專利名稱：采用無接觸光纖組檢測哥氏振動的角速率傳感系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及微型測量儀器技術領域，特別涉及采用無接觸光纖組檢測哥氏振動的角速率傳感系統。
背景技術：
角速率傳感器是ー種檢測角速率的慣性測量器件，在軍事、商業等領域都有廣泛的應用。對于角速率傳感器來說，其應用較多的振動式陀螺，振動式陀螺的檢測方式主要為壓電式檢測、電容式檢測和電磁式檢測等方式，這些檢測方式的大部分應用受限于輸出阻抗聞、負載能力差，寄生電容影響大等問題。·
對于壓電式檢測方式來說壓電材料的機電稱合系數制約著壓電振子輸出的電量，從而影響到壓電式角速率傳感器測量的靈敏度和測量精度；而對于電容式檢測方式或電磁式檢測方式來說，電容元件或電磁元件的抗電磁干擾能力較弱，較強的電磁干擾將會顯著地影響到電容式或電磁式角速率傳感器的測量精度。為了提高角速率傳感器的測量的精度和測量的靈敏度，人們基于SAGNAC效應研制出了測量旋轉角速率的光纖陀螺(FOG)或激光陀螺。SAGNAC效應的要點是指在理想條件下，如圖8和圖9所示，一束光經分束器M進入同一光學回路中，分成完全相同的兩束光Ccw和Cccw,其中Ccw沿順時針方向傳播，Cccw沿逆時針方向傳播，如圖8所示，當回路靜止時，相向傳播的兩束光Ccw和Cccw從進入回路處到最終傳輸回到該進入處時沒有產生相位差；如圖9所示，當回路繞垂直于回路自身的軸轉動時，相向傳播的兩束光Ccw和Cccw從進入回路處到最終傳輸回到該進入處時產生A/的相位差，該相位差AJ的大小與回路的旋轉速率成比例。光纖陀螺(FOG)或激光陀螺具有更高的測量精度和更好的測量靈敏度，目前在軍用領域已經取得了較好的應用，但是由于光纖陀螺或激光陀螺生產成本高和體積大的特性，使其的應用領域受到了較大的限制。
發明內容
針對現有技術存在的上述問題，本發明解決的技術問題是如何提高角速度傳感器的測量精度和測量靈敏度的同時，降低角速度傳感器的體積和生產成本。解決該技術問題，本發明是這樣實現的采用無接觸光纖組檢測哥氏振動的角速率傳感系統，包括驅動系統和振動結構系統，所述振動結構系統包括振梁，還包括光纖組檢測系統，所述光纖組檢測系統包括光源、至少三對檢測光纖組，光隔離器、第一級Y型光耦合器、第二級Y型光耦合器、光電檢測裝置和光電處理系統；
每對檢測光纖組由兩個檢測光纖組合構成，每對檢測光纖組中的兩個檢測光纖組合分別設置于振梁兩側敏感面中相対的位置；所述檢測光纖組合沿振梁長度方向設置，各個檢測光纖組合的尾纖組端面處于ー個平面，且該平面與振梁敏感面平行；所述各個檢測光纖組合的尾纖組端面與振梁敏感面之間有間距，該間距不小于振梁敏感面最大振動幅值，且間距固定且相等；
所述光隔離器位于光源與第一級Y型光耦合器之間，所述光隔離器用于確保光源發出的光傳輸至第一級Y型光耦合器；
所述第一級Y型光耦合器用于將從光隔離器傳輸過來光分離，井分別傳輸至第二級Y型光稱合器； 所述第二級Y型光耦合器用于對進入其中的光進行通道轉換使該光進入所述檢測光纖組合；光進入檢測光纖組合后在其尾纖組端面一部分發生反射形成第一束反射光、另ー部分從檢測光纖組合的尾纖組端面透射出去被振粱敏感面反射到該檢測光纖組合的尾纖組端面形成第二束反射光，所述的第一束反射光與第二束反射光匯聚到第二級Y型光耦合器產生干渉；
所述光電檢測裝置用于檢測上述的經過干涉產生的干渉光，并將該干涉光傳送至光電檢測處理系統；
