專利名稱:光頻域游標法光譜儀的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種光頻域游標法光譜儀,屬于光譜探測領域,可以應用于物質的吸收光譜的測定、光通信和光纖傳感等領域。
背景技術:
測定光譜的現有技術目前主要有兩類。一類是將不同波長的光波分布在不同的空間方向上,其中常見的分光兀件是棱鏡和光柵。另一類是將不同波長的光波在時間上分開,其中常見的是傅里葉變換光譜儀,可以利用邁克 耳遜干涉儀或者馬赫-曾德干涉儀實現。在先技術之一,利用光柵將不同波長的光波分散到不同的空間方向,利用線性探測器陣列或者線性圖象傳感器(如CCD或者CMOS圖像傳感器)探測不同波長光波的功率,由此得到待測光譜。這種方法的優點是響應速度快,波長分辨率也可以很高。缺點主要在于探測器和光柵之間需要較大的距離,因而導致機械加工困難,設備龐大笨重,而且價格昂
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貝o在先技術之二,將光波導入一個邁克耳遜或者馬赫-曾德干涉儀,輸出的光波是兩臂中傳輸的光波的相干光,其功率是波長和相位差的函數。通過調節一條光臂的長度,改變相位差,可以得到光功率隨腔長的變化。而光譜與這個信號的關系正好是余弦傅里葉變換,因此,通過求解逆傅里葉變換,可以得到待測光譜。這種方法的優點是,光譜探測范圍和波長分辨率都很高。缺點是非常耗費時間,不能夠測量變化較快的光譜;具有運動部件,對機械加工的要求也很高;設備也龐大而昂貴。因此如何克服現有技術中上述技術問題,成為本領域普通技術人員努力的方向。
實用新型內容本實用新型目的是提供一種光頻域游標法光譜儀,避免了使用體積較大的邁克耳遜干涉儀和光柵-圖像傳感器結構,而實現光頻率選擇;且可以在很小的幅度上調諧諧振腔的腔長,避免了采用活動部件所產生的技術問題。為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案是一種光頻域游標法光譜儀,包括入射準直透鏡,用于將待測的入射光耦合入光纖;可調諧F-P干涉儀,其通過調諧其腔長選擇部分來自所述入射準直透鏡的光波通過;F-P標準具,用于提取來自所述可調諧F-P干涉儀中特定頻率的光波;用于隔離反射光的第一光纖環行器,位于可調諧F-P干涉儀和F-P標準具之間,用于接收來自可調諧F-P干涉儀的光波;第二光纖環行器,此第二光纖環行器輸入端口與所述F-P標準具之間傳輸光波;第一光電探測裝置,連接到所述第二光纖環行器第一輸出端口,用于將光波轉化為電信號;[0013]功率測量模塊,根據來自第一光電探測裝置的電信號計算光功率,采樣并儲存光功率數據;第二光電探測裝置,連接到所述第二光纖環行器第二輸出端口,用于將光波轉化為電信號;波長解調模塊,根據來自第二光電探測裝置的電信號計算穩頻光源所發出的光波穿過整個系統后的光功率,采樣并保存光功率數據,從光功率數據中解調得到波長數據。上述技術方案中進一步改進的技術方案如下作為優選,所述可調諧F-P干涉儀中兩個端面反射鏡在不同的波長有不同的反射率。作為優選,還包括穩頻光源,接收來自所述第一光纖環行器中第3端口傳輸的光波,此穩頻光源發出的穩頻基準光波經耦合器和來自入射準直透鏡的光波耦合入光纖;第一光纖稱合器,穩頻光源發出的光波經稱合器與待測光波疊加在一起,并一同通過干涉儀;光纖布拉格光柵,位于所述第二光纖環行器和第一光電探測裝置之間,將來自穩頻光源發出的光波反射,其阻帶與待測光波的頻率范圍錯開。