專利名稱：燈的不點亮檢測裝置、光照射裝置以及燈的不點亮檢測方法
技術領域：
本發明涉及燈的不點亮檢測裝置以及方法。更為具體來說，涉及能檢測并聯連接的多盞燈之中的I盞不點亮的不點亮檢測裝置以及方法。
背景技術：
半導體和平板顯示器的制造工序中，為了進行加工部件的表面清潔化和表面改性等，廣泛實施使用紫外線燈的UV臭氧(UV Ozone)清洗。在這種處理的過程中因為某些原因燈不點亮時，希望能夠迅速檢測出不點亮，從而進行燈更換等適當的處置。專利文獻I中，記載了設置有紫外受激準分子光的檢測單元和顯示燈的點亮狀態的單元的電介質放電燈裝置。另外，專利文獻2中記載了:用光電變換元件檢測來自受激準分子燈的放射光，根據該光電變換元件的輸出和規定的基準值的比較來判斷燈的點亮或熄滅的氙受激準分子燈的點亮檢測裝置。在先技術文獻專利文獻專利文獻IJP特開平7-220688號公報專利文獻2JP特開2005-227275號公報但是，專利文獻I和2記載的這種現有的裝置中存在的問題是:對于一盞燈來說需要一個昂貴的檢測器，若光照射裝置比較大型而燈的盞數較多，則成本很高。另一方面，若僅僅是減少檢測器的個數，則難以可靠地檢測出不點亮。要是用I個檢測器檢測多盞燈的光量，即使燈熄滅，檢測出的光量也不為0，僅僅是減少。而且，在檢測出的光量減少的情況下，還需要準確地判斷其原因不是隨著時間劣化等或燈輸出設定降低，而是燈的不點売。
發明內容
本發明正是考慮到這一點而作出的，其目的在于提供一種用更少個數的檢測器來檢測出燈的不點亮的不點亮檢測裝置以及不點亮檢測方法。并且，其目的還在于提供一種具備這種不點亮檢測裝置的光照射裝置。本發明的燈的不點亮檢測裝置，具有:對由并聯連接的多盞燈組成的燈群設置的I個光量傳感器；根據上述光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值的累計部；存儲上述傳感器累計值的存儲部；以及判斷燈的不點亮的判斷部，上述判斷部，根據上述傳感器累計值與基準值的比較、以及上述傳感器累計值與上述存儲部中存儲的過去的傳感器累計值的比較，判斷燈的不點亮。另外，本發明的燈的不點亮檢測裝置，具有:對由并聯連接的多盞燈組成的燈群設置的I個光量傳感器；朝向上述多盞燈各自的照射面，以比上述多盞燈的盞數少的個數配置的UV-可見光變換過濾器及光纖；根據上述光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值的累計部；存儲上述傳感器累計值的存儲部；以及判斷燈的不點亮的判斷部，上述判斷部，根據上述傳感器累計值與基準值的比較、以及上述傳感器累計值與上述存儲部中存儲的過去的傳感器累計值的比較，判斷燈的不點亮。在此，所謂燈群，是指由I個光量傳感器統一感知光量的多盞燈。在存在并聯連接的2盞以上的燈的情況下，可將這2盞以上的燈全體作為I個燈群來設置I個光量傳感器，在存在并聯連接的4盞以上的燈的情況下，可將該4盞以上的燈全體分為分別由多盞燈組成的多個燈群，對各燈群各設置I個光量傳感器。無論哪種情況都包含在本發明中。另外，所謂傳感器累計值，是指根據需要將光量傳感器的輸出進行數字變換等得到的值，相加多次而得到。這樣，由于對多盞燈使用I個光量傳感器，因此能夠降低裝置整體的成本。而且，通過將傳感器累計值與基準值以及過去的傳感器累計值進行比較，能夠以實質上沒有問題的精度，對多盞燈之中的I盞燈的不點亮進行檢測。優選，根據上述燈的使用初期求出的上述傳感器累計值來設定上述基準值。另外，優選，根據上述燈的輸出來設定上述基準值。由此，在對傳感器累計值與基準值進行比較時，能以更好的精度進行不點亮的判斷。