21，所 述滑動部件2與所述托架本體I的延伸部13通過依次穿過所述第二通孔21、所述托架本體 I的延伸部13的腰形通孔131的螺釘相配合，以使得所述滑動部件2可相對于所述托架本 體I移動。[0034]基板直接搭放在滑動部件2的平面上，由于滑動部件2可相對于所述托架本體I 移動，使得基板托架上用于支撐所述基板的部分的長度可變，進一步減小了基板無法被各 基板托架支撐的可能性，另外，若所要檢測的基板的規格發生變化時，通過調整滑動部件2 與相對于所述延伸部13的位置，使得該基板托架可以順利支撐起各個規格的基板，拓寬了 該基板托架的適用范圍。[0035]需要說明的是，基板托架的延伸部13與滑動部件2的相對位置可在利用基板檢測 裝置檢測基板前調整好，也可在檢測基板的過程中進行相應的調整操作。[0036]在本實施例的技術方案中，提供了一種基板托架，該基板托架具有托架本體和滑 動部件，托架本體具有向基板檢測裝置中心延伸的延伸部，使得基板可以盡可能的通過一 次放置就可放置在每一個托架本體的延伸部上，降低了對位校正裝置調節基板位置時損壞 基板的可能性。進一步的，滑動部件可相對于托架本體移動，當托架本體的延伸部的長度不 夠時，可通過調節滑動部件與所述延伸部的相對位置調節托架本體向基板檢測裝置中心延 伸的長度，保證了基板可放置在每一個托架本體上，進一步降低了對位校正裝置調節基板 位置時損壞基板的可能性，間接地增大對位校正裝置的修正能力。[0037]實施例二[0038]在實施例一的基礎上，如圖2所示，本實用新型實施例所提供的基板托架還包括[0039]用于支撐基板的支撐部件3，所述支撐部件3具有螺紋。[0040]為了與所述支撐部件3相配合，進一步的，所述滑動部件2具有第一螺孔22，所述 支撐部件3的螺紋與所述滑動部件2的第一螺孔22相配合。[0041]在滑動部件2上設置支撐部件3，使得基板托架的整體的高度可調，當基板由于放 置不穩而產生基板高度上的偏斜時，可通過調整所述基板托架的支撐部件3與滑動部件2 的相對高度來改變所述基板托架的整體高度，使得基板維持近乎水平的位置，便于對位校 正裝置的調整以及基板檢測裝置的檢測。[0042]為了防止所述支撐部件3的螺紋和所述滑動部件2的第一螺孔22內的螺紋的螺 接不嚴密，使得所述支撐部件3和所述滑動部件2在設置好配合位置后發生微小的相對移 動(尤其是水平方向的)，影響基板的檢測結果甚至損壞基板，進一步的，所述滑動部件2具 有用于與螺釘配合緊固所述支撐部件3的第二螺孔23。螺釘擰進第二螺孔23中，其前端和 第二螺孔23的內側壁共同作用抵緊滑動部件，大大減小了所述支撐部件3和所述滑動部件 2在設置好配合位置后發生相對移動的可能性。[0043]由于所述支撐部件3的頂端直接與基板接觸，為了減少所述支撐部件3的頂端對基板表面的刮蹭所導致的對基板的破壞，所述支撐部件3內設置有部分突出的滾珠31，所 述滾珠31的突出部分與基板接觸。[0044]則將基板與基板托架之間的滑動摩擦變為滾動摩擦，大大減小了基板的表面被基 板托架所破壞的可能性。[0045]具體地，如圖3所示，為整個基板托架組裝完成后的結構示意圖。[0046]進一步的，所述第一通孔111為腰形通孔，便于調節所述基板托架位于基板檢測 裝置上的位置。[0047]需要說明的是，基板托架的支撐部件3與滑動部件2的相對位置可在利用基板檢 測裝置檢測基板前調整好，也可在檢測基板的過程中進行相應的調整操作。[0048]實施例三[0049]本實用新型實施例提供一種基板檢測裝置，包括如實施例一及實施例二中所述的 基板托架。[0050]將基板放置于該基板檢測裝置上，具體為放置于該基板檢測裝置上的各基板托架 上后，該基板檢測裝置的對位校正裝置通過推、拉等方式將基板的位置校正，之后，該基板 檢測裝置將基板固定于基板檢測裝置上，即可移動基板檢測裝置上的光學裝置對基板各處 進行檢測。[0051]具體地，基板檢測裝置將基板固定是通過位于基板下方的真空吸附裝置對基板進 行真空吸附來固定基板。[0052]以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護范圍并不局限 于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到變化 或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應以所述權 利要求的保護范圍為準。
權利要求1.一種基板托架，其特征在于，包括 托架本體，所述托架本體包括均為平板狀結構的固定部、連接部和延伸部，所述固定部具有第一通孔，通過所述第一通孔及螺釘將所述托架本體固定于基板檢測裝置上，所述固定部位于所述連接部的一側，與所述連接部垂直；所述延伸部位于所述連接部的另一側，向與所述固定部所在之處相反的方向延伸，與所述連接部垂直，并且所述延伸部具有腰形通孔； 滑動部件，所述滑動部件為平板狀結構，所述滑動部件具有第二通孔，所述滑動部件與所述托架本體的延伸部通過依次穿過所述第二通孔、所述托架本體的延伸部的腰形通孔的螺釘相配合，以使得所述滑動部件可相對于所述托架本體移動。
2.根據權利要求1所述的基板托架，其特征在于，還包括 用于支撐基板的支撐部件，所述支撐部件設置于所述滑動部件上。
3.根據權利要求2所述的基板托架，其特征在于，所述支撐部件具有螺紋，所述滑動部件具有第一螺孔，所述支撐部件的螺紋與所述滑動部件的第一螺孔相配合。
4.根據權利要求3所述的基板托架，其特征在于， 所述滑動部件具有用于與具有螺紋的固定裝置配合緊固所述支撐部件的第二螺孔。
5.根據權利要求4所述的基板托架，其特征在于， 所述支撐部件設置于所述滑動部件上，所述支撐部件內設置有部分突出的滾珠，所述滾珠的突出部分與基板接觸。
6.根據權利要求1所述的基板托架，其特征在于， 所述第一通孔為腰形通孔。
7.一種基板檢測裝置，其特征在于，包括如權利要求1-6所述的基板托架。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種基板托架及基板檢測裝置，涉及機械領域，可保證基板被每一個基板托架所支撐，可減小基板由于對位校正裝置的調整而損壞的可能性，間接地增大對位校正裝置的修正能力。該基板托架包括托架本體，托架本體包括固定部、連接部和延伸部，固定部具有第一通孔，通過第一通孔及螺釘將托架本體固定于基板檢測裝置上，固定部位于連接部的一側，與連接部垂直；延伸部位于連接部的另一側，向與固定部所在之處相反的方向延伸，與連接部垂直，并且延伸部具有腰形通孔；滑動部件，滑動部件為平板狀結構，滑動部件具有第二通孔，滑動部件與托架本體的延伸部通過依次穿過第二通孔、托架本體的延伸部的腰形通孔的螺釘相配合。
文檔編號G01M11/00GK202868258SQ20122058487
公開日2013年4月10日 申請日期2012年11月7日 優先權日2012年11月7日
發明者王德永, 程貫杰, 陳健, 樸祥秀 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司