修補裝置以及修補方法、器件的制造方法

專利名稱：修補裝置以及修補方法、器件的制造方法
技術領域：
本發明涉及例如對LSI元件、LED元件以及激光元件等發光元件等的檢查以及處理對象的器件進行檢查的ESD耐受性試驗的結果或者通常動作試驗的結果，使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態的修補裝置以及修補方法、利用了該修補裝置的器件的制造方法。
背景技術：
以往，在LSI元件的輸入電路側連接有保護ニ極管，并檢查保護ニ極管的ESD耐受性。在LED元件以及激光元件等的發光元件中，發光元件本身具有ニ極管結構。該ニ極管結構由P型擴散層以及η型擴散層的Pn結構成，因此根據P型擴散層以及η型擴散層的結果而ESD耐受性不同，因此需要檢查全部的ESD耐受性。以往的ESD施加所需的基本的ESD電路由利用了高壓電源與遵循ESD標準(HBM (人體放電模型human body model) /MM (機器放電模型Machine Model)等)的高壓電容器、施加電阻以及水銀的高耐壓繼電器構成。ESD電路的施加輸出部分利用將用于連接到器件的端子的接觸探測器固定安裝在襯底上的探測器卡、將該接觸探測器固定干支架上的操縱器等對檢查對象的器件通電。對檢查對象的器件提供的電壓的大小在通常動作試驗中是動作電壓的例如3V或5V左右，但在作為可靠性檢查的代表性的ESD試驗(靜電放電可靠性試驗)中，以大致Γ ΟΚν電平的高電壓作為對象。ESD試驗是對來自人體或者機器的靜電流過LSI芯片等的檢查對象的器件時的耐久性進行的試驗。另ー方面，在使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態的修補技術中，作為對象器件，例如有TFT、有機EL、LSI、LED元件以及激光元件等，作為大型器件，太陽能電池等符合。作為修補技術，例如有利用冗余元件/電路的方法(多用于復雜的器件)、偏壓施加方法、需要確定缺陷部位的激光修補方法以及過程步驟方法等。說明使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態的修補技術例如偏壓施加方法。如果說明柵氧化膜的絕緣狀態，則柵氧化膜有氧化膜針孔(pinhole)，在柵氧化膜的上部電極與下部硅襯底通過氧化膜針孔短路的狀態下，故意流過電流，從而燒斷短路部分的細的上部電極材料(多晶硅或者金屬等)，從而使該短路部分成為開路狀態(正常的絕緣狀態)，從而使該柵氧化膜恢復至正常的絕緣狀態。這樣，燒斷柵氧化膜的針孔的短路部分從而使其恢復至正常的絕緣狀態的偏壓施加方法的一例公開于專利文獻I中。圖22是在專利文獻I公開的以往的光電轉換元件的反向偏置處理裝置的概略圖。圖23是圖22的串聯連接的光電轉換元件的等價電路。在圖22以及圖23中，以往的光電轉換元件的反向偏置處理裝置100將從電位賦予部件101輸出的三個不同電位同時賦予光電轉換兀件102的背面的電極103,從而故意流過電流。電位賦予部件101具有電源105以及導電性構件106，所述電源105具有同時輸出三個不同電位的輸出端子104，所述導電性構件106將各個輸出端子104連接到串聯連接的光電轉換元件102的背面電極103。該導電性構件106由電極連接部106a以及布線部106b構成。只要從各輸出端子104輸出不同的電位即可,例如,輸出端子104a輸出+3V,輸出端子104b輸出0V，輸出端子104c輸出-3V的電位。通過該裝置，能夠對兩個光電轉換元件102同時施加反向偏壓3V，對兩個光電轉換元件102同時進行反向偏置處理，從而能夠對不合格器件的缺陷部分故意流過電流。例如將反向偏置電壓設為3V，但并不限定于此，為了防止光電轉換元件102的PN結被破壞且成為短路狀態的情況，只要是光電轉換元件102的耐電壓以下的電壓即可。光電轉換元件102的耐電壓根據半導體層的膜厚度或者層數等的結構而不同，但一般為幾伏至20V左右。
通過上述結構，在利用了反向偏置處理裝置100的反向偏置處理方法中，如果對各背面電極103a、103b、103c接觸電極連接部106al、106a2、106a3，且輸出端子104a輸出+3V的電位，輸出端子104b輸出OV的電位，輸出端子104c輸出-3V的電位，則背面電極103a被賦予+3V的電位，背面電極103b被賦予OV的電位，背面電極103c被賦予-3V的電位。對光電轉換兀件103a以及光電轉換兀件103b同時施加3V的反向偏置電壓，并對這些光電轉換元件同時進行反向偏置處理，通過使不合格器件的缺陷部分故意流過電流，能夠使其恢復至正常的絕緣狀態。專利文獻I :特開2008-91674號公報在專利文獻I中公開的進行電偏置處理的上述以往的反向偏置處理裝置中，由一個器件一個電源的一対一的關系構成。如果抑制電源容量，則不僅尺寸上會變小，還存在低成本的優點。從而，當盡量抑制了電源容量的情況下，難以對器件的電流供給確保更加充分的電流容量。而且，每ー個晶片的器件數量例如達到10萬個，因此在并非對每兩個左右而是對其以上的個數、例如對幾十個或者是幾百個等多個ー并處理該電偏置處理時，需要一并處理多個電偏置處理的多個電源。由此，在容積上(尺寸上)難以安裝太多電源。而且，對一并處理多個電偏置處理而進行了修補處理的多個器件，有效地而且自動地進行其合格與否判定處理是完全不可能的。對此，還考慮了對一并處理多個電偏置處理的多個器件并列地連接電源的情況，但是在一并處理的器件個數并非是兩個左右而是十個左右甚至是幾十個、幾百個等那樣多的情況下，無法對多個器件以相同的應カ(stress)(電壓)條件且從電源同時確保充分的電流容量。即使器件只有ー個，在盡量抑制電源容量時，也難以對器件的電流供給確保更充分的電流容量。

發明內容
本發明用于解決上述以往的問題，其目的在于，提供一種不依賴于電源容量，確保更充分的電流容量，從而能夠更有效地使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態的修補裝置以及修補方法、利用了該修補裝置的器件的制造方法。特別地，本發明用于解決上述以往的問題，其目的在于，能夠更有效且更自動地進行進行了電偏置處理后的合格與否判定處理的修補裝置以及修補方法、利用了修補裝置的器件的制造方法。 本發明的修補裝置對器件的漏電缺陷部分提供電應カ，從而使該漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化，該修補裝置包括作為電應カ源的電壓源；以及電壓施加部件，將來自被該電壓源充電的一個或者多個電壓電容部件的一個或者多個電荷應カ施加給ー個或者多個器件，從而達到上述目的。本發明的修補裝置是使ー個或者多個器件的漏電缺陷恢復的修補裝置，其包括電壓施加部件，將來自被電壓源充電的ー個或者多個電壓電容部件的各電荷應力施加給ー個或者多個器件；以及判定部件，在從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給了該電荷應カ施加后的一個或者多個器件的狀態下，自動判定該ー個或者多個器件是否為漏電缺陷器件，從而達到上述目的。此外，優選地，本發明的修補裝置中的電壓施加部件將來自被所述電壓源充電的多個電壓電容部件的各電荷應力分別對多個器件一并同時施加。 進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電流供給部件在將來自所述電壓源的電流應カ提供給了所述ー個或者多個器件的修補處理之后，所述判定部件在從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給了該電流應力供給后的一個或者多個器件的狀態下，自動判定該一個或者多個器件中的器件是否為漏電缺陷器件。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓施加部件具有與應將規定電壓ー并施加處理的器件的數據對應數目的相同電路結構。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓施加部件包括一個電壓電容部件，積累來自所述電壓源的規定的電壓；ー個電壓輸出部，將來自該ー個電壓電容部件的規定的電壓通過電阻輸出；以及切換部件，進行切換以便將該ー個電壓電容部件連接到該電壓源側或者連接到該電壓輸出部側。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓施加部件包括所述多個電壓電容部件，用于積累來自所述電壓源的規定的電壓；多個電壓輸出部，將來自該多個電壓電容部件的各規定的電壓分別通過各電阻來輸出；以及多個切換部件，進行切換，以便將該多個電壓電容部件各自分別連接到該電壓源側或者分別連接到該電壓輸出部側。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓施加部件具有所述ー個或者多個電壓電容部件，用于積累來自所述電壓源的規定的電壓；多個電壓輸出部，將來自該ー個或者多個電壓電容部件的各規定的電壓分別通過各電阻而輸出；以及多個切換部件，進行切換使得將該ー個或者多個電壓電容部件各自分別連接到該電壓源側或者分別連接到該電壓輸出部側。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的相同電路結構獨立地具有與所述應一井施加處理的器件數目對應數目的、從所述電壓電容部件通過所述切換部件且進一歩通過所述電阻而到達所述電壓輸出部的電路。進ー步優選的，本發明的修補裝置中的相同電路結構具有多個安裝了一個或者多個相同電路結構的襯底。 進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓源設為具有對應于與應ー并施加處理的器件數目對應數目的所述多個電壓電容部件的電容的充電處理能力的一個電壓源。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓源設為具有對應于與應ー并施加處理的器件數目對應數目的所述ー個或者多個電壓電容部件的電容的充電處理能力的ー個電壓源。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電荷應力的電壓值在所述器件的電壓/電流特性是非線性特性的情況下，作為絕對值而被設定為不超過擊穿電壓的值而且是該擊穿電壓的9成以上的電壓值。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓源被設為，其輸出電壓被構成為能夠自由改變，其能夠輸出與靜電破壞耐壓試驗對應的電壓等級。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的多個電壓電容部件具有與靜電破壞耐壓試驗對應的電容值。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的ー個或者多個電壓電容部件具有與靜電破壞耐壓試驗對應的電容值。