另外，上述不點亮檢測裝置，可在并聯連接的4盞以上的燈形成分別由多盞燈組成的多個燈群的情況下，對各燈群各設置I個光量傳感器。根據該結構，在上述各發明之中、并聯連接的多盞(4盞以上)的燈全體被分為多個燈群的情況下，也能獲得與上述各發明相同的效果。另外，優選，在形成多個燈群的情況下，上述判斷部，還根據上述傳感器累計值與其他燈群的傳感器累計值的比較，判斷燈的不點亮。由此，能夠以更好的精度進行不點亮的判斷。優選，上述UV-可見光變換過濾器及光纖，相對于將構成上述燈群的相鄰的一對燈各自的中心點彼此連結的平行線，在與上述燈的照射方向垂直且以該中心點為起點的垂直線間配置I個。另外，本發明的燈的不點亮檢測裝置，具有:對由并聯連接的多盞燈組成的燈群設置的I個光量傳感器；根據上述光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值的累計部；存儲上述傳感器累計值的存儲部；以及判斷燈的不點亮的判斷部，上述判斷部，通過對上述傳感器累計值與上述存儲部中存儲的過去求出的傳感器累計值進行比較，來判斷燈的不點亮，上述過去求出的傳感器累計值，是與上述傳感器累計值相比2周期以上之前求出的傳感器累計值，且是與上述傳感器累計值相比前50小時之內求出的值。通過將傳感器累計值、與滿足這種條件的過去的傳感器累計值進行比較，能夠得到以更好的精度判斷不點売這一效果。優選，上述過去求出的傳感器累計值，是與上述傳感器累計值相比2周期前求出的傳感器累計值。由此，能夠減少要保持的過去的傳感器累計值的數量，能夠將整體處理簡化，能夠實現故障更少的不點亮檢測裝置。優選，上述判斷部在對上述傳感器累計值與基準值進行比較之后，對上述傳感器累計值與上述過去求出的傳感器累計值進行比較。由此，能夠提高不點亮判斷的精度。本發明的光照射裝置，具有:并聯連接的多盞燈；對上述多盞燈的輸出統一進行控制的控制裝置；以及上述任一不點亮檢測裝置。通過該結構，能夠以更低的成本，對多盞燈之中的I盞燈的不點亮進行檢測。本發明的不點亮檢測方法，根據針對并聯連接的多盞燈組成的燈群而被設置I個的光量傳感器的輸出，求出規定時間的傳感器累計值，在上述傳感器累計值比基準值小，且比過去求出的傳感器累計值小的情況下判斷為燈不點亮。在此，傳感器累計值比過去求出的傳感器累計值小，不包含雙方在傳感器累計值的測量誤差的范圍內相同的情況。通過該方法，能夠以更低的成本，檢測出多盞燈之中的I盞燈的不點亮。另外，上述不點亮檢測方法，在并聯連接的4盞以上的燈形成分別由多盞燈組成的多個燈群的情況下，根據對各燈群各設置I個的光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值，在上述傳感器累計值比基準值小，且比過去求出的傳感器累計值小的情況下，判斷為燈不點亮。根據該結構，由于對由并聯連接的多盞燈組成的各燈群設置各I個光量傳感器，因此在不點亮檢測方法的上述發明的一個方式下，能夠得到與上述發明相同的效果。另外，本發明的不點亮檢測方法，根據對并聯連接的多盞燈組成的燈群設置I個的光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值，通過將上述傳感器累計值與過去求出的傳感器累計值進行比較來判斷燈的不點亮，上述過去求出的傳感器累計值，是與上述傳感器累計值相比2周期以上之前求出的傳感器累計值，且是與上述傳感器累計值相比在前50小時內求出的值。為了對多盞燈用I個光量傳感器，以實質上沒有問題的精度對I盞燈的不點亮進行檢測，將傳感器累計值與過去的傳感器累計值進行比較是有效的。