作為優選,還包括穩頻光源,用于提供一穩頻基準光波;第三光纖環行器,其第I端口接收所述穩頻基準光波,第三光纖環行器第2端口與所述F-P標準具傳輸光波,第三光纖環行器第3端口與所述第二光纖環行器第I端口傳輸光波;光纖布拉格光柵,位于所述第二光纖環行器和光電探測裝置之間,將來自穩頻光源發出的光波反射,其阻帶與待測光波的頻率范圍錯開。作為優選,還包括穩頻光源,用于提供一穩頻基準光波;第二光纖耦合器,用于將穩頻基準光波分為兩路;第一光纖稱合器,穩頻光源發出的光波經第一光纖稱合器與待測光波疊加在一起,并一同通過干涉儀;第三光纖環行器,其第I端口接收來自第二光纖耦合器的穩頻基準光波,第三光纖環行器第2端口與所述F-P標準具傳輸光波,第三光纖環行器第3端口與所述第二光纖環行器第I端口傳輸光波;第一光電探測裝置,連接到所述第二光纖環行器第一輸出端口,用于將光波轉化為電信號;第二光電探測裝置,連接到所述第二光纖環行器第二輸出端口,用于將光波轉化為電信號;光纖布拉格光柵,位于所述第二光纖環行器和光電探測裝置之間,將來自穩頻光源發出的光波反射,其阻帶與待測光波的頻率范圍錯開。作為優選,所述穩頻光源的光頻率與待測光譜的范圍錯開。由于上述技術方案運用,本實用新型與現有技術相比具有下列優點和效果I、本實用新型利用兩個體積很小的諧振腔實現了光頻率選擇的功能,避免了使用體積較大的邁克耳遜干涉儀,或者是光柵-圖像傳感器結構中較長的自由空間傳播距離。[0034]2、本實用新型只需要一個光電探測器,避免了使用價格昂貴的儀器級的圖像傳感器。3、本實用新型在掃描光頻率的過程中只需要在很小的幅度上調諧諧振腔的腔長。因此可以采用電光調制等手段,避免了采用活動部件所造成的問題。4、本實用新型的頻譜分辨率由標準具的自由光譜范圍決定,可以很容易地達到極高的分辨精度。
圖I本實用新型的結構;圖2諧振腔的功率透射譜;圖3標準具7和干涉儀3的功率透射譜;圖4通過調諧干涉儀3實現頻率掃描;圖5干涉儀3在不同波段的端面反射率和功率透射譜;圖6標準具7和干涉儀3對波長調制光波施加的幅度調制;圖7調諧諧振腔長度的電壓信號。以上附圖中1、入射準直透鏡;2、第一光纖耦合器;3、可調諧F-P干涉儀;4、第一光纖環行器;5、穩頻光源;6、第二光纖稱合器;7、F-P標準具;8、第三光纖環行器;9、第二光纖環行器;10、光纖布拉格光柵;11、第一光電探測裝置;12、第二光電探測裝置;13、功率測量模塊;14、波長解調模塊。
具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述實施例一種光頻域游標法光譜儀,,如附圖I所示,依次由入射準直透鏡1,第一光纖耦合器2,可調諧F-P干涉儀3,光纖環行器4,穩頻光源5,第二光纖耦合器6,F-P標準具7,光纖環行器8,光纖環行器9,光纖布拉格光柵(FBG) 10,第一光電探測裝置11,光電探測裝置12,功率測量模塊13,波長解調模塊14構成。其結構如圖I所示。各組成特征的功能和具體的工作方式見技術方案部分的敘述。根據多光束干涉的知識,諧振腔的功率透射譜呈現梳狀,如圖2所示。其中自由光譜范圍(腔縱模間隔)與諧振腔內的光程(簡稱為腔長)成反比。腔縱模的寬度,也就是透射光譜的寬度,是由精細度決定的。精細度越高,縱模的形狀越尖銳,縱模寬度D越窄。本實用新型中存在有兩個串接的諧振腔,即腔長可變的F-P干涉儀3和腔長固定的F-P干涉儀7。兩者的自由光譜范圍有一個微小的差別,如圖3所示,圖3 (a)為F-P標準具的透射譜,圖3(b)為可調諧F-P干涉儀的透射譜,兩者的透射光譜在光頻率Vi處重合,而在其它任何波長都不重合,因此,待測光波穿過兩個諧振腔之后,只剩下頻率為Vi的單色光波。根據諧振腔的相關知識,其縱模頻率為
r n nCV=-