進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓輸出部的電阻具有與靜電破壞耐壓試驗對應的電阻值。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的電壓電容部件的充放電處理具有以下時序處理在利用自動傳送處理裝置進行修補處理時，在對所述器件通過該自動傳送處理裝置接觸移動期間該電壓電容部件被充電，在對該器件通過該自動傳送處理裝置接觸后從該電壓電容部件放電。進ー步優選地，還包括用于將來自本發明的修補裝置中的電壓源的電流應力提供給ー個或者多個器件的電流供給部件。進ー步優選地，具有用于選擇動作本發明的修補裝置中的電荷應力以及所述電流應カ這兩種電應カ的定時控制器。進ー步優選地，設有判定部件，所述判定部件在至少基于本發明的修補裝置中的電壓施加部件以及所述電流供給部件中的該電壓施加部件的修補處理之后，從所述電壓源通過該電流供給部件將電流提供給ー個或者多個器件的狀態下，自動判定該ー個或者多個器件中的器件是否為所述漏電缺陷器件。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的判定部件進行電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中ー個。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的判定部件、以及所述電壓施加部件與所述電流供給部件中的至少該電壓施加部件設置于相同村底上。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的判定部件、所述電壓施加部件以及所述電流供給部件設置于相同村底上。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的判定部件將對于修補處理后的一個或者多個器件的電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中ー個判定結果輸出給定時控制器。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的判定部件將對于修補處理后的一個或者多個器件的電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中ー個判定結果作為分割為多值的等級的判定信號而輸出給定時控制器。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的所述定時控制器具有可變設定控制部件，所述可變設定控制部件將所述一個或者多個電壓電容部件的電容值、以及分別通過各電阻而輸出來自該ー個或者多個電壓電容部件的各規定的電壓的一個或者多個電壓輸出部的該各電阻的電阻值，根據所述判定部件的判定結果而進行可變設定。進ー步優選地，基于來自本發明的修補裝置中的定時控制器的控制信號而控制可變設定部件，從而從預先安裝的電容組以及電阻組中選擇而設定為規定的電容值以及規定的電阻值。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的定時控制器基于所述判定部件的判定結果的合格不合格或者不合格的程度來決定修補處理流程。進ー步優選地，本發明的修補裝置中的定時控制器設定一次或者多次的修補處理流程。本發明的半導體裝置的制造方法利用本發明的上述修補裝置，對所述器件的漏電缺陷部分提供電應力，從而使該漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化，從而達到上述目的。
本發明的修補方法，對器件的漏電缺陷部分提供電應カ，從而使該漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化，包括電壓施加步驟，電壓施加部件將來自被電壓源充電的電壓電容部件的電荷應力施加到該器件，從而達到上述目的。此外，優選地，本發明的修補裝置中的電壓施加步驟具有所述電壓施加部件將來自被電壓源充電的多個電壓電容部件的各電壓應力分別對多個器件一并同時施加的電壓施加步驟。進ー步優選地，在本發明的修補方法中，還包括電流供給步驟，電流供給部件將來自所述電壓源的電流應力提供給ー個或者多個器件。進ー步優選地，在本發明的修補方法中，具有判定步驟，在所述電壓施加步驟以及所述電流供給步驟中的至少該電壓施加步驟的修補處理之后，從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給修補對象的一個或者多個器件的狀態下，判定部件判定該修補對象的ー個或者多個器件中的器件是否為該漏電缺陷器件。本發明的修補方法，使一個或者多個器件的漏電缺陷恢復，包括電壓施加步驟，電壓施加部件將來自被電壓源充電的ー個或者多個電壓電容部件的各電荷應力分別對ー個或者多個器件一并同時施加；以及判定步驟，在從該電壓源通過電流供給部件對該電荷應カ施加之后的一個或者多個器件提供了電流的狀態下，判定部件自動判定該ー個或者多個器件是否為漏電缺陷器件。此外，優選地，包括電流供給步驟，本發明的修補裝置中的所述電流供給部件將來自所述電壓源的電流應力提供給所述一個或者多個器件；以及判定步驟，在從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給了對該電流應カ供給后的一個或者器件的狀態下，自動判定該ー個或者多個器件是否為漏電缺陷器件。根據上述結構，以下說明本發明的作用。在本發明中，具有作為電應力源的電壓源、將來自被電壓源充電的ー個或者多個電壓電容部件的一個或者多個電荷應カ施加給ー個或者多個器件的電壓施加部件。此外，電壓施加部件將來自被電壓源充電的多個電壓電容部件的各電荷應カ分別對多個器件一并同時施加。由此，由于將來自被電壓源充電的ー個或者多個電壓電容部件的一個或者多個電荷應カ施加給ー個或者多個器件，因此確保更充分的電流容量而不依賴于電源容量，能夠更有效地使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態。由于電壓施加部件將來自被電壓源充電的多個電壓電容部件的各電荷應カ分別對多個器件一并同時施加，因此能夠一并進行多個電偏置處理，能夠更有效地使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態。此外，在本發明中，包括電壓施加部件，將來自被電壓源充電的一個或者多個電壓電容部件的各電荷應力施加給ー個或者多個器件；判定部件，在從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給該電荷應カ施加后的一個或者多個器件的狀態下，自動判定該ー個或者多個器件是否為漏電缺陷器件。由此，由于判定部件自動判定基于電壓施加部件的修補處理后的一個或者多個器件中的器件是否為漏電缺陷器件，因此能夠更有效地自動進行一并進行了多個電偏置處理之后的合格不合格判定處理。通過以上說明，根據本發明，由于將來自被電壓源充電的ー個或者多個電壓電容 部件的一個或者多個電荷應カ施加給ー個或者多個器件，因此能夠確保更充分的電流容量而不依賴于電源容量，從而能夠更有效地使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態。此外，由于電壓施加部件將來自被電壓源充電的多個電壓電容部件的各電荷應力分別對多個器件一并同時施加，因此能夠一井同時進行多個電偏置處理，從而能夠更有效地使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態。而且，由于判定部件自動判定基于電壓施加部件的修補處理之后的ー個或者多個器件中的器件是否為漏電缺陷器件，因此能夠更有效地自動進行一并進行了多個電偏置處理之后的合格不合格判定處理。


圖I是示意性地表示本發明的實施方式I中的修補裝置的單位結構例子的電路方框圖。圖2是表示圖I的修補裝置的具體結構例子的電路圖。圖3是表示ニ極管的電壓電流特性的圖。圖4是表示圖I的修補裝置的動作的流程圖。圖5 (a)以及(b)是表示修補裝置的CR應カ(CR電壓施加)的電壓施加波形及其電流施加波形的圖，(c)以及(d)是表示修補處理的恒流應カ(恒流供給)的電壓施加波形及其電流施加波形的圖。圖6是示意性地表示圖I的修補裝置的其他的単位結構例子的電路方框圖。圖7是表示圖6的修補裝置的具體結構例子的電路圖。圖8是表示圖7的修補裝置的動作的流程圖。圖9是示意性地表示對于圖7的修補裝置中的器件的各端子的接觸狀態的放大圖像的立體圖。圖10是示意性地表示圖7的修補裝置中的ESD試驗/規定電壓以及恒流供給處理時的結構圖像例子的立體圖。圖11是作為其他的修補裝置而示意性地表示圖6的修補裝置中的多個電壓施加以及電流施加器的設置圖像例子的平面圖。
圖12 (a)是作為又一其他的修補裝置而示意性地表示圖6的修補裝置IA中的多個電壓施加以及電流施加器的其他的設置圖像例子的平面圖，(b)是(a)的電壓施加以及電流施加器與探測器卡以及探針的縱斷面圖。圖13 Ca)示意性地表示圖12 Ca)的電壓施加以及電流施加器的立體圖，(b)是表不用于ESD試驗的ESD施加電壓波形的圖。圖14是示意性地表示對圖6的修補裝置的單位結構增加了判定電路的電壓等級檢測例子的情況的電路圖。圖15是示意性地表示對圖6的修補裝置的單位結構增加了其他的判定電路的電流等級檢測例子的情況的電路圖。圖16是示意性地表示對圖6的修補裝置的単位結構增加了又一其他判定電路的電壓等級檢測與電流等級檢測兩個事例的情況的電路圖。 圖17是圖6的修補裝置的判定結果為ニ值的判定信號的情況下的判定部件的電路圖。圖18是用于說明基于從圖14 圖16的定時控制器的其中一個輸出的控制信號而控制選擇器電路從而將電容以及電阻值設為可變的情況的主要電路方框圖。圖19是表示圖16的修補裝置的動作的流程圖。圖20是用于說明圖16的修補裝置的動作的圖。圖21是表示以個人計算機PC作為主體的晶片圖與探測管理的方框圖。圖22是在專利文獻I中公開的以往的光電轉換元件的反向偏置處理裝置的概略圖。圖23是圖22的串聯連接的光電轉換元件的等價電路。標號說明I、IA IF修補裝置2高壓電源3、4高耐壓繼電器5施加電阻5 A電阻組6 器件6a、6b器件的端子7高壓電容器7A電容部件組8高耐壓繼電器3、4的連接點9器件6的另一端子與高壓電源2的另一端子的連接點10、IOA IOF定時控制器11高耐壓繼電器12高耐壓繼電器13、電流限制用的電阻14施加電阻5與器件6的連接點20電壓施加電路