此時，通過將過去的傳感器累計值限定在上述的范圍，能夠將包含因不點亮發生而導致照射光量不穩定的時間的傳感器累計值排除在外。也就是說，能夠對經過求出傳感器累計值的規定時間燈完好的過去的傳感器累計值、與經過規定時間燈不點亮的最近的傳感器累計值進行比較。從而，能夠得到以更好的精度判斷不點亮的效果。優選，上述過去求出的傳感器累計值，是與上述傳感器累計值相比2周期前求出的傳感器累計值。由此，能夠減少要保持的過去的傳感器累計值的數量，簡化整體的處理。優選，求出上述傳感器累計值之后，在對上述傳感器累計值與基準值進行比較之后，對上述傳感器累計值與上述過去求出的傳感器累計值進行比較。由此，能夠提高不點亮判斷的精度。根據本發明的不點亮檢測裝置、光照射裝置以及不點亮檢測方法，由于對多盞燈使用I個光量傳感器，因此能夠降低裝置整體的成本。另外，通過將根據光量傳感器的輸出求出的傳感器累計值與基準值以及過去的傳感器累計值進行比較，能夠以實質上沒有問題的精度，對多盞燈之中的I盞燈的不點亮進行檢測。
圖1是表示本發明的一實施方式的光照射裝置的結構的圖。圖2是表示在本發明的一實施方式中求出傳感器累計值的方法的圖。圖3是表示在本發明的第I實施方式中判斷不點亮的方法的圖。圖4是用于對燈不點亮時的漏光進行說明的圖。圖5是用于對燈的不點亮判斷例進行說明的圖。
圖6是用于對燈的不點亮判斷例進行說明的圖。圖7是表示本發明的第2實施方式中判斷不點亮的方法的圖。圖8是表示本發明的一實施方式的光照射裝置的結構的圖。圖9是表示圖8的不點亮檢測裝置內的燈、光纖、PD及UV-可見光變換過濾器的位置關系的一實施方式的圖。圖10是用于對燈不點亮時的漏光進行說明的圖。圖11是用于對燈的不點亮判斷例進行說明的圖。圖中:11-光照射裝置；12-照射器具(光照射器具)；13_點亮裝置；14-不點亮檢測裝置；21-變換器;22、221、222、223_ 燈;23、231、232、233_ 光纖；24、241、243_ 光電二極管(PD，光量傳感器)；25_信號變換器；26、261、262、263-UV-可見光變換過濾器；27_變壓器；31-斷路器；32_開關；33_直流電源；34_可編程控制器(PLC) ;35_輸出控制裝置；36_累計部；37_存儲部；38_判斷部；40_漏光；Ixn-根據燈群X所對應的光量傳感器的輸出求出的第η周期的傳感器累計值；τ Α-累計時間；τ ρ-采樣間隔；Α_累計次數。
具體實施例方式(第I實施方式)圖1是表示本發明的第I實施方式的光照射裝置、光照射器具以及不點亮檢測裝置的結構的框圖。圖1中，光照射裝置11由照射器具12和點亮裝置13組成，具備不點亮檢測裝置14。照射器具12具備I個變換器21與變壓器27、以及10盞燈22。10盞燈22全部并聯連接，它們的輸出由變換器21總括控制。10盞燈22分別形成由2盞燈組成的5個燈群。對于各燈群而言，各具備I個光電二極管(光量傳感器，以下簡記為“H)”。)24。朝向各盞燈的照射面配置UV-可見光變換過濾器26和光纖23的一端，光纖23的另一端朝向TO24配置。來自TO24的輸出信號線上連接著信號變換器25。作為燈22，可以使用受激準分子燈等各種燈。在燈22為紫外線燈、特別是遠紫外線燈的情況下，與其對應的光量傳感器大多較為昂貴，本發明的效果尤其顯著。PD24，可根據作為對象的燈22的照射光譜適當地選擇。另外，PD24根據需要，也可具備用于截止多余波長的光的光學過濾器。點亮裝置13具備斷路器31、開關32，來自外部的電源通過這些部件之后被提供給照明器具12。另外，點亮裝置13，從外部電源起具備直流電源33和可編程控制器(PLC) 34。