所述光電處理系統用于接收光電檢測裝置傳送的干渉光，井根據哥氏定理得到振粱的角速率。該技術方案實現了光學和機械振動學的結合，相比較傳統振動類型的角速率傳感器的檢測方式，該技術方案的抗電磁干擾能力更好，同時避免了接觸式檢測方式引入的測量誤差，而且光纖檢測對溫度不敏感，該技術方案的檢測精度和檢測靈敏度都較高；同吋，有機的將高靈敏度的光纖檢測與小體積、低成本的角速率傳感器結合在一起，不但降低了角速率傳感器的生產成本、減少的其體積,而且提高和改善了振動角速率傳感器的測量精度和靈敏度，從而拓展了振動角速率傳感器的應用環境和領域。其中驅動系統可采用壓電式驅動，電磁式驅動，靜電式驅動，聲驅動等
作為上述技術方案的進ー步優化，所述檢測光纖組為三對，由六個檢測光纖組合組成，第一、第三和第五檢測光纖組合沿振梁長度方向設置在振粱的ー側，第二、第四和第六檢測光纖組合沿振梁長度方向設置在振粱的另ー側；第一、第三和第五檢測光纖組合的尾纖組端面處于ー個平面，該平面與振梁敏感面平行且有間距，第二、第四和第六檢測光纖組合的尾纖組端面也處于ー個平面，該平面與振梁的另ー個敏感面平行且有間距。這樣使得檢測光纖組合對振梁敏感面交變振動信號檢測中形成“推挽式”工作方式，通過后續處理系統的處理，提高了角速率傳感器的檢測精度和檢測穩定性。所述第一、第三和第五檢測光纖組合的尾纖組端面與振粱敏感面之間的間距等于第二、第四和第六檢測光纖組合的尾纖組端面與振粱敏感面之間的間距；第一、第五檢測光纖組合分別設置在振粱敏感面長度方向的兩端，第二和第六檢測光纖組合分別設置在與第一、第五檢測光纖組合相對應的位置，第三檢測光纖組合設置在振粱敏感面中間部分，第四檢測光纖組合設置在與第三檢測光纖組合相對應的位置。由于振梁敏感面長度方向兩端振動幅值最明顯，有利于提高角速率傳感器的檢測精度和檢測穩定性。所述振梁為實心，且具有彈性的矩形振梁。該振梁采用合金、石英、多晶硅或ニ氧化硅加工制成。振梁為實心，有利于檢查其振動幅度，振梁為彈性的矩形，這使得振梁敏感面面積較大，有利于將從透射檢測光纖組合的尾纖組端面透射的光反射回去。合金、石英、多晶硅或ニ氧化硅都是常用的電磁材料，容易找到且造價低廉。所述光源為激光脈沖形式的光源，以適時發送激光，確保測量持續性。所述檢測光纖組合的尾纖組端面為平面，且設有鍍膜。檢測光纖組合的尾纖端面平面方便檢測振梁敏感面的交變振動信號，檢測光纖組合的尾纖端面采取鍍膜方式進行處理，提高檢測光纖組合的光學特性，進ー步提高角速率傳感器的檢測靈敏度和檢測精度。相比現有技術，本發明具有如下優點
I、本發明采用無接觸光纖組檢測哥氏振動來實現角速率傳感，實現了光學和機械振動學的結合，相比較傳統振動類型的角速率傳感器的檢測方式，本發明抗電磁干擾能力更好，同時避免了接觸式檢測方式引入的測量誤差，而且光纖檢測對溫度不敏感，因此本發明檢測精度和檢測靈敏度都較高。
2、本發明實現了光機電一體化的設計，有機的將高靈敏度的光纖檢測與小體積、低成本的角速率傳感器結合在一起，不但降低了角速率傳感器的生產成本、減少了角速率傳感器的體積，而且提高和改善了振動角速率傳感器的測量精度和靈敏度，從而拓展了振動角速率傳感器的應用環境和領域。
圖I-振粱工作原理圖。圖2-光纖組檢測系統框圖。圖3-雙光干涉原理示意圖。 圖4-振粱敏感面反射示意圖
圖5-光電探測器獲取的干涉光強與位相信號關系圖。圖6-檢測光纖組合安裝剖面圖。圖7-本發明實施例結構示意圖。圖8-SAGNAC效應干渉回路靜止時兩束干渉光的相位差。圖9- SAGNAC效應干涉回路繞自身軸旋轉時兩束干涉光的相位差。圖中，94-光電檢測裝置、95-光源、96-光隔離器、97-第一級Y型光I禹合器、981-第二級Y型光耦合器、982-第二級Y型光耦合器、99-光電處理系統、100-振梁、1011-第一檢測光纖組合、1012-第二檢測光纖組合、1013-第三檢測光纖組合、1014-第四檢測光纖組合、1015-第五檢測光纖組合、1016-第六檢測光纖組合，M-振梁。
具體實施例方式下面結合附圖和實施例對本發明作進ー步詳細說明。實施例