21(I)其中C是光速,L是腔內光程,n是一個正整數,是縱模的序號。[0052]從式⑴可以得到諧振腔的自由光譜范圍,也就是相鄰縱模的頻率差為[_] AV=^-⑵從式⑴和式⑵可以看出,當改變腔長L時,自由光譜范圍和第n個縱模所在的光頻率V都會變化。但是,如果腔長的改變量A L遠小于腔長,即有關系AL<<L,從式
(2)可以看出,分母上的 一點微小變化不會對自由光譜范圍Av產生顯著的影響,我們可以認為Av是不變的。另一方面,在光頻波段,腔縱模的序數n都是很大的。因此,自由光譜范圍(縱模間隔)的一點微小變化都會累加起來,使第n個縱模所在的光頻率產生顯著的變化。綜上所述,微調腔長L的效果就相當于平移諧振腔的透射光譜,如圖4所示。圖中為了便于區別,將干涉儀3的透射光譜的位置略微下移了一些。如附圖4所示,其中V1 :采樣光頻率1,V2 :采樣光頻率2,V3 :采樣光頻率3,V4 :采樣光頻率4,V5 :可調諧F-P干涉儀的光譜,V6 :F-P標準具的光譜,dl :縱模的偏移,d2 采樣光頻率的偏移;圖4 (a)中,當標準具7光譜的第m個縱模與干涉儀3光譜的第n個縱模相重合時,采樣光頻率I能夠通過;圖4(b)中,第m+1個縱模與第n+1個縱模相重合,采樣光頻率2能夠通過;圖4 (c)中,第m+2個縱模與第n+2個縱模相重合,采樣光頻率3能夠通過;圖4(d)中,第m+3個縱模與第n+3個縱模相重合,采樣光頻率4能夠通過。從圖4中我們可以看出,第n個縱模的頻率僅僅只漂移了很小的量值,系統的采樣光頻率就已經跨越了很大的范圍。這個特點決定了本實用新型所需要的腔長調諧量值非常的小,因而可以采用電光調制等技術,避免了使用活動部件。技術方案如圖I所示。待測的入射光被準直透鏡I耦合入光纖;經過耦合器2,進入干涉儀3 ;干涉儀3是一個梳狀的光濾波器,其透射光譜如圖2所示。待測的入射光波中,只有那些頻率與干涉儀3的縱模相重合的光波能夠通過。干涉儀3輸出的光波進入環行器4。所謂環行器,是一種在光通信和傳感領域常用的無源器件,其功能為I端口入射的光波從2端口輸出,2端口入射的光波從3端口輸出,3端口入射的光波則無輸出。(從屬)光波進入環行器4的I端口,從2端口輸出,進入標準具7。在干涉儀3和標準具7之間插入環行器4的目的是為了隔離反射光。標準具7也是一個梳狀的光濾波器,其透射光譜如圖2、圖3所示。從圖3、圖4及前文的說明可知,穿過干涉儀3的若干個光頻率成分中,最多只有一個能夠穿過標準具7。從圖3、圖4及前文的說明可知,通過調諧干涉儀3的腔長,可以人為地選擇最終穿過標準具7的光波的頻率。也就是說,可以從待測光波中選出一個單色光波。這個功能是實現光譜測量的基礎。從標準具7出射的單色光波進入環行器8的2端口,從3端口出射;進入環行器9的I端口,從2端口出射,進入FBG 10。FBGlO是一個光帶阻濾波器。在本實用新型中,FBGlO的阻帶與待測光波的頻率范圍錯開,不會對待測光譜中任何一個頻率成分發生作用。光波穿過FBGlO以后,被光電探測器11轉變為電信號,進入功率測量模塊13。功率測量模塊13的作用為從電信號計算光功率;采樣并儲存光功率數據。在本實用新型中,干涉儀3的腔長被連續地調諧,其透射光譜也連續地移動。從圖3、圖4及前文的說明可知,在一個調諧周期中,待測光波中不同的頻率成分在不同的時間穿過系統,被功率測量模塊13所測量和記錄。所以,功率測量模塊得到的數據中包含有不同波長的光波的功率信息。對于一臺光譜分析儀器,僅僅只是將待測光譜中的單色光波分離測量是不夠的,還必須能夠判斷當前所測量的光波的頻率。直觀地看,可以通過測量干涉儀3的腔長計算出當前通過的光波的光頻率。但是,由于腔長的變化量很小,不可能得到足夠精確的測量,所以本實用新型提供了一個穩頻光源5做為判斷當前采樣光頻率的手段。