PLC34，通過改變內置的程序，能夠構成內部具有各種功能的裝置。在本實施方式中，在PLC34的內部，構成為具備有:用于控制變換器21的輸出的輸出控制裝置35、求出規定時間的傳感器累計值的累計部36、存儲過去的傳感器累計值的存儲部37、以及用于判斷燈的不點亮的判斷部38。累計部36、存儲部37、判斷部38的功能在后文說明。不點亮檢測裝置14，在上述各部分/裝置之中，由光纖23、PD24、信號變換器25、累計部36、存儲部37、判斷部38構成。接下來，對本實施方式的不點亮檢測裝置的動作進行說明。
在燈22點亮的過程中，紫外照射光由UV-可見光變換過濾器變換，通過光纖23，2根歸總為I根，被TO24實施光電變換。來自TO24的輸出信號(例如，O IOyA的電流)，由信號變換器25變換為更適于傳遞的信號(例如4 20mA的電流)，由累計部36求出傳感器累計值。圖2表示累計部36的動作。將來自燈群X所對應的TO24的信號，以τ ρ秒間隔采樣后變換為數字值(Λ Ix)，通過將此累計A次，從而能夠求出規定時間(累計時間)τΑ(τΑ=τρΧΑ)的傳感器累計值Ιχ。在燈點亮期間內反復該處理。以下，設第η周期求出的傳感器累計值Ix為Ιχη。累計時間τ Α、采樣間隔τ Ρ、累計次數A的優選范圍如下。在檢測紫外線燈的不點亮的情況下，希望在對被照射物的照射處理完成之前判定不點亮。該照射處理時間因處理內容而異，但最短的只有5秒左右。因此，無論照射處理的內容如何，為了在照射處理完成之前判定不點亮，優選累計時間TaS 1.5秒以下。另一方面，為了獲得足夠的精度，優選累計次數A為5次以上。另外，若將采樣間隔τΡ設定得過小，則根據PLC34的能力和PLC內置的程序容量等，會發生實際的采樣間隔并不固定的問題。因此，τΡ優選為0.01秒以上，更優選為0.02秒以上。例如能設τ Α為I秒、τ ρ為0.1秒間隔，A為10次。圖3表示判斷部38的動作。如上所述求出的傳感器累計值Ixn，被存儲到存儲部37，并且在判斷部38中用于不點亮判斷。判斷部38取得傳感器累計值Ixn，將其與基準值比較，在為基準值以上的情況下判斷為正常(沒有不點亮燈)。在傳感器累計值Ixn小于基準值的情況下，判斷部38將傳感器累計值Ixn進一步與存儲部37中存儲的過去的傳感器累計值IxmOn < η)比較，若為Ixn彡Ixm則判斷為正常。上述基準值，是在傳感器累計值Ixn更大的情況下判斷為所有的燈都點亮的值。在燈群由L盞燈組成的情 況下，若其中的I盞熄滅，則燈群的照射光量減少1/L。但是，本實施方式中，由TO24檢測出的光強度的減少量比1/L更小。這是因為:如圖4所示，即使I盞燈222熄滅，在不點亮燈所對應的UV-可見光變換過濾器262和光纖232中，來自相鄰的燈221、223的漏光會入射。漏光的量，雖然除了燈和光纖的配置之外也與裝置的形狀等相關，但若適當地設計裝置，則通常也能抑制到百分之幾以下。因此，優選將從L盞燈全部點亮時的傳感器累計值中減去1/LX修正系數而得到的值作為基準值，將修正系數設為50 90%。本實施方式中，將I盞燈熄滅時的光量的減少量設為1/2X80%，將構成燈群的燈2盞都點亮的情況下的傳感器累計值的60%設為基準值。構成燈群的所有燈點亮時的傳感器累計值的值，也可根據燈的規格、裝置的形狀等預先決定，存儲在存儲部37中。或者，也可在燈的使用初期根據實際測量的傳感器累計值決定，存儲在存儲部37中。光照射裝置11并不是進行簡單的接通-斷開控制，在連續改變燈輸出的情況下，燈的照射光量根據輸出設定而改變。本實施方式中，由于能由輸出控制裝置35控制變換器21，連續改變燈輸出，因此希望即使在有意降低燈輸出的情況下也不會誤檢測為不點亮。