采用無接觸光纖組檢測哥氏振動的角速率傳感系統，包括驅動系統、振動結構系統和光纖組檢測系統，振動結構系統包括振梁100 ;光纖組檢測系統包括光源95、三對檢測光纖組合1011，1012，1013，1014，1015，1016、光隔離器96、第一級Y型光耦合器97、第二級Y型光耦合器981，982、光電檢測裝置94和光電處理系統99 ；如圖6，第一、第三和第五檢測光纖組合1011，1013，1015沿振梁100長度方向設置在振粱100的ー側，第二、第四和第六檢測光纖組合1012、1014和1016沿振梁100長度方向設置在振粱100的另ー側；第一、第三和第五檢測光纖組合1011，1013，1015的尾纖組端面處于ー個平面，該平面與振梁100敏感面平行且有間距，第二、第四和第六檢測光纖組合1012，1014，1016的尾纖組端面也處于ー個平面，該平面與振梁100的另ー個敏感面平行且有間距，該間距不小于振梁100敏感面最大振動幅值，第一、第三和第五檢測光纖組合1011，1013，1015的尾纖組端面與振粱100敏感面之間的間距等于第二、第四和第六檢測光纖組合1012，1014，1016的尾纖組端面與振粱100敏感面之間的間距；第一、第五檢測光纖組合1011，1015分別設置在振粱100敏感面長度方向的兩端，第二和第六檢測光纖組合1012,1016分別設置在與第一、第五檢測光纖組合1011, 1015相對應的位置,第三檢測光纖組合1013設置在振粱100敏感面中間部分，第四檢測光纖組合1014設置在與第三檢測光纖組合1013相對應的位置；
如圖7，振粱100采用實心彈性合金矩形梁，該振粱100具有兩個驅動面和兩個敏感面，振粱100的兩個敏感面分別與第一、第三和第五檢測光纖組合1011，1013，1015的尾纖組端面和第二、第四和第六檢測光纖組合1012，1014，1016的尾纖組端面相對，沿振粱100長度 方向兩端的兩個側面為振粱100的兩個驅動面。參見圖2，當光源95發出的光經第一級光耦合器97后分為兩路，兩路光分別進入第二級Y型光耦合器971和第二級Y型光耦合器972，第二級Y型光耦合器971對進入其中的光進行通道轉換使該光進入檢測光纖組合，光進入第一，第三，第五檢測光纖組合1011，1013, 1015
后在其尾纖組端面一部分發生反射形成第一束反射光、另一部分從第一，第三，第五檢測光纖組合1011，1013, 1015尾纖組端面透射出去被振梁100敏感面反射到第一，第三，第五檢測光纖組合1011，1013, 1015的尾纖組端面形成第二束反射光,所述的第一束反射光與第二束反射光匯聚到第二級Y型光耦合器971中產生干渉。進入第二級Y型光耦合器972的光與第二級Y型光耦合器971的光的傳輸路徑和發生干涉的過程相同。因此，最終從第一級光耦合器97分離出的兩束光，一束光經過第二級Y型光耦合器971和第一，第三，第五檢測光纖組合1011，1013，1015后產生一條干渉條紋；另一束光經過第二級Y型光耦合器972和第二，第四，第六檢測光纖組合1012，1014，1016后產生另一條干涉條紋；從而形成兩路干渉條紋。結合附圖6、7，若檢測光纖組合1011，1012，1013，1014，1015，1016的尾纖端面與振梁100敏感面間的距離為L0，且光源95發出的檢測光的初相位相同，則
若外界有輸入角速率_隨時間變化，且振梁100的驅動面在驅動激勵頻率時達
到諧振,其諧振位移幅值記為=，則振梁100敏感面在哥氏カ的作用下產
生振動，即附圖6的虛線部分；結合公式(I)哥氏カ的表達式可知振梁100敏感面產生振動位移幅值為.ら(0如式(6)2j^Qw
」^^頌—(ゆ⑷
則檢測光纖組合1011，1012，1013，1014，1015，1016的尾纖端面與振梁100的距離變化為■如式(7)
m(7)
