專利名稱：一種平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)，尤其是指一種對(duì)平面反射鏡能夠在特定的入射角下檢測不同波長的反射效率以及在特定的波長下檢測不同入射角的反射率的系統(tǒng)。本發(fā)明廣泛適用于要求檢測平面反射鏡反射率的各個(gè)領(lǐng)域，尤其是適用于大型企業(yè)對(duì)批量平面反射鏡反射率的檢測，成本低，速度快。
背景技術(shù)：
目前，通信、儀器、測試等領(lǐng)域中越來越多的產(chǎn)品內(nèi)部都包含有光學(xué)元件，其中最為普遍應(yīng)用的就是平面反射鏡，而且平面反射鏡的表面加工質(zhì)量反射率不僅直接影響系統(tǒng)的輸出能量，而且對(duì)系統(tǒng)的質(zhì)量、可靠性及壽命也至關(guān)重要。因此在檢測環(huán)節(jié)對(duì)如實(shí)反映平面反射鏡的反射率提出了很高的要求。另外，反射率的精確測量對(duì)改進(jìn)平面反射鏡的鍍膜工藝，提高膜層質(zhì)量具有重大的意義?，F(xiàn)在常用的檢測平面反射鏡反射率的光學(xué)測量方法主要有單次反射法、多次反射法和VW測量法。單次反射測量法用的是被測元件反射光強(qiáng)Ik與入射光強(qiáng)Itl的比值，但檢測結(jié)果常常會(huì)因?yàn)樵跍y量入射光強(qiáng)Itl和反射光強(qiáng)Ik時(shí)探測器各點(diǎn)靈敏度不同而引入較大的測量誤差。多次反射法是被測元件對(duì)入射光源進(jìn)行N次反射，然后再將反射光強(qiáng)與入射光強(qiáng)的比值開N次方根，此方法的測量精度比單次反射測量精度高，但測量結(jié)果常常會(huì)受到光源功率穩(wěn)定性的影響。VW測量法可以兼顧單次反射法和多次反射法的不足，在測量過程中光電探測器位置不變，且反射次數(shù)為2次，因此其精度較單次反射測量法高，且測量結(jié)果受光源功率穩(wěn)定性影響小。另外，以上三種測量方法的測量光源為單波長光源，因此不具備測量連續(xù)光譜范圍的光學(xué)元件反射率的能力。
發(fā)明內(nèi)容
為了快速方便精確的檢測平面反射鏡的反射率，本發(fā)明提供了一種對(duì)平面反射鏡能夠在特定的入射角下檢測不同波長的反射效率以及在特定的波長下檢測不同入射角的反射率的系統(tǒng)，該檢測系統(tǒng)成本較低、測試方法簡單、測試速度較快，適用于大型企業(yè)對(duì)批量平面反射鏡反射率的檢測。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為可調(diào)諧激光器出射的通過光纖準(zhǔn)直器將一束平行光入射到待測平面反射鏡，其中待測平面反射鏡放置于可精密旋轉(zhuǎn)刻度的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)上，經(jīng)待測平面反射鏡反射的平行光被另一光纖準(zhǔn)直器所接收，兩光纖準(zhǔn)直器之間的距離為準(zhǔn)直器的工作距離，接收反射光的準(zhǔn)直器與功率計(jì)相連，可以讀出所接收到的光的能量。因此，可以根據(jù)從可調(diào)諧激光器出射的光的能量及功率計(jì)接收的光的能量來計(jì)算平面反射鏡的反射率。通過調(diào)整可調(diào)諧激光器出射光的波長以及旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)的角度，則本發(fā)明能夠在特定的入射角下檢測不同波長的反射效率以及在特定的波長下檢測不同入射角的反射率。平面反射鏡反射率的檢測系統(tǒng)，其特征在于包括可調(diào)諧激光器、光纖準(zhǔn)直器、六維調(diào)整架、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、待測光學(xué)元件的夾具以及光功率計(jì)，其中所述的光纖準(zhǔn)直器固定在六維調(diào)整架上，通過調(diào)整六維調(diào)整架的旋鈕來調(diào)整光纖準(zhǔn)直器的狀態(tài)。進(jìn)一步地，前述的平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)，其特征在于使用可調(diào)諧激光器作為系統(tǒng)的光源，具備測量連續(xù)光譜范圍的光學(xué)元件反射率的能力。