對此，優選判斷部38中，接收與燈輸出有關的來自輸出控制裝置35的信息，根據該信息修正基準值。由于燈的輸出與照射光量的關系，能夠根據燈的規格預先得知，因此能將輸出與照射光量的關系式、換算表等存儲在存儲部37中，從判斷部38將其讀出來進行利用。接下來，對傳感器累計值Ixn與過去的傳感器累計值IxmOn < η)的比較進行說明。在傳感器累計值Ixn小于基準值的情況下，有時也可能是因為不點亮或有意的輸出變更以外的原因，例如燈或測量系統的累計污損。因此，將傳感器累計值Ixn與過去的傳感器累計值Ixm比較，如果是在此之上則判斷為不是不點亮。另外，所謂Ixn是I 以上，也包含兩者在傳感器累計值的測量誤差的范圍內相同的情況。另外，在光照射裝置運轉剛剛開始等、沒有要比較的Ixm時，不進行Ixn與Ixm的比較。與傳感器累計值Ixn進行比較的過去的傳感器累計值Ixm，優選是與^相比至少2周期以前求出的傳感器累計值。這是因為:在發生不點亮的情況下，包含不點亮發生時的累計區間的傳感器累計值，根據來自不點亮發生前的ro的輸出和不點亮發生后的來自ro的輸出計算得出，若使用該傳感器累計值進行比較，誤差較大。通過將、。與2周期以前求出的傳感器累計值IxmOn ( n-2)進行比較，能夠排除誤差要因進行準確的判斷。另外，在受激準分子燈等不點亮的情況下，由于在與采樣間隔τ ρ(例如0.01秒)相比短得多的時間內其光量變為0，因此若將Ixn與2周期前求出的傳感器累計值IxmOn =n-2)進行比較，則能夠排除誤差要因進行準確的判斷。通過將與Ixn進行比較的過去的傳感器累計值Ixm設為2周期前求出的值，能夠縮小后述的燈光量的隨時間變化的影響，因此較為優選。另外，由于能夠減少存儲部37中保持的過去的傳感器累計值的個數，因此存儲部37、判斷部38等的動作也能簡化，在這一點上也較為優選。另一方面，若將求出Ixl^ Ixm的時間之間隔得過遠，由不點亮以外的原因導致的傳感器累計值的變化成為誤差主要原因。燈的光量，因隨時間的劣化，可能在50個小時會降低0.5 %左右。另外，燈的光量，因燈自身的溫度變化，可能在20秒內有0.5 %左右的變動。據此，求出Ixn和Ixm的時間的間隔，優選短于50小時，更優選短于20秒。綜上所述，與傳感器累計值Ixn進行比較的過去的傳感器累計值Ixm，優選與^相比是2周期以上之前求出的傳感器累計值，且與^相比是前50小時內求出的值，并優選與Ixn相比是前20秒內求出的值。再有，尤其優選的是，Ixffl是與Ixn相比2周期前求出的傳感器累計值。 綜上所述，與傳感器累計值Ixn進行比較的過去的傳感器累計值I ，是與Ixn相比2周期以上之前求出的傳感器累計值，且優選不是與Ixn相比50小時以上之前求出的值，更優選不是與Ixn相比20秒以上之前求出的值。再有，尤其優選的是，Ixm是與Ixn相比2周期前求出的傳感器累計值。用圖5以及圖6，對以上所述的不點亮的判斷例進行說明。圖5示意地表示在累計區間η-1內燈不點亮的情況下的傳感器累計值的變化。圖5中，由于傳感器累計值Ixn比基準值小，且比過去的I—小，因此判斷為不點亮。此時，在區間η-1內，AIx的變化急劇，雖然傳感器累計值Ixlri包含較大的誤差，但通過將Ixn與Ixn_2進行比較，能夠進行更為準確的判斷。圖6示意地表示在區間η-1內燈的輸出被人為調低的情況下的傳感器累計值以及基準值的變化。圖6中，在區間η-1內由于與燈輸出相應基準值下降，因此IxnS基準值以上，判斷為正常。接下來，對本發明的第2實施方式進行說明。本實施方式的光照射裝置、光照射器具以及不點亮檢測裝置的結構，與第I實施方式相同，由圖1表示。本實施方式的不點亮檢測方法中，在判斷部38中，進一步還將燈群X的傳感器累計值Ixn與其他燈群Y的傳感器累計值Iyn進行比較。