則此時結合公式(3)可知此時的檢測光程差為MO) = 2>￡(f),結合公式(4)檢測光束形成的相位差為AfCO
t .. 2jt …2n4^-i, 4辦￡,(0
JLIAA
+ ^ ^Qr 頌
從式(8)可知，相位差Af(f)隨振梁100敏感面振動位移幅值M冷的變化而變化，即隨外界輸入角速率_的變化而變化，結合式(2)可知，由光電檢測裝置94輸出的干渉信號的光強變化為尺
)-- - {4s>/~
/(O = ZlHhJ2 + W3 cos = J1 + J2 +2'/J1J2 cos —.-— +---y
く . n.r,inf」
廠^\(9)
=八+/2 + 2、[JJ^ cas + —、7 iXOan(fl /)
V1,J*"j
從式(9)可知，光電檢測裝置94輸出的干渉信號的光強代O隨振梁100敏感面振動位移幅值￡, 的變化為變化，即干涉信號光強刊O隨外界輸入角速率O 的變化而變化，由此知可通過位相變化的測量值計算得到相應角速度的大小。各個檢測光纖組合都是由多個長度相同的光纖段組成，這保證光在檢測光纖組合中傳播的距離相同，各個檢測光纖組合的頭纖端面與第二級Y型光耦合器981，982固定連接，從而實現第二級Y型光耦合器981，982對進入其中的光進行通道轉換使該光進入檢測光纖組合中。為了清楚地闡述本發明的技術方案，再介紹下相關原理。一、哥氏定理
如圖I當振梁在X方向受到來自外界的驅動激勵作用時，若驅動激勵的頻率與振梁驅動面的諧振相頻率匹配，振梁在X軸方向產生諧振；當振梁同時受到來自外界的沿Z軸的旋動時，該旋轉角速率為Q，則振梁外軸向在Y軸方向產生哥氏力，該哥氏カ為
/⑴=-2MDxItO(I)
其中/ 是哥氏力，M是振梁質量，Q是振梁沿Z軸旋轉角速率。.功)是振梁的矢量速度。從式(I)可知哥氏カ引起振梁敏感面的振動，其振動幅值與外界輸入向角速率Q成正比關系，即檢測振梁敏感面的振動幅值就可以達到檢測外界輸入角速率Q的效果。ニ、光相位相干涉與檢測原理
兩束同頻単色光經過不同的光程，經反射回到光耦合器匯聚并形成干渉，干渉信號會隨光程差的變化而變化，采用光電探測器接收干涉信號，該光電探測器輸出的干渉信號的光強如式(2)
I I1 +17 + 2... /Z1/- cos Ap(2)
其中Aff = -為兩束同頻単色光的位相差，該兩束光的光程差為ば，
義是兩束同頻単色光的波長。假設振梁敏感面與檢測光纖組合的尾纖組端面的距離カ1 當外界沒有向振梁輸入沿y軸的角速度時，所述兩束光的光程差如式(3)
At =耳⑶
由于兩束光的初相位相同，那么相位差如式(4)
A伊=—At =ゼ^⑷
'I I
當外界沒有向振梁輸入沿y軸的角速度時，振梁敏感面的反射光光程發生變化，此時將產生新的光程差，則由于外界輸入角速度引起的兩束光的位相變化如式(5)
A伊=+----7-(5)
JnLe
其中，^為振梁敏感面的品質因數，A■為振梁在x方向的最大振幅，%為振梁沿J方向振動固有頻率，為外界輸入的驅動激勵的頻率，由公式(4)可知通過位相變化的
測量值就可以計算出外界對振梁沿ダ方向輸入的相應的角速度Q的大小。由公式(2)可知光的光強與光的位相差的余弦函數有關，光波長入為數百納米，而光干涉輸出信號通過高速采集能夠獲得0 \ /2之間的位相電壓，因此可測量數十納米級位移，比直接測量干渉周期條紋獲得的精度更高，同時相比傳統角速率傳感器的檢測方式的精度提升了幾個數量級。結合上述的原理的闡述，下面具體闡述本發明采用雙光干涉測量角速率傳感器的原理
如圖2所示，光纖組檢測系統，包含光源95、光隔離器96、第一級Y型光耦合器兩個第ニ級Y型光耦合器981，982、光電檢測裝置、光電處理系統99，其檢測原理如下