20A電壓施加和電流供給電路21電路箱(包含ESD的規定電壓和恒流供給襯底箱)22 布線23連接器24a、24b 探測器25探測器卡26電壓施加和電流施加襯底
27,28中央圓形部29 探針31運算放大器32反饋電阻33接地電阻34、36 比較器35基準值A的電壓輸出部37基準值B的電壓輸出部38、39選擇器電路
具體實施例方式以下，參照附圖詳細說明本發明的修補裝置以及修補方法、利用了該修補裝置的器件的制造方法的實施方式I。另外，從制作附圖的觀點出發，各圖中的結構構件各自的厚度以及長度等并不限定于圖示的結構。(實施方式I)圖I是示意性地表示本發明的實施方式I中的修補裝置的單位結構例子的電路方框圖。另外，設在該修補裝置中，包含作為單位結構例子而且由虛線包圍的部分是ー個的情況，而單位結構例子存在多個，特別地，存在三個以上或者十個左右至幾百個甚至其以上。在圖I中，在本實施方式I的修補裝置I中，輸出電壓可自由變化的高壓電源2的ー個端子通過高耐壓繼電器3、4連接到施加電阻5的一端。該施加電阻5的另一端連接到檢查和處理對象的器件6的一端子。該檢查和處理對象的器件6的另一端子連接到高壓電源2的另一端子。這些高耐壓繼電器3、4的連接點8通過高電壓電容器7，連接到檢查和處理對象的設備6的另一端子與高壓電源2的另一端子的連接點9，該連接點9被接地。此夕卜，設有用于控制這些高耐壓繼電器3、4的導通/截止的定時控制器10。另外需要用于驅動這些高耐壓繼電器3、4的電源。該修補裝置I具有設為對于ー個或者多個器件6的漏電缺陷部分電應カ源的作為電壓源的高壓電源2、累積來自高壓電源2的規定的電壓的作為ー個或者多個電壓電容部件的ー個或者多個高壓電容器7、將來自ー個或者多個高壓電容器7的各規定的電壓通過各施加電阻5輸出的一個或者多個電壓輸出部、作為進行切換以便將ー個或者多個電容器7連接到高壓電源2側或者連接到電壓輸出部側的切換部件的高耐壓繼電器3、4。由這些ー個或者多個高壓電容器7、一個或者多個施加電阻5、一個或者多個電壓輸出部、高耐壓繼電器3、4構成修補處理用的電壓施加部件。
圖2是表示圖I的修補裝置I的具體結構例子的電路圖。在圖2中，本實施方式I的修補裝置I能夠包含自由可變地輸出規定的電壓的高壓電源2、作為將來自高壓電源2的規定的電壓依次對多個檢查和處理對象的器件6—井同時提供的電壓施加部件的電壓施加電路20，對多個檢查和處理對象的器件6進行電壓施加修補處理。該電壓施加電路20具有作為用于積累來自高壓電源2的規定的高電壓的高電壓電容部件的多個高壓電容器7、將來自多個高壓電容器7的各規定的高電壓分別通過施加電阻5而輸出的多個高電壓輸出部、作為進行切換以便將來自該高壓電源2的規定的電壓連接到高壓電容器7側或者將來自高壓電容器7的規定的電壓連接到高電壓輸出部側的多個切換部件的高耐壓繼電器11 (等同于上述高耐壓繼電器3、4)，作為相同電路結構，獨立且并列地具有與應ー并施加處理的多個檢查和處理對象器件6的個數相應個數的、從高壓電容器7通過高耐壓繼電器11且進ー步通過施加電阻5而到達高電壓輸出部的電路。高壓電源2的ー個端子代替圖I的高耐壓繼電器3、4而分別經由多接點(這里為 8接點)的耐高壓繼電器11的各接點而連接到多個(這里為8個)高壓電容器7的各ー個電扱，且多個(這里為8個)高壓電容器7的各另ー個電極分別連接到高壓電源2的另ー個端子并被接地。多個(這里為8個)的高壓電容器7的各ー個電極從多接點(這里為8個)的高耐壓繼電器11的各接點分別通過各施加電阻5而從高電壓輸出部分別連接到檢查和處理對象的各器件6的ー個端子。各器件6的另ー個端子分別從GND電壓輸出部分別連接到高壓電源2的另ー個端子并被接地。這里雖然未圖示，但設有用于在規定定時控制多接點(這里為8接點)的高耐壓繼電器11的同時連接切換的定時控制器10。用于驅動該多接點(這里為8接點)的高耐壓繼電器11的電源需要另外準備。根據應ー并處理的高壓電容器7的個數的電容量，選定并共用具有適當的充電處理能力的高壓電源2。此時，在從高壓電源2對多個高壓電容器7進行充電之后，從多個高壓電容器7放電而對多個器件6提供規定電壓以及電流，因此，對于多個器件6的必要電流容量并不直接依賴于高壓電源2的電流容量。高壓電源2的輸出電壓被構成為自由可變。在作為可靠性檢查的代表的ESD試驗(靜電放電可靠性試驗)中，以大致f IOKV電平的高電壓作為對象。ESD試驗針對在來自人體或者機器的靜電流過LSI芯片等的檢查對象的器件6時的耐久性進行試驗。此外，除了高壓電源2之外還可以使用其他的專用電源，但這里自由可變地構成一臺高壓電源2，當高壓電源2用于器件6的通常動作試驗時，使輸出電壓在動作電壓的例如3V或者5V左右可變后使用。而且，在進行電壓施加的修補處理時，除了高壓電源2之外還可以使用其他的專用電源，但這里自由可變地構成一臺高壓電源2。如圖3的ニ極管的電壓電流特性(非線性特性)所示那樣，僅對絕緣膜的針孔(上部導電材料插入針孔內)等的漏電缺陷處通電應カ電流，使得不會對例如LSI元件的保護ニ極管、LED元件以及激光元件等的發光元件的ニ極管結構帶來障礙，因此對ニ極管的PN結面的閾值電壓設定如下的電壓B :電流不貫通的耐電壓范圍、ニ極管的擊穿電壓A以下(達不到擊穿電壓A)而且是更接近擊穿電壓A的電壓B，通常設定擊穿電壓A的一成左右高的電壓(擊穿電壓A的絕對值的9成以上的電壓)。ニ極管或者光電轉換元件(LED或激光)的耐電壓根據絕緣膜的膜厚度或者半導體層的膜厚度或者層數等的結構而不同，但在高壓電源2的輸出電壓中，一般設定在幾十伏至200V左右的電壓范圍內。另外，圖3的C是ニ極管的導通電壓值。該高壓電源2的輸出電壓的設定只要測定擊穿電壓A，并設定從擊穿電壓A返回電壓值后不流過電流的電壓值，就能夠更準確地設定電壓施加的修補處理中的施加電壓值。此外，由圖3的虛線表示的D是不合格ニ極管的電壓電流特性。高耐壓繼電器11使用一種對設置具有方向性的水銀繼電器，這里，可以是8接點的繼電器，但也可以是兩個4接點的繼電器，也可以是四個2接點的繼電器。也可以代替8接點的高耐壓繼電器11而分別將I接點的高耐壓繼電器3、4設置八個。高耐壓繼電器11對高壓電容器7，通過定時控制器10，各個8個接點同時以高壓電容器7側為中心在高壓電源2側與器件6側之間進行切換。設針對從8個高壓電容器7對8個器件6的高電壓的獨立的一井施加，對高耐壓繼電器11的控制信號單一同時進行控制。如果重疊積累而配置多個高耐壓繼電器11，則由于是通過線圈磁場來工作的部件，存在引起錯誤動作可能性，因此并不理想。高壓電容器7這里使用8個，選擇具有適于試驗電壓等的耐性的電容器，在電容的 選定中，選定對姆個試驗模型決定的電容，以便符合ESD試驗的規格。例如，如果是HBM(人體放電模型)規格，則選擇100pF，如果是MM (機器放電模型)規格，則選定200pF。施加電阻5這里使用8個，如果ESD試驗的例如HBM規格，則使用I. 5ΚΩ，如果是ESD試驗的麗規格，則設為OKΩ (無電阻)。這些高壓電容器7與施加電阻5以電性上獨立的狀態安裝與應ー并處理的器件6的個數對應的個數。器件6例如是LSI芯片的保護ニ極管元件、LED元件以及激光元件等的發光元件
坐寸ο通過上述結構，說明對在ESD試驗后對成為不合格的器件6，利用圖I的修補裝置I進行修補處理的情況。圖4是表示圖I的修補裝置I的動作的流程圖。如圖4所示，首先，進行步驟SI的ESD試驗。步驟SI的ESD試驗首先通過定時控制器10將高壓電源2的輸出電壓設定為ESD試驗用的高電壓，且高耐壓繼電器11的8個接點導通到高壓電源2側，從而電流從高壓電源2分支為8個后流入各高壓電容器7，從而均勻地積累成高壓電源2的ESD試驗用的高電壓。此時，高耐壓繼電器11的器件6側的8個接點通過定時控制器10而成為截止狀態。接著，通過定時控制器IO，進行控制，使得高耐壓繼電器11的高壓電源2側的8個接點截止后，高耐壓繼電器11的器件6側的8個接點導通。由此，各高壓電容器7中積累的ESD試驗用的高電壓從高耐壓繼電器11的8個接點分別通過各施加電阻5分別施加在檢查對象的各器件6的ー個端子。此時，各高壓電容器7與檢查對象的各器件6 —對ー對應，大幅地有效進行明確而且準確的ESD試驗。這樣，將這些高耐壓繼電器11的8個接點通過定時控制器10從高壓電源2側切換到檢查對象的各器件6側，從而使8個高壓電容器7充電或者放電，從而對檢查對象的各器件6分別從8個高壓電容器7將規定的明確且準確的ESD試驗用的高電壓分別從各電壓輸出部施加。高耐壓繼電器11的8個接點的切換動作通過定時控制器11在規定的定時同時進行。在ESD試驗中，決定了幾種施加模型和各自的規格，通過對檢查對象的各器件6施加的ESD電流波形(或者ESD電壓波形)而判斷是否適合。在ESD試驗中，從高電壓電源2經由高耐壓繼電器11的8個接點后，經由將高壓電容器7與施加電阻5的串聯電路并列連接了 8個的ESD施加電路(電壓施加電路20)以及除了插座之外的作為將支架固定于多個探測器(接觸構件)上的操作器、固定了多個探測器(接觸構件)的探測器卡等的接觸部件的接觸器具，對檢查對象的各器件6分別施加高電壓。對檢查對象的各器件6，通過將高電壓等的電壓的供給源側端子(一條)與GND側端子(一條)分別接觸到檢查對象的器件6的各端子，從而將高電壓等的電壓同時施加8個。接著，進行步驟S2的ESD試驗判定。規定的ESD試驗判定的結果,在沒有問題時(通過)結束試驗。此外,ESD試驗判定的結果，如果是不合格器件且有問題時(不合格)，進行步驟S3的修補處理而對不合格器件進行救濟處理。步驟S3的修補處理首先通過定時控制器10將高壓電源2的輸出電壓設定為修補 處理用的電壓，且高耐壓繼電器11的8個接點導通到高壓電源側2，電流從高壓電源2分支為8個后流入各高壓電容器7而均勻地積累成高壓電源2的修補處理用的電壓。