穩頻光源5所采用的穩頻機理是roH(Pound-DreVer-Hall)方法。PDH穩頻方法中,必須采用標準具的一個縱模作為穩頻基準。在本實用新型中,采用標準具7的某個縱模作為穩頻光源5的穩頻基準。嚴格地說,標準具7和穩頻光源5結合使用才構成一個完整的穩頻光源。但是在本實用新型中,標準具7還有其它功能(與干涉儀3共同實現頻率選擇功能),所以本實用新型中所謂穩頻光 源5,是指一個完整的穩頻光源中除去標準具之后剩余的部分。此外,PDH方法輸出的所謂穩頻光波實際上是一個以很小的幅度做波長調制的光波。穩頻光源5發出的光波經過耦合器6,一部分光功率分配給耦合器2,用于判斷干涉儀3的光譜平移量,另一部分光功率分配給穩頻反饋回路。該回路包括環行器8、標準具7、環行器4。光波從環行器8的I端口進入,2端口輸出,然后進入標準具7,穿過標準具7的光波進入環行器4的2端口,從3端口輸出,反饋回穩頻光源5,提供穩頻的誤差信號。本實用新型中利用穩頻光源5實現對干涉儀3透射譜平移量的解調。其工作過程為穩頻光源5發出的光波經耦合器2與待測光波疊加在一起,并一同通過干涉儀3,進入環行器4的I端口,從2端口輸出,穿過標準具7,進入環行器8的2端口,從3端口輸出,進入環行器9的I端口,從2端口輸出,到達FBGlO。FBGlO是一個帶阻光濾波器,讓待測光波通過,將穩頻光源5發出的光波反射。穩頻光源5被FBGlO反射后進入環行器9的2端口,從3端口輸出,被光電探測電路12轉化為電信號,最后輸入波長解調模塊14。波長解調模塊14的作用為從電信號計算穩頻光源5所發出的光波穿過整個系統后的光功率;采樣并保存光功率數據;從光功率數據中解調得到波長數據。解調的原理敘述如下。由于穩頻光源5的頻率是穩定的,如果干涉儀3的透射譜發生平移,那么該光波穿過干涉儀3后肯定會產生對應的變化。通過解算該變化,理論上可以得知干涉儀3的光譜平移量。但是,考慮到干涉儀3的精細度很高,光譜的形狀很尖銳,在光譜平移的過程中,當穩頻光源5的波長沒有對準某個縱模時,幾乎沒有光功率能夠穿過干涉儀3,給探測增添了很多困難。為了能夠讓穩頻光源5在穿過干涉儀3之后還能保留較多的光功率,必須降低干涉儀3的精細度,使其透射光譜變得平坦一些。然而,為了實現頻率選擇功能,干涉儀3又需要很高的精細度。所以,選擇穩頻光源5的光頻率與待測光譜范圍錯開,與此相對應,干涉儀3在待測光譜范圍內具有較高的精細度,在穩頻光源5附近的波段具有較低的精細度。為了實現這個目的,干涉儀3的兩個端面反射鏡在不同的波長有不同的反射率,如圖5所示圖5(a)是干涉儀3的端面反射鏡的反射率,R1是光譜測量范圍的反射率,非常接近于1,R2是穩頻光源所在波段的反射率;圖5(b)是不同波段的不同反射率所對應的諧振腔功率透射譜;圖5 (c)是穩頻光源5的光譜。應注意穩頻光源5所輸出的實際上是一個波長調制的光波,其調制幅度約等于標準具7的縱模寬度D。在圖5中,由于繪制的范圍跨越了很多個自由光譜范圍,所以將穩頻光源5的光譜繪制為一個固定的窄光譜。通過穩頻光源5解調出干涉儀3的透射譜的平移量的方法如圖6所示。圖6 (a)是標準具7的透射光譜中用于光源穩頻的那個縱模;圖6 (b)是穩頻光源5發出的波長正弦調制的光波通過該縱模后所受到的幅度調制;圖6(()是干涉儀3的低反射率波段的透射光譜,其中實線、虛線、點劃線分別代表平移量不同的三個透射譜;圖6(d)是波長正弦調制的光波通過干涉儀3之后受到的幅度調制;圖6(6)是波長正弦調制的光波。如前文所述,本實用新型通過調諧干涉儀3的腔長使干涉儀3的透射光譜發生平移。當高反射率波段的尖銳透射譜發生平移時,低反射率波段的平緩透射譜也會平移相同的量值。所以,測量出低反射率波段透射譜的平移,就可以反推出哪一個頻率的光譜分量能 夠穿過干涉儀3和標準具7。