當光源發出的光經第一級光耦合器97后分為兩路，兩路光分別進入第二級Y型光耦合器981和第二級Y型光耦合器982，第二級Y型光耦合器981對進入其中的光進行通道轉換使該光進入第一、第三和第五檢測光纖組合1011,1013,1015,光進入第一、第三和第五檢測光纖組合1011，1013，1015后在其尾纖組端面一部分發生反射形成第一束反射光、另ー部分透射，從第一、第三和第五檢測光纖組合1011，1013，1015的尾纖組端面透射出去的光在振梁100敏感面再次反射到第一、第三和第五檢測光纖組合1011，1013，1015尾纖組端面形成第二束反射光，第二束反射光和第一束反射光在第二級Y型光耦合器981匯合產生干渉，形成干渉條紋。進入第二級Y型光耦合器92的光與第二級Y型光耦合器981的光的傳輸路徑和發生干涉的過程相同。因此，最終從第一級Y型光耦合器97分離出的兩束光經過第二級Y型光耦合器982的光、第二級Y型光耦合器981和檢測光纖組合后分別產生干渉，形成兩路干渉條紋。下面以任意一路干涉為例，具體說明形成干涉條紋的過程。如圖3，光經第二級Y型光稱合器981后，在檢測光纖組合尾纖組端面形成反射光SI'和透射光S2,透射光S2在振梁敏感面上形成的反射光為S2'。反射光S2'射到檢測光纖組合尾纖組端面成為另一束反射光S2"。經不同光程的兩束反射光SI'和S2"在第二級Y型光耦合器982匯合產生干渉，形成干渉條紋。光電檢測裝置94中包括光電探測器，該光電探測器用于探測上述干涉條紋，并將 其探測的干渉光信號轉換為電信號輸出。因為光路極端且傳播過程可忽略光強損耗，則此兩束光將呈現良好的干渉條紋。如圖4，檢測光纖組合的尾纖組端面與振梁100敏感面之間的間距I0由振梁沿X軸
振動的最大幅值Xmax確定，A為檢測光纖組合的尾纖組端面，一部分光被面A反射形成反射光，另一部分光從檢測光纖組合的尾纖組端面透射出去被振梁敏感面B反射回檢測光纖組合的尾纖組端面形成另一束反射光，另一束反射光與被面A反射形成反射光匯聚到第二級Y型光耦合器98產生干渉。由于B面是振梁敏感面，其受到哥氏力ダ(0作用時會產生微
位移，范圍在0到Ifl之間。當由外界向振梁輸入角速率引起振梁Y軸方向振動，從而改變了
發生干涉的兩束光的光程差吋，導致干涉條紋發生變化，干渉光光強將在/_與/-之間
交替呈正(余)弦變化如圖5，然后根據公式(4)得到兩束光的相位差，從而再利用公式(5)即可計算Q，達到對外界輸入角速率的測量。最后說明的是，以上實施例僅用以說明本發明的技術方案而非限制，盡管參照較佳實施例對本發明進行了詳細說明，本領域的普通技術人員應當理解，可以對本發明的技術方案進行修改或者等同替換，而不脫離本發明技術方案的宗g和范圍，其均應涵蓋在本發明的權利要求范圍當中。
權利要求
1.采用無接觸光纖組檢測哥氏振動的角速率傳感系統，包括驅動系統和振動結構系統，所述振動結構系統包括振梁(100)，其特征在于還包括光纖組檢測系統，所述光纖組檢測系統包括光源(95)、至少三對檢測光纖組，光隔離器(96)、第一級Y型光耦合器(97)、第二級Y型光耦合器(981，982 )、光電檢測裝置(94 )和光電處理系統(99 ); 每對檢測光纖組由兩個檢測光纖組合構成，每對檢測光纖組中的兩個檢測光纖組合分別設置于振梁(100)兩側敏感面中相對的位置； 所述檢測光纖組合沿振梁(100)長度方向設置，各個檢測光纖組合的尾纖組端面處于一個平面，且該平面與振梁(100)敏感面平行；所述各個檢測光纖組合的尾纖組端面與振梁(100)敏感面之間有間距，該間距不小于振梁(100)敏感面最大振動幅值，且間距固定且相等； 所述光隔離器(96)位于光源(95)與第一級Y型光耦合器(97)之間，所述光隔離器(96 )用于確保光源(95 )發出的光傳輸至第一級Y型光耦合器(97 ); 所述第一級Y型光稱合器(97)用于將從光隔離器(96)傳輸過來光分離,并分別傳輸至第二級Y型光耦合器(981，982)； 