進(jìn)一步地，前述的平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)，其特征在于將待測樣品及其夾具放置于帶刻度的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，可以通過調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)臺(tái)從而得到檢測所需要的不同入射角。進(jìn)一步地，前述的平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)，其特征在于使用光纖準(zhǔn)直器接收反射光并通過光功率計(jì)測試接收到的光功率,成本低,精度高。本發(fā)明廣泛適用于要求檢測平面反射鏡反射率的各個(gè)領(lǐng)域，尤其是適用于大型企業(yè)對(duì)批量平面反射鏡反射率的檢測，成本低，速度快。
圖I為平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。圖中各附圖標(biāo)記的含義為I 可調(diào)諧激光器及其支架；2 第一光纖準(zhǔn)直器及第一六維調(diào)整架；3 旋轉(zhuǎn)臺(tái)； 4 待測光學(xué)元件夾具；5 第二光纖準(zhǔn)直器及第二六維調(diào)整架；6 光功率計(jì)。
具體實(shí)施例方式為了快速方便精確的檢測平面反射鏡的反射率，本發(fā)明提供了一種對(duì)平面反射鏡能夠在特定的入射角下檢測不同波長的反射效率以及在特定的波長下檢測不同入射角的反射率的系統(tǒng)。本發(fā)明檢測方法成本較低、方法簡單、速度較快，適用于大型企業(yè)對(duì)批量平面反射鏡反射率的檢測。該反射率檢測系統(tǒng)包括可調(diào)諧激光器及其支架I;第一光纖準(zhǔn)直器及第一六維調(diào)整架2 ;旋轉(zhuǎn)臺(tái)3 ;待測光學(xué)元件夾具4 ;第二光纖準(zhǔn)直器及第二六維調(diào)整架5 ;光功率計(jì)6。下面具體詳細(xì)說明該平面反射鏡的反射率檢測系統(tǒng)的具體實(shí)施方式
。該平面反射鏡的反射率檢測系統(tǒng)的具體實(shí)施方式
包含兩個(gè)部分(一)系統(tǒng)的組裝及調(diào)整如圖I所示，將第一準(zhǔn)直器與第二準(zhǔn)直器放置在其有效工作距離之內(nèi)時(shí)，將兩個(gè)準(zhǔn)直器對(duì)準(zhǔn)，此時(shí)將待測平面反射鏡移開，打開可調(diào)諧激光器，分別調(diào)整第一六維調(diào)整架和第二六維調(diào)整架，同時(shí)觀察光功率計(jì)的讀數(shù)，使光功率計(jì)的讀數(shù)達(dá)到最大值時(shí)，將這個(gè)值記錄為PMf，然后將待測平面反射鏡放置于待測光學(xué)元件夾具上(待測光學(xué)元件夾具固定于旋轉(zhuǎn)臺(tái)上)，準(zhǔn)備檢測。(二)反射率的檢測(I)特定的入射角下檢測不同波長的反射效率將被測平面反射鏡放置于待測光學(xué)元件夾具上，調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)臺(tái)至所要測試入射角， 鎖緊旋轉(zhuǎn)臺(tái)，打開可調(diào)諧激光器并調(diào)節(jié)其波長至λ，通過調(diào)整第二六維架來調(diào)整第二準(zhǔn)直器的位置使光功率計(jì)的讀數(shù)達(dá)到最大值，記為Ρλ，那么被測平面反射鏡在該入射角的條件下，入射波長為λ，其反射效率為R = PA/Pref。如果需要測試不同的入射波長，則可以通過調(diào)節(jié)可調(diào)諧激光器出射光波長的設(shè)置則可得到該波長的反射率。(2)在特定的波長下檢測不同入射角的反射率