本實用新型中,穩頻光源5輸出一個波長調制的光波。所謂波長調制,是指光波的光頻率隨時間按照某種規律變化,比如最常見的正弦形式。波長調制的光波穿過一個光濾波器時,會被濾波器的透射光譜施加一個幅度調制。這是因為,當光源被調制于某個波長時,正好對準透射光譜中透過率較大的點,而被調制到另一個波長時,對準透射光譜中透過率較小的點。所以,在一個波長調制周期中,穿過透射譜的光功率也會往復變化一回,最終的效果就是對波長調制光譜又施加了一個幅度調制。參看圖6(e)中的正弦曲線投映到圖6(a)中的縱模曲線所產生的圖6(b)中的振蕩曲線。從圖6中還可以看出,透射光譜所施加的幅度調制的波形是隨著光源與透射光譜的相對位置不同而變化的。簡略說來,在透射光譜斜率比較大的地方,施加的幅度調制就比較大,反之亦然。如圖6(e)中的正弦曲線投映到圖6(c)中的三條透射譜曲線所分別產生的圖6(b)中的三個不同的波動曲線。從圖6(c),(d),(e)可以看出,在干涉儀3的低反射率波段,當透射光譜平移時(圖中只畫出了透射光譜處于三個不同的位置,用以代表平移),穩頻光源5發出的波長調制光波對準了透射光譜的不同位置,輸出的幅度調制信號的相位、幅度、頻率成分都會不同,從這些信息可以很反演出諧振腔的光譜平移量。穩頻光波經過干涉儀3之后還要經過標準具7,還會再受到標準具7的調制,如圖6(a),(b),(e)所示。根據理論分析可知,波長調制的光波穿過兩個諧振腔之后受到的總幅度調制相當于他們各自效應的乘積。由于兩個諧振腔的自由光譜范圍略有不同,可以通過取對數運算將相乘的關系變為相加,然后利用鎖相放大等手段將兩者分離開來。其中電光晶體4的前后端面鍍有高反射膜,構成F-P干涉儀。電光晶體4的上下表面貼有電極5,通過施加電壓改變材料的折射率,因而改變諧振腔內的光程。所施加的電壓信號如圖7所示。從圖7中可以看出,腔長隨時間變化的函數是一個正弦函數和線性函數的疊加。線性函數的斜率等于正弦函數斜率的最大值,因此曲線上周期性地出現斜率為0的點。在設計中,這些斜率為0的點對應頻率采樣點。這樣設計是考慮到兩個諧振腔的精細度都很高,腔縱模寬度D很小。如果簡單地采用線性掃描,則在掃描的過程中,兩者重合的時間太過短暫。如果用很慢地速率掃描,則又導致測試的時間太長。因此,本實用新型采用的掃描形式在采樣頻率處停留時間較長,而在其它地方用較快的速率掃描,解決了這個問題。 上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施,并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種光頻域游標法光譜儀,其特征在于包括 入射準直透鏡(I),用于將待測的入射光耦合入光纖; 可調諧F-P干涉儀(3),其通過調諧其腔長選擇部分來自所述入射準直透鏡(I)的光波通過; F-P標準具(7),用于提取來自所述可調諧F-P干涉儀(3)中特定頻率的光波; 用于隔離反射光的第一光纖環行器(4),位于可調諧F-P干涉儀(3)和F-P標準具(7)之間,用于接收來自可調諧F-P干涉儀(3)的光波; 第二光纖環行器(9),此第二光纖環行器(9)輸入端口與所述F-P標準具(7)之間傳輸光波; 第一光電探測裝置(11),連接到所述第二光纖環行器(9)第一輸出端口,用于將光波轉化為電信號; 功率測量模塊(13),根據來自第一光電探測裝置(11)的電信號計算光功率,采樣并儲存光功率數據; 第二光電探測裝置(12),連接到所述第二光纖環行器(9)第二輸出端口,用于將光波轉化為電信號; 波長解調模塊(14),根據來自第二光電探測裝置(12)的電信號計算穩頻光源(5)所發出的光波穿過整個系統后的光功率,采樣并保存光功率數據,從光功率數據中解調得到波長數據。