此時，高耐壓繼電器11的器件6側的8個接點通過定時控制器10而成為截止狀態。接著，在通過定時控制器10，高耐壓繼電器11的高壓電源2側的8個接點截止后，進行控制使得高耐壓繼電器11的器件6側的8個接點導通。由此，積累在各高壓電容器7中的修補處理用的電壓從高耐壓繼電器11的8個接點分別通過各施加電阻5后，分別施加在修補處理對象的各器件6的ー個端子。此時，各高壓電容器7與修補處理對象的各器件6 一対一對應，大幅且有效地進行明確并且正確的修補處理。這樣，通過定時控制器10將這些高耐壓繼電器11的8個接點從高壓電源2側切換到修補處理對象的各器件6側，從而使8個高壓電容器7充電或者放電，對修補處理對象的各器件6分別從8個高壓電容器7分別施加規定的用于明確并且正確的修補處理的電壓。通過定時控制器10，高耐壓繼電器11的8個接點的切換動作在規定的定時同時進行。此后，進行步驟S4的修補處理判定。規定的修補處理判定的結果，當沒有問題時(通過)結束試驗。此外，修補處理判定的結果，還存在不合格器件的問題時(不合格)，在下一個步驟S5中判定規定次數是否結束，當規定次數結束時(是)，結束修補處理。當在步驟S5中規定次數未結束時(否)，轉移到步驟S2的ESD試驗判定處理，并進行修補處理及其判定處理，直到達到規定次數為止。進行規定次數的修補處理，在其判定結果是不合格器件且有問題時，判定為不合格器件后結束處理。至此，作為修補處理而說明了對于器件6的瞬間CR電壓施加，但還說明如下情況通過除了該CR電壓施加之外，還ー定期間對器件6進行恒流供給，從而利用兩種電應カ施カロ，使器件6的漏電部分恢復至絕緣狀態。作為器件6的漏電部分，除了包括例如絕緣膜的針孔部分進入上部導電材料而漏電的情況之外，還包括粉塵引起的漏電缺陷部分、由于絕緣膜的膜厚度差異或者在斷坡部分上的絕緣膜中被切斷或者裂璺而引起的漏電缺陷部分
坐寸ο圖5 (a)以及圖5 (b)是表示修補處理的CR應カ(CR電壓施加)的電壓施加波形及其電流施加波形的圖，圖5 (c)以及圖5 (d)是表示修補處理的恒流應カ(恒流供給)的電壓施加波形及其電流施加波形的圖。
比較圖5 (a)所示的修補處理中的CR應カ的電壓施加波形以及圖5 (C)所示的修補處理中的恒流應力的電壓施加波形，電壓等級是高壓電源2的輸出電壓而且是相同的，但是電壓施加時間級別是P sec級別和msec^sec級別,完全不同。圖5 (a)所示的電壓施加波形是μ sec級別，是瞬間的電壓施加波形，相對于此，圖5 (C)所示的電壓施加波形是msec^sec級別，是一定期間。此外，比較圖5 (b)所示的修補處理中的CR應カ的電流施加波形與圖5 Cd)所示的修補處理中的恒流應力的電流施加波形，電流等級從高壓電容器7開始流過較多的電流容量，因此圖5 (b)的波形瞬間流過比圖5 (d)的波形相比較大的電流而有沖擊(impact),但電流施加時間是μ sec與msec^sec級別，圖5 (b)的波形與圖5Cd)的波形相比，至少短三位數時間。總而言之，對器件6的漏電部分提供有沖擊的CR應カ(CR電壓施加)的電壓施加波形而燒斷，并對通過瞬間的電壓施加沒有恢復的殘留漏電缺陷部分的器件6，進行總能量大的一定期間的恒流供給，從而燒斷剩余的漏電部分，從而更加可靠地恢復至絕緣狀態。這樣，利用兩種應力更可靠地使器件6的漏電部分恢復至絕緣狀態。圖6是表示圖I的修補裝置I的其他的単位結構例子的電路方框圖。另外，設在 該修補裝置中，包含作為單位結構例子而且由虛線包圍的部分是ー個的情況，而單位結構例子存在多個，特別地，存在三個以上或者十個左右至幾百個甚至其以上。對于與圖I的結構構件起到相同的作用效果的構件，賦予相同的構件標號，并省略其說明。在圖6中，本實施方式I的修補裝置IA除了上述修補裝置I的結構之外，高壓電源2的ー個端子連接到恒流供給用的高耐壓繼電器12的ー個端子，高耐壓繼電器12的另ー個端子經由電流限制用的電阻13連接到施加電阻5與器件6的連接點14。設有用于控制這些高耐壓繼電器3、4以及12的導通/截止的定時控制器IOA0用于驅動這些高耐壓繼電器3、4以及12的電源需要另外準備。圖7是表示圖6的修補裝置IA的具體結構例子的電路圖。另外，對于與圖2的結構構件起到相同的作用效果的構件賦予相同的構件標號，并省略其說明。在圖7中，本實施方式I的修補裝置IA具有高壓電源2以及電壓施加和電流供給電路20A，高壓電源2自由可變地輸出規定的電壓，電壓施加和電流供給電路20A作為將來自高壓電源2的規定的電壓以及電流依次對多個檢查和處理對象的器件6—并同時提供的電壓施加部件和電流供給部件，所述修補裝置IA進行對多個檢查和處理對象的器件6進行電壓施加和電流供給的兩種應カ施加的修補處理。該電壓施加和電流供給電路20A具有作為用于積累來自高壓電源2的規定的電壓的電壓電容部件的多個高壓電容器7、將來自多個高壓電容器7的各規定的電壓分別通過施加電阻5輸出的多個電壓輸出部、作為進行切換使得來自該高壓電源2的規定的電壓連接到高壓電容器7側或者來自高壓電容器7的規定的高電壓連接到電壓輸出部側的多個作為切換部件的高耐壓繼電器11 (等同于上述高耐壓繼電器3、4)、將高壓電源2作為恒流源而能夠將恒流應カ分別對檢查和處理對象的各器件6經由電阻13而提供恒流源引起的電流應カ的恒流供給用的高耐壓繼電器12，作為相同電路結構，獨立地并列持有與應ー并施加處理的多個檢查和處理對象器件6的數目相應數目的從高壓電容器7通過高耐壓繼電器11并進ー步通過施加電阻5而到達電壓輸出部的電路。由這些多個高壓電容器7、高耐壓繼電器11、多個施加電阻5、多個電壓輸出部構成電壓施加部件。此外，由高壓電源2、高耐壓繼電器12、電阻13構成電流供給部件。通過上述結構，說明在ESD試驗后對成為不合格的器件6，利用圖7的修補裝置1A，進行基于兩種應カ施加的修補處理的情況。圖8是表示圖7的修補裝置IA的動作的流程圖。另外，圖8的流程圖在圖4的流程圖的步驟S4與步驟S5之間，加入了恒流應力施加處理及其判定處理的步驟S6、S7。如圖8所示，首先，在步驟SI中進行ESD試驗，接著，在步驟S2中進行ESD試驗判定，然后，在ESD試驗判定的結果為不合格器件時(不合格)，進行步驟S3的規定電壓施加的修補處理，從而救濟不合格器件。此時，高耐壓繼電器12通過定時控制器IOA成為截止狀態。此后，進行步驟S4的修補處理判定。規定的修補處理判定的結果，在沒有問題時(通過)結束試驗。此外，修補處理判定的結果，還不合格且有問題(不合格)的情況下，進行基于步驟S6的恒流施加的修補處理而救濟不合格器件。 基于恒流施加的修補處理通過定時控制器IOA使高耐壓繼電器11在充電側工作后，進行控制使得恒流供給用的高耐壓繼電器12導通。由此，基于電流源的恒流應カ從高壓電源2通過高耐壓繼電器并進一歩通過電阻13，向處理對象的器件6的ー個端子通電。這樣，通過定時控制器IOA對這些充電和放電用的高耐壓繼電器11以及恒流供給用的高耐壓繼電器12進行導通/截止切換，從而使高壓電容器7充電或者放電而施加規定電壓，且此后能夠將恒流應カ提供給處理對象的器件6。高耐壓繼電器11以及12的切換動作通過定時控制器IOA在規定的定時進行。恒流應力在基于高耐壓繼電器12的規定時間之間，對處理對象的器件16實施基于恒流源的通電應力。總而言之，從高壓電源2經由電壓施加和電流供給電路20A并進一歩經由插座/支架等的接觸器具對處理對象的器件6依次提供規定電壓以及恒流。將規定電壓和恒流的供給源側端子(一條)與GND側端子(一條)接觸到處理對象的器件6的各端子，從而對處理對象的器件6提供規定電壓和恒流。此時，處理對象的器件6以單體形式被進行規定電壓施加和恒流施加處理。恒流施加處理之后,進行步驟S7的修補處理判定。規定的修補處理判定的結果，當沒有問題時(通過)結束試驗。此外，修補處理判定的結果，還是不合格器件且有問題時(不合格)，在下一個步驟S5中判定規定次數是否結束，在規定次數已經結束時(是)結束修補處理。在步驟S5中規定次數尚未結束時(否)，轉移到步驟S2的ESD試驗判定處理，依次進行之后的修補處理及其判定處理，直至達到規定次數。依次進行規定次數的各修補處理，即使在其判定結果是不合格器件且有問題時，也要判定為不合格器件后結束處理。另外，可以對不合格器件的漏電缺陷部分，同時進行基于規定電壓施加的修補處理與基于恒流施加的修補處理這兩者而進行更強的應カ施加，從而燒斷漏電缺陷部分，從而使其恢復至通常絕緣狀態，也可以進ー步增加規定次數。圖9是示意性地表示圖7的修補裝置IA中的對器件6的各端子的接觸狀態的放大圖像的立體圖。圖10是示意性地表示圖7的修補裝置IA中的ESD試驗/規定電壓和恒流供給處理時的結構圖像例子的立體圖。在圖9和圖10中，包括電路箱21 (ESD/規定電壓和恒流供給襯底箱)與探測器卡25，所述電路箱21為了安全而在殼體內收容安裝了圖7的修補裝置IA中的一臺高壓電源2、8接點高耐壓繼電器11、8個高壓電容器7、8個施加電阻5、恒流供給用的ー個高耐壓繼電器12、一個電阻13以及其他附加電路的ESD/規定電壓和恒流供給襯底，且收容了從高壓電源2公用恒流供給用的一個高耐壓繼電器12與一個電阻13的ー個電路且具有與從各高壓電容器7通過高耐壓繼電器11的接點到達施加電阻5的串聯電路的8個電路對應的布線輸出部21a的8個通道的電壓施加和電流供給電路20A，所述探測器卡25構成為來自電路箱21的布線輸出部21a的各布線22經由設置在上面的連接器23分別與下面側的探測器24a、24b的8組連接，從下面突出地分別設置8組探測器24a、24b，使得各器件6的兩個端子6a、6b —対一對應，且在晶片臺15上的半導體晶片16上矩陣狀地設置的多個檢查和處理對象的8個各器件6的各端子6a、6b與分別可連接到各高壓電容器7或者可連接到高壓電源2的8組探測器24a、24b被一対一對應地配置。ESD施加電壓波形與規定電壓施加波形以及恒流供給波形根據從電路箱21的布線輸出部21a至探測器卡25的布線長度的變化而變化。從而，將從高壓電容器7至器件6的各端子6a、6b的布線長度、從高壓電源2經由高耐壓繼電器12至器件6的各端子6a、6b的電流路徑的布線長度設為完全相同的布線長度，從而使施加到器件6的各端子6a、6b上的ESD電壓波形以及規定電壓施加波形、恒流供給波形設為相同波形。包含ESD的規定電 壓以及恒流供給襯底也可以具有部件更換用的插座部。圖11是作為修補裝置IB而示意性地表示圖6的修補裝置IA中的多個電壓施加和電流施加器的設置圖像例子的平面圖。