將被測平面反射鏡放置于待測光學(xué)元件夾具上，打開可調(diào)諧激光器并設(shè)定好所要測試的波長，調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)臺(tái)至入射角為α，鎖緊旋轉(zhuǎn)臺(tái)，通過調(diào)整第二六維架來調(diào)整第二準(zhǔn)直器的位置使光功率計(jì)的讀數(shù)達(dá)到最大值，記為Pa，那么被測平面反射鏡在該入射波長的條件下，入射角為α，其反射效率為R = Pa/Pref。如果需要測試不同的入射角，則可以通過調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)臺(tái)從而調(diào)節(jié)入射角，再調(diào)整第二準(zhǔn)直器的位置則可得到該入射角的反射率。通過以上結(jié)構(gòu)及檢測方法的描述，本發(fā)明的實(shí)質(zhì)性特征已明確，其效果主要?dú)w結(jié)為以下幾點(diǎn)I、該發(fā)明可以快速檢測出特定的入射角下檢測不同波長的反射效率以及在特定的波長下不同入射角的反射率。2、本發(fā)明的系統(tǒng)穩(wěn)定、容易調(diào)試、對(duì)環(huán)境要求不高而且測量范圍相對(duì)較大。3、本發(fā)明尤其適用于大型企業(yè)對(duì)批量平面反射鏡反射率的測試，成本低，速度快。綜上所述，本發(fā)明可以快速檢測出特定的入射角下檢測不同波長的反射效率以及在特定的波長下不同入射角的反射率，通過對(duì)實(shí)施例的具體描述，其結(jié)構(gòu)特征及測試方法已被詳細(xì)地公示，但凡基于上述實(shí)施例及其測試方法所作的等效替換或簡單修改，均應(yīng)該被包含于本發(fā)明專利請(qǐng)求的專利保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)，其特征在于包括可調(diào)諧激光器、光纖準(zhǔn)直器、六維調(diào)整架、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、待測光學(xué)元件的夾具以及光功率計(jì)，其中所述的光纖準(zhǔn)直器固定在六維調(diào)整架上，通過調(diào)整六維調(diào)整架的旋鈕來調(diào)整光纖準(zhǔn)直器的狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)，其特征在于使用可調(diào)諧激光器作為系統(tǒng)的光源，具備測量連續(xù)光譜范圍的光學(xué)元件反射率的能力。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)，其特征在于將待測樣品及其夾具放置于帶刻度的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，可以通過調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)臺(tái)從而得到檢測所需要的不同入射角。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的平面反射鏡反射率檢測系統(tǒng)，其特征在于使用光纖準(zhǔn)直器接收反射光并通過光功率計(jì)測試接收到的光功率，成本低，精度高。
全文摘要
本發(fā)明揭示了一種對(duì)平面反射鏡能夠在特定的入射角下檢測不同波長的反射效率以及在特定的波長下檢測不同入射角的反射率的系統(tǒng)，具有成本較低、測試方法簡單、測試速度較快等優(yōu)點(diǎn)，適用于要求檢測平面反射鏡反射率的各個(gè)領(lǐng)域，尤其是適用于大型企業(yè)對(duì)批量平面反射鏡反射率的檢測。本發(fā)明的使用能夠克服現(xiàn)有檢測方法中不能測量連續(xù)光譜范圍的光學(xué)元件反射率的缺陷，具有在特定的入射角下檢測不同波長的反射效率以及在特定的波長下檢測不同入射角的反射率兩種檢測方式，能夠大幅度提高通信、儀器等產(chǎn)業(yè)測試平面反射鏡反射率的速度，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量、可靠性及壽命也有很大的影響。
文檔編號(hào)G01M11/02GK102607806SQ20121004130
公開日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2012年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月23日
發(fā)明者劉華, 劉宏欣, 袁海驥, 陳志超, 高尚武 申請(qǐng)人:科納技術(shù)(蘇州)有限公司