2.根據權利要求I所述的光頻域游標法光譜儀,其特征在于所述可調諧F-P干涉儀(3)中兩個端面反射鏡在不同的波長有不同的反射率。
3.根據權利要求I或2所述的光頻域游標法光譜儀,其特征在于還包括 穩頻光源(5),接收來自所述第一光纖環行器(4)中第3端口傳輸的光波,此穩頻光源(5)發出的穩頻基準光波經耦合器(6)和來自入射準直透鏡(I)的光波耦合入光纖; 第一光纖I禹合器(2),穩頻光源(5)發出的光波經I禹合器(2)與待測光波疊加在一起,并一同通過干涉儀(3); 光纖布拉格光柵(10),位于所述第二光纖環行器(9)和第一光電探測裝置(11)之間,將來自穩頻光源(5)發出的光波反射,其阻帶與待測光波的頻率范圍錯開。
4.根據權利要求3所述的光頻域游標法光譜儀,其特征在于所述穩頻光源(5)的光頻率與待測光譜的范圍錯開。
5.根據權利要求I或2所述的光頻域游標法光譜儀,其特征在于 穩頻光源(5),用于提供一穩頻基準光波; 第三光纖環行器(8),其第I端口接收所述穩頻基準光波,第三光纖環行器(8)第2端口與所述F-P標準具(7)傳輸光波,第三光纖環行器(8)第3端口與所述第二光纖環行器(9)第I端口傳輸光波; 光纖布拉格光柵(10),位于所述第二光纖環行器(9)和光電探測裝置(11)之間,將來自穩頻光源(5)發出的光波反射,其阻帶與待測光波的頻率范圍錯開。
6.根據權利要求5所述的光頻域游標法光譜儀,其特征在于所述穩頻光源(5)的光頻率與待測光譜的范圍錯開。
7.根據權利要求I或2所述的光頻域游標法光譜儀,其特征在于還包括穩頻光源(5),用于提供一穩頻基準光波; 第二光纖耦合器¢),用于將穩頻基準光波分為兩路; 第一光纖I禹合器(2),穩頻光源(5)發出的光波經第一光纖I禹合器(2)與待測光波疊加在一起,并一同通過干涉儀(3); 第三光纖環行器(8),其第I端口接收來自第二光纖耦合器¢)的穩頻基準光波,第三光纖環行器(8)第2端口與所述F-P標準具(7)傳輸光波,第三光纖環行器(8)第3端口與所述第二光纖環行器(9)第I端口傳輸光波;第一光電探測裝置(11),連接到所述第二光纖環行器(9)第一輸出端口,用于將光波轉化為電信號; 第二光電探測裝置(12),連接到所述第二光纖環行器(9)第二輸出端口,用于將光波轉化為電信號; 光纖布拉格光柵(10),位于所述第二光纖環行器(9)和光電探測裝置(11)之間,將來自穩頻光源(5)發出的光波反射,其阻帶與待測光波的頻率范圍錯開。
8.根據權利要求7所述的光頻域游標法光譜儀,其特征在于所述選擇穩頻光源(5)的光頻率與待測光譜范圍錯開。
專利摘要本實用新型公開一種光頻域游標法光譜儀,包括入射準直透鏡,用于將待測的入射光耦合入光纖;可調諧F-P干涉儀,其通過調諧其腔長在選擇部分來自所述入射準直透鏡光波通過;F-P標準具,用于提取來自所述可調諧F-P干涉儀中特定頻率的光波;用于隔離反射光的第一光纖環行器,位于可調諧F-P干涉儀和標準具之間;第二光纖環行器,此第二光纖環行器輸入端口與所述F-P標準具之間傳輸光波;第一光電探測裝置;功率測量模塊;第二光電探測裝置;波長解調模塊。本實用新型避免了使用體積較大的邁克耳遜干涉儀和光柵-圖像傳感器結構,而實現光頻率選擇;且可以在很小的幅度上調諧諧振腔的腔長,避免了采用活動部件所產生的技術問題。
文檔編號G01J3/02GK202648797SQ201220093509
公開日2013年1月2日 申請日期2012年3月14日 優先權日2012年3月14日
發明者王允韜, 阮馳, 郁菁菁, 劉志麟 申請人:昆山煜肸傳感器科技有限公司