如圖11所示，在修補裝置IB被放射狀地配置成作為多個電壓施加和電流施加器的多個電壓施加和電流施加襯底26隔開中央圓形部27而在其周圍站立，多個電壓施加和電流施加襯底26中的多個相同電路結構的各輸出端子分別被設置成面向中央圓形部27偵1K能夠從多個相同電路結構的各輸出端子將多個高電壓輸出部的各個高電壓輸出部電連接到中央圓形部27的下方側設置的多個檢查和處理對象的器件6的各端子。能夠構成為，從多個相同電路結構的各輸出端子通過各電壓輸出部至多個檢查和處理對象的器件6的、與應ー并施加處理的器件數目對應的數目的包含獨立的布線的距離全部設為相同距離，來自高壓電源2的相同電壓和電流波形對多個檢查和處理對象的器件6的各端子分別同時明確并可靠地施加。該修補裝置IB還兼做ESD試驗裝置，但除了電壓施加和電流供給電路20A中的高耐壓繼電器12以及電阻13的電流供給電路之外，具有安裝了多接點的高耐壓繼電器11、多個高壓電容器7和多個施加電阻5的多個電壓施加電路的電壓施加和電流施加襯底26以除了中央圓形部27之外的甜甜圈狀，放射狀(相對于中央圓形部27的中心，放射狀地)配置多個。高耐壓繼電器11、12的厚度用于4000V耐壓時是15mm，用于8000V耐壓時是30mm。通過該厚度，決定能夠配置幾張電壓施加和電流施加襯底26。高耐壓繼電器11、12的厚度是用于4000V耐壓的15mm而且中央圓形部27的內周直徑為40cm時，能夠配置64張電壓施加和電流施加襯底26。此外，由于根據高耐壓繼電器11、12的厚度而決定電壓施加和電流施加襯底26的厚度，因此使用高耐壓繼電器11、12的厚度薄的較好。例如，當一張電壓施加和電流施加襯底26為4通道而且例如安裝8個ー個接點的高耐壓繼電器吋，高耐壓繼電器的厚度為用于4000V耐壓的13. 5mm且能夠放射狀地安裝83張電壓施加和電流施加襯底26從而整體具有332通道(同時能夠對332個器件6進行ESD試驗和修補處理)的能力。此時的電壓施加和電流施加襯底26的外周直徑大約為50cm左右。從多個電壓施加和電流施加襯底26的內周側引出布線22而連接到探測器卡25的連接器23，將在探測器卡25的下面設置的多組探測器24a、24b與在吸附于晶片臺15上的半導體晶片16上矩陣狀地設置的多個檢查和處理對象的各器件6的端子6a、6b —対一對應地連接，從而進行ESD試驗和修補處理。探測器24a、24b與器件6的端子6a、6b的位置關系是通過自動傳送裝置的探針使晶片臺15側準確地移動且通過圖像識別能夠準確地定位。這里，將400 μ mX 200 μ m的尺寸的半導體芯片(器件6)以64個為一列地進行ESD試驗以及修補處理并將其重復，井能夠對晶片的全部芯片(例如10萬個)依次自動地進行。由于難以將探測器24a、24b立于相鄰的列，因此與以兩列以上的方式進行ESD試驗以及修補處理相比，以一列的方式進行難以引起接觸錯誤從而較好。從多個電壓施加和電流施加襯底26至各器件6的布線長度為了保持圖13 (b)的 ESD施加電壓波形的標準而優選為20cm以下。各多個電壓施加和電流施加襯底26至8個 器件6的各端子的布線長度全部設為相同布線長度，從而除了對器件6的各端子施加的圖13 (b)的ESD電壓波形之外，電壓施加波形以及電流施加波形也相同。由此，ESD試驗以及修補處理變得均勻。圖12 Ca)是作為修補裝置IC而示意性地表示圖6的修補裝置IA中的多個電壓施加和電流施加器的其他設置圖像例子的平面圖，圖12 (b)是圖12 Ca)的電壓施加和電流施加器與探測器卡以及探針的橫截面圖。圖13 (a)是示意性地表示圖12 (a)的電壓施加和電流施加器的立體圖，圖13 (b)是表示用于ESD試驗的ESD施加電壓波形的圖。在圖12 (a)、圖12 (b)以及圖13 (a)中，在修補裝置IC中，作為多個殼體的多個電路箱21隔開中央圓形部28而被放射狀地配置于其周圍。收容于多個電路箱21內的多個電壓施加和電流施加襯底26的多個相同電路結構中的各輸出端子分別被設置成面向中央圓形部28側。從多個相同電路結構的各輸出端子，對在中央圓形部28的下方側設置的多個檢查和處理對象的器件6的各端子6a、6b電連接多個電壓輸出部的各自。從多個相同電路結構的各輸出端子通過各電壓輸出部至多個檢查和處理對象的器件6的、包含與應ー并施加處理的器件數目對應的數目的獨立的布線22的距離全部被設為相同距離，從而來自高壓電源2的相同的ESD施加電壓波形以及規定電壓波形、恒流波形中的其中一個被分別同時施加到多個檢查和處理對象的器件6。另外，作為電壓輸出部，可以是相同電路結構的輸出端子，也可以包含是從該輸出端子經由布線22至探測器卡25的探針24a、24b。作為修補裝置1C，將安裝了一臺高壓電源2、高耐壓繼電器12以及電阻13、8接點的高耐壓繼電器11、8個高壓電容器7以及8個施加電阻5、以及其他的附加電路的多個電壓施加和電流施加襯底26收容于殼體內，將從高壓電容器7通過高耐壓繼電器11的接點而到達施加電阻5的串聯電路的8個電路、從高壓電源2具有高耐壓繼電器12以及電阻13的布線的布線輸出部21的8通道與I通道的8個電路箱21被配設為放射狀。從8個電路箱21的內周側(中央圓形部)引出布線22而連接到探測器卡25的連接器23，將設置于探測器卡25的下面的8組探測器24a、24b、與構成自動傳送裝置的探針的在晶片臺15上的半導體晶片16上矩陣狀地設置了多個的多個器件6中的、檢查和處理對象的8個器件6的各器件6的各端子6a、6b —對ー對應地連接，進行ESD試驗以及修補處理，并重復該修補處理。從該8通道與I通道的電路箱21的布線輸出部21a至各器件6的布線長度為了保持圖13 (b)的ESD施加電壓波形的規格，期望是20cm以下。從各電路箱21的各布線輸出部21a至8個各器件6的各端子的布線長度全部設為相同布線長度，從而使對各器件6的各端子施加的圖13 (b)的ESD電壓波形以及修補處理的應カ波形相同。由此，ESD試驗及其之后的修補處理變得均勻。至此說明了將給予電壓與電流的電偏壓施加的兩種應力(規定電壓施加與恒流供給)提供給漏電缺陷的各器件6的情況，但除此之外，以下參照附圖詳細說明如下判定驅動結構作為有無漏電缺陷而識別合格品與不合格品，根據不合格品的漏電缺陷狀態自動地改變應力條件。圖14是示意性地表示對圖6的修補裝置的單位結構添加了判定電路的電壓等級檢測例子的情況的電路圖。另外，在圖14中，對與圖6的修補裝置的結構構件起到相同的 作用效果的部件賦予相同的部件標號后進行說明。在圖14中，在修補裝置ID中，高壓電源2的ー個端子通過高耐壓繼電器3、4連接到施加電阻5的一端。該施加電阻5的另一端連接到檢查和處理對象的器件6的ー個端子。器件6的另一端子連接到高壓電源2的另一端子。這些高耐壓繼電器3、4的連接點8通過高壓電容器7，連接到器件6的另一端子與高壓電源2的另一端子的連接點9，該連接點9被接地。此外，高壓電源2的ー個端子連接到高耐壓繼電器12的ー個端子，高耐壓繼電器12的另一端子經由電流限制用的電阻13，連接到施加電阻5與器件6的連接點14。設置有用于控制這些高耐壓繼電器3、4以及12的導通/截止的定時控制器10D。此外，另外需要用于驅動這些高耐壓繼電器3、4以及12的電源。而且，檢查和處理對象的器件6的兩端分別連接到運算放大器31的各輸入端子，在判定時，通過定時控制器IOD將高耐壓繼電器12設為導通狀態，從而器件6中流過電流。在該狀態下，根據器件6的兩端間電壓通過運算放大器31 (放大率也可以是I)的差動放大結果，作為漏電缺陷的有無而實施合格與不合格的識別。運算放大器31的輸出端設有反饋電阻32，且與該反饋電阻32連接的ー輸入端子經由接地電阻33而接地。此外，運算放大器31的輸出端分別與比較器34、36的各ー輸入端連接。比較器34的另ー輸入端連接有基準值A的電壓輸出部35的輸出端。此外，比較器36的另ー輸入端連接有比基準值A小的基準值B的電壓輸出部37的輸出端。這些比較器34、36的各輸出端連接到定時控制器10D。僅在來自運算放大器31的輸出電壓值X是基準值B以上且基準值A以下時，設為沒有漏電缺陷的合格器件。在來自運算放大器31的輸出電壓值X比基準值B小或者比基準值A大時，設為存在漏電缺陷的不合格品器件。當將基準值B設定地小而輸出電壓值X為OV的情況下，也可以判定為接觸不好，從而再次將探測器接觸到器件6的各端子。由這些運算放大器31、反饋電阻32、接地電阻33、比較器34、36、基準值A的電壓輸出部35以及基準值B的電壓輸出部37來構成判定部件，該判定部件判定是否為漏電缺陷的器件6。這樣，判定部件將修補對象器件6的電壓等級檢測結果分割為3值的等級的判定信號輸出到定時控制器10D。圖15是示意性地表示對圖6的修補裝置的單位結構增加了其他的判定電路的電流等級檢測例子的情況的電路圖。另外，在圖15中，對與圖14的修補裝置的結構構件起到相同的作用效果的構件賦予相同的構件標號后進行說明。如圖15所示，在修補裝置IE中，電流限制用的電阻13的兩端分別連接到運算放大器31的各輸入端子，在判定時，通過定時控制器IOE將高耐壓繼電器12設為導通狀態后通過電阻13在器件6流過電流。在該狀態下，根據電阻13的兩端電壓通過運算放大器31的差動放大結果，作為漏電缺陷的有無而實施合格品與不合格品的識別。運算放大器31的輸出端設置有反饋電阻32，且與該反饋電阻32連接的ー輸入端子經由接地電阻33而被接地。此外，運算放大器31的輸出端分別連接到比較器34、36的各ー輸入端。比較器34的另ー輸入端連接到基準值A的電壓輸出部35的輸出端。此外，比較器36的另ー輸入端連接有比基準值A小的基準值B的電壓輸出部37的輸出端。這些比較器34、36的各輸出端連接到定時控制器10E。流過電流限制用的電阻13的電流值變換為電壓值，僅在來自運算放大器31的輸出電壓值X為基準值B以上且基準值A以下時，設為沒有漏電缺陷的合格品器件。在來自運算放大器31的輸出電壓值X比基準值B小或者比基準值A大時，設為存在漏電缺陷的不 合格品器件。當將基準值B設定地小而輸出電壓值X為OV的情況下，也可以判定為接觸不好，從而再次將探測器接觸到器件6的各端子。由這些運算放大器31、反饋電阻32、接地電阻33、比較器34、36、基準值A的電壓輸出部35以及基準值B的電壓輸出部37構成判定部件，判定部件判定是否為漏電缺陷的器件6。這樣，判定部件將修補對象器件6的電流等級檢測結果分割為3值的等級的判定信號輸出到定時控制器10E。圖16是示意性地表示對圖6的修補裝置的単位結構進一步增加了其他的判定電路的電壓等級檢測與電流等級檢測這兩者的事例的情況的電路圖。