圖7表示本實施方式的判斷部38的動作。判斷部38中，與第I實施方式同樣，在進行傳感器累計值Ixn與基準值的比較、Ixn與過去的傳感器累計值IxmOn < η)的比較的結果沒有判斷為正常的情況下，進一步進行與其他燈群Y的傳感器累計值Iyn的比較，在Ixn為Iyn以上的情況下，判斷為正常，在Ixn小于Iyn的情況下判斷為不點亮。如前所述，傳感器累計值Ixn，有時因燈的隨時間劣化和溫度變化、或者有意的電力調節而減少。這種情況下，即使因沒有根據燈輸出修正基準值或基準值的設定不佳，導致Ixn與基準值的比較的結果判斷為異常，根據該方法，也能夠通過Ixn與Iyn的比較來防止不點亮的誤檢測。(第3實施方式)圖8是表示本發明的第3實施方式中的光照射裝置以及不點亮檢測裝置的結構的方框圖。圖9是表示圖8的不點亮檢測裝置內的燈、光纖、PD及UV-可見光變換過濾器的位置關系的一實施方式的圖。圖8中，光照射裝置11由照射器具12與點亮裝置13組成，具備不點亮檢測裝置14。照射器具12具有I個變換器21和變壓器27、以及10盞燈22。10盞燈22全部并聯連接，它們的輸出由變換器21總括控制。10盞燈22形成分別由2盞燈組成的5個燈群。對于各燈群而言，各具備I個TO24。另外，在圖9中，朝著燈22的照射面以少于10盞燈22的個數(5個)配置UV-可見光變換過濾器26和光纖23的一端,光纖23的另一端朝著Η)24配置。具體來說，相對于彼此連結構成上述燈群的相鄰的一對燈(2盞)各自的中心點Oi的平行線Η1，在與上述燈22的照射方向垂直的以該中心點Oi為起點的垂直線SI之間，配置I個UV-可見光變換過濾器26和光纖23。以下，將UV-可見光變換過濾器26、光纖23及TO24合起來稱作光檢測部。來自TO24的輸出信號線，與信號變換器25連接在一起。此外的結構(燈22、點亮裝置13及不點亮檢測裝置14)，由于與第I及第2實施方式相同，因此省略說明。接下來，對本實施方式的不點亮檢測裝置的動作進行說明。在燈22點亮的期間內，紫外照射光由UV-可見光變換過濾器26變換，通過光纖23，由TO24實施光電變換。來自TO24的輸出信號(例如，O 10 μ A的電流)，由信號變換器25變換為更為適于傳遞的信號(例如4 20mA的電流)，并由累計部36求出傳感器累計值。累計部36的動作、累計時間τΑ、采樣間隔τ ρ、累計次數A的優選范圍及判斷部38的動作，由于與第I及第2實施方式相同因此省略說明。上述基準值是在傳感器累計值Ixn更大的情況下判斷為所有的燈都點亮的值。在燈群由L盞燈組成的情況下，若其中的I盞熄滅，則燈群的照射光量減少1/L。具體來說，在圖10(a)為正常狀態的情況下，若2盞燈22 (I個燈群)之中的I盞熄滅(圖10 (b)或(c))，則這個燈群的照射光量減少1/2。但是，就算是如圖10(a)所示的這種正常狀態下，用于檢測2盞燈22 (I個燈群)的光量的UV-可見光變換過濾器26中，也會射入來自相鄰的其他燈群的燈22的漏光40b。另外，該漏光40b的量，雖然在燈和光纖的配置之外還與裝置的形狀等相關，只要適當地設計裝置，則通常能控制在百分之幾以下。因此，優選將從L盞燈全部點亮時的傳感器累計值中減去1/LX修正系數得到的值作為基準值，修正系數為50 90%。本實施方式中，將I盞燈熄滅時的光量的減少量設為1/2X80%，將構成燈群的燈的2盞都點亮的情況下的傳感器累計值的60%設為基準值。其他的結構與第I及第2實施方式相同，因此省略說明。