所述第二級Y型光耦合器(981，982 )用于對進入其中的光進行通道轉換使該光進入所述檢測光纖組合；光進入檢測光纖組合后在其尾纖組端面一部分發生反射形成第一束反射光、另一部分從檢測光纖組合的尾纖組端面透射出去被振粱(100)敏感面反射到該檢測光纖組合的尾纖組端面形成第二束反射光，所述的第一束反射光與第二束反射光匯聚到第二級Y型光耦合器(981，982)產生干涉； 所述光電檢測裝置(94)用于檢測上述的經過干涉產生的干涉光，并將該干涉光傳送至光電檢測處理系統； 所述光電處理系統(99)用于接收光電檢測裝置(94)傳送的干涉光，并根據哥氏定理得到振粱的角速率。
2.根據權利要求I所述的角速率傳感器，其特征在于所述檢測光纖組為三對，由六個檢測光纖組合(1011，1012，1013，1014，1015，1016)組成；第一、第三和第五檢測光纖組合(1011，1013，1015)沿振梁(100)長度方向設置在振粱(100)的一側，第二、第四和第六檢測光纖組合(1012、1014，1016)沿振梁(100)長度方向設置在振粱(100)的另一側；第一、第三和第五檢測光纖組合(1011，1013,1015)的尾纖組端面處于一個平面，該平面與振梁(100)敏感面平行且有間距，第二、第四和第六檢測光纖組合(1012，1014，1016)的尾纖組端面也處于一個平面，該平面與振梁(100)的另一個敏感面平行且有間距。
3.根據權利要求I所述的角速率傳感器，其特征在于所述第一、第三和第五檢測光纖組合(1011，1013,1015)的尾纖組端面與振粱(100)敏感面之間的間距等于第二、第四和第六檢測光纖組合(1012，1014，1016)的尾纖組端面與振粱100敏感面之間的間距；第一、第五檢測光纖組合(1011，1015)分別設置在振粱(100)敏感面長度方向的兩端，第二和第六檢測光纖組合(1012,1016)分別設置在與第一、第五檢測光纖組合(1011, 1015)相對應的位置，第三檢測光纖組合(1013)設置在振粱(100)敏感面中間部分，第四檢測光纖組合(1014)設置在與第三檢測光纖組合(1013)相對應的位置。
4.根據權利要求1-3任一項所述的角速率傳感器，其特征在于所述振梁(100)為實心，且具有彈性的矩形振梁。
5.根據權利要求4所述的角速率傳感器，其特征在于所述振梁(100)采用合金、石英、多晶硅或二氧化硅加工制成。
6.根據權利要求I所述的角速率傳感器，其特征在于所述光源(95)為激光脈沖形式的光源(95)。
7.根據權利要求I所述的角速率傳感器，其特征在于所述第一至第六檢測光纖組合(1011，1012，1013，1014，1015，1016)的尾纖組端面為平面，且設有鍍膜。
全文摘要
本發明涉及微型測量儀器技術領域，特別涉及采用無接觸光纖組檢測哥氏振動的角速率傳感系統，該角速率傳感器包括驅動系統、振動結構系統和光纖組檢測系統，所述光纖組檢測系統包括光源、至少3對檢測光纖組合、光隔離器、第一級Y型光耦合器、第二級Y型光耦合器、光電檢測裝置和光電處理系統；本發明利用了哥氏定理，通過雙光干涉檢測振梁敏感面的振動幅值來檢測角速率效果；由于采用無接觸光纖組檢測哥氏振動來實現角速率傳感，實現了光學和機械振動學的結合，因此抗電磁干擾能力更好，同時避免了接觸式檢測方式引入的測量誤差，而且光纖檢測對溫度不敏感，因此檢測精度和檢測靈敏度更高，同時還降低了角速率傳感器的生產成本、減少角速率傳感器的體積。
文檔編號G01P3/36GK102809663SQ201210296220
公開日2012年12月5日 申請日期2012年8月20日 優先權日2012年8月20日
發明者劉宇, 劉申, 路永樂, 劉聰, 肖力敏, 歐毅, 冉貞東, 王仕亮, 陳燕蘋 申請人:重慶郵電大學