另外，在圖16中，對與圖14的修補裝置的結構構件起到相同作用效果的構件賦予相同的構件標號后進行說明。如圖16所示，在修補裝置IF中，檢查和處理對象的器件6的兩端以及電流限制用的電阻13的兩端分別連接到運算放大器31的各輸入端子，在判定時，通過定時控制器IOF將高耐壓繼電器12設為導通狀態后通過電阻13在器件6中流過電流。在該狀態下，通過兩個運算放大器31的差動放大結果，作為漏電缺陷的有無而實施合格品與不合格品的識另O。兩個運算放大器31的輸出端分別設置有反饋電阻32，且與該反饋電阻32連接的ー輸入端子經由接地電阻33而被接地。此外，兩個運算放大器31的輸出端分別連接有比較器34、35的各ー輸入端。比較器34的另ー輸入端連接有基準值A的電壓輸出部35的輸出端。此外，比較器36的另ー輸入端連接有比基準值A小的基準值B的電壓輸出部37的輸出端。這些比較器34、36的各輸出端作為兩個系統分別連接到定時控制器10F。由這些運算放大器31、反饋電阻32、接地電阻33、比較器34、36、基準值A的電壓輸出部35以及基準值B的電壓輸出部37分別構成電壓等級檢測和電流等級檢測的兩個系統的判定部件，且兩個判定部件能夠分別更加準確地判定是否為漏電缺陷的器件6。這樣，判定部件將修補對象器件6的電壓等級檢測結果和電流等級檢測結果的兩者各分割為3值的等級的各判定信號輸出給定時控制器10F。此外，當被分割為合格與不合格的2值的等級的判定信號輸出給定時控制器10D、IOE或者IOF吋，如圖17所示，由運算放大器31、反饋電阻32、接地電阻33、比較器34以及基準值A的電壓輸出部35構成電壓等級檢測和電流等級檢測中的至少ー個的判定部件，該判定部件能夠判定是否為漏電缺陷的器件6。這樣，該判定部件將修補對象器件6的電壓等級檢測結果和電流等級檢測結果中的至少ー個的分割為2值的等級的判定信號輸出給定時控制器IODUOE或者10F。定時控制器10DU0E或者IOF能夠選擇電荷應力(電壓應力)以及電流應カ的兩種應カ施加。判定部件進行修補對象的電壓等級檢測和電流等級檢測中的至少其中ー個，并將其合格與否判定以及其詳細判定的結果分割為2值或者3值等的多值的等級的判定信號輸出給定時控制器10D、IOE或者10F。在該定時控制器10D、IOE或者IOF內，基于判定部件的判定結果的合格不合格或者不合格的程度，決定要處理的流程。當判定結果是合格吋，結束修補處理，當判定結果是不合格時，根據其不合格的程度進行修補處理。例如，如果不合格的程度稍微良好，則將應力設為較小后進行修補處理。例如，如果不合格的程度較大，則將應カ設為較大后進行修補處理。此外，在該定時控制器10DU0E或者IOF內，基于判定部件的判定結果的合格不合格或者其不合格的程度，設定修補處理流程的次數。修補處理流程 的次數(循環次數)作為最低次數例如預先設定10次。將第一次的判定數據存儲到定時控制器10DU0E或者IOF內的存儲部，比較該判定數據與處理最低修補處理次數后的判定數據，當完全未恢復的情況下結束修補處理，當判定為有恢復的跡象的情況下，從最低修補處理次數増加與比較結果對應的規定修補處理次數而進行修補處理。此時，應カ條件也同時設定為與比較結果對應的應カ條件(應カ的大小)。電容器數目或者電容器電容越大，應カ越大，輸出電阻5的電阻值越大,應カ越小。根據判定部件的判定結果，通過定時控制器10DU0E或者IOF作為可變設定部件的選擇部件能夠將電容器7的電容以及輸出電阻5的電阻值設定為可變。S卩，如圖18所示，基于從定時控制器10D、IOE或者IOF輸出的控制信號，控制作為選擇部件的選擇器電路38、39，從而從預先安裝的電容部件組7A以及電阻組5A選擇電容部件的數目以及電阻的數目，從而能夠將電容器電容以及輸出電阻5的電阻值設定為可變。圖19是表示圖16的修補裝置IF的動作的流程圖。圖20是用于說明圖16的修補裝置IF的動作的圖。如圖19所示，在步驟Sll中進行器件6的通常動作試驗。在進行時，使高壓電源2輸出的電壓值可變為動作電壓的例如3V和5V。S卩，如圖20所示，通過定時控制器IOF將充電用的高耐壓繼電器3設為導通，來自高壓電源2的電流積累到高壓電容器7。此時，放電用的高耐壓繼電器4通過定時控制器IOF成為截止狀態。接著，在充電用的高耐壓繼電器3通過定時控制器IOF而截止后，實施控制使得放電用的高耐壓繼電器4導通。由此，積累在高壓電容器7中的規定電壓從高耐壓繼電器4通過施加電阻5而施加到檢查對象的器件6的一端子。此時，高耐壓繼電器12通過定時控制器IOF而成為截止狀態。接著，進行步驟S12的ESD試驗。通過定時控制器IOF將高壓電源2的輸出電壓設定為ESD試驗用的高電壓，并導通高耐壓繼電器3的接點，從而來自高壓電源2的電流流入各高壓電容器7后均勻地積累在高壓電源2的ESD試驗用的高電壓。此時，高耐壓繼電器4通過定時控制器IOF而成為截止狀態。接著，在高耐壓繼電器3通過定時控制器IOF而截止后，實施控制使得高耐壓繼電器4的接點導通。由此，積累在各高壓電容器7中的ESD試驗用的高電壓從高耐壓繼電器4分別通過各施加電阻5后分別施加到檢查對象的各器件6的一端子。此時，各高壓電容器7與檢查對象的各器件6 —対一對應，大幅有效地進行明確且準確的ESD試驗。此后，進行步驟S13的ESD試驗判定。在規定的ESD試驗判定的結果沒有問題時結束試驗。此外，當ESD試驗判定的結果是不合格器件且有問題時，進行下一個步驟S14的修補處理而救濟處理不合格器件。
進行步驟S14的基于電壓施加的修補處理。在該基于電壓施加的修補處理中，通過定時控制器IOF將高壓電源2的輸出電壓設定為修補處理用的電壓，并導通高耐壓繼電器3后來自高壓電源2的電流流入各電壓電容器7而均勻地積累成高壓電源2的修補處理用的電壓。此時，高耐壓繼電器4的接點通過定時控制器IOF而成為截止狀態。接著，在高耐壓繼電器3通過定時控制器IOF而截止后，實施控制使得高耐壓電容器4導通。由此，積累在各高壓電容器7中的修補處理用的電壓從高耐壓繼電器4分別通過各施加電阻5而分別施加到修補處理對象的各器件6的一端子。此時，各高壓電容器7與修補處理對象的各器件6 —對ー對應,大幅有效地進行明確且準確的修補處理。這樣，通過定時控制器IOF將這些高耐壓繼電器3、4從高壓電源2側切換到修補處理對象的各器件6側，從而使8個高壓電容器7充電或者放電，對修補處理對象的各器件6分別從8個高壓電容器7使規定的明確且準確的修補處理用的電壓分別從各電壓輸出部施加。高耐壓繼電器3、4的切換動作通過定時控制器IOF在規定的定時進行。此后，進行步驟S15的修補處理判定。此時，在使高耐壓繼電器12導通后對處理對象的器件6提供規定電流的狀態下，運算放大器31檢測處理對象的器件6的兩端電位差以及與電阻13的電流值對應的電壓值。來自運算放大器31的檢測信號X輸入到比較器34與基準值A進行比較，且輸入到比較器36與基準值B進行比較。該檢測信號X被分為檢測信號X>A、A >檢測信號X > B、或者B〉檢測信號X的3值。被區分的3值輸入到定時控制器10F。定時控制器IOF在A >檢測信號XSB時判定處理對象的器件6是合格品，在檢測信號X>A以及B〉檢測信號X時判定處理對象的器件6為不合格品。在處理對象的器件6是合格品時(通過)結束處理，在處理對象的器件6是不合格品時(不合格)，在下一個步驟S16中進行基于恒流供給的其他的修補處理。在步驟S16的基于恒流供給的修補處理中，通過定時控制器IOF使高耐壓繼電器
3、4截止后，實施控制使得恒流供給用的高耐壓繼電器12導通。由此，基于電流源的恒流應カ從高壓電源2通過高耐壓繼電器12且進一歩通過電阻13，通電處理至處理對象的器件6的一端子。這樣，通過定時控制器IOF對這些充電以及放電用的高耐壓繼電器3、4以及恒流供給用的高耐壓繼電器12進行導通/截止切換，從而在步驟S14中使高壓電容器7充電或者放電而施加規定電壓，并在此后的步驟S 16中能夠將恒流應カ提供給處理對象的器件6。高耐壓繼電器3、4以及12的切換動作通過定時控制器IOF在規定的定時進行。恒流應力在基于高耐壓繼電器12的規定時間期間，對處理對象的器件6實施基于恒流源的恒流應力供給。總而言之，從高壓電源2經由電壓施加和電流供給電路20A且進一歩經由插座/支架等的接觸器具對處理對象的器件6依次提供規定電壓和恒流。使規定電壓和恒流的供給源側端子(一條)與GNC側端子(一條)接觸到處理對象的器件6的各端子，從而對處理對象的器件6提供規定電壓和恒流。此時，對每個處理對象的器件6依次進行規定電壓施加和恒流施加處理。在該恒流供給處理之后，進行步驟S17的修補處理判定。此時，在將高耐壓繼電器12導通而對處理對象的器件6提供了規定電流的狀態下，運算放大器31檢測處理對象的器件6的兩端電位差以及與電阻13的電流值對應的電壓值。來自運算放大器31的檢測信號X輸入到比較器34與基準值A進行比較，并輸入到比較器36與基準值B進行比較。該檢測信號X被分為檢測信號X>A、A >檢測信號X > B、 或者B〉檢測信號X的3值。被區分的3值輸入到定時控制器10F。定時控制器IOF在A >檢測信號XSB時判定處理對象的器件6是合格品，在檢測信號X>A以及B〉檢測信號X時判定處理對象的器件6為不合格品。規定的修補處理判定的結果，當處理對象的器件6是合格品且沒有問題吋，結束處理。此外，修補處理判定的結果，尚且是不合格器件且存在問題時，在下一個步驟S18中判定是否結束了規定次數，當已經結束規定次數時結束修補處理。當在步驟S18中尚未結束規定次數時，轉移到步驟S13的ESD試驗判定處理，依次進行此后的修補處理及其判定處理，直至達到規定次數。依次進行規定次數的各修補處理，即使在其判定結果為不合格器件且有問題的情況下，也判定為不合格器件后結束處理。另外，可以對不合格器件的漏電缺陷部變更較強應カ條件，也可以將給予規定電壓施加的修補處理與基于恒流施加的修補處理這兩者同時進行更強應力施加，從而燒斷漏電缺陷部而恢復至通常絕緣狀態，也可以進ー步增加規定次數，從而燒斷漏電缺陷部而恢復至通常絕緣狀態。圖21是表示以個人計算機PC為主體的晶片圖與探測管理的方框圖。在圖21中，本實施方式I的修補裝置1、1A、1B、1C、1D、1E或者IF具有個人計算機PC，進行探測管理；一臺高壓電源2 ;定時控制器10、10A、10B、10C、10D、10E_. 