另外，本發明如前所述，以比多盞燈的盞數少的個數配置UV-可見光變換過濾器及光纖來進行檢測。因此，例如像圖10(b)所示那樣I個燈群之中左側熄滅的情況下、和如圖10(c)所示那樣右側熄滅的情況下，對其進行檢測的TO24的照射光量，有時判斷為相同水平。該情況下，針對與對被判斷為某一方熄滅的燈群進行檢測的TO24相鄰的Η)24(圖10(b)、(c)所示的箭頭α側)的照射光量的變化狀況進行檢測，在其變化狀況為漏光40b的光量的下降(百分之幾的下降)的情況下，判斷為其相鄰一側的燈22熄滅。另外，在熄滅的是最外周的燈(例如，圖10(b)的熄滅的燈22為最外周的情況下)，其相鄰的Η)24(圖10(b)所示的箭頭α側)的照射光量幾乎沒有下降。因此，只要針對與對被判斷為某一方熄滅的燈群進行檢測的Η)24相鄰的TO24的照射光量的變化狀況進行檢測，在該相鄰的TO24沒有變化狀況的情況下，判斷為離該相鄰的TO24遠的燈22熄滅即可。另外，如圖11所示，在I個燈群之中雙方熄滅的情況下，由于進行檢測的TO24的照射光量大幅下降，因此在確認發生比判斷為某一方熄滅的情況更大的照射光量下降的情況下，可判斷為I個燈群之中雙方熄滅。另外，本發明并不限于上述的實施方式，在其技術思想的范圍內可有各種實施方式。例如，在上述實施方式中，雖然將并聯連接的10盞燈2盞2盞地分為5個燈群，但也可將所有的燈作為I個燈群，構成燈群的燈的盞數不限于2，構成各個燈群的燈的盞數也可不同。另外，作為燈來說，若累計使用時間長，有時因劣化照射光量也隨之下降。在該照射光量的下降成為問題的情況下，能夠根據實際測量值來適當向下修正基準值。
權利要求
1.一種燈的不點亮檢測裝置，其特征在于，具有: 針對由并聯連接的多盞燈組成的燈群設置的I個光量傳感器； 根據上述光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值的累計部； 存儲上述傳感器累計值的存儲部；以及 判斷燈的不點亮的判斷部， 上述判斷部根據上述傳感器累計值與基準值的比較、以及上述傳感器累計值與上述存儲部中存儲的過去的傳感器累計值的比較，來判斷燈的不點亮。
2.一種燈的不點亮檢測裝置，其特征在于，具有: 針對由多盞燈組成的燈群設置的I個光量傳感器； 朝向上述多盞燈各自的照射面，以比上述多盞燈的盞數少的個數配置的UV-可見光變換過濾器及光纖； 根據上述光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值的累計部； 存儲上述傳感器累計值的存儲部；以及 判斷燈的不點亮的判斷部， 上述判斷部根據上述傳感器累計值與基準值的比較、以及上述傳感器累計值與上述存儲部中存儲的過去的傳感器累計值的比較，來判斷燈的不點亮。
3.根據權利要求1或2所述的燈的不點亮檢測裝置，其特征在于， 根據上述燈的使用初期求 出的上述傳感器累計值來設定上述基準值。
4.根據權利要求1 3中任一項所述的燈的不點亮檢測裝置，其特征在于， 根據上述燈的輸出來設定上述基準值。
5.根據權利要求1 4中任一項所述的燈的不點亮檢測裝置，其特征在于， 在并聯連接的4盞以上的燈形成多個燈群的情況下，對各燈群各設置I個光量傳感器，其中多個燈群分別由多盞燈組成。
6.根據權利要求5所述的燈的不點亮檢測裝置，其特征在于， 上述判斷部還根據上述傳感器累計值與其他燈群的傳感器累計值的比較，來判斷燈的不點亮。
7.根據權利要求2所述的燈的不點亮檢測裝置，其特征在于， 上述UV-可見光變換過濾器及光纖，相對于將構成上述燈群的相鄰的一對燈各自的中心點彼此連結的平行線，在與上述燈的照射方向垂直且以該中心點為起點的垂直線間配置I個。