10F，接受來自個人計算機PC的指示而驅動；電壓施加電路20或者電壓施加和恒流供給電路20A(包含ESD電路)，由8個并聯電路構成，將來自高壓電源2的規定的電壓和恒流依次ー并同時提供給多個檢查和修補處理對象的器件6，所述8個并聯電路從高壓電源2公用用于供給恒流的ー個高耐壓繼電器12與一個電阻13的ー個電路，通過定時控制器10、10A、10B、10C、10DU0E或者10F，將高耐壓繼電器11的8接點(或者導通高耐壓繼電器3)同時切換到高壓電源2側，從而對8個高壓電容器7積累來自高壓電源2的規定電壓，此后，在規定的定時將高耐壓繼電器11的8接點(或者導通高耐壓繼電器4)同時切換到8個各施加電阻5側；以及探針29，用于使晶片臺15上的半導體晶片16移動后上升，從而使探測器卡25的8組探測器24a、24b分別接觸到8個器件6的各端子6a、6b，從而通過8組該探測器24a、24b將來自電壓施加電路20或者電壓施加和恒流供給電路20A的施加電壓和恒流施加或者提供給該各端子6a、6b。在將半導體晶片16的達到10萬個的多個芯片依次進行ESD試驗、規定電壓施加的修補處理和恒流供給的修補處理的情況下，利用探針29等的自動傳送裝置連續進行探測。探測管理以個人計算機PC作為主體，能夠針對半導體晶片16上的晶片圖即用于表示在半導體晶片16上以矩陣狀配置的多個(例如10萬個)的半導體芯片(器件)的位置的地址，在存儲部存儲對哪個地址范圍的半導體芯片(器件)進行ESD試驗、規定電壓施加的修補處理和恒流供給的修補處理，哪個地址的半導體芯片(器件)是ESD耐壓不合格的芯片。ESD耐壓不合格在半導體芯片(器件)的ニ極管結構的反向電壓的漏電電流(漏電缺陷)超過規定值的情況下通過測定器測定該情況，從而認定為不合格器件，并將該半導體芯片(器件)的地址存儲在個人計算機PC中。定時控制器10、10A、10B、10C、10D、10E或者10F，不僅控制高耐壓繼電器11、12的
動作(時間與定時)，還根據預先通過程序等設定的時序控制應施加的電壓和電流等級的設定、施加次數、施加的極性條件而動作。通過以上說明，根據本實施方式1，對器件6的漏電缺陷部分提供電應力，從而在使漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化的修補裝置I、ΙΑ、1B、1C、ID、IE或者IF中，具有作為電應カ源的高壓電源2 ；以及將來自被高壓電源2充電的多個電容器7的各電荷應力分別ー并同時施加給多個器件6的電壓施加部件、將來自高壓電源2的電流應力提供給多個器件6的電流供給部件中的至少電壓施加部件。由此，由于將來自作為被作為電壓源的高壓電源2充電的一個或者多個電壓電容部件的高壓電容器7的一個或者多個電荷應カ施加給多個器件6，因此即使高壓電源2的電源容量小，通過臨時積累到ー個或者多個高壓電容器，從而不依賴于電源容量，能夠確保充分的電流容量，從而能夠更有效地將不合格器件恢復到正常的絕緣狀態。此外，在批量生產時，對檢查和修補處理對象的多個器件6—并進行基于符合標準的ESD施加電壓波形的ESD后，以均勻的規定電壓波形和恒流波形明確且準確地進行電壓施加的修補處理和恒流供給的修補處理，從而對ー并進行多個電偏置處理，從而使不合格器件更有效地恢復到正常的絕緣狀態。此外，由于對電壓施加部件和電流供給部件中的至少電壓施加部件設置用于自動判定器件6是否為漏電缺陷器件的判定部件，因此能夠更有效地自動地進行ー并進行了多個電偏置處理后的合格不合格判定處理。另外，在上述實施方式I中，雖然沒有特別詳細進行說明，但本發明的修補方法對器件6的漏電缺陷部分提供電應力，從而使該漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化，所述修補方法具有電壓施加步驟與電流供給步驟中的至少電壓施加步驟，在所述電壓施加步驟中，電壓施加部件將來自被作為電壓源的高壓電源2充電的多個電容器電容的各電荷應力分別ー并同時施加給多個器件，在電流供給步驟中，電流供給部件將來自高壓電源2的電流應カ提供給多個器件6。而且，本發明的修補方法對這些電壓施加步驟與電流供給步驟中的至少電壓施加步驟進一歩具有判定步驟，所述判定步驟中，判定部件判定器件6是否為漏電缺陷器件。器件的制造方法利用上述修補裝置I、ΙΑ、1B、1C、ID、IE或者1F，對器件6的漏電缺陷部分提供電應力，使該漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化，從而通過制造方法來制造器件，恢復成為不合格的不合格器件，從而制造器件。另外，在上述實施方式I中，例如對LSI元件的保護用的ニ極管、LED元件以及激光元件等，發光元件等的對象器件6，作為器件6的漏電缺陷部分，說明例如在絕緣膜的針孔部分插入上部導電材料而漏電的情況之外，還說明粉塵引起的漏電缺陷部、由于絕緣膜的膜厚度差異或者在斷坡部上的絕緣膜中被切斷或者裂璺而引起的漏電缺陷部，并說明了對該漏電缺陷部施加電應カ而使其在絕緣性上正常化的修補處理，但并不限定于次，當在LSI元件等的布線部中存在漏電缺陷部的情況下，在對布線之間提供電壓和電流而燒斷漏電部分時，也能夠使用本發明的修補裝置1、1A 1F中的其中ー個。如以上說明那樣，利用本發明的優選的實施方式I例示了本發明，但并不應該將本發明限定解釋成該實施方式I。本發明的范圍應僅通過權利要求書來解釋。本領域技術人員從本發明的具體的優選實施方式I的記載，基于本發明的記載以及技術常識能夠理解可以實施等價的范圍。在本說明書中引用的專利、專利申請以及文獻能夠理解成等同于其內容本身具體地記載于本說明書中，應將其內容作為對于本說明書的參考而引用。
本發明在例如對LSI元件、LED元件以及激光元件等發光元件等的檢查對象器件進行檢查的耐ESD性試驗的結果和通常動作試驗的結果，使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態的修補裝置以及利用了該修補裝置的半導體裝置的制造方法的領域中，由于將來自被電壓源充電的一個或者多個電壓電容部件的一個或者多個電荷應カ施加到ー個或者多個器件，因此不依賴于電源容量，能夠確保更充分的電流容量，能夠更有效地使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態。此外，由于電壓施加部件將來自被電壓源充電的多個電壓電容部件的各電荷應力分別ー并同時施加到多個器件，因此能夠一并同時進行多個電應カ處理,能夠更有效地使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態。此外，由于判定部件自動判定基于電壓施加部件的修補處理后的一個或者多個器件中的器件是否為漏電缺陷器件，因此能夠更有效地自動地進行在一并進行了多個電偏置處理之后的合格不合格判定處理。
權利要求
1.一種修補裝置，對器件的漏電缺陷部分提供電應力，從而使該漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化，具有 作為電應力源的電壓源；以及電壓施加部件，將來自被該電壓源充電的一個或者多個電壓電容部件的一個或者多個電荷應力施加到一個或者多個器件。
2.一種修補裝置，用于恢復一個或者多個器件的漏電缺陷，包括 電壓施加部件，將來自被電壓源充電的一個或者多個電壓電容部件的各電荷應力施加到一個或者多個器件；以及 判定部件，在從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給施加了該電荷應力之后的一個或者多個器件的狀態下，自動判定該一個或者多個器件是否為漏電缺陷器件。
3.如權利要求I所述的修補裝置，其中， 所述電壓施加部件將來自被所述電壓源充電的多個電壓電容部件的各電荷應力分別一并同時施加給多個器件。
4.如權利要求2所述的修補裝置，其中， 在所述電流供給部件將來自所述電壓源的電流應力提供給所述一個或者多個器件的修補處理之后，在從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給該電流應力供給后的一個或者多個器件的狀態下，所述判定部件自動地判定該一個或者多個器件中的器件是否為漏電缺陷器件。
5.如權利要求2所述的修補裝置，其中， 所述電壓施加部件具有與應將規定電壓一并施加處理的器件的數目對應數目的相同電路結構。
6.如權利要求3所述的修補裝置，其中， 所述電壓施加部件具有與應將規定電壓一并施加處理的器件的數目對應數目的相同電路結構。
7.如權利要求I所述的修補裝置，其中， 所述電壓施加部件具有一個電壓電容部件，用于積累來自所述電壓源的規定的電壓；一個電壓輸出部，用于通過電阻輸出來自該一個電壓電容部件的規定的電壓；以及切換部件，進行切換，以便將該一個電壓電容部件連接到該電壓源側或者連接到該電壓輸出側。
8.如權利要求3所述的修補裝置，其中， 所述電壓施加部件具有多個電壓電容部件，用于積累來自所述電壓源的規定的電壓；多個電壓輸出部，將來自該多個電壓電容部件的各規定的電壓分別通過各電阻而輸出；以及多個切換部件，進行切換，以便將該多個電壓電容部件各自分別連接到該電壓源側或者分別連接到該電壓輸出部側。
9.如權利要求5所述的修補裝置，其中， 所述電壓施加部件具有一個或者多個電壓電容部件，用于積累來自所述電壓源的規定的電壓；多個電壓輸出部，將來自該一個或者多個電壓電容部件的規定的電壓分別通過各電阻而輸出；以及多個切換部件，進行切換，以便將該一個或者多個電壓電容部件各自分別連接到該電壓源側或者分別連接到該電壓輸出部側。
10.如權利要求8所述的修補裝置，其中， 所述相同電路結構獨立地持有與所述應一并施加處理的器件的數目對應數目的、從所述電壓電容部件通過所述切換部件并進一步通過所述電阻到達所述電壓輸出部的電路。
11.如權利要求9所述的修補裝置，其中， 所述相同電路結構獨立地持有與所述應一并施加處理的器件的數目對應數目的、從所述電壓電容部件通過所述切換部件并進一步通過所述電阻到達所述電壓輸出部的電路。
12.如權利要求10或者11所述的修補裝置，其中， 具有多個襯底，所述襯底安裝一個或者多個所述相同電路結構。
13.如權利要求3所述的修補裝置，其中， 所述電壓源設為具有對應于所述多個電壓電容部件的電容的充電處理能力的一個電壓源，所述多個電壓電容部件的數目與應一并施加處理的器件的數目對應。
14.如權利要求2所述的修補裝置，其中， 所述電壓源設為具有對應于所述一個或者多個電壓電容部件的電容的充電處理能力的一個電壓源，所述一個或者多個電壓電容部件的數目與應一并施加處理的器件的數目對應。
15.如權利要求I或14所述的修補裝置，其中， 所述電荷應力的電壓值在所述器件的電壓/電流特性是非線性特性時，作為絕對值而設定不超過擊穿電壓而且是該擊穿電壓的9成以上的電壓值。