8.一種燈的不點亮檢測裝置，其特征在于，具有: 針對由并聯連接的多盞燈組成的燈群設置的I個光量傳感器； 根據上述光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值的累計部； 存儲上述傳感器累計值的存儲部；以及 判斷燈的不點亮的判斷部， 上述判斷部通過對上述傳感器累計值與上述存儲部中存儲的過去求出的傳感器累計值進行比較，來判斷燈的不點亮， 上述過去求出的傳感器累計值是與上述傳感器累計值相比2周期以上之前求出的傳感器累計值，且是與上述傳感器累計值相比前50小時之內求出的值。
9.根據權利要求8所述的燈的不點亮檢測裝置，其特征在于， 上述過去求出的傳感器累計值是與上述傳感器累計值相比2周期前求出的傳感器累計值。
10.根據權利要求8或9所述的燈的不點亮檢測裝置，其特征在于， 上述判斷部在對上述傳感器累計值與基準值進行比較之后，對上述傳感器累計值與上述過去求出的傳感器累計值進行比較。
11.一種光照射裝置，其特征在于具有: 并聯連接的多盞燈； 對上述多盞燈的輸出統一進行控制的控制裝置；以及 權利要求1 10中任一項所述的不點亮檢測裝置。
12.—種燈的不點亮檢測方法，其特征在于， 根據針對并聯連接的多盞燈組成的燈群而設置I個的光量傳感器的輸出，求出規定時間的傳感器累計值， 在上述傳感器累計值比基準值小且比過去求出的傳感器累計值小的情況下判斷為燈不點亮。
13.根據權利要求12所述的燈的不點亮檢測方法，其特征在于， 在并聯連接的4盞以上的燈形成多個`燈群的情況下，根據針對各燈群各設置I個的光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值，該多個燈群分別由多盞燈組成， 在上述傳感器累計值比基準值小且比過去求出的傳感器累計值小的情況下，判斷為燈不點亮。
14.一種不點亮檢測方法，根據針對并聯連接的多盞燈組成的燈群設置I個的光量傳感器的輸出求出規定時間的傳感器累計值，通過將上述傳感器累計值與過去求出的傳感器累計值進行比較來判斷燈的不點亮，其特征在于， 上述過去求出的傳感器累計值是與上述傳感器累計值相比2周期以上之前求出的傳感器累計值，且是與上述傳感器累計值相比在前50小時內求出的值。
15.根據權利要求14所述的燈的不點亮檢測方法，其特征在于， 上述過去求出的傳感器累計值，是與上述傳感器累計值相比2周期前求出的傳感器累計值。
16.根據權利要求14或15所述的燈的不點亮檢測方法，其特征在于， 求出上述傳感器累計值之后，在對上述傳感器累計值與基準值進行比較后對上述傳感器累計值與上述過去求出的傳感器累計值進行比較。
全文摘要
本發明提供一種能夠用更少個數的檢測器檢測燈的不點亮的不點亮檢測裝置以及不點亮檢測方法。本發明的不點亮檢測裝置，具有針對由并聯連接的多盞燈(22)組成的燈群而設置的1個光量傳感器(24)；根據上述光量傳感器(24)的輸出求出規定時間τA的傳感器累計值I的累計部(36)；存儲上述傳感器累計值I的存儲部；以及判斷燈的不點亮的判斷部(38)，上述判斷部(38)根據上述傳感器累計值I與基準值的比較、以及上述傳感器累計值I與上述存儲部(37)中存儲的過去的傳感器累計值I的比較，判斷燈的不點亮。
文檔編號G01J1/18GK103162820SQ20121052838
公開日2013年6月19日 申請日期2012年12月10日 優先權日2011年12月12日
發明者野村元哉, 長谷川豐, 細谷浩二, 廣井和則, 水谷實 申請人:株式會社杰士湯淺國際