16.如權利要求I或2所述的修補裝置，其中， 所述電壓源被設為，其輸出電壓構成為自由可變，且能夠輸出與靜電破壞耐壓試驗對應的電壓等級。
17.如權利要求1、3、7、8的任一項所述的修補裝置，其中， 所述多個電壓電容部件具有與靜電破壞耐壓試驗對應的電容值。
18.如權利要求2或9所述的修補裝置，其中， 所述一個或者多個電壓電容部件具有與靜電破壞耐壓試驗對應的電容值。
19.如權利要求7至9的任一項所述的修補裝置，其中， 所述電壓輸出部的電阻具有與靜電破壞耐壓試驗對應的電阻值。
20.如權利要求I至3、7以及8中的任一項所述的修補裝置，其中， 所述電壓電容部件的充放電處理具有如下的時序處理在利用自動傳送處理裝置進行修補處理時，在對所述器件通過該自動傳送處理裝置的接觸移動期間該電壓電容部件被充電，在對該器件通過該自動傳送處理裝置接觸后從該電壓電容部件放電。
21.如權利要求I或3所述的修補裝置，其中， 還包括用于將來自所述電壓源的電流應力提供給一個或者多個器件的電流供給部件。
22.如權利要求21所述的修補裝置，其中， 具有用于選擇動作所述電荷應力以及所述電流應力這兩種電應力的定時控制器。
23.如權利要求4所述的修補裝置，其中，還具有用于選擇動作所述電荷應力以及所述電流應力這兩種電應力的定時控制器。
24.如權利要求21所述的修補裝置，其中， 設有判定部件，所述判定部件在至少基于所述電壓施加部件以及所述電流供給部件中的該電壓施加部件的修補處理之后，從所述電壓源通過該電流供給部件將電流提供給一個或者多個器件的狀態下，自動判定該一個或者多個器件中的器件是否為所述漏電缺陷器件。
25.如權利要求24所述的修補裝置，其中， 所述判定部件進行電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中一個。
26.如權利要求2或4所述的修補裝置，其中， 所述判定部件進行電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中一個。
27.如權利要求24所述的修補裝置，其中 所述判定部件、以及所述電壓施加部件與所述電流供給部件中的至少該電壓施加部件設置于相同襯底上。
28.如權利要求2或4所述的修補裝置，其中， 所述判定部件、所述電壓施加部件以及所述電流供給部件設置于相同襯底上。
29.如權利要求24所述的修補裝置，其中， 所述判定部件將對于修補處理后的一個或者多個器件的電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中一個判定結果輸出給定時控制器。
30.如權利要求2或4所述的修補裝置，其中， 所述判定部件將對于修補處理后的一個或者多個器件的電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中一個判定結果輸出給定時控制器。
31.如權利要求24所述的修補裝置，其中， 所述判定部件將對于修補處理后的一個或者多個器件的電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中一個判定結果作為分割為多值的等級的判定信號而輸出給定時控制器。
32.如權利要求2或4所述的修補裝置，其中， 所述判定部件將對于修補處理后的一個或者多個器件的電壓等級檢測判定與電流等級檢測判定中的至少其中一個判定結果作為分割為多值的等級的判定信號而輸出給定時控制器。
33.如權利要求29所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器具有可變設定控制部件，所述可變設定控制部件將所述一個或者多個電壓電容部件的電容值、以及通過電阻而輸出來自該一個或者多個電壓電容部件的規定的電壓的一個或者多個電壓輸出部的該電阻的電阻值，根據所述判定部件的判定結果而進行可變設定。
34.如權利要求31所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器具有可變設定控制部件，所述可變設定控制部件將所述一個或者多個電壓電容部件的電容值、以及通過電阻而輸出來自該一個或者多個電壓電容部件的規定的電壓的一個或者多個電壓輸出部的該電阻的電阻值，根據所述判定部件的判定結果而進行可變設定。
35.如權利要求30所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器具有可變設定控制部件，所述可變設定控制部件將所述一個或者多個電壓電容部件的電容值、以及分別通過各電阻而輸出來自該一個或者多個電壓電容部件的各規定的電壓的一個或者多個電壓輸出部的該各電阻的電阻值，根據所述判定部件的判定結果而進行可變設定。
36.如權利要求32所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器具有可變設定控制部件，所述可變設定控制部件將所述一個或者多個電壓電容部件的電容值、以及分別通過各電阻而輸出來自該一個或者多個電壓電容部件的各規定的電壓的一個或者多個電壓輸出部的該各電阻的電阻值，根據所述判定部件的判定結果而進行可變設定。
37.如權利要求33所述的修補裝置，其中， 基于來自所述定時控制器的控制信號而控制可變設定部件，從而從預先安裝的電容組以及電阻組中選擇而設定為規定的電容值以及規定的電阻值。
38.如權利要求34所述的修補裝置，其中， 基于來自所述定時控制器的控制信號而控制可變設定部件，從而從預先安裝的電容組以及電阻組中選擇而設定為規定的電容值以及規定的電阻值。
39.如權利要求35所述的修補裝置，其中， 基于來自所述定時控制器的控制信號而控制可變設定部件，從而從預先安裝的電容組以及電阻組中選擇而設定為規定的電容值以及規定的電阻值。
40.如權利要求36所述的修補裝置，其中， 基于來自所述定時控制器的控制信號而控制可變設定部件，從而從預先安裝的電容組以及電阻組中選擇而設定為規定的電容值以及規定的電阻值。
41.如權利要求29所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器基于所述判定部件的判定結果的合格不合格或者不合格的程度來決定修補處理流程。
42.如權利要求31所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器基于所述判定部件的判定結果的合格不合格或者不合格的程度來決定修補處理流程。
43.如權利要求30所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器基于所述判定部件的判定結果的合格不合格或者不合格的程度來決定修補處理流程。
44.如權利要求32所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器基于所述判定部件的判定結果的合格不合格或者不合格的程度來決定修補處理流程。
45.如權利要求29所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器設定一次或者多次的修補處理流程。
46.如權利要求31所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器設定一次或者多次的修補處理流程。
47.如權利要求30所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器設定一次或者多次的修補處理流程。
48.如權利要求32所述的修補裝置，其中， 所述定時控制器設定一次或者多次的修補處理流程。
49.一種器件的制造方法，利用如權利要求I至16的任一項所述的修補裝置，對所述器件的漏電缺陷部分提供電應力，從而使該漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化。
50.一種修補方法，對器件的漏電缺陷部分提供電應力，從而使該漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化,包括 電壓施加步驟，電壓施加部件將來自被電壓源充電的電壓電容部件的電荷應力施加到該器件。
51.如權利要求50所述的修補方法，其中， 所述電壓施加步驟具有所述電壓施加部件將來 自被電壓源充電的多個電壓電容部件的各電荷應力分別對多個器件一并同時施加的電壓施加步驟。
52.如權利要求50或者51所述的修補方法，其中， 還包括電流供給步驟，電流供給部件將來自所述電壓源的電流應力提供給一個或者多個器件。
53.如權利要求52所述的修補方法，其中， 具有判定步驟，在所述電壓施加步驟以及所述電流供給步驟中的至少該電壓施加步驟的修補處理之后，從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給修補對象的一個或者多個器件的狀態下，判定部件判定該修補對象的一個或者多個器件中的器件是否為該漏電缺陷器件。
54.—種修補方法,使一個或者多個器件的漏電缺陷恢復,包括 電壓施加步驟，電壓施加部件將來自被電壓源充電的一個或者多個電壓電容部件的各電荷應力分別對一個或者多個器件一并同時施加；以及判定步驟，在從該電壓源通過電流供給部件對該電荷應力施加之后的一個或者多個器件提供了電流的狀態下，判定部件自動判定該一個或者多個器件是否為漏電缺陷器件。
55.如權利要求54所述的修補方法,包括 電流供給步驟，所述電流供給部件將來自所述電壓源的電流應力提供給所述一個或者多個器件；以及判定步驟，在從該電壓源通過電流供給部件將電流提供給了該電流應力供給后的一個或者多個器件的狀態下，自動判定該一個或者多個器件是否為漏電缺陷器件。
全文摘要
本發明涉及修補裝置、修補方法以及器件的制造方法。一并處理多個電偏置處理，從而更有效地使不合格器件恢復至正常的絕緣狀態。在對器件(6)的漏電缺陷部分提供電應力而使漏電缺陷部分的絕緣狀態正常化的修補裝置(1)中，具有作為電應力源的高壓電源(2)、以及將來自被高壓電源(2)充電的多個電容器(7)的各電荷應力分別對多個器件(6)一并同時施加的電壓施加部件。
文檔編號G01R31/12GK102832155SQ20121020594
公開日2012年12月19日 申請日期2012年6月18日 優先權日2011年6月17日
發明者內田練, 石川真治 申請人:夏普株式會社